CN115519526A - 用于在真空室内传送基板的基板传送机器人 - Google Patents

用于在真空室内传送基板的基板传送机器人 Download PDF

Info

Publication number
CN115519526A
CN115519526A CN202210452883.4A CN202210452883A CN115519526A CN 115519526 A CN115519526 A CN 115519526A CN 202210452883 A CN202210452883 A CN 202210452883A CN 115519526 A CN115519526 A CN 115519526A
Authority
CN
China
Prior art keywords
link arm
transport
arm
end region
shaft
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202210452883.4A
Other languages
English (en)
Inventor
李寿钟
金明辰
李昌成
白承煐
池昌弦
咸相辉
许文纪
朴宰炫
李太韩
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
T Robotics Co Ltd
Original Assignee
T Robotics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by T Robotics Co Ltd filed Critical T Robotics Co Ltd
Publication of CN115519526A publication Critical patent/CN115519526A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
    • B25J9/041—Cylindrical coordinate type
    • B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
    • B25J9/043—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm double selective compliance articulated robot arms [SCARA]
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/0084—Programme-controlled manipulators comprising a plurality of manipulators
    • B25J9/0087—Dual arms
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0075—Means for protecting the manipulator from its environment or vice versa
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J11/00—Manipulators not otherwise provided for
    • B25J11/0095—Manipulators transporting wafers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0025—Means for supplying energy to the end effector
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J21/00—Chambers provided with manipulation devices
    • B25J21/005—Clean rooms
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
    • B25J9/041—Cylindrical coordinate type
    • B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
    • B25J9/106—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links
    • B25J9/1065—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links with parallelograms
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations

Abstract

本发明涉及一种用于在真空室内传送基板的基板传送机器人，包括：传送臂平台，其形成有第1结合孔、第2结合孔及第3结合孔，在前方区域固定结合有包括用于连杆结合的第1叶片和第2叶片的连杆连接件，引入至所述第1下部空间的所述底部支撑体的所述支撑轴固定结合于所述第1卡止件；第1传送臂部，其包括第1_1传送连杆臂、第1_2传送连杆臂、第1共用连杆臂、第1_1辅助连杆臂、第1_2辅助连杆臂、第1_3辅助连杆臂及第1末端执行器；以及第2传送臂部，其包括第2_1传送连杆臂、第2_2传送连杆臂、第2共用连杆臂、第2_1辅助连杆臂、第2_2辅助连杆臂、第2_3辅助连杆臂及第2末端执行器。

