JP2009034691A - レーザマーキング装置および方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】物体表面にレーザ光を照射し表面性状を改変して図形、文字パターンをマークするレーザマーキング装置又は方法において、上記パターン内の微細表面性状構造を超短パルスのレーザ光のパルス幅が100ps以下、波長1.1μm以下を使用し、0.01から10J/cm2のフルエンスで超短パルスレーザ光を照射する際、偏光方向や波長、パワーなどのレーザビームパラメータを制御し周期が1μm以下の周期構造を形成したナノ周期微細表面性状マーキング方法又は装置。
【選択図】図1
Description
2:超短パルスレーザビーム
3:波長変換ユニット
4:出力ビーム
5:偏光制御ユニット
6:偏光駆動制御部
8:レーザビーム
9:偏向ビームスキャナユニット
10:集光レンズ(fθレンズ)
11,12:偏向ミラー
13:走査されたレーザビーム
14:収束レーザビーム
16,26,37:対象物体
17:X−Yテーブル
18:X−Yテーブル駆動制御部
21:システム制御部
25,29:マーキングパターン
27,28:直線偏光による微細表面周期構造
30:白色光
31,32,33:反射光
22,23,24,50:指令
Claims (14)
- 物体表面にレーザ光を照射し表面を改変して図形、文字などのマーキングパターンをマークするレーザマーキング装置において、上記パターン内部が超短パルス照射による周期が1μm以下の周期構造を形成した表面ナノ周期微細構造とするレーザマーキング装置。
- マーキングパターン内の表面ナノ周期微細構造の形成において超短パルスのレーザ光の偏光方向を制御し、場所またはマーキングの種類に応じて表面ナノ周期微細構造の周期構造の周期発生方向を制御可能にした請求項1記載のレーザマーキング装置。
- マーキングパターン内部の表面ナノ周期微細構造の形成において超短パルスのレーザ光の波長を制御し、場所またはマーキングの種類に応じて表面ナノ周期微細構造の間隔を制御可能にした請求項1記載のレーザマーキング装置。
- マーキングパターン内の表面ナノ周期微細構造の形成において超短パルスのレーザ光のパルス幅を制御し、マーキング場所またはマーキングの種類に応じて表面ナノ周期微細構造の周期又は表面の断面形状を制御可能にした請求項1記載のレーザマーキング装置。
- マーキングパターン内の表面ナノ周期微細構造の形成において超短パルスのレーザ光のパルス幅が100ps以下、波長1.1μm以下において0.01から10J/cm2のフルエンスで超短パルスレーザ光を照射する請求項1記載のレーザマーキング装置。
- マーキングを行う対象物の材料は金属、ガラス、セラミック、ポリマーなどの表面にマーキングを施す請求項1記載のレーザマーキング装置。
- ガラスなどの透明材料の内部にマーキングを施す請求項1記載のレーザマーキング装置。
- 物体表面にレーザ光を照射し表面を改変して図形、文字などのマーキングパターンをマークするレーザマーキング方法において、上記パターン内部が超短パルス照射による周期が1μm以下の周期構造を形成した表面ナノ周期微細構造とするレーザマーキング方法。
- マーキングパターン内の表面ナノ周期微細構造の形成において超短パルスのレーザ光の偏光方向を制御し、場所またはマーキングの種類に応じて表面ナノ周期微細構造の周期構造の周期発生方向を制御可能にした請求項8記載のレーザマーキング方法。
- マーキングパターン内部の表面ナノ周期微細構造の形成において超短パルスのレーザ光の波長を制御し、場所またはマーキングの種類に応じて表面ナノ周期微細構造の間隔を制御可能にした請求項8記載のレーザマーキング方法。
- マーキングパターン内の表面ナノ周期微細構造の形成において超短パルスのレーザ光のパルス幅を制御し、マーキング場所またはマーキングの種類に応じて表面ナノ周期微細構造の周期又は表面の断面形状を制御可能にした請求項8記載のレーザマーキング方法。
- マーキングパターン内の表面ナノ周期微細構造の形成において超短パルスのレーザ光のパルス幅が100ps以下、波長1.1μm以下において0.01から10J/cm2のフルエンスで超短パルスレーザ光を照射する請求項8記載のレーザマーキング方法。
- マーキングを行う対象物の材料は金属、ガラス、セラミック、ポリマーなどの表面にマーキングを施す請求項8記載のレーザマーキング方法。
- ガラスなどの透明材料の内部にマーキングを施す請求項8記載のレーザマーキング方法。
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2007
- 2007-07-31 JP JP2007198785A patent/JP2009034691A/ja active Pending
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