JP2011187883A - Memsデバイス - Google Patents
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- H01G5/16—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture using variation of distance between electrodes
- H01G5/18—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture using variation of distance between electrodes due to change in inclination, e.g. by flexing, by spiral wrapping
Abstract
【解決手段】基板11と、基板11上に設けられ、信号が通過する固定電極12と、基板11の上方に固定電極12と対向して設けられ、信号が通過する可動電極14と、基板11内に設けられ、可動電極14を変位させるための駆動電圧を印加するための駆動配線DLと、基板11内に形成された第一のビアホールに設けられた信号を遮断するためのビア抵抗RVaと、を備え、固定電極12または可動電極14は、ビア抵抗RVaを介して駆動配線DLと接続されている。
【選択図】図2
Description
図1は第一の実施形態における可変キャパシタ10の例を示す平面図、図2は図1のA−A線矢視断面図である。
図4は第二の実施形態における可変キャパシタ20の例を示す平面図、図5は図4のB−B線矢視断面図である。
図7(a)は第三の実施形態における可変キャパシタ30の例を示す平面図、図7(b)は図7(a)のC1−C1線矢視断面図、図8は図7(a)のC2−C2線矢視断面図である。
図12(a)は第四の実施形態における可変キャパシタ40の例を示す平面図、図12(b)は図12(a)のD1−D1線矢視断面図、図13は図12(a)のD2−D2線矢視断面図である。
図15は第五の実施形態における可変キャパシタ50の例を示す平面図、図16は図15のE−E線矢視断面図である。
図17は第六の実施形態における可変キャパシタ60の例を示す平面図、図18は図16のF−F線矢視断面図である。
11、31、51 基板
12 固定電極
14、34、54 可動電極
21、41、61 駆動電極
32、52 第一の固定電極
33、53 第二の固定電極
52a〜52c 第一の櫛歯部(櫛歯)
53a〜53c 第二の櫛歯部(櫛歯)
DL 駆動配線
GL グランド配線
RV ビア抵抗(第一の抵抗体、第二の抵抗体)
Claims (8)
- 基板と、
前記基板上に設けられ、信号が通過する固定電極と、
前記基板の上方に前記固定電極と対向して設けられ、信号が通過する可動電極と、
前記基板内に設けられ、前記可動電極を変位させるための駆動電圧を印加するための駆動配線と、
前記基板内に形成された第一のビアホールに設けられた信号を遮断するための第一の抵抗体と、
を備え、
前記固定電極または前記可動電極は、前記第一の抵抗体を介して前記駆動配線と接続されている、
MEMSデバイス。 - 前記固定電極は、前記第一の抵抗体を介して前記駆動配線と接続されており、
前記第一の抵抗体は、前記固定電極の直下に形成されている、
請求項1記載のMEMSデバイス。 - 前記基板内に形成された第二のビアホールに設けられた信号を遮断するための第二の抵抗体を備え、
前記固定電極は、前記第一の抵抗体を介して前記駆動配線と接続されており、
前記可動電極は、前記第二の抵抗体を介してグランド配線と接続されている、
請求項1または2記載のMEMSデバイス。 - 基板と、
前記基板上に設けられ、信号が通過する固定電極と、
前記基板の上方に前記固定電極と対向して設けられ、信号が通過する可動電極と、
前記基板内に設けられ、前記可動電極を変位させるための駆動電圧を印加するための駆動配線と、
前記基板内に形成された第一のビアホールに設けられた信号を遮断するための第一の抵抗体と、
前記基板上に前記可動電極と対向して設けられ、前記第一の抵抗体を介して前記駆動配線と接続されている駆動電極と、
を備える、
MEMSデバイス。 - 前記第一の抵抗体は、前記駆動電極の直下に形成されている、
請求項4記載のMEMSデバイス。 - 前記可動電極は、前記基板内に形成された第二のビアホールに設けられた信号を遮断するための第二の抵抗体を介してグランド配線と接続されている、
請求項4または5記載のMEMSデバイス。 - 前記固定電極は、第一の固定電極および第二の固定電極を含み、
前記第一の固定電極および前記第二の固定電極は、それぞれ1つの側面同士が対向して設けられている、
請求項4ないし6のいずれかに記載のMEMSデバイス。 - 前記固定電極は、第一の固定電極および第二の固定電極を含み、
前記第一の固定電極および前記第二の固定電極は、複数の櫛歯を有し互いの当該各櫛歯が互い違いに入り込んで設けられている、
請求項4ないし7のいずれかに記載のMEMSデバイス。
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