JP2011176145A - 半導体発光装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体発光装置は、第1の主面と第1の主面に対する反対側に設けられた第2の主面と側面と発光層とを有する半導体積層体と、第1の主面に設けられた第1の電極と、第1の電極上に設けられた第1の配線と、半導体積層体の側面に設けられた絶縁膜と、絶縁膜を介して半導体積層体の側面に設けられた第2の配線と、第2の主面における少なくとも外周部に設けられると共に、第2の主面よりも外側で第2の配線と接続された第2の電極と、を備えた。
【選択図】図1
Description
また、本発明の他の一態様によれば、基板上に、発光層を有する半導体積層体を形成する工程と、前記半導体積層体を前記基板上で複数に分離する溝を形成する工程と、前記第1の主面上に、前記第1の主面と接続された第1の電極を形成する工程と、前記第1の電極上に、前記第1の電極と接続された第1の配線を形成する工程と、前記溝の底部及び前記溝内における前記半導体積層体の側面に、第2の配線を形成する工程と、前記第2の配線を形成した後、前記基板を除去し、前記半導体積層体における前記第1の主面に対する反対側の第2の主面及び前記第2の配線を露出させる工程と、前記基板を除去した後、前記第2の主面と前記第2の配線とを接続する第2の電極を前記第2の主面及び前記第2の配線に形成する工程と、を備えたことを特徴とする半導体発光装置の製造方法が提供される。
図1は、本実施形態に係る半導体発光装置の模式断面図である。
n側電極28は、第2の主面15bの中央を囲むように第2の主面15bの外周部に連続してリング状に形成されている。また、半導体積層体15の側面に設けられたn側配線26は、絶縁膜21を介して半導体積層体15の周囲を連続して覆っている。
本実施形態では、n側電極として、発光層12が発する光に対して透明な透明電極41を用いている。例えば、透明電極41として、ITO(indium Tin Oxide)を用いることができる。透明電極41は、第2の主面15bに対してオーミックコンタクトし、n側配線26に対してはコンタクト層42を介して接続されている。コンタクト層42としては、例えば、チタン(Ti)、ニッケル(Ni)などを用いることができる。あるいは、n側配線26のめっき時のシード層として用いた例えばTiなどをコンタクト層42として用いることもできる。
Claims (12)
- 第1の主面と、前記第1の主面に対する反対側に設けられた第2の主面と、側面と、発光層とを有する半導体積層体と、
前記第1の主面に設けられた第1の電極と、
前記第1の電極上に設けられた第1の配線と、
前記半導体積層体の前記側面に設けられた絶縁膜と、
前記絶縁膜を介して前記半導体積層体の前記側面に設けられた第2の配線と、
前記第2の主面における少なくとも外周部に設けられると共に、前記第2の主面よりも外側で前記第2の配線と接続された第2の電極と、
を備えたことを特徴とする半導体発光装置。 - 前記第2の配線は、前記側面から前記第1の主面よりも前記第1の配線側に突出していることを特徴とする請求項1記載の半導体発光装置。
- 前記第2の配線は、前記第1の電極との間に絶縁材を介在させて前記第1の電極に対向するパッド部を有することを特徴とする請求項2記載の半導体発光装置。
- 前記第2の配線は、前記絶縁膜を介して前記半導体積層体の周囲を連続して覆っていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
- 前記第2の電極は、前記第2の主面の中央を囲むように、前記第2の主面の前記外周部に連続して形成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
- 基板上に、発光層を有する半導体積層体を形成する工程と、
前記半導体積層体を前記基板上で複数に分離する溝を形成する工程と、
前記第1の主面上に、前記第1の主面と接続された第1の電極を形成する工程と、
前記第1の電極上に、前記第1の電極と接続された第1の配線を形成する工程と、
前記溝の底部及び前記溝内における前記半導体積層体の側面に、第2の配線を形成する工程と、
前記第2の配線を形成した後、前記基板を除去し、前記半導体積層体における前記第1の主面に対する反対側の第2の主面及び前記第2の配線を露出させる工程と、
前記基板を除去した後、前記第2の主面と前記第2の配線とを接続する第2の電極を前記第2の主面及び前記第2の配線に形成する工程と、
を備えたことを特徴とする半導体発光装置の製造方法。 - 前記溝内の前記第2の配線を切断して個片化する工程をさらに備えたことを特徴とする請求項6記載の半導体発光装置の製造方法。
- 前記溝内に樹脂を形成する工程と、
前記樹脂を切断して個片化する工程と、
をさらに備えたことを特徴とする請求項6記載の半導体発光装置の製造方法。 - 複数の前記半導体積層体を含む領域を囲む前記溝の位置で切断して個片化する工程をさらに備えたことを特徴とする請求項6〜8のいずれか1つに記載の半導体発光装置の製造方法。
- 前記第1の配線と前記第2の配線とを、めっき法により同時に形成することを特徴とする請求項6〜9のいずれか1つに記載の半導体発光装置の製造方法。
- 前記第1及び第2の配線を形成する工程は、
前記第1の電極を覆う絶縁材を形成する工程と、
前記絶縁材に開口を形成し、前記第1の電極の一部を露出させる工程と、
露出された前記第1の電極上に前記第1の配線を形成する工程と、
前記絶縁材における非開口部上に前記第2の配線を形成する工程と、
を有することを特徴とする請求項6〜10のいずれか1つに記載の半導体発光装置の製造方法。 - 前記溝は前記基板上で格子状に形成され、前記溝によって分離された個々の前記半導体積層体の周囲を前記第2の配線で連続して覆うことを特徴とする請求項6〜11のいずれか1つに記載の半導体発光装置の製造方法。
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