JP2011189422A - 関節装置及び基板搬送装置 - Google Patents
関節装置及び基板搬送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011189422A JP2011189422A JP2010055334A JP2010055334A JP2011189422A JP 2011189422 A JP2011189422 A JP 2011189422A JP 2010055334 A JP2010055334 A JP 2010055334A JP 2010055334 A JP2010055334 A JP 2010055334A JP 2011189422 A JP2011189422 A JP 2011189422A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lever
- gear
- support shaft
- rotation
- parallel link
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 57
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 173
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 33
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 abstract description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 6
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明の関節装置は、第1の平行リンクと、第2の平行リンクと、伝達機構とを具備する。第1の平行リンクは、第1の支点を中心とする第1の回転が可能な第1のレバーと、第2の支点を中心とする第2の回転が可能な第2のレバーとを有する。第2の平行リンクは、第1の支点を中心とする第3の回転が可能な第3のレバーと、第2の支点を中心とする第4の回転が可能な第4のレバーとを有する。伝達機構は、第1の支点を中心として第1の回転と共に回転する第1のギアと、第2の支点を中心として第2の回転と共に回転する第2のギアと、第1のギア及び第2のギアに噛合して回転する第3のギアと、前記第3のギアの回転と第3の回転及び第4の回転とを同期させる連結部とを有し、第1の平行リンクの駆動と第2の平行リンクの駆動とを連動させる。
【選択図】図1
Description
上記第1の平行リンクは、第1の支点を中心とする第1の回転が可能な第1のレバーと、第2の支点を中心とする第2の回転が可能な、上記第1のレバーに対向する第2のレバーとを有し、上記第1の回転と上記第2の回転によって駆動される。
上記第2の平行リンクは、上記第1の支点を中心とする第3の回転が可能な第3のレバーと、上記第2の支点を中心とする第4の回転が可能な、上記第3のレバーに対向する第4のレバーとを有し、上記第3の回転と上記第4の回転によって駆動される。
上記伝達機構は、上記第1の支点に配置され上記第1の支点を中心として前記第3の回転と共に回転する第1のギアと、上記第2の支点に配置され上記第2の支点を中心として前記第4の回転と共に回転する第2のギアと、上記第1のギア及び上記第2のギアに噛合して回転する第3のギアと、上記第3のギアと上記第1のレバーと上記第2のレバーのそれぞれに連結され、上記第1の回転及び上記第2の回転と上記第3のギアをの回転とを同期させる連結部とを有し、上記第1の平行リンクの駆動と上記第2の平行リンクの駆動とを連動させる。
上記第1の平行リンクは、第1の支点を中心とする第1の回転が可能な第1のレバーと、第2の支点を中心とする第2の回転が可能な、上記第1のレバーに対向する第2のレバーとを有し、上記第1の回転と上記第2の回転によって駆動される。
上記第2の平行リンクは、上記第1の支点を中心とする第3の回転が可能な第3のレバーと、上記第2の支点を中心とする第4の回転が可能な、上記第3のレバーに対向する第4のレバーとを有し、上記第3の回転と上記第4の回転によって駆動される。
上記伝達機構は、上記第1の支点に配置され上記第1の支点を中心として上記第1の回転と共に回転する第1のギアと、上記第2の支点に配置され上記第2の支点を中心として上記第2の回転と共に回転する第2のギアと、上記第1のギア及び上記第2のギアに噛合して回転する第3のギアと、上記第3のギアと上記第3のレバーと上記第4のレバーのそれぞれに連結され、上記第3のギアの回転と上記第3の回転及び上記第4の回転とを同期させる連結部とを有し、上記第1の平行リンクの駆動と上記第2の平行リンクの駆動とを連動させる。
上記駆動機構は、上記第1の平行リンクに接続され、上記第1の平行リンクを駆動する。
上記保持機構は、上記第2の平行リンクに接続され、基板を保持する。
上記第1の平行リンクは、第1の支点を中心とする第1の回転が可能な第1のレバーと、第2の支点を中心とする第2の回転が可能な、上記第1のレバーに対向する第2のレバーとを有し、上記第1の回転と上記第2の回転によって駆動される。
