JP2014053715A - 圧電振動片及び圧電デバイス - Google Patents

Abstract

【課題】各電極と接続する導電性接着剤どうしが接触することを抑制し、誤動作の発生を防止することが可能な圧電振動片及び圧電デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】振動領域部１０から延びた一対の支持部１３，１４を備える水晶振動片（圧電振動片）１００であって、一対の支持部１３，１４の、互いに近接する側面１３ｃ，１４ｃは、側面１３ｃ，１４ｃどうしまたは側面１３ｃ，１４ｃを含んで振動領域部１０へ向けて延長した仮想平面１３ｄ，１４ｄどうしが交差するように形成される。
【選択図】図１

Description

本発明は、圧電振動片及び圧電デバイスに関する。

水晶振動片などの圧電振動片は、周波数や時間の基準源として圧電デバイスに用いられることが知られている。このような圧電振動片を搭載した圧電デバイスとしては、携帯電話や携帯端末などの各種電子機器に搭載される発振器や振動子などがある。また、圧電振動片は、例えば、水晶などの圧電材料によって形成された板状体の表裏面を挟むように一対の励振電極が設けられている。

この圧電振動片は、圧電デバイスのパッケージに導電性接着剤を介して固定される。この導電性接着剤により、圧電振動片はパッケージ内に保持されるとともに、パッケージに設けられる電極と各励振電極とが電気的に接続される（例えば、特許文献１参照）。なお、近年の電子機器の小型化に伴い、圧電デバイス及び圧電振動片についてもさらなる小型化が求められている。

特開２０１０−１１３５２号公報

特許文献１に記載された水晶片は、振動領域部から延びた一対の支持部を用いてパッケージに固着されているが、この水晶片を小さくすると一対の支持部の間隔も狭くなってしまう。また、圧電振動片をパッケージへ接着する際、支持部の裏面だけでなく側面にも導電性接着剤を接触させ、接合強度の向上を図っている。しかしながら、支持部の間隔が狭いと、各支持部に対応する導電性接着剤どうしが接触して電気的短絡を生じさせ、誤動作を発生させるおそれがある。そのため、圧電振動片の小型化を図ることが難しいといった課題を有している。

以上のような事情に鑑み、本発明は、パッケージに取り付けた際、各電極と接続する導電性接着剤どうしが接触することを抑制し、誤動作の発生を防止することが可能な圧電振動片及び圧電デバイスを提供することを目的とする。

本発明では、振動領域部から延びた一対の支持部を備える圧電振動片であって、一対の支持部の、互いに近接する側面は、側面どうしまたは側面を含んで振動領域部へ向けて延長した仮想平面どうしが交差するように形成される。

また、一対の支持部は、振動領域部をほぼ左右対称に分割する中心線に対して対称に形成されてもよい。また、一対の支持部は、振動領域部をほぼ左右対称に分割する中心線と直交する方向であって互いに反対方向に延びるように形成されてもよい。また、支持部は、その先端部分がのこぎり歯形状であってもよい。

また、本発明では、上記した圧電振動片と、圧電振動片を保持するパッケージとを備える圧電デバイスが提供される。

本発明によれば、各支持部の電極と接続する導電性接着剤どうしが接触することを抑制するため、誤動作の発生を防止することができ、信頼性が高い圧電振動片及び圧電デバイスを提供することができる。

第１実施形態に係る圧電振動片を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は斜視図である。 （ａ）は第２実施形態に係る圧電振動片の平面図、（ｂ）は第３実施形態に係る圧電振動片の平面図、（ｃ）は第３実施形態に係る圧電振動片の変形例を示す平面図である。 （ａ）は第４実施形態に係る圧電振動片の平面図、（ｂ）は第４実施形態に係る圧電振動片の変形例を示す平面図である。 実施形態に係る圧電デバイスとして、水晶振動子を示す断面図である。 実施形態に係る圧電デバイスとして、水晶発振器を示す断面図である。

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではない。
＜第１実施形態＞
本発明の第１実施形態について説明する。図１（ａ）及び（ｂ）に示すように、水晶振動片（圧電振動片）１００は、電圧を印加させることによって水晶の結晶振動を発生させる振動領域部１０と、この振動領域部１０から延びた一対の支持部１３，１４とを備えている。

振動領域部１０は、所定の厚さを有する矩形板状の水晶片であって、例えば高純度の人工水晶からＡＴカットされて形成されている。ＡＴカットは、水晶振動子等の圧電デバイスが常温付近で使用されるにあたって良好な周波数特性が得られる等の利点があり。人工水晶の３つの結晶軸であるＸ軸（電気軸）、Ｙ軸（機械軸）及びＺ軸（光学軸）のうち、Ｚ軸に対してＸ軸周りに３５°１５′だけ傾いた角度で切り出す加工手法である。

振動領域部１０を挟むように、第一面（表面）１０ａ及び第二面（裏面）１０ｂのそれぞれに励振電極２０ａ，２０ｂ（２０）が形成される。この励振電極２０ａ，２０ｂのそれぞれは、図１に示すように、第一面１０ａ及び第二面１０ｂのほぼ中央部において、振動領域部１０の外周に沿うように矩形形状に形成される。なお、励振電極２０ａ，２０ｂは、図１に示すように、平面視で重なる位置に配置されている。この励振電極２０ａ，２０ｂの間に電圧を印加することにより、振動領域部１０は厚みすべり振動を行う。振動領域部１０のうち、励振電極２０ａ，２０ｂが設けられた領域が励振領域となる。また、励振電極２０ａ，２０ｂは、図１に示すように、角部に丸みを待たせた形状に形成されているが、角部が直角に形成されてもよい。また、励振電極２０の構成材料としては、例えば金（Ａｕ）などの導電性を有する金属などが用いられる。

支持部１３，１４は、振動領域部１０のうち一つの側面１０ｃ（図１（ａ）では振動領域部１０の下辺）から、側面１０ｃに直交する方向（図１（ａ）の下方向）へ伸びた状態で形成される。なお、支持部１３の側面１３ａは、振動領域部１０の側面１０ｄを延長するように形成されており、側面１３ａと側面１０ｄとは同一平面となっている。同じく、支持部１４の側面１４ａは、振動領域部１０の側面１０ｅを延長するように形成されており、側面１４ａと側面１０ｅとは同一平面となっている。

また、支持部１３，１４のそれぞれの表面には、接続電極１７が形成される。接続電極１７は、支持部１３に形成された接続電極１７ａと、支持部１４に設けられた接続電極１７ｂとからなる。接続電極１７ａは、支持部１３の表裏面とともに、側面１３ａ，１３ｂ、１３ｃにわたって形成される。同様に、接続電極１７ｂは、支持部１４の表裏面とともに、側面１４ａ，１４ｂ，１４ｃにわたって形成される。

振動領域部１０から支持部１３，１４へ至る部分には、励振電極２０と接続電極１７とを電気的に接続する引出電極１６が形成されている。引出電極１６は、振動領域部１０の第一面１０ａに形成されて励振電極２０ａと接続電極１７ａとを電気的に接続する引出電極１６ａと、振動領域部１０の第二面１０ｂに形成されて励振電極２０ｂと接続電極１７ｂとを電気的に接続する引出電極１６ｂとからなる。なお、これら引出電極１６や接続電極１７の構成材料については、励振電極２０と同様に、例えば金（Ａｕ）などの導電性を有する金属などが用いられる。また、引出電極１６、接続電極１７、励振電極２０の構成材料を同一にすることに限定されず、異なる導電性材料を用いてもよい。

接続電極１７は、図１（ａ）に示すように、導電性接着剤１８を介して不図示の外部電極に接続される。この導電性接着剤１８により、接続電極１７と外部電極との間が電気的に接続されるととともに、一対の支持部１３，１４のそれぞれが外部電極の部分に接着されて保持される。第１実施形態では、導電性接着剤１８が、支持部１３の裏面側だけでなく側面１３ａ，１３ｂ，１３ｃにもまわりこんで接触した状態となっている。同様に、支持部１４においても、導電性接着剤１８は、支持部１４の裏面側だけでなく側面１４ａ，１４ｂ，１４ｃにもまわりこんで接触した状態となっている。

従って、支持部１３，支持部１４は、裏面に加えてそれぞれ３つの側面１３ａ，１３ｂ，１３ｃ、側面１４ａ，１４ｂ，１４ｃも導電性接着剤１８と接着するため、接合強度が高められる。さらに、接続電極１７ａ，１７ｂにおいても、裏面に加えてそれぞれ３つの側面１３ａ，１４ａ等に導電性接着剤１８が接触しているため、これら接続電極１７ａ，１７ｂと外部電極との間の電気的な接続性が向上している。

また、支持部１３の側面１３ｃと支持部１４の側面１４ｃとは、互いに近接している。そして、これら側面１３ｃ，１４ｃのそれぞれは、図１（ａ）に示すように、側面１３ｃを含んで振動領域部１０側へ延長した仮想平面１３ｄと、同じく側面１４ｃを含んで振動領域部１０側へ延長した仮想平面１４ｄとが交線Ｐで交差するように形成されている。すなわち、支持部１３，１４の側面１３ｃ，１４ｃは、振動領域部１０の側面１０ｃから先端へ向けて、左右方向の間隔が徐々に拡がった状態となっている。

仮想平面１３ｄと仮想平面１４ｄとが交差する部分に形成される交線Ｐは、図１（ａ）に示すように、振動領域部１０のうち励振電極２０が形成される領域内に配置される。ただし、交線Ｐの位置は、励振電極２０が形成される領域内に限定するものではなく、励振電極２０の形成領域外や、さらには振動領域部１０の外側であってもよい。また、交線Ｐは、振動領域部１０をほぼ左右対称に分割する中心線Ｃ上に設定されている。ただし、交線Ｐは、中心線Ｃ上に設定されることに限定されず、中心線Ｃから外れて設定してもよい。また、交線Ｐにおいて、側面１３ｃと側面１４ｃとで形成される角度は任意に設定可能である。

交線Ｐが中心線Ｃ上に設定されることにより、支持部１３，１４は、中心線Ｃに対して対称となっている。すなわち、側面１３ａ，１４ａが振動領域部１０の側面１０ｄ，１０ｅからそれぞれ延びている点、側面１３ｂ，１４ｂが支持部１３，１４の先端としてほぼ同様に形成されている点、側面１３ｃ，１４ｃの仮想平面１３ｄ，１４ｄの交線Ｐが中心線Ｃにある点、から、支持部１３，１４は、中心線Ｃに対して対称となっている。このように、支持部１３と支持部１４とが中心線Ｃに対して対称であるため、水晶振動片１００のバランスがよく、支持部１３，１４のそれぞれを導電性接着剤１８で接合した場合に、両者の接合強度がほぼ等しくなり、パッケージ等にバランスよく接合させることが可能となる。

次に、上記のように構成された水晶振動片１００の製造方法を説明する。
水晶振動片１００を製造する場合、例えば人工水晶をＡＴカットして作成されたウエハから個々の水晶振動片１００を切り出す多面取りが行われる。このとき、水晶振動片１００を構成する振動領域部１０が所望の周波数特性を備えるように、ウエハの厚さが調整される。この厚さ調整は、例えば、ウエハのうち振動領域部１０を含んだ領域をエッチングすること等により行うことができる。その後、フォトリソグラフィ法によって、振動領域部１０及び支持部１３，１４の形状を切り出し可能とする切り込み等をウエハに形成する。

続いて、振動領域部１０及び支持部１３，１４に励振電極２０、接続電極１７及び引出電極１６が形成される。先ず、振動領域部１０及び支持部１３，１４に導電性膜を形成した後、フォトリソグラフィ法によって第一面１０ａや第二面１０ｂ、支持部１３，１４の表裏面や側面１３ａ，１４ａ等に導電性膜が形成されるようにパターニングする。この導電性膜としては、金（Ａｕ）などの単層膜であっても良いし、例えばＣｒ膜上にＡｕ膜を積層した多層膜であってもよい。また、導電性膜は、例えばウエハの表面及び裏面側から蒸着あるいはスパッタリングにより形成される。なお、予めウエハに溝や切り込みなどが形成されているので、支持部１３，１４の側面１３ａ，１４ａ等にも導電性膜が形成される。導電性膜の形成後、ウエハから個々の水晶振動片を切り離すことにより、図１に示す水晶振動片１００となる。なお、水晶振動片１００の製造方法としては、以上の方法に限定されず、種々の手法が用いられる。

以上のように、第１実施形態によれば、支持部１３,１４の、互いに近接する側面１３ｃ，１４ｃは、仮想平面１３ｄ，１４ｄが交差するように形成されているので、振動領域部１０から支持部１３，１４の先端側へ向けて、左右方向の間隔が徐々に拡がっている。従って、支持部１３，１４がそれぞれ導電性接着剤１８により接着される場合において、導電性接着剤１８どうしが接触しないように十分なスペースを確保することができる。これにより、導電性接着剤１８を介した電気的短絡が生じるのを回避することができるので、水晶振動片１００の誤動作の発生を抑制することが可能となる。

＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について説明する。以下の説明において、第１実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。
図２（ａ）に示すように、水晶振動片（圧電振動片）２００は、互いに近接する支持部１３の側面１３ｃと支持部１４の側面１４ｃとが交差する構成となっている。すなわち、第１実施形態の水晶振動片１００のように仮想平面１３ｄ等（図１参照）を用いずに、側面１３ｃ，１４ｃどうしが交線Ｑで交差している点が相違している。また、この水晶振動片２００においても、第１実施形態と同様に、支持部１３，１４の先端側へ向けて、側面１３ｃと側面１４ｃとの左右方向の間隔は徐々に拡がった状態となっている。なお、この水晶振動子２００では、振動領域部１０の側面１０ｃ（図１参照）がなく、接続電極１７の面積が第１実施形態と比較して広くなっている。

側面１３ｃと側面１４ｃとが交差する交線Ｑは、図２（ａ）に示すように、励振電極２０が形成される領域の外側に配置されている。なお、交線Ｑの位置を励振電極２０から離すことにより、励振電極２０に挟まれた部分に生じる厚みすべり振動への影響を抑制できる。また、交線Ｑは、振動領域部１０をほぼ左右対称に分割する中心線（図示せず）上に設定されており、第１実施形態と同様に、支持部１３，１４がこの中心線に対して対称に形成されている。

以上のように、第２実施形態によれば、側面１３ｃ，１４ｃどうしが交差するため、第１実施形態の水晶振動片１００と同様な効果を有する。これに加えて、支持部１３，１４に形成される接続電極１７の面積を広げることができ、導電性接着剤１８との接触面積が広がるので、第１実施形態と比較して導電性接着剤１８との間の接合強度を一層向上させることができ、しかも、導電性接着剤１８との間の電気的な接続抵抗を低減させることができる。

＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態について説明する。以下の説明において、第１実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。
図２（ｂ）に示すように、水晶振動片（圧電振動片）３００では、支持部１３，１４のそれぞれが、振動領域部１０の側面１０ｄ，１０ｅに対してそれぞれ外側に突出した状態で形成されている。すなわち、支持部１３の側面１３ａは側面１０ｄに対して右方へ折れ曲がった状態となり、同じく支持部１４の側面１４ａは側面１０ｅに対して左方へ折れ曲がった状態となっている。

