JP2011194278A5

JP2011194278A5 - 液体塗布装置及びインプリントシステム

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Publication number: JP2011194278A5
Application number: JP2010060919A
Authority: JP
Filing date: 2010-03-17
Publication date: 2012-10-11
Anticipated expiration: 2030-03-17

Description

上記目的を達成するために、本発明に係る液体塗布装置は、基板上に機能性を有する液体を打滴するための複数のノズルを具備するヘッドと、前記基板と前記ヘッドとを相対的に移動させる相対移動手段と、所定の打滴周期で前記ヘッドを動作させて前記液体を前記基板上に離散的に着弾させる打滴制御手段と、前記相対移動手段の移動方向と直交するｘ方向について、前記基板上の打滴間隔を可変させるｘ方向打滴間隔可変手段と、前記相対移動手段の移動方向と平行のｙ方向について、前記基板上の打滴間隔を可変させるｙ方向打滴間隔可変手段と、を備え、前記ヘッドは、前記ｘ方向に沿う行方向及び前記ｘ方向と角度θをなす斜めの列方向、又は前記ｘ方向と所定の角度γ（但し、０＜γ＜９０°）をなす方向に沿う行方向及び前記ｙ方向と所定の角度α（但し、０＜α＜９０°）をなす方向に沿う列方向について前記複数のノズルがマトリクス状に並べられた構造を有し、前記打滴制御手段は、前記ｘ方向打滴間隔可変手段を含み、前記ｘ方向打滴間隔可変手段は、使用されるノズルを切り換えて、前記複数のノズルを前記ｘ方向に並ぶように投影した投影ノズル群におけるノズル間隔のｎ倍（但し、ｎは正の整数）の単位で、基板上の前記ｘ方向における打滴間隔を可変させることを特徴とする。

（発明１）：基板上に機能性を有する液体を打滴するための複数のノズルを具備するヘッドと、前記基板と前記ヘッドとを相対的に移動させる相対移動手段と、所定の打滴周期で前記ヘッドを動作させて前記液体を前記基板上に離散的に着弾させる打滴制御手段と、前記相対移動手段の移動方向と直交するｘ方向について、前記基板上の打滴間隔を可変させるｘ方向打滴間隔可変手段と、前記相対移動手段の移動方向と平行のｙ方向について、前記基板上の打滴間隔を可変させるｙ方向打滴間隔可変手段と、を備え、前記ヘッドは、前記ｘ方向に沿う行方向及び前記ｘ方向と角度θをなす斜めの列方向、又は前記ｘ方向と所定の角度γ（但し、０＜γ＜９０°）をなす方向に沿う行方向及び前記ｙ方向と所定の角度α（但し、０＜α＜９０°）をなす方向に沿う列方向について前記複数のノズルがマトリクス状に並べられた構造を有し、前記打滴制御手段は、前記ｘ方向打滴間隔可変手段を含み、前記ｘ方向打滴間隔可変手段は、使用されるノズルを切り換えて、前記複数のノズルを前記ｘ方向に並ぶように投影した投影ノズル群におけるノズル間隔のｎ倍（但し、ｎは正の整数）の単位で、基板上の前記ｘ方向における打滴間隔を可変させることを特徴とする。

発明１によれば、ｘ方向について使用されるノズルを切り換えることで打滴ピッチを変更することができ、液体の配置が最適化される。

発明１において、ｘ方向について打滴配置を離散的にする態様として、ノズルのマトリクス配置の折り返しピッチをｘ方向の標準の打滴ピッチとする態様が挙げられる。

（発明２）：発明１に記載の液体塗布装置において、前記複数のノズルのそれぞれと連通する液室に液を供給する供給流路を複数備え、前記打滴制御手段は、同一の打滴タイミングにおいて、異なる供給流路から液の供給を受ける液室と連通するノズルから液体を打滴するように前記ヘッドを動作させることを特徴とする。

（発明３）：発明２に記載の液体塗布装置において、前記ｘ方向打滴間隔可変手段は、前記ヘッドの前記複数のノズルがマトリクス状に並べられた構造におけるノズルの折り返しピッチを前記ｘ方向の標準の打滴間隔とすることを特徴とする。（発明４）：発明１乃至３のいずれかに記載の液体塗布装置において、前記打滴制御手段は、同一の打滴タイミングにおいて、前記ｘ方向の最小ノズル間隔を超える前記ｘ方向の間隔を有する複数のノズルから液体を打滴するように前記ヘッドを動作させることを特徴とする。

（発明５）：発明１から４のいずれかに記載の液体塗布装置において、前記ヘッドは、前記列方向に沿って配置されたノズルと連通する圧力室は、同一の供給流路と連通される構造を有することを特徴とする液体塗布装置。発明１に記載の液体塗布装置において、前記ヘッドは、ｘ方向に前記複数のノズルが並べられた構造を有し、前記ｘ方向打滴間隔可変手段は、前記ヘッドをｘｙ平面内で回転させる回転手段を含む態様もありうる。

