JP2011209098A - 膜構造測定方法及び表面形状測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表面形状測定装置の制御用プロセッサで実行される膜構造測定方法は、撮像装置により、物体に形成された測定対象膜に光を照射し、当該光の反射光からこの測定対象膜の表面の形状である表面形状データ及び測定対象膜と物体との界面の形状である界面形状データを測定するステップ220と、平均値がほぼ0となるように表面形状データ及び界面形状データの各々を基準面を用いて補正することにより、補正された表面形状データ及び補正された界面形状データを算出するステップ230と、補正された表面形状データ及び補正された界面形状データから、測定対象膜の屈折率を算出するステップ240と、を有する。
【選択図】図4
Description
109 撮像装置 110 制御用プロセッサ
Claims (5)
- 物体に形成された測定対象膜に光を照射して前記測定対象膜の膜構造を測定する膜構造測定方法であって、
前記光から前記測定対象膜の表面の形状である表面形状データ及び前記測定対象膜と前記物体との界面の形状である界面形状データを測定するステップと、
平均値がほぼ0となるように前記表面形状データ及び前記界面形状データの各々を基準面を用いて補正することにより、補正された表面形状データ及び補正された界面形状データを算出するステップと、
前記補正された表面形状データ及び前記補正された界面形状データから、前記測定対象膜の屈折率を算出するステップと、を有する膜構造測定方法。 - 前記基準面は直平面である請求項1に記載の膜構造測定方法。
- 前記表面形状データ、前記界面形状データ及び前記屈折率から、前記測定対象膜の膜厚分布を算出するステップをさらに有する請求項3に記載の膜構造測定方法。
- 物体及び当該物体の表面に形成された測定対象膜に光を照射して前記測定対象膜の表面の形状である表面形状データ及び前記測定対象膜と前記物体との界面の形状である界面形状データを取得する撮像装置と、
請求項1〜4いずれか一項に記載の膜構造測定方法により前記測定対象膜の膜構造を算出する制御用プロセッサと、を有する表面形状測定装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016004040A (ja) * | 2014-06-13 | 2016-01-12 | 株式会社ミツトヨ | 傾斜面又は曲面を持つ透明立体の高さマップの計算方法 |
JP2018125769A (ja) * | 2017-02-02 | 2018-08-09 | パイオニア株式会社 | 撮像装置、撮像方法、プログラム及び記録媒体 |
JP2019152570A (ja) * | 2018-03-05 | 2019-09-12 | 東芝メモリ株式会社 | 測定装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH102855A (ja) * | 1996-06-17 | 1998-01-06 | Rikagaku Kenkyusho | 積層構造体の層厚および屈折率の測定方法およびその測定装置 |
JPH10325795A (ja) * | 1996-08-04 | 1998-12-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 媒質の測定方法および測定装置 |
JP2008286630A (ja) * | 2007-05-17 | 2008-11-27 | Toray Eng Co Ltd | 透明膜の屈折率測定方法およびその装置並びに透明膜の膜厚測定方法およびその装置 |
-
2010
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH102855A (ja) * | 1996-06-17 | 1998-01-06 | Rikagaku Kenkyusho | 積層構造体の層厚および屈折率の測定方法およびその測定装置 |
JPH10325795A (ja) * | 1996-08-04 | 1998-12-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 媒質の測定方法および測定装置 |
JP2008286630A (ja) * | 2007-05-17 | 2008-11-27 | Toray Eng Co Ltd | 透明膜の屈折率測定方法およびその装置並びに透明膜の膜厚測定方法およびその装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016004040A (ja) * | 2014-06-13 | 2016-01-12 | 株式会社ミツトヨ | 傾斜面又は曲面を持つ透明立体の高さマップの計算方法 |
US10302415B2 (en) | 2014-06-13 | 2019-05-28 | Mitutoyo Corporation | Method for calculating a height map of a body of transparent material having an inclined or curved surface |
JP2018125769A (ja) * | 2017-02-02 | 2018-08-09 | パイオニア株式会社 | 撮像装置、撮像方法、プログラム及び記録媒体 |
JP2019152570A (ja) * | 2018-03-05 | 2019-09-12 | 東芝メモリ株式会社 | 測定装置 |
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