Description

用于在真空室内传送基板的基板传送机器人
技术领域
本发明涉及一种基板传送机器人，更具体地，涉及一种用于在基板处理装置内的真空室中传送基板的基板传送机器人。
背景技术
通常，半导体元件用晶片、显示装置用玻璃基板，或薄膜太阳能电池用玻璃基板等基板通过在基板上执行各种工艺来制造。此时，基板装载于为每个工艺提供所需最佳条件的基板处理装置后被处理。
目前，为了提高生产率，能够批量处理基板的集群(cluster)式基板处理装置已被研发和使用。
集群式基板处理装置包括存储基板的负载锁定室、用于传送基板的传送室、以及用于执行每个工艺的多个工艺室。
另外，用于传送基板的基板传送机器人设置于真空状态的传送室，从而可以实施将基板从负载锁定室传送至传送室，将基板从传送室传送至负载锁定室，在传送室之间传送基板，或者传送基板以将其引入和引出工艺室。
近年来，为了应对基板的大型化，提高基板的处理能力，以及应对高重量的基板，正在对高刚性基板传送机器人进行研究。
另外，为了提高相对于制造装置设置面积的效率，在能够保持高真空的状态下，需要更小型的基板传送机器人。
为了应对这种需求，提出了一种基板传送机器人，其将臂本身形成为连杆结构，并密封构成每个连杆的臂(arm)内部，且在每个臂的内部设置驱动电机和减速机。
但是，如上所述的现有基板传送机器人以密封结构形成连杆臂结合的臂平台并在内部设置驱动电机，用于旋转每个连杆臂的减速机设置于每个连杆臂的内部。
因此，现有的基板传送机器人存在因在臂平台设置驱动电机而需要较大地形成臂平台的问题。
另外，由于现有的基板传送机器人需要在臂平台设置驱动电机，并在每个连杆臂设置减速机，因此在设置和维护方面存在困难。
即，当基板传送机器人的驱动发生问题时，为了维护，需要分解臂平台和每个连杆臂来确认驱动电机和减速机是否发生故障，因此存在维护需要较长时间的问题。
现有技术文献
专利文献
(专利文献1)KR10-2011-0052454A
发明内容
解决的技术问题
本发明旨在解决所有上述问题。
本发明的另一目的在于提供一种基板传送机器人，其可以从根本上阻止真空室内发生微粒。
本发明的另一目的在于提供一种更小型的基板传送机器人，以提高相对于制造装置设置面积的效率。
本发明的另一目的在于提供一种基板传送机器人，其在真空室内具有真空密封结构。
技术方案
本发明的特征用于实现上述本发明的目的和后述本发明的特征效果，其结构如下。
根据本发明的一实施例，提供一种用于在真空室内传送基板的基板传送机器人，其特征在于包括：传送臂平台，其形成有位于第1中央区域的第1结合孔、位于第1一前端区域的第2结合孔以及位于第1另一前端区域的第3结合孔，其中，所述第1结合孔被第1卡止件分为第1上部空间和第1下部空间，所述第1上部空间被第1盖子密封，所述第1卡止件形成有第1通孔，所述第1通孔对应于在底部支撑体的传送机器人结合部形成的支撑轴的中空；所述第2结合孔被第2卡止件分为第2上部空间和第2下部空间，所述第2下部空间被第2盖子密封，所述第2卡止件形成有第2通孔；所述第3结合孔被第3卡止件分为第3上部空间和第3下部空间，所述第3下部空间被第3盖子密封，所述第3卡止件形成有第3通孔，在前方区域固定结合有包括用于连杆结合的第1叶片和第2叶片的连杆连接件，所述前方是所述基板传送机器人为了将所述基板传送至与所述真空室结合的工艺室而配置的状态下所述工艺室所处的方向，引入至所述第1下部空间的所述底部支撑体的所述支撑轴固定结合于所述第1卡止件；第1传送臂部，其包括第1_1传送连杆臂、第1_2传送连杆臂、第1共用连杆臂、第1_1辅助连杆臂、第1_2辅助连杆臂、第1_3辅助连杆臂以及第1末端执行器，在所述第1_1传送连杆臂的密封的内部空间中设有第1传送驱动电机和第1减速机，所述第1减速机与所述第1传送驱动电机联动从而将转速降至1/2，在第1_1一前端区域密封地设置有第1_1驱动轴以及与所述第1_1驱动轴联动的第1_1输出轴，所述第1_1驱动轴与所述第1减速机联动且形成有中空，在第1_1另一前端区域密封地设置有第1_2驱动轴以及与所述第1_2驱动轴联动的第1_2输出轴，所述第1_2驱动轴与所述第1传送驱动电机联动且形成有中空，所述第1_1输出轴引入至所述传送臂平台的所述第2上部空间中并固定结合于与所述第2卡止件固定结合的第1连接件；所述第1_2传送连杆臂的第1_2一前端区域通过第1固定结合轴固定结合于所述第1_1传送连杆臂的所述第1_2输出轴；所述第1共用连杆臂的第2中央区域可旋转地结合于所述第1固定结合轴；所述第1_1辅助连杆臂平行于所述第1_1传送连杆臂，第1_4一前端区域可旋转地结合于所述传送臂平台的所述连杆连接件的所述第1叶片，第1_4另一前端区域可旋转地结合于所述第1共用连杆臂的第1_3一前端区域；所述第1_2辅助连杆臂平行于所述第1_2传送连杆臂，第1_5一前端区域可旋转地结合于所述第1共用连杆臂的第1_3另一前端区域；所述第1_3辅助连杆臂平行于所述第1共用连杆臂，第1_6一前端区域可旋转地结合于所述第1_2辅助连杆臂的第1_5另一前端区域，第1_6另一前端区域可旋转地结合于所述第1_2传送连杆臂的第1_2另一前端区域；所述第1末端执行器固定于所述第1_3辅助连杆臂的所述第1_6另一前端区域支撑所述基板；以及第2传送臂部，其包括第2_1传送连杆臂、第2_2传送连杆臂、第2共用连杆臂、第2_1辅助连杆臂、第2_2辅助连杆臂、第2_3辅助连杆臂以及第2末端执行器，在所述第2_1传送连杆臂的密封的内部空间中设有第2传送驱动电机和第2减速机，所述第2减速机与所述第2传送驱动电机联动从而将转速降至1/2，在所述第2_1传送连杆臂的第2_1一前端区域密封地设置有第2_1驱动轴以及与所述第2_1驱动轴联动的第2_1输出轴，所述第2_1驱动轴与所述第2减速机联动且形成有中空，在第2_1另一前端区域密封地设置有第2_2驱动轴以及与所述第2_2驱动轴联动的第2_2输出轴，所述第2_2驱动轴与所述第2传送驱动电机联动且形成有中空，所述第2_1输出轴引入至所述传送臂平台的所述第3上部空间中且固定结合于与所述第3卡止件固定结合的第2连接件；所述第2_2传送连杆臂的第2_2一前端区域通过第2固定结合轴固定结合于所述第2_1传送连杆臂的所述第2_2输出轴；所述第2共用连杆臂的第3中央区域可旋转地结合于所述第2固定结合轴；所述第2_1辅助连杆臂平行于所述第2_1传送连杆臂，第2_4一前端区域可旋转地结合于所述传送臂平台的所述连杆连接件的所述第2叶片，第2_4另一前端区域可旋转地结合于所述第2共用连杆臂的第2_3一前端区域；所述第2_2辅助连杆臂平行于所述第2_2传送连杆臂，第2_5一前端区域可旋转地结合于所述第2共用连杆臂的第2_3另一前端区域；所述第2_3辅助连杆臂平行于所述第2共用连杆臂，第2_6一前端区域可旋转地结合于所述第2_2辅助连杆臂的第2_5另一前端区域，第2_6另一前端区域可旋转地结合于所述第2_2传送连杆臂的第2_2另一前端区域；所述第2末端执行器通过支架固定于所述第2_3辅助连杆臂的所述第2_6另一前端区域支撑所述基板。
所述第1传送臂部的所述第1_1传送连杆臂的所述第1_1另一前端区域可以位于所述传送臂平台的前方区域，所述第2传送臂部的所述第2_1传送连杆臂的所述第2_1另一前端区域可以位于所述传送臂平台的后方区域。
所述传送臂平台可以进一步包括第1布线孔和第2布线孔，所述第1布线孔连接所述第1上部空间和所述第2下部空间，所述第2布线孔连接所述第1上部空间和所述第3下部空间。
所述传送臂平台可以进一步包括第1_1布线孔、第1_2布线孔、第2_1布线孔、第2_2布线孔、第1密封盖子以及第2密封盖子，所述第1_1布线孔和所述第1_2布线孔在所述传送臂平台主体的一侧面分别连接所述第1上部空间；所述第2_1布线孔在所述传送臂平台的主体的一侧面连接所述第2下部空间；所述第2_2布线孔在所述传送臂平台的主体的一侧面连接所述第3下部空间；所述第1密封盖子在所述传送臂平台的主体的一侧面密封所述第1_1布线孔和所述第2_1布线孔，所述第2密封盖子在所述传送臂平台的主体的一侧面密封所述第1_2布线孔和所述第2_2布线孔。
所述基板传送机器人可以进一步包括第1布线和第2布线，所述第1布线用于所述第1传送驱动电机的运行，所述第2布线用于所述第2传送驱动电机的运行，所述第1布线可以通过所述支撑轴、所述第1_1驱动轴各自的中空引入至所述第1传送驱动电机以相对于所述真空室的内部空间保持密封，所述第2布线可以通过所述支撑轴、所述第2_1驱动轴各自的中空引入至所述第2传送驱动电机以相对于所述真空室的内部空间保持密封。
有益效果
本发明通过在一个连杆臂内集合构成用于传送基板的驱动系统，可以提供小型化的基板传送机器人。
另外，本发明能够在设有驱动系统的一个连杆臂中对驱动系统进行维护，因此可以缩短维护时间。
另外，本发明具有与真空室完全密封的结构，因此可以从根本上防止微粒的发生。
附图说明
用于描述本发明实施例的以下附图仅为本发明实施例的一部分，并且本发明所属领域的普通技术人员(以下称为“普通技术人员”)可以基于这些附图获得其他附图，而无需进行任何创造性工作。
图1和图2为根据本发明一实施例的基板传送机器人的示意图；
图3a至图3c为根据本发明一实施例的基板传送机器人的传送臂平台的示意图；
图4为根据本发明一实施例的基板传送机器人的第1_1传送连杆臂的示意图；
图5为根据本发明一实施例的基板传送机器人的第1_1传送连杆臂与第1_2传送连杆臂连接部分的示意图；
图6和图7为根据本发明另一实施例的基板传送机器人的示意图。
附图标记说明
1000：基板传送机器人
100：底部支撑体
200：传送臂平台
300：第一传送臂部
400：第二传送臂部
500：第一末端执行器
600：第二末端执行器
具体实施方式
以下本发明的详细描述参考附图，所述附图示意性示出可以实施本发明的特定实施例，以阐明本发明的目的、技术方案和优点。对这些实施例进行了充分详细的描述，以使普通技术人员能够实施本发明。
以下本发明的详细描述为能够实施本发明的具体实施例，其参考附图。对这些实施例进行了充分详细的描述，以使所属领域的技术人员能够实施本发明。应当理解，本发明的各种实施例不同但无需相互排斥。例如，在不超出本发明的技术构思与范围的前提下，本说明书中描述的特定形状、结构以及特性能够通过其它实施例实现。另外，应当理解，在不超出本发明的技术构思与范围的前提下，公开的每个实施例中各构成要素的位置或配置可以被改变。因此，后述的详细描述并不具有限定含义，只要能够进行适当的描述，本发明的范围仅由与其权利要求所述等同的所有范围以及所附权利要求而限定。附图中类似的附图标记在多个方面指代相同或类似的功能。
为了使所属领域的技术人员能够容易地实施本发明，下面将参考附图详细描述本发明的优选实施例。
图1和图2为根据本发明一实施例的用于在真空室内传送基板的基板传送机器人的示意图。
参考图1和图2，基板传送机器人1000可以包括传送臂平台200、第1传送臂部300以及第2传送臂部400，传送臂平台200与形成于传送机器人结合部的支撑轴101结合，第1传送臂部300、第2传送臂部400与传送臂平台200结合，用于支撑基板的第1末端执行器500和第2末端执行器600分别结合于第1传送臂部300、第2传送臂部400。
由此，当基板传送机器人1000位于真空室内的设定位置，并且第1末端执行器500或第2末端执行器600因底部支撑体100的上下运动而位于基板的装载或卸载位置时，第1末端执行器500或第2末端执行器600可以通过第1传送臂部300或第2传送臂部400的运行来装载或卸载基板。