支持部１３，１４の側面１３ｃ、１４ｃは、側面１３ｃを含んで振動領域部１０側へ延長した仮想平面１３ｄと、側面１４ｃを含んで振動領域部１０側へ延長した仮想平面１４ｄとが交差するように形成されている。ただし、水晶振動片３００においては、支持部１３の側面１３ａと側面１３ｃとが平行に形成されており、同様に、支持部１４の側面１４ａと側面１４ｃとが平行に形成されている。また、この水晶振動片３００においても、第１実施形態と同様に、支持部１３，１４の先端側へ向けて、側面１３ｃと側面１４ｃとの左右方向の間隔は徐々に拡がった状態となっている。

なお、この水晶振動子３００では、支持部１３，１４が外側に突出しているので、接続電極１７の面積が第１実施形態と比較して広くなっている。また、交線Ｐが、振動領域部１０をほぼ左右対称に分割する中心線（図示せず）上に設定されている点や、支持部１３，１４がこの中心線に対して対称に形成されている点は、第１実施形態と同様である。また、交線Ｐにおいて、側面１３ｃと側面１４ｃとで形成される角度は任意に設定可能である。

図２（ｃ）は、第３実施形態の変形例である水晶振動片（圧電振動片）４００を示している。この水晶振動片４００は、支持部１３及び支持部１４が、振動領域部１０をほぼ左右対称に分割する中心線（図示せず）と直交する方向であって互いに反対方向に延びるように形成されている。すなわち、支持部１３の側面１３ａは側面１０ｄに対してほぼ直角に右方へ折れた状態となり、同じく支持部１４の側面１４ａは側面１０ｅに対してほぼ直角に左方へ折れた状態となっている。

支持部１３，１４の側面１３ｃ，１４ｃは、交線Ｒで接続されており、同一平面となっている。言い換えると、側面１３ｃ，１４ｃは、交線Ｒにおいて角度１８０度で交差したものといえる。また、図２（ｂ）の水晶振動片３００と同様に、支持部１３の側面１３ａと側面１３ｃとが平行に形成されており、支持部１４の側面１４ａと側面１４ｃとが平行に形成されている。この水晶振動子４００では、支持部１３，１４が外側に突出しているので、接続電極１７の面積が第１実施形態と比較して広くなっている。また、交線Ｐが、振動領域部１０をほぼ左右対称に分割する中心線（図示せず）上に設定されている点や、支持部１３，１４がこの中心線に対して対称に形成されている点は、第１実施形態と同様である。

以上のように、第３実施形態によれば、側面１３ｃ，１４ｃを含んだ仮想平面どうしが交差しているため、第１実施形態の水晶振動片１００と同様な効果を有する。これに加えて、支持部１３，１４に形成される接続電極１７の面積を広げることができ、電性接着剤１８との接触面積が広がるので、第１実施形態と比較して導電性接着剤１８との間の接合強度を一層向上させることができ、しかも、導電性接着剤１８との間の電気的な接続抵抗を低減させることができる。また、支持部１３，１４を外側へ突出させるので、導電性接着剤１８どうしの接触を防止でき、図２（ｃ）に示す水晶振動片４００では、支持部１３及び支持部１４が互いに反対方向に延びているため、導電性接着剤１８どうしの接触を確実に防ぐことができる。

＜第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態について説明する。以下の説明において、第１実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。
図３（ａ）に示すように、水晶振動片（圧電振動片）５００は、支持部１３，１４の先端部分１３ｅ，１４ｅが、複数の歯を有するギザギザののこぎり歯形状となるように形成されている。この構成において、支持部１３の側面１３ｃを含んで振動領域部１０側へ延長した仮想平面１３ｄと、支持部１４の側面１４ｃを含んで振動領域部１０側へ延長した仮想平面１４ｄとが交線Ｐにおいて交差するように側面１３ｃ及び側面１４ｃが形成されている。

先端部分１３ｅ，１４ｅののこぎり歯形状は、各面が側面１３ｃまたは側面１４ｃと平行に形成されている。従って、のこぎり歯の山部及び谷部の角度は、側面１３ｃ，１４ｃで形成された角度と同一となっている。なお、側面１３ｃ，１４ｃは、また、のこぎり歯の面と連続して同一平面となるように形成されている。

図３（ｂ）に示す水晶振動片（圧電振動片）６００は、側面１３ｃ，１４ｃが振動領域部１０の側面１０ｄ及び側面１０ｅと平行となるように形成されている。なお、支持部１３，１４の先端部分１３ｅ，１４ｅが、複数の歯を有するギザギザののこぎり歯形状となるように形成されている点は、図３（ａ）の水晶振動片５００と同様である。この水晶振動片６００では、側面１３ｃ，１４ｃのうち先端部分１３ｅ，１４ｅに近い部分を見ると、それぞれを含んで振動領域部１０へ延びる仮想平面が交差している。すなわち、側面１３ｃの一部と、側面１４ｃの一部に関しては、それぞれの仮想平面が交差した状態となっている。

以上のように、第４実施形態によれば、側面１３ｃ，１４ｃどうしが交差するように形成されるため、第１実施形態の水晶振動片１００と同様な効果を有する。これに加えて、支持部１３，１４の先端部分１３ｅ，１４ｅに形成された、のこぎり歯形状によって、支持部１３，１４の側面の面積を広げることができ、電性接着剤１８との接触面積が広がるので、第１実施形態と比較して導電性接着剤１８との間の接合強度を一層向上させることができ、しかも、導電性接着剤１８との間の電気的な接続抵抗を低減させることができる。なお、先端部分１３ｅ，１４ｅに複数の歯を有するのこぎり歯形状を形成することに限定されない。例えば、のこぎり歯形状に代えて、凹凸形状や波形状など、支持部１３，１４の側面の面積を増大させる形状を用いてもよい。

＜圧電デバイス＞
次に、本発明に係る圧電デバイスの実施形態について説明する。本実施形態では、上記した水晶振動片１００〜６００を備えた圧電デバイスについて説明する。
図４は、圧電デバイスとして水晶振動子７００を示している。図４に示すように、水晶振動子７００は、ベース７０１と、壁部７０２と、蓋体７０３とにより構成されたパッケージ７０４を有する。パッケージ７０４は、上記した第１〜第４実施形態の水晶振動片１００〜６００を収容して保持する。ベース７０１及び壁部７０２は、例えば圧電体やセラミックス、ガラスなどを用いて形成されている。蓋体７０３は、例えば平板状の金属、例えばＦｅ−Ｎｉ合金（４２アロイ）やＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金（コバール）などにより形成されている。

蓋体７０３は、ＡｕＳｉ、ＡｕＳｎ、ＡｕＧｅ等の接合材により、壁部７０２の上端部７０２ａに接合される。蓋体７０３の接合の際には、例えばパッケージ７０４内を窒素雰囲気または真空とし、シーム溶接などの手法によって気密的に封止する。これにより、パッケージ７０４内に収納された水晶振動片１００〜６００は外気等から隔離され、励振電極２０ａ，２０ｂに対する影響が軽減されるので、水晶振動片１００等の経時変化が抑制される。

また、ベース７０１には、ベース７０１及び壁部７０２と一体となった状態で台座７０５が設けられている。台座７０５もベース７０１及び壁部７０２と同様に圧電体、セラミックスまたはガラスなどで形成されている。水晶振動片１００〜６００は、導電性接着剤１８を介して台座７０５に接着されることによりパッケージ７０４に保持される。なお、水晶振動片１００等の接続電極１７は、導電性接着剤１８を介して水晶端子（外部電極）１９に電気的に接続されている。なお、水晶端子１９は、ベース７０１に設けられた不図示の貫通電極を介して、同じくベース７０１の下面に設けられた不図示の基板接続用端子と電気的に接続されている。

図５は、圧電デバイスとして水晶発振器８００を示している。図５に示すように、水晶発振器８００は、ベース８０１と、壁部８０２と、蓋体８０３とにより構成されたパッケージ８０４を有する。パッケージ８０４は、上記した第１〜第４実施形態の水晶振動片１００〜６００を収容して保持する。ベース８０１、壁部８０２、蓋体８０３、台座８０５の材質や形状は、図４に示すベース７０１、壁部７０２、蓋体７０３、台座７０５と同様である。また、蓋体８０３の接合やパッケージ８０４内の雰囲気についても、図４に示すものと同様である。なお、ベース８０１上には、発振回路を備えたＩＣ８０６が設けられている。

水晶振動片１００〜６００は、導電性接着剤１８を介して台座８０５に接着されることによりパッケージ８０４に保持される。なお、水晶振動片１００等の接続電極１７は、導電性接着剤１８を介して水晶端子（外部電極）１９に電気的に接続されている。水晶端子１９は、ベース８０１に設けられた不図示の配線を介してＩＣ８０６と電気的に接続されている。なお、ＩＣ８０６は、ベース８０１に設けられた不図示の貫通電極を介して、同じくベース８０１の下面に設けられた不図示の基板接続用端子と電気的に接続されている。

以上のように、本実施形態の水晶振動子７００及び水晶発振器８００は、上記した水晶振動片１００〜６００を備えるので、水晶端子１９に導電性接着剤１８を用いて接合した場合、各接続電極１７に対応する導電性接着剤１８どうしの接触が防止される。従って、接続電極１７どうしの電気的短絡が生じるのを回避することができ、水晶振動片１００の誤動作の発生を抑制することができ、動作信頼性に優れた水晶振動子７００及び水晶発振器８００を実現することができる。

本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。例えば、上記実施形態では、圧電振動片として、水晶を用いて形成された水晶振動片１００〜６００、水晶振動子７００及び水晶発振器８００を例に挙げて説明したが、これに限定されない。例えば、圧電素子としてタンタル酸リチウムやニオブ酸リチウムなどを用いて形成された圧電振動片及びこの圧電振動片を用いた圧電デバイスであってもよい。

また、上記実施形態では、支持部１３及び支持部１４が、振動領域部１０をほぼ左右対称に分割する中心線に対して対称に形成されている構成を例に挙げて説明したが、これに限定されない。例えば、支持部１３と支持部１４とが中心線に対して非対称に形成されたものであってもよい。また、第２〜第４実施形態の水晶振動片２００〜６００の製造方法においては、第１実施形態の水晶振動片１００と同様である。

Ｃ…中心線
Ｐ，Ｑ，Ｒ…交線
１０…振動領域部
１０ａ…第一面
１０ｂ…第二面
１３，１４…支持部
１３ｃ，１４ｃ…側面
１３ｄ，１４ｄ…仮想平面
１３ｅ，１４ｅ…先端部分
１７…接続電極
１８…導電性接着剤
２０…励振電極
１００〜６００…水晶振動片（圧電振動片）
７００…水晶振動子（圧電デバイス）
８００…水晶発振器（圧電デバイス）

Claims (5)

1. 振動領域部から延びた一対の支持部を備える圧電振動片であって、
   前記一対の支持部の、互いに近接する側面は、前記側面どうしまたは前記側面を含んで前記振動領域部へ向けて延長した仮想平面どうしが交差するように形成される圧電振動片。
2. 前記一対の支持部は、前記振動領域部をほぼ左右対称に分割する中心線に対して対称に形成される請求項１記載の圧電振動片。
3. 前記一対の支持部は、前記振動領域部をほぼ左右対称に分割する中心線と直交する方向であって互いに反対方向に延びるように形成される請求項１または請求項２記載の圧電振動片。
4. 前記支持部は、その先端部分がのこぎり歯形状である請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の圧電振動片。
5. 請求項１〜請求項４記載の圧電振動片と、前記圧電振動片を保持するパッケージとを備える圧電デバイス。

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