JP2011181158A5 - - Google Patents

Description

こうしたデュアル・アクチュエータ方式を用いたヘッドサスペンションにおいて、薄型化の要請に応えるためには、特許文献２の図６〜図８のように、ベースプレートとアクチュエータベースを一体の部材から形成するのが好ましい。

特開２００２−１８４１４０号公報 特開２００２−５０１４０号公報

Claims (10)

1. 導電性のベースプレートとロードビームとの間に設けられて前記ベースプレート側に導通する取付部に、電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子を設け、前記圧電素子の変形に従って前記ベースプレートに対し前記ロードビームをスウェイ方向に変位させるヘッドサスペンションであって、
   前記取付部は、前記ベースプレートと一体のアクチュエータベースと、前記アクチュエータベースに対向する補助プレート部とからなり、
   前記補助プレート部は、前記圧電素子の一側平面部の周縁に対向する平面受け部とこの平面受け部に設けられスウェイ方向で前記圧電素子の側面に対向する側面受け部とを有し、
   前記取付部と前記圧電素子との間に介在させ前記圧電素子を前記取付部に取り付ける非導電性接着剤層と、
   前記圧電素子の電極面と前記側面受け部との間を導通接続する導電性部材と、
   を備えたことを特徴とするヘッドサスペンション。
2. 請求項１記載のヘッドサスペンションであって、
   前記取付部は、前記圧電素子の周縁部を囲む形状であり、
   前記非導電性接着剤層は、前記取付部と前記圧電素子の周縁部との間に介在させ前記圧電素子の周縁部を囲むようにして設けられ、
   前記導電性部材は、前記非導電性接着剤層を渡って前記圧電素子の電極面と前記側面受け部との間を導通接続する、
   ことを特徴とするヘッドサスペンション。
3. 請求項１又は２記載のヘッドサスペンションであって、
   前記平面受け部及び側面受け部をスウェイ交差方向前後部間で不連続として前記変位を許容する変位許容部を備えた、
   ことを特徴とするヘッドサスペンション。
4. 請求項１〜３のいずれかに記載のヘッドサスペンションであって、
   前記取付部は、前記スウェイ方向で一対形成され、
   前記圧電素子は、前記各取付部にそれぞれ固定された、
   ことを特徴とするヘッドサスペンション。
5. 請求項１〜３のいずれかに記載のヘッドサスペンションであって、
   前記取付部は、前記側面受け部の外方にそれぞれ突出した一対の可撓連結部を備え、
   前記圧電素子は、前記取付部に固定された、
   ことを特徴とするヘッドサスペンション。
6. 請求項１〜５のいずれかに記載のヘッドサスペンションであって、
   前記側面受け部は、前記導電性部材を受ける接続面を前記圧電素子の電極面に対し面一に備えた、
   ことを特徴とするヘッドサスペンション。
7. 請求項１〜６のいずれかに記載のヘッドサスペンションであって、
   前記側面受け部は、その表面に良導電性の金属層を備えた、
   ことを特徴とするヘッドサスペンション。
8. 請求項１〜７のいずれかに記載のヘッドサスペンションであって、
   前記側面受け部は、前記導電性部材の収容部を備えた、
   ことを特徴とするヘッドサスペンション。
9. 請求項１〜８のいずれかに記載のヘッドサスペンションを製造するためのヘッドサスペンションの製造方法であって、
   前記ベースプレート及び前記ロードビームに前記取付部を含む半製品ワークを形成する取付部形成工程と、
   前記取付部に前記圧電素子を前記非導電性接着剤層を介在させて取り付ける実装工程と、
   前記導電性部材を塗布する塗布工程と、
   を備えたことを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。
10. 請求項８記載のヘッドサスペンションを製造するためヘッドサスペンションの製造方法であって、
    前記ベースプレート及び前記ロードビームに前記取付部を含む半製品ワークを形成する取付部形成工程と、
    前記取付部に前記圧電素子を前記非導電性接着剤層を介在させて取り付ける実装工程と、
    前記導電性部材を塗布する塗布工程とを備え、
    前記取付部形成工程に、前記側面受け部となる部分にパーシャルエッチング処理を施して前記収容部となる部分を形成する収容部形成工程を備えた、
    ことを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。