此时，底部支撑体100可以包括升降部，其使基板传送机器人1000上下运动和旋转运动，基板传送机器人1000的上下位置可以由升降部的运行来调节，由此基板传送机器人1000可以在工艺室等中位于装载或卸载基板适当的高度。
另外，底部支撑体100可以进一步包括行走机器人，其结合于升降部上方并且可以使上方被支撑的基板传送机器人1000向设定方向行走。此时，行走机器人可以使针对形成于升降驱动轴的中空的密封在内部进行，并且可以使由升降驱动轴中空的内部线连接至支撑基板传送机器人100的支撑轴。
首先，传送臂平台200可以结合于底部支撑体100。
此时，参考图3a和图3b，传送臂平台200可以包括第1结合孔210、第2结合孔220以及第3结合孔230，第1结合孔210形成于第1中央区域，第2结合孔220形成于第1一前端区域，第3结合孔230形成于第1另一前端区域。
第1结合孔210被第1卡止件分为第1上部空间210_1和第1下部空间210_2，第1上部空间210_1可以被第1盖子240密封，第1卡止件的第1中央区域形成第1通孔，第1通孔对应于底部支撑体100的支撑轴101的中空。
另外，第2结合孔220被第2卡止件分为第2上部空间211_1和第2下部空间211_2，第2下部空间211_2可以被第2盖子250密封，第2卡止件的第1一前端区域形成有第2通孔。
另外，第3结合孔230被第3卡止件分为第3上部空间212_1和第3下部空间212_2，第3下部空间212_2可以被第3盖子260密封，第3卡止件的第1另一前端区域形成第3通孔。
另外，传送臂平台200可以在前方区域与连杆连接件290固定结合，连杆连接件290包括用于连杆结合的第1叶片291和第2叶片292。此时，前方可以是当基板传送机器人1000为将基板传送至与真空室结合的工艺室而定位时，工艺室所处的方向。
另外，传送臂平台200可以结合于底部支撑体100，具体地，通过使底部支撑体100的支撑轴101引入至第1结合孔210的第1下部空间210_2，可以使支撑轴101固定结合于第1卡止件。此时，在将支撑轴101固定结合于第1卡止件时，可以通过增加O型环、垫圈等密封件来提高固定结合区域的密封性能。增加O型环、垫圈等密封件的构成可同样适用于后述的其它结合部，因此将在后面的描述中不再赘述。
由此，由支撑轴101所致的外部环境可以在第1结合孔210中，从真空室内部的真空环境密封。
另一方面，布线孔可以形成于传送臂平台200，布线孔用于将通过底部支撑体100的支撑轴101中空引入的布线引入至第1传送臂部300和第2传送臂部400。
即，可以形成第1_1布线孔h11和第1_2布线孔h12，其在传送臂平台200主体的一侧面分别连接第1上部空间210_1；可以形成第2_1布线孔h21和第2_2布线孔h22，第2_1布线孔h21在传送臂平台200主体的一侧面连接第2下部空间211_2，第2_2布线孔h22在传送臂平台200主体的一侧面连接第3下部空间212_2。
另外，为了密封布线孔，可以设置第1密封盖子270和第2密封盖子280，第1密封盖子270在传送臂平台200主体的一侧面密封第1_1布线孔h11和第2_1布线孔h21，第2密封盖子280在传送臂平台200主体的一侧面密封第1_2布线孔h12和第2_2布线孔h22。
另外，参考图3c，布线孔也可以形成于传送臂平台200的内部，布线孔用于将通过底部支撑体100的支撑轴101中空引入的布线引入至第1传送臂部300和第2传送臂部400。
即，通过在传送臂平台200的内部形成第1布线孔h30和第2布线孔h40，可以在没有另外的密封件的情况下，使传送臂平台200在内部实现密封，第1布线孔h30连接第1上部空间210_1和第2下部空间211_2，第2布线孔h40连接第1上部空间210_1和第3下部空间212_2。
其次，第1传送臂部300的第1_1传送连杆臂310可以结合于传送臂平台200的第2结合孔220，第2传送臂部400的第2_1传送连杆臂410可以结合于传送臂平台200的第3结合孔230。
此时，参考图4，第1传送臂部300的第1_1传送连杆臂310具有密封的内部空间，第1传送驱动电机311和第1减速机312可以设置于密封的内部空间，第1减速机312与第1传送驱动电机311联动从而将转速降至1/2。
另外，在第1_1传送连杆臂310的第1_1一前端区域密封地设置第1_1驱动轴313以及与其联动的第1_1输出轴314，第1_1驱动轴313与第1减速机312联动且形成中空；在第1_1传送连杆臂310的第1_1另一前端区域密封地设置第1_2驱动轴316以及与其联动的第1_2输出轴317，第1_2驱动轴316与第1传送驱动电机311联动且形成中空。此时，第1传送驱动电机311与第1减速机312之间的联动，第1减速机312与第1_1驱动轴313之间的联动，以及第1传送驱动电机311与第1_2驱动轴316之间的联动可分别以滑轮方式进行，但本发明不限于此，也可以利用齿轮方式等用于传递旋转力的各种方式。另外，第1_1驱动轴313和第1_1输出轴314，第1_2驱动轴316和第1_2输出轴317也可以分别形成为具有相同减速比的减速机。另外，第1_1输出轴314和第1_2输出轴317的旋转方向可以彼此相反。
另外，第1_1输出轴314可以引入至传送臂平台200的第2结合孔220的第2上部空间211_1中，从而固定结合于第2卡止件，第1_1输出轴314设置于第1传送臂部300的第1_1传送连杆臂310的第1_1一前端区域。
此时，第1连接件315可用于第1_1输出轴314和第2卡止件的结合，第1连接件315为管状轴且具有从传送臂平台200和第1_1传送连杆臂310结合之处延伸至等同于第1_1输出轴314和第2卡止件之间距离的长度，第1连接件315的两端可以分别固定结合于第1_1输出轴314和第2卡止件。