発明１に記載の液体塗布装置において、前記ヘッドは、ｘ方向に前記複数のノズルが並べられた構造を有するサブヘッドをｘ方向につなげた構造を有し、前記ｘ方向打滴間隔可変手段は、前記サブヘッドのそれぞれをｘｙ平面内で回転させるサブヘッド回転手段と、各サブヘッドの少なくとも１つをｘ方向に移動させるｘ方向移動手段とを含む態様もありうる。

（発明６）：発明１乃至５のいずれかに記載の液体塗布装置において、前記打滴制御手段は、前記基板上に液滴を離散的に着弾させるように最小打滴周期のｍ倍以上（但し、ｍは２以上の整数）の周期で前記ヘッドを動作させるとともに、前記ｙ方向打滴制御手段を含み、前記ｙ方向打滴間隔可変手段は、最小打滴周期以上、最小打滴周期の（ｍ−１）倍以下の遅延時間を、最小打滴周期を最小単位として生成する遅延時間生成手段を含み、前記遅延時間生成手段により生成された遅延時間を用いて前記ヘッドの駆動タイミングを遅らせて、前記ｙ方向における打滴間隔を前記最小打滴周期の単位で可変させることを特徴とする。

発明１に記載の液体塗布装置において、前記ヘッドをｘ方向に走査させる走査手段と、前記相対移動手段は、ｙ方向に前記ヘッドと前記基板とを相対的に移動させ、前記ヘッドは、ｙ方向に沿って複数のノズルが並べられたノズル群を少なくとも１つ具備し、前記ｙ方向打滴間隔可変手段は、前記ヘッドをｘｙ内で回転させる回転手段を含む態様もありうる。

発明１に記載の液体塗布装置において、前記ヘッドは、ｙ方向に前記複数のノズルが並べられた構造を有するサブヘッドをｙ方向につなげた構造を有し、前記ｙ方向打滴間隔可変手段は、前記サブヘッドのそれぞれをｘｙ平面内で回転させるサブヘッド回転手段と、各サブヘッドの少なくとも１つをｙ方向に移動させるｙ方向移動手段とを含む態様もありうる。

前記液体塗布装置において、前記打滴制御手段は、前記基板上に液滴を離散的に着弾させるように最小打滴周期のｍ倍以上（但し、ｍは２以上の整数）の周期で前記ヘッドを動作させるとともに、前記ｘ方向打滴制御手段を含み、前記ｘ方向打滴間隔可変手段は、最小打滴周期以上最小打滴周期の（ｍ−１）倍以下の遅延時間を最小打滴周期の単位で生成する遅延時間生成手段を含み、前記ｘ方向打滴間隔可変手段により遅延時間を用いて前記ヘッドの駆動タイミングを遅らせて、ｘ方向における打滴間隔を前記最小打滴周期の単位で可変させる態様もありうる。

本明細書は、基板上に機能性を有する液体を打滴するための複数のノズルを具備するヘッドと前記基板とを相対的に移動させ、所定の打滴周期で前記ヘッドを動作させて前記基板上に前記液体を離散的に着弾させる液体塗布方法において、前記相対移動方向と直交するｘ方向について、前記基板上の打滴間隔を可変させるｘ方向打滴間隔可変工程と、前記相対方向と平行のｙ方向について、前記基板上の打滴間隔を可変させるｙ方向打滴間隔可変工程と、を含むことを特徴とする液体塗布方法を開示する。

（発明７）：基板上に機能性を有する液体を打滴するための複数のノズルを具備するヘッドと、前記基板と前記ヘッドとを相対的に移動させる相対移動手段と、所定の打滴周期で前記ヘッドを動作させて前記液体を前記基板上に離散的に着弾させる打滴制御手段と、前記相対移動手段の移動方向と直交するｘ方向について、前記基板上の打滴間隔を可変させるｘ方向打滴間隔可変手段と、前記相対移動手段の移動方向と平行のｙ方向について、前記基板上の打滴間隔を可変させるｙ方向打滴間隔可変手段と、前記基板に塗布された液体を硬化させる硬化手段と、前記硬化手段により硬化させた液体、又は前記硬化手段により硬化させている途中の液体に凹凸パターンが形成された型を押し当てて、当該凹凸パターンを転写する転写手段と、を備え、前記ヘッドは、前記ｘ方向に沿う行方向及び前記ｘ方向と角度θをなす斜めの列方向、又は前記ｘ方向と所定の角度γ（但し、０＜γ＜９０°）をなす方向に沿う行方向及び前記ｙ方向と所定の角度α（但し、０＜α＜９０°）をなす方向に沿う列方向について前記複数のノズルがマトリクス状に並べられた構造を有し、前記打滴制御手段は、前記ｘ方向打滴間隔可変手段を含み、前記ｘ方向打滴間隔可変手段は、使用されるノズルを切り換えて、前記複数のノズルを前記ｘ方向に並ぶように投影した投影ノズル群におけるノズル間隔のｎ倍（但し、ｎは正の整数）の単位で、基板上の前記ｘ方向における打滴間隔を可変させることを特徴とするインプリントシステム。

