JP5285550B2 - 圧電アクチュエータの給電構造、及びヘッドサスペンション - Google Patents
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Description
本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、あるいは技術思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う圧電アクチュエータの給電構造、及びヘッドサスペンションもまた、本発明における技術的範囲の射程に包含されるものである。
13 ベースプレート(基部材)
15 ロードビーム(可動部材)
15a 基端部(ばね部)
15a1 配線接続部
15b ヒンジ部(ばね部)
15c 剛体部
16 ヘッド部
17 剪断型の圧電素子
17a 第1電極板(一側の面電極)
17b 第2電極板(他側の面電極)
17c 圧電材料部
19 配線部材
19a 導電性基材層
19a1 島状端子部(島状部)
19a2 本体部
19b 電気絶縁層
19b1 貫通孔
19c 導体層
19c1 導通部
25 圧電アクチュエータ
27,28 導電性接着剤層
29 溶接部
31 実施例2のヘッドサスペンション
33 導通プレート(配線接続部)
35 非導電性接着剤層
41 実施例3のヘッドサスペンション
51 実施例4のヘッドサスペンション
53,55 第1及び第2圧電素子
61 実施例5のヘッドサスペンション
63 フレキシャ
Claims (7)
- 圧電素子の給電状態に応じた剪断変形に従って基部材に対し可動部材を微少移動させる圧電アクチュエータにおいて、
前記基部材は、導電性を有し、
前記基部材の接合面に、前記圧電素子の一側の電極面を導通接合し、
前記可動部材の接合面に、前記圧電素子の他側の電極面を接合し、
前記他側の面電極に、前記可動部材と一体又は別体の導電性の配線接続部の一側面を導通接合し、
前記配線接続部の他側面に、配線部材の一側面を接合し、
前記配線部材は、前記配線接続部の他側面から順次積層させた導電性基材層、電気絶縁層、及び導体層を有し、
前記導電性基材層は、前記配線接続部に接合固定された島状部及び前記配線接続部側から電気的に隔離形成された本体部を備え、
前記電気絶縁層に、貫通孔を設け、
前記貫通孔に、前記導体層と前記配線接続部とを導通させるための導通部を設けた、
ことを特徴とする圧電アクチュエータの給電構造。 - 請求項1記載の圧電アクチュエータの給電構造であって、
前記基部材と前記圧電素子との間の導通接合、並びに前記一体の可動部材及び配線接続部と前記圧電素子との間の接合は、接着剤層を介して行った、
ことを特徴とする圧電アクチュエータの給電構造。 - 請求項2記載の圧電アクチュエータの給電構造であって、
前記接着剤層は、導電性接着剤層である、
ことを特徴とする圧電アクチュエータの給電構造。 - 請求項1記載の圧電アクチュエータの給電構造であって、
前記配線接続部を別体に備えた可動部材と前記圧電素子との間の接合は、非導電性接着剤層を介して行った、
ことを特徴とする圧電アクチュエータの給電構造。 - 請求項4記載の圧電アクチュエータの給電構造であって、
前記圧電素子は、前記可動部材の微小移動の方向に一対並設された、
ことを特徴とする圧電アクチュエータの給電構造。 - キャリッジ側に取り付けられ軸回りに旋回駆動可能なアーム側に一体又は別体のベースプレートと、
ばね部及び剛体部を含み情報の書き込み、読み取りを行う先端側のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、
前記ヘッド部への書き込み用及び読み取り用の配線を有すると共に該ヘッド部を支持して前記剛体部に設けられたフレキシャとを備え、
前記ばね部が一体又は別体の可動部材及び圧電素子を介して前記ベースプレートに支持され、
前記圧電素子の給電状態に応じた剪断変形に従って前記ベースプレート側に対し前記ロードビームの先端側をスウェイ方向へ微少移動させるヘッドサスペンションであって、
前記ベースプレートは、導電性を有し、
前記ベースプレートの接合面に、前記圧電素子の一側の電極面を導通接合し、
前記可動部材の接合面に、前記圧電素子の他側の電極面を接合し、
前記他側の面電極に、前記可動部材と一体又は別体の導電性の配線接続部の一側面を導通接合し、
前記配線接続部の他側面に、配線部材の一側面を接合し、
前記配線部材は、前記配線接続部の他側面から順次積層させた導電性基材層、電気絶縁層、及び導体層を有し、
前記導電性基材層は、前記配線接続部に接合固定された島状部及び前記配線接続部側から電気的に隔離形成された本体部を備え、
前記電気絶縁層に、貫通孔を設け、
前記貫通孔に、前記導体層と前記配線接続部とを導通させるための導通部を設けた、
ことを特徴とするヘッドサスペンション。 - 請求項6記載のヘッドサスペンションであって、
前記フレキシャと前記配線部材とは、一体に設けられた、
ことを特徴とするヘッドサスペンション。
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JP2002184141A (ja) | 磁気ヘッドサスペンション |
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