另外，第1_2传送连杆臂320的第1_2一前端区域可以固定结合于第1传送臂部300的第1_1传送连杆臂310的第1_2输出轴317。
此时，参考图5，第1固定结合轴318可用于第1_2输出轴317和第1_2一前端区域的结合，第1固定结合轴318为管状轴且具有从第1_1传送连杆臂310和第1_2传送连杆臂320结合之处延伸至等同于第1_2输出轴317和第1_2一前端区域的结合区域之间距离的长度，第1固定结合轴318的两端可以分别固定结合于第1_2输出轴317和第1_2一前端区域的结合区域。
另外，第1共用连杆臂330可以设置于第1_2输出轴317和第1_2一前端区域的结合区域。
即，第1共用连杆臂330的第2中央区域能够可旋转地结合于第1固定结合轴318，第1固定结合轴318结合第1_2输出轴317和第1_2一前端区域。
另外，第1传送臂部300可以包括第1_1辅助连杆臂340，第1_1辅助连杆臂340平行于第1_1传送连杆臂310，第1_4一前端区域能够可旋转地结合于传送臂平台200的连杆连接件290的第1叶片291，第1_4另一前端区域能够可旋转地结合于第1共用连杆臂330的第1_3一前端区域。
另外，第1传送臂部300可以包括第1_2辅助连杆臂350，第1_2辅助连杆臂350平行于第1_2传送连杆臂320，第1_5一前端区域能够可旋转地结合于第1共用连杆臂330的第1_3另一前端区域。
另外，第1传送臂部300可以包括第1_3辅助连杆臂360，第1_3辅助连杆臂360平行于第1共用连杆臂330，第1_6一前端区域能够可旋转地结合于第1_2辅助连杆臂350的第1_5另一前端区域，第1_6另一前端区域能够可旋转地结合于第1_2传送连杆臂320的第1_2另一前端区域。
另外，第1传送臂部300可以包括第1末端执行器500，第1末端执行器500可以固定于第1_3辅助连杆臂360的第1_6另一前端区域，从而支撑基板。
如上所述构成的第1传送臂部300可以根据第1传送驱动电机311的运行，使得第1末端执行器500能够借助每个传送臂和辅助臂而在直线上前后移动，进而可以通过第1末端执行器500在设定的位置装载或卸载基板。
另一方面，第2传送臂部400能够与第1传送臂部300类似地构成，并且可以围绕传送臂平台200的中央区域彼此对称地设置于传送臂平台200。
即，第2传送臂部400的第2_1传送连杆臂410具有密封的内部空间，第2传送驱动电机和第2减速机可以设置于密封的内部空间，第2减速机与第2传送驱动电机联动从而将转速降至1/2。
另外，在第2_1传送连杆臂410的第2_1一前端区域密封地设置第2_1驱动轴以及与其联动的第2_1输出轴，第2_1驱动轴与第2减速机联动且形成中空；在第2_1传送连杆臂410的第2_1另一前端区域密封地设置第2_2驱动轴以及与其联动的第2_2输出轴，第2_2驱动轴与第2传送驱动电机联动且形成中空。此时，第2传送驱动电机与第2减速机之间的联动，第2减速机与第2_1驱动轴之间的联动，以及第2传送驱动电机与第2_2驱动轴之间的联动可分别以滑轮方式进行，但本发明不限于此，也可以利用齿轮方式等用于传递旋转力的各种方式。另外，第2_1驱动轴和第2_1输出轴、第2_2驱动轴和第2_2输出轴也可以分别形成为具有相同减速比的减速机。另外，第2_1输出轴和第2_2输出轴的旋转方向可以彼此相反。
另外，第2_1输出轴可以引入至传送臂平台200的第3结合孔230的第3上部空间212_1中，从而固定结合于第3卡止件，第2_1输出轴设置于第2传送臂部400的第2_1传送连杆臂410的第2_1一前端区域。
此时，第2连接件可用于第2_1输出轴和第3卡止件的结合，第2连接件为管状轴且具有从传送臂平台200和第2_1传送连杆臂410结合之处延伸至等同于第2_1输出轴和第3卡止件之间距离的长度，第2连接件的两端可以分别固定结合于第2_1输出轴和第3卡止件。
另外，第2_2传送连杆臂420的第2_2一前端区域可以固定结合于第2传送臂部400的第2_1传送连杆臂410的第2_2输出轴。
此时，第2固定结合轴可用于第2_2输出轴和第2_2一前端区域的结合，第2固定结合轴为管状轴且具有从第2_1传送连杆臂410和第2_2传送连杆臂420结合之处延伸至等同于第2_2输出轴和第2_2一前端区域的结合区域之间距离的长度，第2固定结合轴的两端可以分别固定结合于第2_2输出轴和第2_2一前端区域的结合区域。
另外，第2共用连杆臂430可以设置于第2_2输出轴和第2_2一前端区域的结合区域。
即，第2共用连杆臂430的第3中央区域能够可旋转地结合于第2固定结合轴，第2固定结合轴结合第2_2输出轴和第2_2一前端区域。
另外，第2传送臂部400可以包括第2_1辅助连杆臂440，第2_1辅助连杆臂440平行于第2_1传送连杆臂410，第2_4一前端区域能够可旋转地结合于传送臂平台200的连杆连接件290的第2叶片292，第2_4另一前端区域能够可旋转地结合于第2共用连杆臂430的第2_3一前端区域。
另外，第2传送臂部400可以包括第2_2辅助连杆臂450，第2_2辅助连杆臂450平行于第2_2传送连杆臂420，第2_5一前端区域能够可旋转地结合于第2共用连杆臂430的第2_3另一前端区域。
另外，第2传送臂部400可以包括第2_3辅助连杆臂460，第2_3辅助连杆臂460平行于第2共用连杆臂430，第2_6一前端区域能够可旋转地结合于第2_2辅助连杆臂450的第2_5另一前端区域，第2_6另一前端区域能够可旋转地结合于第2_2传送连杆臂420的第4_2另一前端区域。
另外，第2传送臂部400可以包括第2末端执行器600，第2末端执行器600可固定于第2_3辅助连杆臂460的第2_6另一前端区域，从而支撑基板。
