JP2011187454A - 光電子増倍管及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光電子増倍管1aは、内部が真空に維持された外囲器を備え、該外囲器内に、入射光に応じて電子を放出する光電面22と、該光電面22から放出される電子をカスケード増倍する電子増倍部31と、該電子増倍部31で生成された二次電子を取り出すための陽極32とが配置されている。上記外囲器の一部は、平坦部を有するガラス基板4により構成され、該ガラス基板4における平坦部上に、上記電子増倍部31及び陽極32のそれぞれが二次元的に配置されている。
【選択図】図2
Description
(第1実施例)
(第2実施例)
(第3実施例)
(第4実施例)
(第5実施例)
Claims (18)
- 内部が真空状態に維持された外囲器であって、少なくともその一部が、平坦部を有するガラス基板により構成された外囲器と、
前記外囲器内に収納された光電面であって、該外囲器を介して取り込まれた光に応じて光電子を該外囲器の内部に放出する光電面と、
前記外囲器内に収納された状態で前記ガラス基板における前記平坦部の所定領域上に配置された電子増倍部であって、前記光電面から放出された光電子をカスケード増倍する電子増倍部と、そして、
前記外囲器内に収納された状態で前記ガラス基板における前記平坦部のうち前記電子増倍部が配置された領域を除く領域上に配置された陽極であって、前記電子増倍部でカスケード増倍された電子のうち到達した電子を信号として取り出すための陽極とを備えた光電子増倍管。 - 前記外囲器は、前記ガラス基板である下側フレームと、該下側フレームに対向する上側フレームと、これら上側フレーム及び下側フレームの間に設けられ、前記電子増倍部及び前記陽極を取り囲む形状を有する側壁フレームとを備えることを特徴とする 請求項1記載の光電子増倍管。
- 前記電子増倍部及び前記陽極は、前記外囲器の一部を構成する前記側壁フレームから所定距離離間した状態で、前記ガラス基板における前記平坦部上にそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項2記載の光電子増倍管。
- 前記側壁フレームは、シリコン材料からなることを特徴とする請求項2又は3記載の光電子増倍管。
- 前記上側フレームは、ガラス材料及びシリコン材料のいずれかからなることを特徴とする請求項2〜4のいずれか一項記載の光電子増倍管。
- 前記電子増倍部は、シリコン材料からなることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項記載の光電子増倍管。
- 前記陽極は、シリコン材料からなることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項記載の光電子増倍管。
- 前記電子増倍部及び前記陽極のそれぞれは、シリコン材料からなり、これら電子増倍部及び陽極は、前記ガラス基板における前記平坦部に陽極接合及び拡散接合のいずれかにより固定されていることを特徴とする請求項1記載の光電子増倍管。
- 前記電子増倍部、前記陽極、及び前記側壁フレームのそれぞれは、シリコン材料からなり、これら電子増倍部、陽極、及び側壁フレームは、前記ガラス基板における前記平坦部に陽極接合及び拡散接合のいずれかにより固定されていることを特徴とする請求項2記載の光電子増倍管。
- 前記上側フレームは、ガラス材料からなり、
前記下側フレームとともに前記側壁フレームを挟むよう、前記上側フレームは陽極接続又は拡散接合により前記側壁フレームに接合されていることを特徴とする請求項4又は9記載の光電子増倍管。 - 前記上側フレームは、前記外囲器内に光を取り込むための透過窓を備えることを特徴とする請求項5記載の光電子増倍管。
- 前記側壁フレームは、前記外囲器内に光を取り込むための透過窓を備えることを特徴とする請求項4又は9記載の光電子増倍管。
- 前記外囲器の一部を構成する、ガラス材料からなる下側フレームを用意し、
前記外囲器の一部を構成する側壁フレームであって、一つのシリコン基板をエッチング加工することにより前記電子増倍部及び前記陽極とともに形成された側壁フレームを用意し、
前記外囲器の一部を構成する上側フレームを用意し、そして、
前記側壁フレームを、前記電子増倍部及び前記陽極とともに、陽極接合及び拡散接合のいずれかにより、前記下側フレームに固定することを特徴とする請求項2記載の光電子増倍管を製造する方法。 - 下側フレーム、側壁フレーム、及び上側フレームで構成されるとともに内部が真空状態に維持された外囲器と、該外囲器内に収納された光電面と、該外囲器内に収納された電子増倍部と、少なくとも一部が該外囲器内に収納された陽極とを備えた光電子増倍管を製造する方法であって、
前記外囲器の一部を構成する、ガラス材料からなる下側フレームを用意し、
前記外囲器の一部を構成する、シリコン材料からなる側壁フレームを用意し、
前記外囲器の一部を構成する上側フレームを用意し、そして、
前記側壁フレームを、陽極接合及び拡散接合のいずれかにより前記下側フレームに固定する。 - 前記上側フレームは、ガラス材料からなり、
前記下側フレームとともに前記側壁フレームを挟むよう、前記上側フレームは陽極接合又は拡散接合により前記側壁フレームに接合されていることを特徴とする請求項13又は14記載の方法。 - 前記上側フレームは、シリコン材料からなり、前記下側フレームとともに前記側壁フレームを挟むよう、該側壁フレームに接合されていることを特徴とする請求項13又は14記載の方法。
- 前記上側フレームには、前記外囲器内に光を取り込むための透過窓が形成されていることを特徴とする請求項13、14又は16記載の方法。
- 前記側壁フレームには、前記外囲器内に光を取り込むための透過窓が形成されていることを特徴とする請求項13、14又は16記載の方法。
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