上記第2の平行リンクは、上記第1の支点を中心とする第3の回転が可能な第3のレバーと、上記第2の支点を中心とする第4の回転が可能な、上記第3のレバーに対向する第4のレバーとを有し、上記第3の回転と上記第4の回転によって駆動される。
上記伝達機構は、上記第1の支点に配置され上記第1の支点を中心として前記第3の回転と共に回転する第1のギアと、上記第2の支点に配置され上記第2の支点を中心として前記第4の回転と共に回転する第2のギアと、上記第1のギア及び上記第2のギアに噛合して回転する第3のギアと、上記第3のギアと上記第1のレバーと上記第2のレバーのそれぞれに連結され、上記第1の回転及び上記第2の回転と上記第3のギアの回転とを同期させる連結部とを有し、上記第1の平行リンクの駆動と上記第2の平行リンクの駆動とを連動させる。
上記第1の平行リンクは、第1の支点を中心とする第1の回転が可能な第1のレバーと、第2の支点を中心とする第2の回転が可能な、上記第1のレバーに対向する第2のレバーとを有し、上記第1の回転と上記第2の回転によって駆動される。
上記第2の平行リンクは、上記第1の支点を中心とする第3の回転が可能な第3のレバーと、上記第2の支点を中心とする第4の回転が可能な、上記第3のレバーに対向する第4のレバーとを有し、上記第3の回転と上記第4の回転によって駆動される。
上記伝達機構は、上記第1の支点に配置され上記第1の支点を中心として上記第1の回転と共に回転する第1のギアと、上記第2の支点に配置され上記第2の支点を中心として上記第2の回転と共に回転する第2のギアと、上記第1のギア及び上記第2のギアに噛合して回転する第3のギアと、上記第3のギアと上記第3のレバーと上記第4のレバーのそれぞれに連結され、上記第3のギアの回転と上記第3の回転及び上記第4の回転とを同期させる連結部とを有し、上記第1の平行リンクの駆動と上記第2の平行リンクの駆動とを連動させる。
上記駆動機構は、上記第1の平行リンクに接続され、上記第1の平行リンクを駆動する。
上記保持機構は、上記第2の平行リンクに接続され、基板を保持する。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る基板搬送装置1を示す斜視図である。
図2は、図1の反対側から視た基板搬送装置1を示す斜視図である。
同図に示すように、基板搬送装置1は、2つのアームユニット(第1のアームユニット2a及び第2のアームユニット2b)と基部20とを有する。第1のアームユニット2a及び第2のアームユニット2bは基部20に支持されている。なお、アームユニットの数は2つに限られず、例えば1つでもよい。
図4は、駆動ユニット3の構造を示す断面図である。
図5は、第1の関節機構4aの構造を示す模式図である。
第1の関節機構4aは、第1の平行リンク5、第2の平行リンク6及び伝達機構7を有する。第1の平行リンク5及び第2の平行リンク6は連結され、伝達機構7によって連動される。
伝達機構7は、第2の平行リンク6を第1の平行リンク5に連動させる。伝達機構7は第7のレバー18、第1のギア75、第2のギア76、第3のギア77、第5の支軸71、第6の支軸72、第7の支軸78及び連結部79を有する。
図1及び図2に示すように、第1の保持機構21aは、第1の関節機構4aに接続され、搬送対象物である基板を保持する。第1の保持機構21aは、基板保持部84と支持部85を有する。支持部85は第3のレバー10および第4のレバー11に接続されている。基板保持部84と支持部85とは同一の部材で構成されてもよいし、別の部材で構成されてもよい。
図7は、第1の関節機構4aの動作を示す模式図である。
図7(A)は第1の関節機構4aが縮んでいる状態を示し、図7(B)は第1の関節機構4aが伸びている状態を示す。
本発明の第2の実施形態に係る基板搬送装置100について説明する。
第1の実施形態に係る基板搬送装置1と同様の構成については同一の符号を付し、説明を省略する。
基板搬送装置100は、第1の実施形態に係る基板搬送装置1と、第1の関節機構及び第2の関節機構の構成が異なる。
基板搬送装置100は、第1の関節機構104a及び第2の関節機構104bを有する。
図8は、第1の関節機構104aの構造を示す模式図である。
第1の関節機構104aは、第1の平行リンク105、第2の平行リンク106及び伝達機構107を有する。第1の平行リンク105及び第2の平行リンク106は連結され、伝達機構107によって連動される。
伝達機構107は、第2の平行リンク106を第1の平行リンク105に連動させる。伝達機構107は第7のレバー118、第1のギア175、第2のギア176、第3のギア177、第5の支軸171、第6の支軸172、第7の支軸178及び連結部179を有する。
図10は、第1の関節機構104aの動作を示す模式図である。
図10(A)は第1の関節機構104aが縮んでいる状態を示し、図10(B)は第1の関節機構104aが伸びている状態を示す。
3a 第1の駆動機構
3b 第2の駆動機構
4a 第1の関節機構
4b 第2の関節機構
5 第1の平行リンク
6 第2の平行リンク
7 伝達機構
8 第1のレバー
9 第2のレバー
10 第3のレバー
11 第4のレバー
16 第5のレバー
17 第6のレバー
75 第1のギア
76 第2のギア
77 第3のギア
79 連結部
21a 第1の保持機構
21b 第2の保持機構
100 基板搬送装置
104a 第1の関節機構
104b 第2の関節機構
105 第1の平行リンク
106 第2の平行リンク
107 伝達機構
108 第1のレバー
109 第2のレバー
110 第3のレバー
111 第4のレバー
116 第5のレバー
117 第6のレバー
175 第1のギア
176 第2のギア
177 第3のギア
179 連結部
Claims (6)
- 第1の支点を中心とする第1の回転が可能な第1のレバーと、第2の支点を中心とする第2の回転が可能な、前記第1のレバーに対向する第2のレバーとを有し、前記第1の回転と前記第2の回転によって駆動される第1の平行リンクと、
前記第1の支点を中心とする第3の回転が可能な第3のレバーと、前記第2の支点を中心とする第4の回転が可能な、前記第3のレバーに対向する第4のレバーとを有し、前記第3の回転と前記第4の回転によって駆動される第2の平行リンクと、
前記第1の支点に配置され前記第1の支点を中心として前記第3の回転と共に回転する第1のギアと、前記第2の支点に配置され前記第2の支点を中心として前記第4の回転と共に回転する第2のギアと、前記第1のギア及び前記第2のギアに噛合して回転する第3のギアと、前記第3のギアと前記第1のレバーと前記第2のレバーのそれぞれに連結され、前記第1の回転及び前記第2の回転と前記第3のギアの回転とを同期させる連結部とを有し、前記第1の平行リンクの駆動と前記第2の平行リンクの駆動とを連動させる伝達機構と
を具備する関節装置。 - 請求項1に記載の関節装置であって、
前記連結部は、前記第1のレバー及び前記第2のレバーにそれぞれ回転可能に支持された第6のレバーと、前記第6のレバーに回転可能に支持され前記第3のギアの回転と共に回転する第5のレバーとを有する
関節装置。 - 第1の支点を中心とする第1の回転が可能な第1のレバーと、第2の支点を中心とする第2の回転が可能な、前記第1のレバーに対向する第2のレバーとを有し、前記第1の回転と前記第2の回転によって駆動される第1の平行リンクと、
前記第1の支点を中心とする第3の回転が可能な第3のレバーと、前記第2の支点を中心とする第4の回転が可能な、前記第3のレバーに対向する第4のレバーとを有し、前記第3の回転と前記第4の回転によって駆動される第2の平行リンクと、
前記第1の支点に配置され前記第1の支点を中心として前記第1の回転と共に回転する第1のギアと、前記第2の支点に配置され前記第2の支点を中心として前記第2の回転と共に回転する第2のギアと、前記第1のギア及び前記第2のギアに噛合して回転する第3のギアと、前記第3のギアと前記第3のレバーと前記第4のレバーのそれぞれに連結され、前記第3のギアの回転と前記第3の回転及び前記第4の回転とを同期させる連結部とを有し、前記第1の平行リンクの駆動と前記第2の平行リンクの駆動とを連動させる伝達機構と
を具備する関節装置。 - 請求項3に記載の関節装置であって、
前記連結部は、前記第3のレバー及び前記第4のレバーにそれぞれ回転可能に支持された第6のレバーと、前記第6のレバーに回転可能に支持され前記第3のギアの回転と共に回転する第5のレバーとを有する
関節装置。 - 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の関節装置であって、
前記第3のギアは、前記第1の支点と前記第2の支点の間の点を中心とする
関節装置。 - 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の関節装置と、
前記第1の平行リンクに接続され、前記第1の平行リンクを駆動する駆動機構と、
前記第2の平行リンクに接続され、基板を保持する保持機構と
を具備する基板搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010055334A JP5463174B2 (ja) | 2010-03-12 | 2010-03-12 | 関節装置及び基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010055334A JP5463174B2 (ja) | 2010-03-12 | 2010-03-12 | 関節装置及び基板搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011189422A true JP2011189422A (ja) | 2011-09-29 |
JP5463174B2 JP5463174B2 (ja) | 2014-04-09 |
Family
ID=44794889
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010055334A Active JP5463174B2 (ja) | 2010-03-12 | 2010-03-12 | 関節装置及び基板搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5463174B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9647513B2 (en) | 2013-10-07 | 2017-05-09 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Actuator unit, robot including the same, and reducing apparatus |