如上所述构成的第2传送臂部400可以根据第2传送驱动电机的运行，使得第2末端执行器600能够借助每个传送臂和辅助臂而在直线上前后移动，进而可以通过第2末端执行器600在设定的位置装载或卸载基板。
此时，可以使第1传送臂部300的第1_1传送连杆臂310的第1_1另一前端区域，以及第2传送臂部400的第2_1传送连杆臂410的第2_1另一前端区域相同地位于传送臂平台200的前方区域或后方区域。
另外，与此不同，也可以使第1传送臂部300的第1_1传送连杆臂310的第1_1另一前端区域位于传送臂平台200的前方区域，并使第2传送臂部400的第2_1传送连杆臂410的第2_1另一前端区域位于传送臂平台200的后方区域。
另外，通过使第2固定结合轴的高度高于第1固定结合轴318的高度，可以使第1传送臂部300的第1末端执行器500和第2传送臂部400的第2末端执行器600位于同一路径上的不同高度，第2固定结合轴连接第2传送臂部400的第2_1传送连杆臂410和第2_2传送连杆臂420，第1固定结合轴318连接第1传送臂部300的第1_1传送连杆臂310和第1_2传送连杆臂320。
另外，第2固定结合轴连接第2传送臂部400的第2_1传送连杆臂410和第2_2传送连杆臂420，第2共用连杆臂430能够可旋转地结合于第2固定结合轴并且可以包括中空管，中空管对应于第2固定结合轴的高度并形成引入第2固定结合轴的中空，包括第2_3一前端区域的第3叶片可以固定结合于所述中空管的下部区域，包括第2_3另一前端区域的第4叶片可以固定结合于所述中空管的上部区域，第2_3一前端区域和第2_3另一前端区域可以形成为以所述中空管的中心轴为基准彼此对称。
另外，第1布线和第2布线分别配置于基板传送机器人1000内部密封的空间，第1布线用于第1传送驱动电机311的运行，第2布线用于第2传送驱动电机的运行。
此时，第1布线可以通过底部支撑体100的支撑轴101、第1_1驱动轴313各自的中空引入至第1传送驱动电机311，以从真空室的内部空间密封，第2布线可以通过底部支撑体100的支撑轴101、第2_1驱动轴各自的中空引入至第2传送驱动电机，以从真空室的内部空间密封。另一方面，第1布线和第2布线通过形成于传送臂平台200的布线孔，可以从支撑轴101分别分支到第1传送臂部300和第2传送臂部400。
另一方面，以上描述通过使连接第2传送臂部400的第2_1传送连杆臂410和第2_2传送连杆臂420的第2固定结合轴高度，高于连接第1传送臂部300的第1_1传送连杆臂310和第1_2传送连杆臂320的第1固定结合轴318，使第1传送臂部300的第1末端执行器500和第2传送臂部400的第2末端执行器600位于同一路径上的不同高度，从而使第1传送臂部300以下部传送臂运行并使第2传送臂部400以上部传送臂运行，但与此不同，根据本发明的另一实施例，通过第1传送臂部300的第1固定结合轴318的高度和第2传送臂部400的第2固定结合轴高度相同地形成，可以使第1传送臂部300和第2传送臂部400具有相同高度。
即，通过使第1传送臂部300和第2传送臂部400以相同形状但彼此对称形成，可以降低第1传送臂部300和第2传送臂部400的设置高度。
另外，由于能够降低第1传送臂部300和第2传送臂部400的设置高度，因此最终可以降低传送机器人所处的传送室的高度，并且传送室的内部空间相应缩小，因此能够改善传送室中的真空排气功能。
以下，参考图6和图7对其进行详细描述。为了便于理解，对图6和图7中相同部分的附图标记赋予了与图1至图5相同的附图标记。在以下描述中，通过参考图1至图5的描述能够容易地理解的部分，将省略对其的描述。
第1传送臂部300的第1_2传送连杆臂320可以通过第1固定结合轴318结合于第1传送臂部300的第1_1传送连杆臂310的第1_2传送连杆臂320。另外，第2传送臂部400的第2_2传送连杆臂420可以通过第2固定结合轴结合于第2传送臂部400的第2_1传送连杆臂410的第2_2输出轴。
此时，通过使第1固定结合轴和第2固定结合轴形成为具有相同的高度，使第1传送臂部300的第1_2传送连杆臂320和第2传送臂部400的第2_2传送连杆臂420的设置高度相同。
即，第1传送臂部300的第1_1传送连杆臂310、第1_2传送连杆臂320与第2传送臂部400的第2_1传送连杆臂410、第2_2传送连杆臂420可以设置于相同的高度并形成为彼此对称。
另外，使第1传送臂部300的第1末端执行器500固定结合于第1_3辅助连杆臂360的第1_6另一前端区域的同时，使第2传送臂部400的第2末端执行器600固定结合于第2_3辅助连杆臂460的第2_6另一前端区域，但使其通过支架650结合，以使第1末端执行器500的高度不同。其中，支架650可以“匚”字形状构成，但不限于此。
因此，第1传送臂部300的第1末端执行器500和第2传送臂部400的第2末端执行器600可以在与支架650的顶面和底面之间距离相同的不同高度支撑基板。
另外，当通过第1传送臂部300和第2传送臂部400的运行来传送基板时，第1末端执行器500或被第1末端执行器500支撑的基板移动到第2传送臂部400的支架650的顶面和底面之间，从而防止第1末端执行器500和第2末端执行器600之间的接触。
以上描述了基板的传送，但在基板上执行工艺所需的掩模的传送也可以同样适用。
以上通过具体构成要素等特定事项和有限的实施例以及附图描述了本发明，但这仅是为了助于全面理解本发明，本发明并不受其限制，本发明所属领域的技术人员可以根据上述描述进行各种修改和变换。
因此，本发明的技术构思不应受限于上述描述的实施例，所附权利要求以及与权利要求等效或等同的修改均属于本发明的技术构思范畴。