Claims

基板上に機能性を有する液体を打滴するための複数のノズルを具備するヘッドと、
前記基板と前記ヘッドとを相対的に移動させる相対移動手段と、
所定の打滴周期で前記ヘッドを動作させて前記液体を前記基板上に離散的に着弾させる打滴制御手段と、
前記相対移動手段の移動方向と直交するｘ方向について、前記基板上の打滴間隔を可変させるｘ方向打滴間隔可変手段と、
前記相対移動手段の移動方向と平行のｙ方向について、前記基板上の打滴間隔を可変させるｙ方向打滴間隔可変手段と、
を備え、
前記ヘッドは、前記ｘ方向に沿う行方向及び前記ｘ方向と角度θをなす斜めの列方向、又は前記ｘ方向と所定の角度γ（但し、０＜γ＜９０°）をなす方向に沿う行方向及び前記ｙ方向と所定の角度α（但し、０＜α＜９０°）をなす方向に沿う列方向について前記複数のノズルがマトリクス状に並べられた構造を有し、
前記打滴制御手段は、前記ｘ方向打滴間隔可変手段を含み、
前記ｘ方向打滴間隔可変手段は、使用されるノズルを切り換えて、前記複数のノズルを前記ｘ方向に並ぶように投影した投影ノズル群におけるノズル間隔のｎ倍（但し、ｎは正の整数）の単位で、基板上の前記ｘ方向における打滴間隔を可変させることを特徴とする液体塗布装置。
請求項１に記載の液体塗布装置において、
前記複数のノズルのそれぞれと連通する液室に液を供給する供給流路を複数備え、
前記打滴制御手段は、同一の打滴タイミングにおいて、異なる供給流路から液の供給を受ける液室と連通するノズルから液体を打滴するように前記ヘッドを動作させることを特徴とする液体塗布装置。
請求項２に記載の液体塗布装置において、
前記ｘ方向打滴間隔可変手段は、前記ヘッドの前記複数のノズルがマトリクス状に並べられた構造におけるノズルの折り返しピッチを前記ｘ方向の標準の打滴間隔とすることを特徴とする液体塗布装置。
請求項１乃至３のいずれかに記載の液体塗布装置において、
前記打滴制御手段は、同一の打滴タイミングにおいて、前記ｘ方向の最小ノズル間隔を超える前記ｘ方向の間隔を有する複数のノズルから液体を打滴するように前記ヘッドを動作させることを特徴とする液体塗布装置。
請求項１から４のいずれかに記載の液体塗布装置において、
前記ヘッドは、前記列方向に沿って配置されたノズルと連通する圧力室は、同一の供給流路と連通される構造を有することを特徴とする液体塗布装置。
請求項１乃至５のいずれかに記載の液体塗布装置において、
前記打滴制御手段は、前記基板上に液滴を離散的に着弾させるように最小打滴周期のｍ倍以上（但し、ｍは２以上の整数）の周期で前記ヘッドを動作させるとともに、前記ｙ方向打滴制御手段を含み、
前記ｙ方向打滴間隔可変手段は、最小打滴周期以上、最小打滴周期の（ｍ−１）倍以下の遅延時間を、最小打滴周期を最小単位として生成する遅延時間生成手段を含み、前記遅延時間生成手段により生成された遅延時間を用いて前記ヘッドの駆動タイミングを遅らせて、前記ｙ方向における打滴間隔を前記最小打滴周期の単位で可変させることを特徴とする液体塗布装置。
基板上に機能性を有する液体を打滴するための複数のノズルを具備するヘッドと、
前記基板と前記ヘッドとを相対的に移動させる相対移動手段と、
所定の打滴周期で前記ヘッドを動作させて前記液体を前記基板上に離散的に着弾させる打滴制御手段と、
前記相対移動手段の移動方向と直交するｘ方向について、前記基板上の打滴間隔を可変させるｘ方向打滴間隔可変手段と、
前記相対移動手段の移動方向と平行のｙ方向について、前記基板上の打滴間隔を可変させるｙ方向打滴間隔可変手段と、
前記基板に塗布された液体を硬化させる硬化手段と、
前記硬化手段により硬化させた液体、又は前記硬化手段により硬化させている途中の液体に凹凸パターンが形成された型を押し当てて、当該凹凸パターンを転写する転写手段と、
を備え、
前記ヘッドは、前記ｘ方向に沿う行方向及び前記ｘ方向と角度θをなす斜めの列方向、又は前記ｘ方向と所定の角度γ（但し、０＜γ＜９０°）をなす方向に沿う行方向及び前記ｙ方向と所定の角度α（但し、０＜α＜９０°）をなす方向に沿う列方向について前記複数のノズルがマトリクス状に並べられた構造を有し、
前記打滴制御手段は、前記ｘ方向打滴間隔可変手段を含み、
前記ｘ方向打滴間隔可変手段は、使用されるノズルを切り換えて、前記複数のノズルを前記ｘ方向に並ぶように投影した投影ノズル群におけるノズル間隔のｎ倍（但し、ｎは正の整数）の単位で、基板上の前記ｘ方向における打滴間隔を可変させることを特徴とするインプリントシステム。