JP2011165656A - 液滴ディスペンシング装置及び有機電界発光素子用の発光物質塗布方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】対角線方向への液剤の吐出を容易に行え、大型化された基板にも適用容易にするために、(i)パターニング対象体の移動方向である第1方向、及びこれと交差する第2方向に、それぞれ移動自在に構成された第1移動ユニット15、16及び第2移動ユニット11、12、(ii)第2移動ユニットに装着されるディスペンシング・ユニット、及び(iii)第1方向及び第2方向に平行な仮想面上で、第2移動ユニットを、第1移動ユニットに対して回転させるように、第1移動ユニットと第2移動ユニットとの間に装着される第3移動ユニット13、14を具備する液滴ディスペンシング装置10、及びこれを利用した有機電界発光素子用の発光物質の塗布方法を提供する。
【選択図】図1
Description
2 基板、
2a シェル、
2b シェルの領域、
10、20、30、40、50 液滴ディスペンシング装置、
11、21、31、41、51 第2移動ユニットの移動部材、
12、22、32、42、52 第2移動ユニットの直線案内部材、
13、23、33、43、53 第3移動ユニットの環状案内部材、
13a、23a、33a ホイール離脱防止部、
14、24、34、44、54 第3移動ユニットの回転ホイール、
15、25、35、45、55 第1移動ユニットの移動部材、
16、26、36、46、56 第1移動ユニットの案内レール。
Claims (14)
- パターニング対象体の移動方向である第1方向及びこれと交差する第2方向に、それぞれ移動自在に構成された第1移動ユニット及び第2移動ユニットと、
前記第2移動ユニットに装着されるディスペンシング・ユニットと、
前記第1方向及び前記第2方向に平行な仮想面上で、前記第2移動ユニットを、前記第1移動ユニットに対して回転させるように、前記第1移動ユニットと前記第2移動ユニットとの間に装着される第3移動ユニットと、を具備する液滴ディスペンシング装置。 - 前記ディスペンシング・ユニットは、前記第2方向に移動し、前記第2方向は、前記第3移動ユニットの回転によって変化することを特徴とする請求項1に記載の液滴ディスペンシング装置。
- 前記第1移動ユニットは、前記第1方向に延長する少なくとも1本の案内レール、及び前記案内レールに摺動自在に結合される移動部材を具備することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の液滴ディスペンシング装置。
- 前記第1移動ユニットの移動部材は、その長手方向に、収縮及び伸張自在に構成されたことを特徴とする請求項3に記載の液滴ディスペンシング装置。
- 前記第2移動ユニットは、前記第3移動ユニットに装着される直線案内部材、及び前記直線案内部材の延長方向に移動自在に、前記直線案内部材に装着される移動部材を具備することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の液滴ディスペンシング装置。
- 前記第3移動ユニットは、環状案内部材、及び前記環状案内部材の中心点を中心に回転自在に、前記環状案内部材に装着される回転ホイールを具備することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の液滴ディスペンシング装置。
- 前記環状案内部材は、前記第1移動ユニットの移動する部分に固設され、前記回転ホイールは、前記第2移動ユニットの下側に固設されることを特徴とする請求項6に記載の液滴ディスペンシング装置。
- 前記回転ホイールは、前記環状案内部材の内部に少なくとも一部が位置するように配されることを特徴とする請求項7に記載の液滴ディスペンシング装置。
- 前記回転ホイールは、前記第2移動ユニットの内部に少なくとも一部が位置するように配されることを特徴とする請求項7に記載の液滴ディスペンシング装置。
- 前記ディスペンシング・ユニットのディスペンシング作業のための最大移動範囲は、前記環状案内部材の内径より小さいか、あるいはそれと同じであることを特徴とする請求項6〜9のいずれか1項に記載の液滴ディスペンシング装置。
- 前記環状案内部材の内径は、前記パターニング対象体の前記第1方向と直交する第2方向への長さより大きいことを特徴とする請求項10に記載の液滴ディスペンシング装置。
- 前記ディスペンシング・ユニットは、前記第1移動ユニット、前記第2移動ユニット及び前記第3移動ユニットによって、3つの自由度を有して移動自在であることを特徴とする請求項1〜11のいずれか1項に記載の液滴ディスペンシング装置。
- 前記ディスペンシング・ユニットは、有機電界発光素子のための少なくとも1対の赤色、緑色、青色の発光物質を一列に具備することを特徴とする請求項1〜12のいずれか1項に記載の液滴ディスペンシング装置。
- パターニング対象体の移動方向である第1方向に移動自在に構成された第1移動ユニット上に装着された第2移動ユニットを、前記第1方向に直交する方向に移動自在に配する段階と、
前記第1移動ユニット及び前記第2移動ユニットを移動させ、前記第2移動ユニットに装着されたディスペンシング・ユニットで、前記第1方向及び第2方向に配された第1有機電界発光素子に発光物質をディスペンシングする段階と、
前記第1移動ユニット及び前記第2移動ユニット間に回転自在に装着される第3移動ユニット、並びに前記第1移動ユニット及び第2移動ユニットを移動させ、前記第1方向及び第2方向に斜めに傾いた方向に配された第2有機電界発光素子に発光物質をディスペンシングする段階と、を含む有機電界発光素子用の発光物質塗布方法。
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