Claims (5)

1.一种用于在真空室内传送基板的基板传送机器人，其特征在于包括：
传送臂平台，其形成有位于第1中央区域的第1结合孔、位于第1一前端区域的第2结合孔以及位于第1另一前端区域的第3结合孔，其中，所述第1结合孔被第1卡止件分为第1上部空间和第1下部空间，所述第1上部空间被第1盖子密封，所述第1卡止件形成有第1通孔，所述第1通孔对应于在底部支撑体的传送机器人结合部形成的支撑轴的中空；所述第2结合孔被第2卡止件分为第2上部空间和第2下部空间，所述第2下部空间被第2盖子密封，所述第2卡止件形成有第2通孔；所述第3结合孔被第3卡止件分为第3上部空间和第3下部空间，所述第3下部空间被第3盖子密封，所述第3卡止件形成有第3通孔，在前方区域固定结合有包括用于连杆结合的第1叶片和第2叶片的连杆连接件，所述前方是所述基板传送机器人为了将所述基板传送至与所述真空室结合的工艺室而配置的状态下所述工艺室所处的方向，引入至所述第1下部空间的所述底部支撑体的所述支撑轴固定结合于所述第1卡止件；
第1传送臂部，其包括第1_1传送连杆臂、第1_2传送连杆臂、第1共用连杆臂、第1_1辅助连杆臂、第1_2辅助连杆臂、第1_3辅助连杆臂以及第1末端执行器，在所述第1_1传送连杆臂的密封的内部空间中设有第1传送驱动电机和第1减速机，所述第1减速机与所述第1传送驱动电机联动从而将转速降至1/2，在第1_1一前端区域密封地设置有第1_1驱动轴以及与所述第1_1驱动轴联动的第1_1输出轴，所述第1_1驱动轴与所述第1减速机联动且形成有中空，在第1_1另一前端区域密封地设置有第1_2驱动轴以及与所述第1_2驱动轴联动的第1_2输出轴，所述第1_2驱动轴与所述第1传送驱动电机联动且形成有中空，所述第1_1输出轴引入至所述传送臂平台的所述第2上部空间中并固定结合于与所述第2卡止件固定结合的第1连接件；所述第1_2传送连杆臂的第1_2一前端区域通过第1固定结合轴固定结合于所述第1_1传送连杆臂的所述第1_2输出轴；所述第1共用连杆臂的第2中央区域可旋转地结合于所述第1固定结合轴；所述第1_1辅助连杆臂平行于所述第1_1传送连杆臂，第1_4一前端区域可旋转地结合于所述传送臂平台的所述连杆连接件的所述第1叶片，第1_4另一前端区域可旋转地结合于所述第1共用连杆臂的第1_3一前端区域；所述第1_2辅助连杆臂平行于所述第1_2传送连杆臂，第1_5一前端区域可旋转地结合于所述第1共用连杆臂的第1_3另一前端区域；所述第1_3辅助连杆臂平行于所述第1共用连杆臂，第1_6一前端区域可旋转地结合于所述第1_2辅助连杆臂的第1_5另一前端区域，第1_6另一前端区域可旋转地结合于所述第1_2传送连杆臂的第1_2另一前端区域；所述第1末端执行器固定于所述第1_3辅助连杆臂的所述第1_6另一前端区域支撑所述基板；以及
第2传送臂部，其包括第2_1传送连杆臂、第2_2传送连杆臂、第2共用连杆臂、第2_1辅助连杆臂、第2_2辅助连杆臂、第2_3辅助连杆臂以及第2末端执行器，在所述第2_1传送连杆臂的密封的内部空间中设有第2传送驱动电机和第2减速机，所述第2减速机与所述第2传送驱动电机联动从而将转速降至1/2，在所述第2_1传送连杆臂的第2_1一前端区域密封地设置有第2_1驱动轴以及与所述第2_1驱动轴联动的第2_1输出轴，所述第2_1驱动轴与所述第2减速机联动且形成有中空，在第2_1另一前端区域密封地设置有第2_2驱动轴以及与所述第2_2驱动轴联动的第2_2输出轴，所述第2_2驱动轴与所述第2传送驱动电机联动且形成有中空，所述第2_1输出轴引入至所述传送臂平台的所述第3上部空间中且固定结合于与所述第3卡止件固定结合的第2连接件；所述第2_2传送连杆臂的第2_2一前端区域通过第2固定结合轴固定结合于所述第2_1传送连杆臂的所述第2_2输出轴；所述第2共用连杆臂的第3中央区域可旋转地结合于所述第2固定结合轴；所述第2_1辅助连杆臂平行于所述第2_1传送连杆臂，第2_4一前端区域可旋转地结合于所述传送臂平台的所述连杆连接件的所述第2叶片，第2_4另一前端区域可旋转地结合于所述第2共用连杆臂的第2_3一前端区域；所述第2_2辅助连杆臂平行于所述第2_2传送连杆臂，第2_5一前端区域可旋转地结合于所述第2共用连杆臂的第2_3另一前端区域；所述第2_3辅助连杆臂平行于所述第2共用连杆臂，第2_6一前端区域可旋转地结合于所述第2_2辅助连杆臂的第2_5另一前端区域，第2_6另一前端区域可旋转地结合于所述第2_2传送连杆臂的第2_2另一前端区域；所述第2末端执行器通过支架固定于所述第2_3辅助连杆臂的所述第2_6另一前端区域支撑所述基板。
2.根据权利要求1所述的基板传送机器人，其特征在于：
所述第1传送臂部的所述第1_1传送连杆臂的所述第1_1另一前端区域位于所述传送臂平台的前方区域，所述第2传送臂部的所述第2_1传送连杆臂的所述第2_1另一前端区域位于所述传送臂平台的后方区域。
3.根据权利要求1所述的基板传送机器人，其特征在于：
所述传送臂平台进一步包括第1布线孔和第2布线孔，所述第1布线孔连接所述第1上部空间和所述第2下部空间，所述第2布线孔连接所述第1上部空间和所述第3下部空间。
4.根据权利要求1所述的基板传送机器人，其特征在于：
所述传送臂平台进一步包括第1_1布线孔、第1_2布线孔、第2_1布线孔、第2_2布线孔、第1密封盖子以及第2密封盖子，所述第1_1布线孔和所述第1_2布线孔在所述传送臂平台的主体的一侧面分别连接所述第1上部空间；所述第2_1布线孔在所述传送臂平台的主体的一侧面连接所述第2下部空间；所述第2_2布线孔在所述传送臂平台的主体的一侧面连接所述第3下部空间；所述第1密封盖子在所述传送臂平台的主体的一侧面密封所述第1_1布线孔和所述第2_1布线孔，所述第2密封盖子在所述传送臂平台的主体的一侧面密封所述第1_2布线孔和所述第2_2布线孔。
5.根据权利要求1所述的基板传送机器人，其特征在于：
进一步包括第1布线和第2布线，所述第1布线用于所述第1传送驱动电机的运行，所述第2布线用于所述第2传送驱动电机的运行，
所述第1布线通过所述支撑轴、所述第1_1驱动轴各自的中空引入至所述第1传送驱动电机以相对于所述真空室的内部空间保持密封，
所述第2布线通过所述支撑轴、所述第2_1驱动轴各自的中空引入至所述第2传送驱动电机以针对所述真空室的内部空间保持密封。
CN202210452883.4A 2021-06-25 2022-04-27 用于在真空室内传送基板的基板传送机器人 Pending CN115519526A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2021-0083284 2021-06-25
KR1020210083284A KR102307690B1 (ko) 2021-06-25 2021-06-25 진공 챔버에서 기판을 이송하기 위한 기판 이송 로봇

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN115519526A true CN115519526A (zh) 2022-12-27

Family

ID=78077603

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202210452883.4A Pending CN115519526A (zh) 2021-06-25 2022-04-27 用于在真空室内传送基板的基板传送机器人

Country Status (5)

Country Link
US (1) US11820005B2 (zh)
JP (1) JP7288711B2 (zh)
KR (1) KR102307690B1 (zh)
CN (1) CN115519526A (zh)
TW (1) TWI805370B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102431664B1 (ko) 2022-02-15 2022-08-12 (주) 티로보틱스 진공 챔버에서 기판을 이송하기 위한 기판 이송 로봇
KR102431679B1 (ko) * 2022-02-15 2022-08-12 (주) 티로보틱스 진공 챔버에서 기판을 이송하기 위한 기판 이송 로봇

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3781699B2 (ja) * 2002-04-26 2006-05-31 株式会社上野製薬応用研究所 電荷制御剤
KR100527669B1 (ko) * 2003-12-19 2005-11-25 삼성전자주식회사 로봇 암 장치
JP4732716B2 (ja) * 2004-06-29 2011-07-27 株式会社アルバック 搬送装置及びその制御方法並びに真空処理装置
US7946800B2 (en) * 2007-04-06 2011-05-24 Brooks Automation, Inc. Substrate transport apparatus with multiple independently movable articulated arms
JP4950745B2 (ja) * 2007-04-19 2012-06-13 株式会社ダイヘン 搬送装置
JP4955447B2 (ja) * 2007-04-26 2012-06-20 株式会社ダイヘン 搬送装置
KR101629734B1 (ko) * 2007-05-08 2016-06-13 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 기계적 스위치 메카니즘을 이용한 복수의 가동 암들을 갖는 기판 이송 장치
JP5304601B2 (ja) 2009-11-10 2013-10-02 株式会社安川電機 アーム機構およびそれを備えた真空ロボット
JP5463367B2 (ja) * 2009-12-28 2014-04-09 株式会社アルバック 駆動装置及び搬送装置
JP5463174B2 (ja) 2010-03-12 2014-04-09 株式会社アルバック 関節装置及び基板搬送装置
JP5565345B2 (ja) * 2011-03-07 2014-08-06 株式会社安川電機 搬送ロボット
JP5990359B2 (ja) * 2012-10-04 2016-09-14 平田機工株式会社 搬入出ロボット
JP5893072B2 (ja) * 2014-04-16 2016-03-23 川崎重工業株式会社 基板搬送ロボット
JP6799395B2 (ja) * 2016-06-30 2020-12-16 株式会社荏原製作所 基板ホルダ、電子デバイス製造装置において基板を搬送する搬送システム、および電子デバイス製造装置
JP7304738B2 (ja) * 2019-05-17 2023-07-07 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2023004871A (ja) 2023-01-17
US20220410413A1 (en) 2022-12-29
JP7288711B2 (ja) 2023-06-08
KR102307690B1 (ko) 2021-10-05
TWI805370B (zh) 2023-06-11
US11820005B2 (en) 2023-11-21
TW202301533A (zh) 2023-01-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN115519526A (zh) 用于在真空室内传送基板的基板传送机器人
US20240066685A1 (en) Substrate transport apparatus with multiple movable arms utilizing a mechanical switch mechanism
KR101497169B1 (ko) 아암 기구 및 그것을 구비한 진공 로봇
US9334127B2 (en) Systems, apparatus and methods for transporting substrates in electronic device manufacturing
CN115483125A (zh) 用于在真空室内传送基板的基板传送机器人
TWI824515B (zh) 用於使基板傳送機器人在真空室內部移動的行走機器人
US6746196B1 (en) Vacuum treatment device
US20220380145A1 (en) Travel Robot For Moving Substrate Transfer Robot In Vacuum Chamber
US20080251019A1 (en) System and method for transferring a substrate into and out of a reduced volume chamber accommodating multiple substrates
JPH09102526A (ja) 真空内基板搬送装置
CN115958573A (zh) 一种用于使基板传送机器人在传送室内行走的行走机器人
TW202333923A (zh) 用於在真空室內傳送基板的基板傳送機器人
TW202333914A (zh) 用於在真空室內傳送基板的基板傳送機器人
KR20210015538A (ko) 기판 이송 모듈 및 기판 이송 방법
JPH10150091A (ja) カセット搬送ロボット及び半導体製造装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination