JP5983881B2

JP5983881B2 - Ｖブロック方式の屈折率測定装置並びにこれに用いられる屈折率算出装置及び屈折率算出方法

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Publication number: JP5983881B2
Application number: JP2015524978A
Authority: JP
Inventors: 勝人山田; 伸彦澤柳
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Priority date: 2013-07-04
Filing date: 2013-07-04
Publication date: 2016-09-06
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Description

本発明は、Ｖブロックプリズムを介して試料に測定光を照射することにより試料の屈折率を測定するＶブロック方式の屈折率測定装置並びにこれに用いられる屈折率算出装置及び屈折率算出方法に関するものである。

いわゆるＶブロック方式の屈折率測定装置では、Ｖブロックプリズムに形成されているＶ字状の溝に試料が載置され、Ｖブロックプリズムを介して試料に測定光を照射することにより、試料を透過した測定光を検出器で検出して試料の屈折率を測定することができるようになっている（例えば、下記特許文献１参照）。

この種の屈折率測定装置には、例えばヘリウムランプ及び水素ランプが測定光の光源として備えられている。これにより、ヘリウムｄ線、水素Ｃ線及び水素Ｆ線の各波長における試料の屈折率を測定することができる。主にガラスなどの試料の屈折率を測定するＶブロック方式の屈折率測定装置では、ヘリウムｄ線の波長（５８７．６ｎｍ）が基準波長として用いられ、ナトリウムランプは備えられていないのが一般的である。

これに対して、いわゆるアッベ方式の屈折率測定装置では、ＪＩＳＫ００６２−１９９２、ＪＩＳＫ７１０５−１９８５、ＩＳＯ４８９−１９８３Ｅなどにも記載されているように、ナトリウムＤ線の波長（５８９．３ｎｍ）が基準波長として用いられることにより、主に化学製品やプラスチックなどの試料の屈折率を測定することができる。そのため、アッベ方式の屈折率測定装置には、ナトリウムランプが測定光の光源として備えられているのが一般的である。

特開２０１１−９９７９５号公報

Ｖブロック方式の屈折率測定装置とアッベ方式の屈折率測定装置とを比較すると、Ｖブロック方式の方がアッベ方式よりも屈折率の測定精度が高い。そこで、本願発明者らは、Ｖブロック方式の屈折率測定装置の利用可能範囲を、アッベ方式の屈折率測定装置の利用分野にまで拡大することができないか検討するに至った。

Ｖブロック方式の屈折率測定装置の中には、光源の数を増やすことができるようになっているものもある。したがって、Ｖブロック方式の屈折率測定装置の利用可能範囲を、アッベ方式の屈折率測定装置の利用分野にまで拡大したい場合には、光源としてナトリウムランプを追加すれば、ナトリウムＤ線の波長における試料の屈折率を測定可能にすることができる。しかしながら、光源としてナトリウムランプを追加した場合には、その分のコストがかかるという問題がある。

本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、コストをかけることなく、アッベ方式の屈折率測定装置の利用分野にまで利用可能範囲を拡大することができるＶブロック方式の屈折率測定装置並びにこれに用いられる屈折率算出装置及び屈折率算出方法を提供することを目的とする。

本願発明者らは、Ｖブロック方式の屈折率測定装置に一般的に備えられている光源を用いた場合、ナトリウムＤ線の波長における屈折率を近似式により精度よく算出できることを見出した。

本発明に係る屈折率測定装置は、Ｖブロックプリズムを介して試料に測定光を照射することにより試料の屈折率を測定するＶブロック方式の屈折率測定装置であって、ナトリウムＤ線以外の少なくとも３つの波長の測定光を照射可能な光源部と、試料を透過した測定光を検出する検出器と、前記検出器における検出強度に基づいて試料の屈折率を測定する屈折率測定処理部と、各波長の測定光で測定した屈折率の測定値を用いて、波長と屈折率との関係を表す所定の近似式に含まれる少なくとも３つの係数を算出する係数算出処理部と、前記係数算出処理部により算出された係数及びナトリウムＤ線の波長に基づいて、前記近似式によりナトリウムＤ線の波長における屈折率の近似値を算出する屈折率算出処理部とを備えたことを特徴とする。

このような構成によれば、ナトリウムＤ線以外の少なくとも３つの波長の測定光で測定した屈折率の測定値を用いて、近似式に含まれる少なくとも３つの係数を算出し、算出された係数及びナトリウムＤ線の波長に基づいて、近似式によりナトリウムＤ線の波長における屈折率の近似値を算出することができる。これにより、光源としてナトリウムランプを追加することなく、ナトリウムＤ線の波長における試料の屈折率を測定可能にすることができるため、コストをかけることなく、アッベ方式の屈折率測定装置の利用分野にまで利用可能範囲を拡大することができる。

上記近似式は、ショットの分散式、セルマイヤーの分散式、ヘルツバーガーの分散式又はコンラディの分散式であってもよい。また、上記係数の数が３つである場合には、上記近似式は、ショットの分散式、ヘルツバーガーの分散式又はコンラディの分散式であってもよい。

上記近似式は、測定光の波長の数と同じ数の係数を含んでいてもよい。この場合、上記近似式における係数の数が、測定光の波長の数と同じになるように、一部の項が省略された近似式が用いられてもよい。

前記光源部には、ヘリウムランプが含まれていてもよい。この場合、前記係数算出処理部は、前記ヘリウムランプからの測定光を用いて測定したヘリウムｄ線の波長における屈折率の測定値を用いて、前記少なくとも３つの係数を算出することが好ましい。

このような構成によれば、ヘリウムｄ線の波長における屈折率の測定値を用いて、近似式に含まれる少なくとも３つの係数を算出し、算出された係数及びナトリウムＤ線の波長に基づいて、近似式によりナトリウムＤ線の波長における屈折率の近似値を算出することができる。ヘリウムｄ線とナトリウムＤ線は波長が近似しているため、ヘリウムｄ線の波長における屈折率の測定値を用いることにより、ナトリウムＤ線の波長における屈折率の近似値を精度よく算出することができる。

前記光源部には、水素ランプが含まれていてもよい。この場合、前記係数算出処理部は、前記ヘリウムランプからの測定光を用いて測定したヘリウムｄ線の波長における屈折率の測定値、並びに、前記水素ランプからの測定光を用いて測定した水素Ｃ線及び水素Ｆ線の各波長における屈折率の測定値を用いて、前記少なくとも３つの係数を算出することが好ましい。

このような構成によれば、ヘリウムｄ線、水素Ｃ線及び水素Ｆ線の各波長における屈折率の測定値を用いて、近似式に含まれる少なくとも３つの係数を算出し、算出された係数及びナトリウムＤ線の波長に基づいて、近似式によりナトリウムＤ線の波長における屈折率の近似値を算出することができる。これにより、Ｖブロック方式の屈折率測定装置に一般的に備えられているヘリウムランプ及び水素ランプを用いて、ナトリウムＤ線の波長における屈折率の近似値を精度よく算出することができるため、コストをかけることなく、アッベ方式の屈折率測定装置の利用分野にまで利用可能範囲を拡大することができる。

本発明に係る屈折率算出装置は、Ｖブロックプリズムを介して試料に測定光を照射することにより試料の屈折率を測定するＶブロック方式の屈折率測定装置に用いられる屈折率算出装置であって、ナトリウムＤ線以外の少なくとも３つの波長の測定光で測定された屈折率の測定値を用いて、波長と屈折率との関係を表す所定の近似式に含まれる少なくとも３つの係数を算出する係数算出処理部と、前記係数算出処理部により算出された係数及びナトリウムＤ線の波長に基づいて、前記近似式によりナトリウムＤ線の波長における屈折率の近似値を算出する屈折率算出処理部とを備えたことを特徴とする。

本発明に係る屈折率算出方法は、Ｖブロックプリズムを介して試料に測定光を照射することにより試料の屈折率を測定するＶブロック方式の屈折率測定装置に用いられる屈折率算出方法であって、ナトリウムＤ線以外の少なくとも３つの波長の測定光で測定された屈折率の測定値を用いて、波長と屈折率との関係を表す所定の近似式に含まれる少なくとも３つの係数を算出する係数算出ステップと、前記係数算出ステップにより算出された係数及びナトリウムＤ線の波長に基づいて、前記近似式によりナトリウムＤ線の波長における屈折率の近似値を算出する屈折率算出ステップとを含むことを特徴とする。

本発明によれば、光源としてナトリウムランプを追加することなく、ナトリウムＤ線の波長における試料の屈折率を測定可能にすることができるため、コストをかけることなく、アッベ方式の屈折率測定装置の利用分野にまで利用可能範囲を拡大することができる。

本発明の一実施形態に係るＶブロック方式の屈折率測定装置の構成例を示す概略平面図である。図１の屈折率測定装置における制御部の構成例を示すブロック図である。ショットの分散式を用いて各波長における屈折率の近似値を算出した場合の波長と誤差との関係を示すグラフである。コンラディの分散式を用いて各波長における屈折率の近似値を算出した場合の波長と誤差との関係を示すグラフである。

図１は、本発明の一実施形態に係るＶブロック方式の屈折率測定装置の構成例を示す概略平面図である。この屈折率測定装置は、Ｖブロックプリズム１を介して試料に測定光を照射することにより試料の屈折率を測定するＶブロック方式の屈折率測定装置である。

試料としては、例えばガラス、プラスチック又は液体などを挙げることができる。試料は、Ｖブロックプリズム１に形成されているＶ字状の溝１１（図１では溝１１を真上から見た図を示している。）に載置され、試料を透過した測定光を検出器２で検出することにより試料の屈折率を測定することができるようになっている。

この屈折率測定装置には、上述のＶブロックプリズム１及び検出器２に加えて、測定光を照射する光源部３と、光源部３からの測定光をＶブロックプリズム１に導く第１光学系４と、Ｖブロックプリズム１を透過した測定光を検出器２に導く第２光学系５とが備えられている。

光源部３には、複数の光源３１が備えられている。光源３１としては、例えばヘリウムランプ及び水素ランプが用いられ、ヘリウムｄ線、水素Ｃ線及び水素Ｆ線などの異なる波長の測定光を光源部３から照射することができるようになっている。光源３１からの測定光は、ミラー３２で反射され、光源部３から水平方向に照射される。ミラー３２は、垂直方向（図１における紙面前後方向）に延びる回転軸３２１を中心に回転可能となっており、ミラー３２の回転位置に応じた光源３１からの測定光を第１光学系４に導くことができる。ただし、光源３１は、上記のような種類に限られるものではない。

第１光学系４には、レンズ４１、ミラー４２，４３，４４、干渉フィルタ４５、スリット４６及びコリメータレンズ４７などが備えられている。光源部３からの測定光は、レンズ４１を通過し、ミラー４２，４３で順次に反射した後、干渉フィルタ４５に入射する。

干渉フィルタ４５は複数設けられており、光源３１の種類に応じて選択された干渉フィルタ４５が光路中に挿入されることにより、その干渉フィルタ４５に対応する特定波長の測定光（単色光）のみが干渉フィルタ４５を透過し、ミラー４４側へと導かれる。ミラー４４で反射した測定光は、スリット４６を通過し、コリメータレンズ４７で平行光とされた後、Ｖブロックプリズム１に入射する。Ｖブロックプリズム１に対して一方の端面１２から入射した測定光は、Ｖ字状の溝１１に載置されている試料を透過した後、再びＶブロックプリズム１を通り、Ｖブロックプリズム１と試料の屈折率差に応じた角度で他方の端面１３から出射する。

第２光学系５には、ミラー５１，５２、テレメータレンズ５３及びビームスプリッタ５４などが備えられている。第２光学系５は、モータ６の回転軸６１に取り付けられた円板７に固定されている。具体的には、ミラー５１，５２及びテレメータレンズ５３が、回転軸６１に対して偏心した位置で回転軸６１に平行に並び、ミラー５２及びビームスプリッタ５４が、回転軸６１に対して垂直方向に並ぶように、それぞれ円板７に固定されている。

ミラー５１は、測定光の入射方向に対して反射面が４５°傾斜するように配置されることにより、当該ミラー５１で反射した測定光は、進行方向が９０°変換されてテレメータレンズ５３に導かれる。テレメータレンズ５３は、Ｖブロックプリズム１からの測定光を集光させてミラー５２に導き、ミラー５２で反射した測定光は、ビームスプリッタ５４を透過して、円板７に固定された検出器２により検出される。

ミラー５１及びテレメータレンズ５３は、Ｖブロックプリズム１からの測定光の入射方向に対して垂直方向に１列に配置され、回転軸６１に対して偏心した位置で、テレメータ部５０として一体的に円板７に保持されている。したがって、モータ６を回転させることにより、回転軸６１を中心に円板７を回転させれば、Ｖブロックプリズム１に対するテレメータ部５０の位置を変化（走査）させ、Ｖブロックプリズム１からの測定光を異なる角度から受光して検出器２に導くことができる。モータ６は、例えばエンコーダ付きのサーボモータからなり、モータ６の回転角を正確に把握することができる。

一方、ビームスプリッタ５４で反射した測定光は、ミラー８で反射した後、レンズ９を通過して接眼部（図示せず）へと導かれ、当該接眼部において測定光の状態を目視することができる。ビームスプリッタ５４及びミラー８は、回転軸６１上に設けられており、Ｖブロックプリズム１の位置調整を行う際には、ビームスプリッタ５４とミラー８との間の光路上にオートコリメーションプリズム１０を挿入可能となっている。

なお、第２光学系５の光路中にビームスプリッタ５４とは別のビームスプリッタを設けて、第２光学系５を通過する測定光の一部をＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラなどのカメラへと導くことにより、当該カメラで撮像された画像を表示部（図示せず）の表示画面に表示させるような構成とすることもできる。

図２は、図１の屈折率測定装置における制御部１００の構成例を示すブロック図である。この屈折率測定装置の動作は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）を含む制御部１００により制御される。制御部１００は、ＣＰＵがプログラムを実行することにより、モータ駆動処理部１０１、屈折率測定処理部１０２、係数算出処理部１０３及び屈折率算出処理部１０４などとして機能する。

モータ駆動処理部１０１は、モータ６の駆動を制御するための処理を行う。試料の屈折率を測定する際には、モータ駆動処理部１０１が一定速度でモータ６を回転させることにより、Ｖブロックプリズム１に対してテレメータ部５０を走査させる。これにより、Ｖブロックプリズム１からの測定光が異なる角度から受光されて検出器２に導かれるため、モータ６の回転に伴い、検出器２における検出強度が変化することとなる。

屈折率測定処理部１０２は、モータ駆動処理部１０１により回転されるモータ６の回転角と検出器２における検出強度とに基づいて、試料の屈折率を測定するための処理を行う。具体的には、モータ６を回転させて、各回転角におけるＶブロックプリズム１からの測定光を検出器２で検出することにより、検出強度が最も高くなる回転角を特定し、その回転角とＶブロックプリズム１の屈折率とに基づいて試料の屈折率を測定することができる。

本実施形態では、屈折率測定処理部１０２により測定可能な屈折率、すなわちヘリウムｄ線、水素Ｃ線及び水素Ｆ線の各波長における屈折率以外の屈折率についても、波長と屈折率との関係を表す近似式を用いて、近似値を算出することができるようになっている。このような屈折率の近似値の算出に用いられる近似式は、例えばＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）により構成される記憶部２００に予め記憶しておくことができる。

係数算出処理部１０３は、上記近似式に含まれる係数を算出するための処理を行う（係数算出ステップ）。本実施形態では、屈折率測定処理部１０２においてヘリウムｄ線、水素Ｃ線及び水素Ｆ線の各波長の測定光で測定した屈折率の測定値を用いて、上記近似式に含まれる３つの係数を算出することができる。すなわち、測定可能な屈折率の数と同じ数の係数を含む近似式については、その近似式に含まれる全ての係数を係数算出処理部１０３により算出することが可能である。

屈折率測定処理部１０２において測定可能な屈折率の数が３つの場合、上記近似式としては、ショットの分散式、ヘルツバーガーの分散式又はコンラディの分散式などを挙げることができる。例えばショット分散式では、波長λと屈折率ｎとの関係が下記式（１）のような近似式で表される。

しかし、上記のような近似式では、係数ａ_０〜ａ_５が６つであるため、ヘリウムｄ線、水素Ｃ線及び水素Ｆ線の各波長の測定光で測定した３つの屈折率の測定値を用いて、上記近似式に含まれる全ての係数ａ_０〜ａ_５を算出することができない。このような場合には、下記式（２）のように、近似式における係数の数が、測定光の波長の数と同じになるように、一部の項が省略された近似式を用いることにより、当該近似式に含まれる全ての係数ａ_０〜ａ_２を算出することができる。

一方、下記式（３）で表されるコンラディの分散式のように、係数ｎ_０，Ａ，Ｂが３つの近似式の場合には、測定光の波長の数と同じ数の係数ｎ_０，Ａ，Ｂを含んでいるため、一部の項を省略することなく全ての係数ｎ_０，Ａ，Ｂを算出することができる。

屈折率算出処理部１０４は、係数算出処理部１０３により算出された係数及びナトリウムＤ線の波長に基づいて、上記近似式によりナトリウムＤ線の波長における屈折率の近似値を算出するための処理を行う（屈折率算出ステップ）。すなわち、記憶部２００に記憶されている近似式を読み出し、当該近似式に含まれる係数として係数算出処理部１０３により算出された係数を代入するとともに、波長λとしてナトリウムＤ線の波長（５８９．３ｎｍ）を代入することにより、ナトリウムＤ線の波長における屈折率ｎの近似値を算出することができる。

このように、本実施形態では、ナトリウムＤ線以外の３つの波長（ヘリウムｄ線、水素Ｃ線及び水素Ｆ線）の測定光で測定した屈折率の測定値を用いて、近似式に含まれる３つの係数を算出し、算出された係数及びナトリウムＤ線の波長に基づいて、近似式によりナトリウムＤ線の波長における屈折率の近似値を算出することができる。これにより、光源３１としてナトリウムランプを追加することなく、ナトリウムＤ線の波長における試料の屈折率を測定可能にすることができるため、コストをかけることなく、アッベ方式の屈折率測定装置の利用分野にまで利用可能範囲を拡大することができる。

図３は、ショットの分散式を用いて各波長における屈折率の近似値を算出した場合の波長と誤差との関係を示すグラフである。この図３では、ヘリウムｄ線、水素Ｃ線及び水素Ｆ線の各波長の測定光で測定した３つの屈折率の測定値を用いて、ショットの分散式の省略式である上記式（２）により、各波長における屈折率の近似値を算出した場合の誤差が示されている。

３種類の試料について、それぞれ屈折率の近似値を算出したところ、ヘリウムｄ線、水素Ｃ線及び水素Ｆ線の各波長においては、いずれの試料でも誤差は生じなかったが、それらの波長の中間波長（例えばｅ線の波長など）においては、各試料で誤差に大小はあるものの、いずれの試料でも誤差が生じた。

図４は、コンラディの分散式を用いて各波長における屈折率の近似値を算出した場合の波長と誤差との関係を示すグラフである。この図４では、ヘリウムｄ線、水素Ｃ線及び水素Ｆ線の各波長の測定光で測定した３つの屈折率の測定値を用いて、コンラディの分散式である上記式（３）により、各波長における屈折率の近似値を算出した場合の誤差が示されている。

ショットの分散式を用いた図３の結果と比べると、図４のようにコンラディの分散式を用いた方が全体的に誤差は小さくなる。しかし、図３及び図４のいずれにおいても、ｅ線の波長のような中間波長においては、算出される屈折率の近似値に大きな誤差が生じることとなる。一方で、ヘリウムｄ線とナトリウムＤ線は波長が近似しているため、ヘリウムｄ線の波長における屈折率の測定値を用いることにより、ナトリウムＤ線の波長における屈折率の近似値は精度よく算出することができる。

下記表１には、コンラディの分散式及びショットの分散式を用いて、ナトリウムＤ線の波長における屈折率の近似値を算出したときの誤差が示されている。試料としては６種類のガラスＡ〜Ｆを使用し、コンラディの分散式については上記式（３）を用いるとともに、ショットの分散式については６つの項を含む上記式（１）の他、３〜５つに項を省略した省略式も用いて誤差を算出した。

この表１の結果から、コンラディの分散式である上記式（３）及びショットの分散式である上記式（１）のいずれにおいても誤差は小さく、ショットの分散式の項を３〜５つに省略した場合であっても同様に誤差は小さいことが分かる。当該誤差は、いずれも１×１０^−５以下であり、少なくとも３つの波長の測定光で測定した屈折率の測定値を用いれば、ナトリウムＤ線の波長における屈折率の近似値を精度よく算出することができることが分かる。

以上の実施形態では、測定光が水平方向に沿って光源部３から検出器２まで導かれるような構成について説明した。しかし、このような構成に限らず、光源部３から検出器２に至る測定光の光路の少なくとも一部が、水平方向に対して傾斜していてもよい。この場合、モータ６の回転軸６１は、水平方向に延びるような構成に限らず、水平方向に対して傾斜した方向に延びるような構成であってもよい。

また、光源部３から検出器２に至る測定光の光路中に設けられた光学部材の構成は、上記実施形態において例示した構成に限らず、他の光学部材が設けられていてもよいし、一部の光学部材が省略されていてもよい。

光源部３は、４つ以上の波長の測定光を照射可能な構成であってもよい。この場合、例えば水銀ランプなどの他の光源３１が光源部３に備えられていてもよい。水銀ランプが光源３１として光源部３に備えられている場合には、水銀ｅ線、水銀ｇ線及び水銀ｈ線などの波長の測定光を光源部３から照射することができる。

以上の実施形態では、屈折率測定処理部１０２において測定可能な屈折率の数が３つの場合について説明したが、これに限らず、４つ以上であってもよい。このように、屈折率測定処理部１０２において測定可能な屈折率の数が４つ以上の場合、上記近似式としては、ショットの分散式、ヘルツバーガーの分散式又はコンラディの分散式に限らず、セルマイヤーの分散式などの他の近似式を用いることができる。

また、以上の実施形態では、屈折率測定装置に備えられた制御部１００により屈折率の近似値を算出するような構成について説明した。しかし、このような構成に限らず、制御部１００の一部（例えば係数算出処理部１０３及び屈折率算出処理部１０４）が屈折率測定装置とは分離して構成されることにより、屈折率算出装置として提供されてもよい。また、上記実施形態において係数算出処理部１０３及び屈折率算出処理部１０４により実行される屈折率算出方法は、人間が手動で行うことも可能である。

１Ｖブロックプリズム
２検出器
３光源部
４第１光学系
５第２光学系
６モータ
７円板
８ミラー
９レンズ
１０オートコリメーションプリズム
１１溝
１２端面
１３端面
３１光源
３２ミラー
４１レンズ
４２，４３，４４ミラー
４５干渉フィルタ
４６スリット
４７コリメータレンズ
５０テレメータ部
５１，５２ミラー
５３テレメータレンズ
５４ビームスプリッタ
６１回転軸
１００制御部
１０１モータ駆動処理部
１０２屈折率測定処理部
１０３係数算出処理部
１０４屈折率算出処理部
２００記憶部
３２１回転軸

Claims

Ｖブロックプリズムを介して試料に測定光を照射することにより試料の屈折率を測定するＶブロック方式の屈折率測定装置であって、
ナトリウムＤ線以外の少なくとも３つの波長の測定光を照射可能な光源部と、
試料を透過した測定光を検出する検出器と、
前記検出器における検出強度に基づいて試料の屈折率を測定する屈折率測定処理部と、
各波長の測定光で測定した屈折率の測定値を用いて、波長と屈折率との関係を表す所定の近似式に含まれる少なくとも３つの係数を算出する係数算出処理部と、
前記係数算出処理部により算出された係数及びナトリウムＤ線の波長に基づいて、前記近似式によりナトリウムＤ線の波長における屈折率の近似値を算出する屈折率算出処理部とを備えたことを特徴とするＶブロック方式の屈折率測定装置。
前記光源部には、ヘリウムランプが含まれており、
前記係数算出処理部は、前記ヘリウムランプからの測定光を用いて測定したヘリウムｄ線の波長における屈折率の測定値を用いて、前記少なくとも３つの係数を算出することを特徴とする請求項１に記載のＶブロック方式の屈折率測定装置。
前記光源部には、水素ランプが含まれており、
前記係数算出処理部は、前記ヘリウムランプからの測定光を用いて測定したヘリウムｄ線の波長における屈折率の測定値、並びに、前記水素ランプからの測定光を用いて測定した水素Ｃ線及び水素Ｆ線の各波長における屈折率の測定値を用いて、前記少なくとも３つの係数を算出することを特徴とする請求項２に記載のＶブロック方式の屈折率測定装置。
Ｖブロックプリズムを介して試料に測定光を照射することにより試料の屈折率を測定するＶブロック方式の屈折率測定装置に用いられる屈折率算出装置であって、
ナトリウムＤ線以外の少なくとも３つの波長の測定光で測定された屈折率の測定値を用いて、波長と屈折率との関係を表す所定の近似式に含まれる少なくとも３つの係数を算出する係数算出処理部と、
前記係数算出処理部により算出された係数及びナトリウムＤ線の波長に基づいて、前記近似式によりナトリウムＤ線の波長における屈折率の近似値を算出する屈折率算出処理部とを備えたことを特徴とする屈折率算出装置。
Ｖブロックプリズムを介して試料に測定光を照射することにより試料の屈折率を測定するＶブロック方式の屈折率測定装置に用いられる屈折率算出方法であって、
ナトリウムＤ線以外の少なくとも３つの波長の測定光で測定された屈折率の測定値を用いて、波長と屈折率との関係を表す所定の近似式に含まれる少なくとも３つの係数を算出する係数算出ステップと、
前記係数算出ステップにより算出された係数及びナトリウムＤ線の波長に基づいて、前記近似式によりナトリウムＤ線の波長における屈折率の近似値を算出する屈折率算出ステップとを含むことを特徴とする屈折率算出方法。