JP2023004871A - 真空チャンバで基板を移送するための基板移送ロボット - Google Patents
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Abstract
Description
100:下部支持体
200:移送アームプラットフォーム
300:第1移送アーム部
400:第2移送アーム部
500:第1エンドエフェクタ
600:第2エンドエフェクタ
Claims (5)
- 真空チャンバ内で基板を移送するための基板移送ロボットにおいて、
第1中央領域に、下部支持体の移送ロボットの結合部に形成された支持軸の中空に対応する第1貫通孔が形成された第1係止部材により第1上部空間と第1下部空間とに区分され、前記第1上部空間が第1カバーにより封止された第1結合孔、一方の第1先端領域に第2貫通孔が形成された第2係止部材により第2上部空間と第2下部空間とに区分され、前記第2下部空間が第2カバーにより封止された第2結合孔、及び他方の第1先端領域に第3貫通孔が形成された第3係止部材により第3上部空間と第3下部空間とに区分され、前記第3下部空間が第3カバーにより封止された第3結合孔が形成され、前記真空チャンバに結合された工程チャンバに基板を移送するために前記基板移送ロボットが位置した状態で、前記工程チャンバが位置する方向である前方領域にリンク結合のための第1ブレードと第2ブレードとを含むリンク連結部材が固定結合され、前記第1下部空間に引き入れられた前記下部支持体の前記支持軸が前記第1係止部材に固定結合された移送アームプラットフォーム;
密閉された内部空間に、第1移送駆動モータと、前記第1移送駆動モータに連動して回転速度を1/2に減速する第1減速機とが設けられ、前記第1減速機に連動する中空が形成された第1_1駆動軸と、前記第1_1駆動軸に連動する第1_1出力軸とが一方の第1_1先端領域に封止されるように設けられ、前記第1移送駆動モータに連動する中空が形成された第1_2駆動軸と、前記第1_2駆動軸に連動する第1_2出力軸とが他方の第1_1先端領域に封止されるように設けられ、前記移送アームプラットフォームの前記第2上部空間に引き入れられ、前記第2係止部材に固定結合された第1連結部材に前記第1_1出力軸が固定結合された第1_1移送リンクアーム:一方の第1_2先端領域が前記第1_1移送リンクアームの前記第1_2出力軸に第1固定結合軸を通じて固定結合された第1_2移送リンクアーム:第2中央領域が前記第1固定結合軸に回転可能に結合される第1共通リンクアーム:前記第1_1移送リンクアームに平行であり、一方の第1_4先端領域が前記移送アームプラットフォームの前記リンク連結部材の前記第1ブレードに回転可能に結合され、他方の第1_4先端領域が前記第1共通リンクアームの一方の第1_3先端領域に回転可能に結合される第1_1補助リンクアーム:前記第1_2移送リンクアームに平行であり、一方の第1_5先端領域が前記第1共通リンクアームの他方の第1_3先端領域に回転可能に結合される第1_2補助リンクアーム:前記第1共通リンクアームに平行であり、一方の第1_6先端領域が前記第1_2補助リンクアームの他方の第1_5先端領域に回転可能に結合され、他方の第1_6先端領域が前記第1_2移送リンクアームの他方の第1_2先端領域に回転可能に結合される第1_3補助リンクアーム:及び前記第1_3補助リンクアームの前記他方の第1_6先端領域に固定され、前記基板を支持する第1エンドエフェクタ:を含む第1移送アーム部;及び
密閉された内部空間に、第2移送駆動モータと、前記第2移送駆動モータに連動して回転速度を1/2に減速する第2減速機とが設けられ、前記第2減速機に連動する中空が形成された第2_1駆動軸と、前記第2_1駆動軸に連動する第2_1出力軸とが一方の第2_1先端領域に封止されるように設けられ、前記第2移送駆動モータに連動する中空が形成された第2_2駆動軸と、前記第2_2駆動軸に連動する第2_2出力軸とが他方の第2_1先端領域に封止されるように設けられ、前記移送アームプラットフォームの前記第3上部空間に引き入れられ、前記第3係止部材に固定結合された第2連結部材に前記第2_1出力軸が固定結合された第2_1移送リンクアーム:一方の第2_2先端領域が前記第2_1移送リンクアームの前記第2_2出力軸に第2固定結合軸を通じて固定結合された第2_2移送リンクアーム:第3中央領域が前記第2固定結合軸に回転可能に結合される第2共通リンクアーム:前記第2_1移送リンクアームに平行であり、一方の第2_4先端領域が前記移送アームプラットフォームの前記リンク連結部材の前記第2ブレードに回転可能に結合され、他方の第2_4先端領域が前記第2共通リンクアームの一方の第2_3先端領域に回転可能に結合される第2_1補助リンクアーム:前記第2_2移送リンクアームに平行であり、一方の第2_5先端領域が前記第2共通リンクアームの他方の第2_3先端領域に回転可能に結合される第2_2補助リンクアーム:前記第2共通リンクアームに平行であり、一方の第2_6先端領域が前記第2_2補助リンクアームの他方の第2_5先端領域に回転可能に結合され、他方の第2_6先端領域が前記第2_2移送リンクアームの他方の第2_2先端領域に回転可能に結合される第2_3補助リンクアーム:及び前記第2_3補助リンクアームの前記他方の第2_6先端領域にブラケットを通じて固定され、前記基板を支持する第2エンドエフェクタ:を含む第2移送アーム部;
を含むことを特徴とする基板移送ロボット。 - 前記第1移送アーム部の前記第1_1移送リンクアームの前記他方の第1_1先端領域は、前記移送アームプラットフォームの前方領域に位置し、前記第2移送アーム部の前記第2_1移送リンクアームの前記他方の第2_1先端領域は、前記移送アームプラットフォームの後方領域に位置することを特徴とする、請求項1に記載の基板移送ロボット。
- 前記移送アームプラットフォームは、前記第1上部空間と前記第2下部空間とを連結する第1配線孔と、前記第1上部空間と前記第3下部空間とを連結する第2配線孔と、をさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の基板移送ロボット。
- 前記移送アームプラットフォームは、前記移送アームプラットフォームの本体の一側面にて前記第1上部空間をそれぞれ連結する第1_1配線孔及び第1_2配線孔、前記移送アームプラットフォームの本体の一側面にて前記第2下部空間を連結する第2_1配線孔、前記移送アームプラットフォームの本体の一側面にて前記第3下部空間を連結する第2_2配線孔、前記第1_1配線孔及び前記第2_1配線孔を前記移送アームプラットフォームの本体の一側面にて封止する第1封止カバー、及び、前記第1_2配線孔及び前記第2_2配線孔を前記移送アームプラットフォームの本体の一側面にて封止する第2封止カバーをさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の基板移送ロボット。
- 前記第1移送駆動モータの動作のための第1配線と、前記第2移送駆動モータの動作のための第2配線とをさらに含み、
前記第1配線は、前記支持軸、前記第1_1駆動軸のそれぞれの中空を通じて、前記第1移送駆動モータに引き入れられるようにして、前記真空チャンバの内部空間から密閉されるようにし、
前記第2配線は、前記支持軸、前記第2_1駆動軸のそれぞれの中空を通じて、前記第2移送駆動モータに引き入れられるようにして、前記真空チャンバの内部空間から密閉されるようにすることを特徴とする、請求項1に記載の基板移送ロボット。
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