JP2011211550A - パッケージ、圧電振動子及び圧電発振器 - Google Patents
パッケージ、圧電振動子及び圧電発振器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011211550A JP2011211550A JP2010078135A JP2010078135A JP2011211550A JP 2011211550 A JP2011211550 A JP 2011211550A JP 2010078135 A JP2010078135 A JP 2010078135A JP 2010078135 A JP2010078135 A JP 2010078135A JP 2011211550 A JP2011211550 A JP 2011211550A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- package
- connection electrode
- piezoelectric element
- conductive adhesive
- piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 62
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 61
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 11
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 58
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 30
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 2
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/0504—Holders; Supports for bulk acoustic wave devices
- H03H9/0509—Holders; Supports for bulk acoustic wave devices consisting of adhesive elements
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/0538—Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements
- H03H9/0547—Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements consisting of a vertical arrangement
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
- H03H9/1014—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device
- H03H9/1021—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device the BAW device being of the cantilever type
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】 圧電素子20を収容するパッケージ10は、圧電素子20の電極24−1a,24−2aが挿入される複数の空間12cを有するガイド部12bを備える。ガイド部12bの複数の空間12cは互いに分離されている。
【選択図】 図2
Description
(付記1)
圧電素子を収容するパッケージであって、
前記圧電素子の電極が挿入される複数の空間を有するガイド部を備え、
前記ガイド部の複数の空間は、互いに分離されているパッケージ。
(付記2)
付記1記載のパッケージであって、
前記空間の上面に貫通孔が設けられ、該貫通孔を通して導電性接着剤が前記空間内に充填されるパッケージ。
(付記3)
付記2記載のパッケージであって、
前記圧電素子を収容する空間の内部の底面に、該底面から突出して延在する仕切り部が設けられているパッケージ。
(付記4)
付記2記載のパッケージであって、
前記複数の空間の各々は、前記ガイド部の側面に開口した溝であり、該溝は前記圧電素子の電極が形成された接続電極部に対応した形状であるパッケージ。
(付記5)
付記4記載のパッケージであって、
前記溝の深さは前記圧電素子の前記接続電極部の長さより長く設定されており、前記ガイド部の前記側面から前記貫通孔までの距離は、前記圧電素子の前記接続電極部の長さより長く設定されているパッケージ。
(付記6)
複数の空間を有するガイド部を備えたパッケージと、
複数の接続電極部を有する圧電素子と、
前記ガイド部の空間内に収容された導電性接着剤と
を有し、
前記圧電素子の前記接続電極部は、前記ガイド部の前記複数の空間にそれぞれ挿入されて前記導電性接着剤により固定されている圧電振動子。
(付記7)
付記6記載の圧電振動子であって、
前記ガイド部は、前記複数の空間にそれぞれ繋がる複数の貫通孔を有する圧電振動子。
(付記8)
付記7記載の圧電振動子であって、
前記圧電素子の前記接続電極部の先端面に、前記圧電素子を駆動するための駆動電極が接続された接続電極が形成されている圧電振動子。
(付記9)
付記8記載の圧電振動子であって、
前記圧電素子が収容された空間の内部の底面に、該底面から突出して延在する仕切り部が設けられている圧電振動子。
(付記10)
付記8記載の圧電振動子であって、
前記複数の空間の各々は、前記ガイド部の側面に開口した溝であり、該溝は前記圧電素子の前記接続電極部に対応した形状である圧電振動子。
(付記11)
付記10記載の圧電振動子であって、
前記溝の深さは前記圧電素子の前記接続電極部の長さより長く設定されており、前記ガイド部の前記側面から前記貫通孔までの距離は、前記圧電素子の前記接続電極部の長さより長く設定されているパッケージ。
(付記12)
付記6乃至11のうちいずれか一項記載の圧電振動子と、
前記パッケージ内に収容され、前記圧電素子に電気的に接続されて前記圧電素子を駆動するためのICと
を有する圧電発振器。
12 本体部
12a 底面
12b 振動子取付部
12c 溝
12d 貫通孔
12e スルーホール
12f 仕切り部
12−1,12−2 外部接続端子
14 蓋部
16 導電性接着剤
20 水晶振動子
22 水晶片
24−1,24−2 接続電極部
24−1a,24−1b,24−2a,24−2b 接続電極
24−1c,24−2c 導電接続部
50 IC
52 配線
60 水晶発振器
62 プリント板62
Claims (8)
- 圧電素子を収容するパッケージであって、
前記圧電素子の電極が挿入される複数の空間を有するガイド部を備え、
前記ガイド部の複数の空間は、互いに分離されているパッケージ。 - 請求項1記載のパッケージであって、
前記空間の上面に貫通孔が設けられ、該貫通孔を通して導電性接着剤が前記空間内に充填されるパッケージ。 - 請求項3記載のパッケージであって、
前記圧電素子を収容する空間の内部の底面に、該底面から突出して延在する仕切り部が設けられているパッケージ。 - 複数の空間を有するガイド部を備えたパッケージと、
複数の接続電極部を有する圧電素子と、
前記ガイド部の空間内に収容された導電性接着剤と
を有し、
前記圧電素子の前記接続電極部は、前記ガイド部の前記複数の空間にそれぞれ挿入されて前記導電性接着剤により固定されている圧電振動子。 - 請求項4記載の圧電振動子であって、
前記ガイド部は、前記複数の空間にそれぞれ繋がる複数の貫通孔を有する圧電振動子。 - 請求項5記載の圧電振動子であって、
前記圧電素子の前記接続電極部の先端面に、前記圧電素子を駆動するための駆動電極が接続された接続電極が形成されている圧電振動子。 - 請求項6記載の圧電振動子であって、
前記圧電素子が収容された空間の内部の底面に、該底面から突出して延在する仕切り部が設けられている圧電振動子。 - 請求項4乃至7のうちいずれか一項記載の圧電振動子と、
前記パッケージ内に収容され、前記圧電素子に電気的に接続されて前記圧電素子を駆動するためのICと
を有する圧電発振器。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010078135A JP5533135B2 (ja) | 2010-03-30 | 2010-03-30 | パッケージ、圧電振動子及び圧電発振器 |
US13/019,570 US8547180B2 (en) | 2010-03-30 | 2011-02-02 | Package, piezoelectric vibrator and piezoelectric oscillator |
TW100104425A TWI449227B (zh) | 2010-03-30 | 2011-02-10 | 封裝體、壓電振動器及壓電振盪器 |
CN201110043471.7A CN102208904B (zh) | 2010-03-30 | 2011-02-23 | 封装、压电振子以及压电振荡器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010078135A JP5533135B2 (ja) | 2010-03-30 | 2010-03-30 | パッケージ、圧電振動子及び圧電発振器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011211550A true JP2011211550A (ja) | 2011-10-20 |
JP5533135B2 JP5533135B2 (ja) | 2014-06-25 |
Family
ID=44697589
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010078135A Expired - Fee Related JP5533135B2 (ja) | 2010-03-30 | 2010-03-30 | パッケージ、圧電振動子及び圧電発振器 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8547180B2 (ja) |
JP (1) | JP5533135B2 (ja) |
CN (1) | CN102208904B (ja) |
TW (1) | TWI449227B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014053715A (ja) * | 2012-09-06 | 2014-03-20 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片及び圧電デバイス |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5707839B2 (ja) * | 2010-10-13 | 2015-04-30 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電型発電機および圧電型発電機の製造方法 |
CN103138710B (zh) * | 2011-11-23 | 2016-01-20 | 北京晨晶电子有限公司 | 晶片与基座的连接方法及所得晶体谐振器 |
JP2018164126A (ja) * | 2017-03-24 | 2018-10-18 | セイコーエプソン株式会社 | 振動デバイス、発振器、ジャイロセンサー、電子機器および移動体 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6257428U (ja) * | 1985-09-26 | 1987-04-09 | ||
JPH0548427U (ja) * | 1991-11-21 | 1993-06-25 | 株式会社大真空 | 表面実装型水晶振動子 |
JPH0677328U (ja) * | 1992-07-22 | 1994-10-28 | 株式会社大真空 | 表面実装型水晶振動子 |
JPH1197970A (ja) * | 1997-09-22 | 1999-04-09 | Daishinku:Kk | 水晶振動子の保持構造 |
JP2001332951A (ja) * | 2000-05-22 | 2001-11-30 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電振動素子の支持構造 |
JP2005159967A (ja) * | 2003-11-28 | 2005-06-16 | Kyocera Kinseki Corp | 圧電振動子の支持構造 |
JP2007124223A (ja) * | 2005-10-27 | 2007-05-17 | Kyocera Corp | 圧電振動子収納用パッケージおよび圧電振動装置 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4485325A (en) * | 1982-03-04 | 1984-11-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Housing and mounting for a chip-like piezoelectric vibrator component |
JPH0766670A (ja) | 1993-08-30 | 1995-03-10 | Nec Corp | 圧電振動子 |
JP3221253B2 (ja) * | 1994-09-13 | 2001-10-22 | 株式会社村田製作所 | 複合電子部品の製造方法 |
JPH08181407A (ja) | 1994-12-27 | 1996-07-12 | Sony Corp | プリント配線板及びその製造方法 |
KR100254891B1 (ko) * | 1997-05-28 | 2000-05-01 | 이형도 | 압전소자 3 단자부품을 갖는 전자부품 |
TW427059B (en) * | 1998-08-07 | 2001-03-21 | Tdk Corp | Resonator, piezoelectric resonator and the manufacturing method thereof |
JP2000124761A (ja) | 1998-10-12 | 2000-04-28 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電発振器用パッケージ |
WO2005090912A1 (ja) * | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Citizen Watch Co., Ltd. | 振動子デバイスとその製造方法 |
JP4657781B2 (ja) * | 2005-04-05 | 2011-03-23 | セイコーインスツル株式会社 | 表面実装型圧電振動子及びその製造方法 |
JP5061496B2 (ja) | 2006-04-19 | 2012-10-31 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電基板、圧電振動素子、圧電振動子及び圧電発振器 |
JP5078512B2 (ja) * | 2007-09-06 | 2012-11-21 | 日本電波工業株式会社 | 水晶デバイス |
JP5113819B2 (ja) * | 2009-02-10 | 2013-01-09 | 日本電波工業株式会社 | 台座付水晶発振器 |
-
2010
- 2010-03-30 JP JP2010078135A patent/JP5533135B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-02-02 US US13/019,570 patent/US8547180B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-02-10 TW TW100104425A patent/TWI449227B/zh not_active IP Right Cessation
- 2011-02-23 CN CN201110043471.7A patent/CN102208904B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6257428U (ja) * | 1985-09-26 | 1987-04-09 | ||
JPH0548427U (ja) * | 1991-11-21 | 1993-06-25 | 株式会社大真空 | 表面実装型水晶振動子 |
JPH0677328U (ja) * | 1992-07-22 | 1994-10-28 | 株式会社大真空 | 表面実装型水晶振動子 |
JPH1197970A (ja) * | 1997-09-22 | 1999-04-09 | Daishinku:Kk | 水晶振動子の保持構造 |
JP2001332951A (ja) * | 2000-05-22 | 2001-11-30 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電振動素子の支持構造 |
JP2005159967A (ja) * | 2003-11-28 | 2005-06-16 | Kyocera Kinseki Corp | 圧電振動子の支持構造 |
JP2007124223A (ja) * | 2005-10-27 | 2007-05-17 | Kyocera Corp | 圧電振動子収納用パッケージおよび圧電振動装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014053715A (ja) * | 2012-09-06 | 2014-03-20 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片及び圧電デバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20110241792A1 (en) | 2011-10-06 |
JP5533135B2 (ja) | 2014-06-25 |
CN102208904B (zh) | 2014-12-24 |
TWI449227B (zh) | 2014-08-11 |
CN102208904A (zh) | 2011-10-05 |
TW201205908A (en) | 2012-02-01 |
US8547180B2 (en) | 2013-10-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5120385B2 (ja) | 圧電振動子及び圧電発振器 | |
EP2109219A2 (en) | Piezoelectric vibrating devices and methods for manufacturing same | |
EP1732219B1 (en) | Piezoelectric resonator and assembly comprising the same enclosed in a case | |
JP2007288644A (ja) | 圧電基板、圧電振動素子、表面実装型圧電振動子、圧電基板の製造方法、及び表面実装型圧電発振器 | |
JP5533135B2 (ja) | パッケージ、圧電振動子及び圧電発振器 | |
EP2355342A2 (en) | Piezoelectric vibrator and oscillator using the same | |
EP2355341A2 (en) | Piezoelectric vibrator and oscillator using the same | |
JP2008219206A (ja) | 圧電発振器 | |
JP4433687B2 (ja) | 圧電発振器とその製造方法 | |
EP2355344A2 (en) | Piezoelectric vibrator and oscillator using the same | |
JP2002009576A (ja) | 圧電デバイス及びそのパッケージ構造 | |
JP2013065602A (ja) | 電子部品収納用パッケージ | |
JP2014086842A (ja) | 圧電振動デバイス | |
JP5005336B2 (ja) | 圧電発振器の製造方法 | |
JP4960080B2 (ja) | 圧電発振器及びその製造方法 | |
KR20130087355A (ko) | 진동 디바이스 및 발진기 | |
JP6956022B2 (ja) | 配線基板、電子装置及び電子モジュール | |
JP2005117092A (ja) | 表面実装型圧電デバイス | |
JP5075448B2 (ja) | 圧電発振器の製造方法 | |
JP5018990B2 (ja) | 圧電発振器とその製造方法 | |
JP2004297209A (ja) | 表面実装型圧電発振器 | |
JP2016158145A (ja) | 水晶デバイス | |
JP2016195345A (ja) | 圧電デバイス及びその製造方法 | |
JP2010187237A (ja) | 圧電デバイスの製造方法および圧電デバイス | |
JP2008085963A (ja) | 圧電発振器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130206 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131022 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131105 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131225 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140401 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5533135 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140414 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |