JP2011209003A5 - - Google Patents

Description

〔適用例１〕本適用例にかかる振動片は、第１基部と、前記第１基部から第１軸に沿って互いに反対方向に延出され、駆動電極が各々に設けられた第１駆動アームおよび第２駆動アームと、前記第１基部から前記第１軸と交差する第２軸に沿って延出され、検出電極が設けられた第１検出アームと、第２基部と、前記第２基部から前記第１軸に沿って互いに反対方向に延出され、駆動電極が各々に設けられた第３駆動アームおよび第４駆動アームと、前記第２基部から前記第２軸に沿って前記第１検出アームとは反対方向に延出され、検出電極が設けられた第２検出アームと、前記第１基部と前記第２基部とを接続する接続部と、を含むことを特徴とする。

〔適用例４〕上記適用例にかかる振動片において、前記駆動電極および前記検出電極は、第１電極および第２電極の間に配置された圧電体層を含む積層体であり、前記第１電極は下層に配置され、前記第１駆動アーム、前記第２駆動アーム、前記第３駆動アーム、第４駆動アーム、前記第１検出アーム、および第２検出アームは、各アームの延出する方向に並列に２つの前記積層体が設けられ、且つ、一方の前記積層体の前記第１電極と他方の前記積層体の前記第２電極とが接続され、一方の前記積層体の前記第２電極と他方の前記積層体の前記第１電極とが電気的に接続されていることを特徴とする。

〔適用例７〕本適用例にかかる角速度センサーは、上述の適用例に記載の振動片を用い、前記第１駆動アームおよび前記第２駆動アームを、前記第１軸と前記第２軸とを含む第１面内で駆動させる第１駆動と、前記振動片が所定軸周りに回転したときに加わるコリオリ力により、前記第１駆動アームおよび前記第２駆動アームが前記第１面に直交する方向に駆動する第２駆動と、前記第２駆動により、前記検出アームが前記第１面に直交する方向に駆動する第３駆動と、を含み、前記第３駆動により生じる電圧を前記検出電極を介して検出することを特徴とする。

〔適用例８〕本適用例にかかる電子機器は、上記適用例にかかる振動片を搭載したことを特徴とする。

Claims (6)

1. 第１基部と、
   前記第１基部から第１軸に沿って互いに反対方向に延出され、駆動電極が各々に設けられた第１駆動アームおよび第２駆動アームと、
   前記第１基部から前記第１軸と交差する第２軸に沿って延出され、検出電極が設けられた第１検出アームと、
   第２基部と、
   前記第２基部から前記第１軸に沿って互いに反対方向に延出され、駆動電極が各々に設けられた第３駆動アームおよび第４駆動アームと、
   前記第２基部から前記第２軸に沿って前記第１検出アームとは反対方向に延出され、検出電極が設けられた第２検出アームと、
   前記第１基部と前記第２基部とを接続する接続部と、
   を含むことを特徴とする振動片。
2. 請求項１に記載の振動片において、
   前記駆動電極および前記検出電極は、第１電極および第２電極の間に配置された圧電体層を含む積層体であり、前記第１電極は下層に配置され、
   前記第１駆動アーム、前記第２駆動アーム、前記第３駆動アーム、第４駆動アーム、前記第１検出アーム、および第２検出アームは、各アームの延出する方向に並列に２つの前記積層体が設けられ、且つ、一方の前記積層体の前記第１電極と他方の前記積層体の前記第２電極とが接続され、一方の前記積層体の前記第２電極と他方の前記積層体の前記第１電極とが電気的に接続されていることを特徴とする振動片。
3. 請求項１に記載の振動片において、
   前記検出電極が、櫛歯状電極であることを特徴とする振動片。
4. 請求項１〜３のいずれか一項に記載の振動片において、
   前記第１駆動アーム、前記第２駆動アーム、前記第３駆動アーム、第４駆動アーム、前記第１検出アーム、および第２検出アームは、材料として水晶が用いられていることを特徴とする振動片。
5. 請求項１〜４のいずれか一項に記載の振動片を用い、
   前記第１駆動アームおよび前記第２駆動アームを、前記第１軸と前記第２軸とを含む第１面内で駆動させる第１駆動と、
   前記振動片が所定軸周りに回転したときに加わるコリオリ力により、前記第１駆動アームおよび前記第２駆動アームが前記第１面に直交する方向に駆動する第２駆動と、
   前記第２駆動により、前記検出アームが前記第１面に直交する方向に駆動する第３駆動と、を含み、
   前記第３駆動により生じる電圧を前記検出電極を介して検出することを特徴とする角速度センサー。
6. 請求項１〜４のいずれか一項に記載の振動片を搭載した電子機器。