CN106891210A (zh) * | 2017-02-06 | 2017-06-27 | 岳睿 | 盘套类磨削零件自动化传送机械装置 |
JP2023004871A (ja) * | 2021-06-25 | 2023-01-17 | 株式会社ティーロボティクス | 真空チャンバで基板を移送するための基板移送ロボット |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01170584U (ja) * | 1989-06-13 | 1989-12-01 | ||
JPH0430447A (ja) * | 1990-05-25 | 1992-02-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板の移し換え装置 |
JPH0642602A (ja) * | 1992-04-13 | 1994-02-18 | Ulvac Japan Ltd | 同軸駆動部を有する平行リンクロボット |
JPH071375A (ja) * | 1993-04-24 | 1995-01-06 | Sony Corp | 真空装置用搬送機構 |
JPH09323276A (ja) * | 1996-06-03 | 1997-12-16 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 搬送装置及びロボットアーム |
JPH10249757A (ja) * | 1997-03-18 | 1998-09-22 | Komatsu Ltd | 搬送用ロボット |
JPH11188670A (ja) * | 1997-12-26 | 1999-07-13 | Daihen Corp | 2アーム方式の搬送用ロボット装置 |
JPH11188671A (ja) * | 1997-12-26 | 1999-07-13 | Daihen Corp | 2アーム方式の搬送用ロボット装置 |
JP2000042954A (ja) * | 1998-07-25 | 2000-02-15 | Daihen Corp | 搬送用ロボット装置 |
JP2006041233A (ja) * | 2004-07-28 | 2006-02-09 | Jel:Kk | 搬送アーム |
JP2007015023A (ja) * | 2005-07-05 | 2007-01-25 | Daihen Corp | リンク装置および搬送ロボット |
WO2008059815A1 (fr) * | 2006-11-14 | 2008-05-22 | Ulvac, Inc. | Dispositif d'introduction de rotation, dispositif de transfert de substrat, appareil de traitement à vide |
JP2008188718A (ja) * | 2007-02-06 | 2008-08-21 | Tadamoto Tamai | 対象物保持アーム |
JP2008264980A (ja) * | 2007-04-24 | 2008-11-06 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 基板搬送ロボット |
-
2010
- 2010-03-12 JP JP2010055334A patent/JP5463174B2/ja active Active
Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01170584U (ja) * | 1989-06-13 | 1989-12-01 | ||
JPH0430447A (ja) * | 1990-05-25 | 1992-02-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板の移し換え装置 |
JPH0642602A (ja) * | 1992-04-13 | 1994-02-18 | Ulvac Japan Ltd | 同軸駆動部を有する平行リンクロボット |
JPH071375A (ja) * | 1993-04-24 | 1995-01-06 | Sony Corp | 真空装置用搬送機構 |
JPH09323276A (ja) * | 1996-06-03 | 1997-12-16 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 搬送装置及びロボットアーム |
JPH10249757A (ja) * | 1997-03-18 | 1998-09-22 | Komatsu Ltd | 搬送用ロボット |
JPH11188670A (ja) * | 1997-12-26 | 1999-07-13 | Daihen Corp | 2アーム方式の搬送用ロボット装置 |
JPH11188671A (ja) * | 1997-12-26 | 1999-07-13 | Daihen Corp | 2アーム方式の搬送用ロボット装置 |
JP2000042954A (ja) * | 1998-07-25 | 2000-02-15 | Daihen Corp | 搬送用ロボット装置 |
JP2006041233A (ja) * | 2004-07-28 | 2006-02-09 | Jel:Kk | 搬送アーム |
JP2007015023A (ja) * | 2005-07-05 | 2007-01-25 | Daihen Corp | リンク装置および搬送ロボット |
WO2008059815A1 (fr) * | 2006-11-14 | 2008-05-22 | Ulvac, Inc. | Dispositif d'introduction de rotation, dispositif de transfert de substrat, appareil de traitement à vide |
JP2008188718A (ja) * | 2007-02-06 | 2008-08-21 | Tadamoto Tamai | 対象物保持アーム |
JP2008264980A (ja) * | 2007-04-24 | 2008-11-06 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 基板搬送ロボット |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9647513B2 (en) | 2013-10-07 | 2017-05-09 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Actuator unit, robot including the same, and reducing apparatus |
CN106891210A (zh) * | 2017-02-06 | 2017-06-27 | 岳睿 | 盘套类磨削零件自动化传送机械装置 |
JP2023004871A (ja) * | 2021-06-25 | 2023-01-17 | 株式会社ティーロボティクス | 真空チャンバで基板を移送するための基板移送ロボット |
JP7288711B2 (ja) | 2021-06-25 | 2023-06-08 | 株式会社ティーロボティクス | 真空チャンバで基板を移送するための基板移送ロボット |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5463174B2 (ja) | 2014-04-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5160902B2 (ja) | 4自由度高速パラレルロボット | |
JP6607661B2 (ja) | 水平多関節ロボット | |
US20110135437A1 (en) | Horizontal multi-joint robot and transportation apparatus including the same | |
KR101191074B1 (ko) | 반송 장치 및 이것을 사용한 진공 처리 장치 | |
JP2005039047A (ja) | 多関節ロボット | |
JP4628602B2 (ja) | ロボットアーム | |
JP2010247280A (ja) | 多自由度ロボット装置 | |
JP2015139854A (ja) | 産業用ロボット | |
JP2008264881A (ja) | 作業装置 | |
JP5463174B2 (ja) | 関節装置及び基板搬送装置 | |
TWI558522B (zh) | Industrial robots | |
JP4697791B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
JP2007019216A (ja) | 基板の搬送ロボット | |
JP6557475B2 (ja) | 産業用ロボット | |
KR101071606B1 (ko) | 반송 장치 | |
JPWO2011010448A1 (ja) | 回転伝達機構、搬送装置及び駆動装置 | |
WO2015020089A1 (ja) | 水平多関節ロボットおよび水平多関節ロボットの製造方法 | |
US7018162B2 (en) | Articulated carrying device | |
JP3719354B2 (ja) | 搬送装置 | |
JP2002273681A (ja) | 産業用ロボット | |
JP5770498B2 (ja) | 回転駆動装置及び搬送装置 | |
JP2008188718A (ja) | 対象物保持アーム | |
JP4550164B2 (ja) | 搬送装置及び真空処理装置 | |
JP5550197B2 (ja) | 搬送装置 | |
JP5075459B2 (ja) | 搬送装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130201 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131219 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140107 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140120 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5463174 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |