JP2011164329A

JP2011164329A - 電気光学表示パネル

Info

Publication number: JP2011164329A
Application number: JP2010026239A
Authority: JP
Inventors: Yasuhiro Watanabe; 康弘渡辺
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 2010-02-09
Filing date: 2010-02-09
Publication date: 2011-08-25

Abstract

【課題】外部から静電気が印加されても、走査線の長さ（アンテナ長）をできるだけ揃え
ておくことにより、ＴＦＴに対する影響が同様となるようにし、走査線毎の表示のばらつ
きをできるだけ抑制することができるようにした電気光学表示パネルを提供すること。
【解決手段】ゲート材料で形成された走査線ＧＷ１と第１引き回し配線ＲＤ１とを、コン
タクト部ＣＴを介して接触抵抗を生じさせる導電性材料１７により接続することで、走査
線ＧＷ１の長さを、ソース材料で形成された第２引き回し配線ＲＵ１とコンタクトホール
１２及び１３を介して導電性材料１４によってブリッジ接続された走査線ＧＷ３の長さを
同一になるようにする。
【選択図】図４

Description

本発明は、静電気等によって各走査線に接続されている薄膜トランジスター（以下、「
ＴＦＴ」という。）の特性に差異が生じないようにした電気光学表示パネルに関する。

電気光学表示装置としては、液晶表示装置、有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）表
示装置、無機ＥＬ表示装置、プラズマ表示装置、発光ダイオード（ＬＥＤ）表示装置、電
界放出型表示装置等、種々のものが知られている。これらの電気光学表示装置は、透明基
板上に絶縁膜を挟んで複数の走査線と信号線とがマトリクス状に配置された表示領域が形
成されている。これらの走査線及び信号線は、表示領域の周囲に形成された引き回し配線
を経て、透明基板の端部に形成された端子部と電気的に接続されている。

これらの電気光学表示装置のうち、特に液晶表示パネルは、ＣＲＴ（陰極線管）と比較
して軽量、薄型、低消費電力という特徴があるため、表示用として多くの電子機器に使用
されている。液晶表示パネルの液晶層に電界を印加する方法として、縦電界方式のものと
横電界方式のものとが知られている。

縦電界方式の液晶表示パネルは、液晶層を挟んで配置される一対の透明基板上にそれぞ
れ電極が設けられ、これら一対の電極により、概ね列方向の電界を液晶分子に印加するも
のである。この縦電界方式の液晶表示パネルとしては、ＴＮ（Twisted Nematic）モード
、ＶＡ（Vertical Alignment）モード、ＭＶＡ（Multi-domain Vertical Alignment）モ
ード等のものが知られている。

横電界方式の液晶表示パネルは、液晶層を挟んで配設される一対の基板のうちの一方の
内面側にのみ一対の電極を絶縁して設け、概ね横方向の電界を液晶分子に対して印加する
ものである。この横電界方式の液晶表示パネルとしては、一対の電極が平面視で重ならな
いＩＰＳ（In-Plane Switching）モードのものと、重なるＦＦＳ（Fringe Field Switchi
ng）モードのものとが知られている。

このように、液晶表示パネルには複数の方式のものが知られている。これらの液晶表示
パネルは、いずれも液晶分子の配向を変化させるための電界を形成する画素電極及び共通
電極と、マトリクス状に整列された画素ごとに画素電極の電圧を変化させるための走査線
及び信号線が、アレイ基板の表示領域に形成されている。そして、アレイ基板の周縁領域
（非表示領域）には、ドライバー用ＩＣ等との電気的接続用の電極端子が形成され、これ
ら電極端子には走査線及び信号線が引き回し配線を介して電気的に接続されている。

これらの引き回し配線は表示領域に形成されるが、走査線及び信号線用の引き回し配線
は非常に数が多いので、広い非表示領域が必要とされる。小型の液晶表示パネルでは、表
示領域が液晶表示装置の左右のいずれにも偏らないようにして中央に配置されていること
が多く行われている。この場合、ドライバー用ＩＣが、走査線の延在方向ではなく、信号
線の延在方向に配設されているときは、走査線用の引き回し配線を表示領域の左右の両側
から信号線の延在方向に引き回す必要があるため、広い非表示領域が必要とされる。

このような非表示領域に必要な面積を減らす目的で、下記特許文献１には、引き回し配
線を多層構造化した液晶表示パネルが開示されている。ここで、下記特許文献１に開示さ
れている液晶表示パネルの引き回し配線の構成を図６を用いて説明する。

図６Ａは従来例の液晶表示パネルの周縁領域（非表示領域）左側における引き回し配線
の配置を示す部分拡大平面図、図６Ｂは図６ＡのVIＢ−VIＢ線の断面図、図６Ｃは図６Ａ
の第１接続部を拡大した断面図である。

なお、理解を容易とするために、図６Ａにおいては、走査線と同一材料（以下、「ゲー
ト材料」という。）で形成された導電部材を点線で示し、信号線と同一材料（以下、「ソ
ース材料」という。）で形成された導線部材を実線で示している。

下記特許文献１に開示された液晶表示パネルにおいては、アレイ基板は、透明ガラス基
板６０の表面に走査線６１及び信号線６２とがマトリクス状に配置された表示領域と、表
示領域の左右両側（図６Ａにおいては左側のみ示されている）及び下側に位置する非表示
領域とに区画されている。非表示領域には、信号線６２の延在方向に、ドライバー用ＩＣ
（図示省略）との接続や外部接続のためのゲート材料で形成された走査線用電極端子６３
及びソース材料で形成された信号線用電極端子６４が設けられている。非表示領域には、
更に、走査線６１と走査線用電極端子６３とを接続するための引き回し配線６５が形成さ
れている。

この引き回し配線６５は、ゲート材料で構成された第１引き回し配線６５ａと、ソース
材料で構成された第２引き回し配線６５ｂとからなっている。そして、図６Ｂに示される
ように、これらの第１引き回し配線６５ａと、第２引き回し配線６５ｂとは、間にゲート
絶縁膜６６を挟んで２層構造化されていると共に、平面視で互いに重なることなく互い違
いに隣接配置されており、それぞれ交互に走査線６１と電気的に接続されている。この際
、第１引き回し配線６５ａは、一端が走査線６１と直接接続され、他端がゲート絶縁膜６
６の下側に形成された走査線用電極端子６３と直接接続されている。

一方、第２引き回し配線６５ｂは、図６Ｃに示されるように、第１接続部６７において
、第２引き回し配線６５ｂの一端が、ゲート絶縁膜６６に形成されたコンタクトホール６
９を介して走査線６１にブリッジ接続されている。また、第２引き回し配線６５ｂの他端
も、第２接続部６８において、ゲート絶縁膜６６に形成されたコンタクトホール（図示省
略）を介して下側配線部６５ｂ'とブリッジ接続され、この下側配線部６５ｂ'を介して走
査線用電極端子６３と電気的に接続されている。なお、第２接続部６８の構成は、実質的
に第１接続部６７と同様の構成であるので、図示省略した。

この特許文献１の液晶表示パネルによれば、第１及び第２引き回し配線６５ａ、６５ｂ
が２層構造化されていることから、引き回し配線間のピッチを狭めることができ、非表示
領域の占める面積の狭小化が達成される。

特開２００５−９１９６２号公報

このように、従来の液晶表示パネルでは、縦電界方式、横電界方式を問わず、多数の引
き回し配線を、非表示領域の右側或いは左側において、隣接する順に絶縁膜の上と下とに
配置することで狭小スペースに無理なく引き回し配線を配置している。しかしながら、従
来の液晶表示パネルでは、通常、ゲート絶縁膜の下側の第１引き回し配線は、走査線から
延伸し、走査線と同一材料で同時一体形成される。それに対し、ゲート絶縁膜の上側の第
２引き回し配線は、信号線と同一材料で形成され、走査線とはコンタクトホールを介して
電気的に接続されている。

第１透明基板上に何等かの静電気が印加されると、走査線ないし引き回し配線が一種の
アンテナとして作用し、この静電気が走査線に集電される可能性がある。特に、液晶表示
パネルの製造工程中においては、第１引き回し配線に接続されている走査線は、第１引き
回し配線と走査線とが一体化されているために、アンテナとして作用する部分の長さは長
いが、第２引き回し配線に接続される走査線は、第２引き回し配線と走査線とがコンタク
トホールを介して電気的に接続されるまでは、アンテナとして作用する部分は走査線及び
第２引き回し配線に電気的に分離された状態となっている。

したがって、第１引き回し配線と同時一体形成されている走査線は、アンテナとして作
用する部分の長さが第２引き回し配線と分離された状態の走査線よりも長いので、静電気
の影響を受けやすい。そのため、第１引き回し配線に接続される走査線に対応して形成さ
れる薄膜トランジスター（以下、「ＴＦＴ」という。）と、第２引き回し配線に接続され
る走査線に対応して形成されるＴＦＴとは、静電気の影響が異なり、それぞれ電気的特性
が異なってしまうことがある。そして、液晶表示パネルの表示品位を劣化させてしまう。
また、第２引き回し配線に接続される走査線は、第２引き回し配線との接続のためにゲー
ト絶縁膜にコンタクトホールをドライエッチングによって形成する場合があり、コンタク
ホール形成が不要な第１引き回し配線に接続される走査線とは、静電気の影響が異なって
しまうことがある。このように、従来の液晶表示パネルでは主に上記の様な静電気による
影響を受けると、走査線に電気的に接続されるＴＦＴの電気的特性が走査線毎にばらつき
が生じ、表示画面に問題が生じる。

本発明は、従来技術の上記問題点に鑑みてなされたものであって、特に、電気光学表示
パネルの製造工程中において、電気光学表示パネルに静電気等が印加されても、各走査線
が受ける静電気等の影響をできるだけ揃えるようにすることにより、走査線毎の表示のば
らつきをできるだけ抑制することができるようにした電気光学表示パネルを提供すること
を目的とする。

上記目的を達成するため、本発明の電気光学表示パネルは、
透明基板上に絶縁膜を挟んで複数の走査線と信号線とがマトリクス状に配置された表示
領域が形成され、
前記表示領域の周囲の非表示領域には、前記透明基板の端部に配置された複数の端子部
と、前記複数の走査線のそれぞれを前記端子部に接続するための複数の引き回し配線と、
が形成され、
前記複数の引き回し配線は、前記絶縁膜の下面側に配置された第１引き回し配線と、前
記絶縁膜の表面側に配置された第２引き回し配線とからなり、
前記第２引き回し配線は、前記絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して前記走査
線と電気的に接続される電気光学表示パネルであって、
前記第１引き回し配線は、前記絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して、前記第
１引き回し配線及び前記走査線とは別個に形成された導電性材料によって、前記走査線と
電気的に接続されることを特徴とする。

本発明の液晶表示パネルでは、第１引き回し配線に接続される走査線も、第２引き回し
配線に接続される走査線と同様に、引き回し配線と分離されて形成され、絶縁膜に形成さ
れたコンタクトホールを介して、引き回し配線に接続されることになるので、第１引き回
し配線に接続される走査線と第２引き回し配線に接続される走査線とが同様の形態となっ
ていると見なせるために、各走査線での静電気等の影響の差を抑制することができる。こ
れにより、本発明の電気光学表示パネルによれば、外部からの静電気の影響を受けても、
第１引き回し配線に接続される走査線及び第２引き回し配線に接続さる走査線に対応する
ＴＦＴに対する影響は実質的に同様となるので、走査線毎の表示のばらつきを抑制するこ
とができるようになる。

また、本発明の電気光学表示パネルにおいては、前記第１引き回し配線に接続されてい
る前記走査線の長さは、前記第２引き回し配線に接続されている前記走査線の長さと同一
とされていることが好ましい。

第１引き回し配線に接続されている走査線の長さと第２引き回し配線に接続されている
走査線の長さが同一であれば、静電気を拾うアンテナとして作用する部分の長さが同一と
なることになる。そのため、本発明の電気光学表示パネルによれば、外部からの静電気の
影響を受けても、より走査線毎の表示のばらつきを抑制することができるようになる。

また、本発明の電気光学表示パネルにおいては、前記第１引き回し配線に接続される前
記走査線は、前記第１引き回し配線に接続される前記走査線上の前記絶縁膜に形成された
コンタクトホールを介して、前記導電性材料に電気的に接続されることが好ましい。

本発明の電気光学表示パネルでは、前記第１引き回し配線に接続される前記走査線は、
前記走査線上の前記絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して前記第１引き回し配線
と電気的に接続される。第２引き回し配線も、前記絶縁膜に形成されたコンタクトホール
を介して走査線と電気的に接続されている。このため、コンタクトホール形成時、又は形
成後の静電気の影響の差を抑制することができ、より走査線毎の表示のばらつきを抑制す
ることができるようになる。

また、本発明の電気光学表示パネルでは、前記第１引き回し配線に接続される前記走査
線上のコンタクトホールの数は、前記第２引き回し配線に接続される前記走査線上のコン
タクトホールの数と等しいことが好ましい。このため、さらに、コンタクトホール形成時
、又は形成後の静電気の影響の差を抑制することができ、より走査線毎の表示のばらつき
を抑制することができるようになる。

また、本発明の電気光学表示パネルにおいては、前記第１引き回し配線は、前記絶縁膜
の前記第１引き回し配線上および前記走査線上に連続して設けられたコンタクトホールに
形成された前記導電性材料によって、前記走査線と電気的に接続されていることが好まし
い。これにより、特に走査線を被覆する絶縁膜に微細なコンタクトホールを形成する必要
がなくなるので、製造が容易となる。

また、本発明の電気光学表示パネルにおいては、前記第１引き回し配線および前記第２
引き回し配線は、隣接して交互に配置されることが好ましい。これにより、走査線毎の表
示のばらつきを抑制することができるとともに、非表示領域に必要な面積を減らすができ
る。

また、本発明の電気光学表示パネルにおいては、前記第１引き回し配線は前記走査線と
同一の材料で形成されたものであり、前記導電性材料及び前記第２引き回し配線は前記信
号線と同一の材料で形成されたものであることが好ましい。

このような形態とすれば、第１引き回し配線と走査線とを同時に形成でき、また、第２
引き回し配線と導電性材料及び信号線とを同時に形成できるため、特に製造工数を増加さ
せることなく本発明の電気光学表示パネルを作製することができるようになる。

実施形態の液晶表示パネルをカラーフィルター基板を透視して表したアレイ基板の概略平面図である。図２Ａは図１のIIＡ−IIＡ線の断面図、図２Ｂは図１のIIＢ−IIＢ線の断面図である。図３Ａは図１のIIIＡ部分の拡大平面図、図３Ｂは図３ＡのIIIＢ−IIIＢ線の断面図である。図４Ａは図１のIVＡ部分の拡大平面図、図４Ｂは図４ＡのIVＢ−IVＢ線の断面図である。実施形態の変形例を製造工程順に示す断面図である。図６Ａは従来例の液晶表示パネルの周縁領域左側における部分拡大平面図、図６Ｂは図６ＡのVIＢ−VIＢ線の断面図、図６Ｃは図６Ａの第１接続部の拡大断面図である。

以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。ただし、以下に示す実施
形態は、本発明の技術思想を具体化するための電気光学表示パネルとしての液晶表示パネ
ルを例示するものであって、本発明をこの液晶表示パネルに特定することを意図するもの
ではなく、その他の電気光学表示装置等、特許請求の範囲に含まれるその他の実施形態の
ものにも等しく適応し得るものである。更に、この明細書における説明のために用いられ
た各図面においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層
や各部材毎に縮尺を異ならせて表示しており、必ずしも実際の寸法に比例して表示されて
いるものではない。

［実施形態］
図１及び図２を参照して、本発明の実施形態に係る液晶表示パネルの概要を説明する。
なお、理解を容易とするために、図１においては、ゲート材料で形成された走査線、第１
引き回し配線、並びに第２引き回し線の下側配線部は点線で示し、ソース材料で形成され
た信号線並びに第２引き回し配線の上側配線部は実線で示している。なお、本実施形態の
液晶表示パネル１は、アクティブマトリクス方式のものであり、縦電界方式及び横電界方
式の両者共に適用可能であるが、以下においては、縦電界方式の液晶表示パネルを例にと
って説明する。

この液晶表示パネル１は、図２Ａに示すように、透明ガラス基板２を備えるアレイ基板
ＡＲと、これに対向配置される透明ガラス基板３を備えるカラーフィルター基板ＣＦとを
有している。アレイ基板ＡＲとカラーフィルター基板ＣＦとは、その周囲に塗布されたシ
ール材４により、内部に適宜の本数の柱状スペーサー（図示せず）を介在させて、張り合
わされている。柱状スペーサーは、アレイ基板ＡＲとカラーフィルター基板ＣＦとの間の
距離を一定に維持するために形成されるものである。

そして、アレイ基板ＡＲ、カラーフィルター基板ＣＦ及びシール材４によって形成され
た内部空間内に液晶が注入され、液晶層５が構成されている。なお、アレイ基板ＡＲ上に
は、スイッチング素子としてのＴＦＴ、画素電極、各種配線及び絶縁膜等が設けられてい
るが、これらは図２Ａにおいては構造物６として包括的に図示されている。また、カラー
フィルター基板ＣＦには、カラーフィルター層、遮光部材、共通電極等が設けられている
が、これらは、図２Ａにおいては、構造物７として包括的に図示されている。

アレイ基板ＡＲは、図１に示すように上下に短辺２ｂ、２ａ及び左右に長辺２ｃ、２ｄ
を有する縦長長方形状をなし、下方には、張り出し部２ａ'が設けられている。この張り
出し部２ａ'は、アレイ基板ＡＲとカラーフィルター基板ＣＦとを積層して貼合せた後に
、上側に位置するカラーフィルター基板ＣＦをスクライブ線ＳＣＲに沿って分断すること
によって、下側に位置するアレイ基板ＡＲの上面の一部が平面視でカラーフィルター基板
ＣＦから露出することにより特定される部位である。スクライブ線ＳＣＲは、本発明と直
接関係するものではないが、図１においては点線で示されている。

張り出し部２ａ'には、ＩＣチップ実装領域が設けられており、このＩＣチップ実装領
域には、例えば走査線駆動用ドライバー回路及び信号線駆動用ドライバー回路がワンチッ
プ化されたドライバー用ＩＣＤｒが搭載されている。ドライバー用ＩＣＤｒの実装領域の
中央部からアレイ基板ＡＲの上側短辺２ｂに向けて信号線駆動用ドライバー回路に対応す
る線状の複数本の信号線用電極端子ｔ３が形成されている。また、ＩＣチップ実装領域の
両側部からアレイ基板ＡＲの上側短辺２ｂに向けて走査線駆動用ドライバー回路に対応す
る線状の複数本の走査線用電極端子ｔ１、ｔ２がそれぞれ延在して設けられている。ＩＣ
チップ実装領域には、更に、ドライバー用ＩＣＤｒからアレイ基板ＡＲの下側短辺２ａに
向かって複数本の外部接続端子Ｔが導出されている。これらの外部接続端子Ｔには、フレ
キシブル配線基板（図示省略）が接続される。

また、アレイ基板ＡＲの液晶層５側には、中央に表示領域ＤＡが配され、その左右と下
に非表示領域（左側非表示領域ＰＡＬ、右側非表示領域ＰＡＲ、下側周縁領域ＰＡＢ）が
それぞれ区画されている。

表示領域ＤＡには例えばＭｏ（モリブデン）／Ａｌ（アルミニウム）の２層金属材料か
らなる複数本の走査線ＧＷ１〜ＧＷｎと、Ｍｏ／Ａｌ／Ｍｏの３層金属材料からなる複数
本の信号線ＳＷ１〜ＳＷｍとが、ゲート絶縁膜１０（本発明の「絶縁膜」に相当。図２Ｂ
参照。）を挟んで互いに絶縁された状態でマトリクス状に配設されている。これらの走査
線ＧＷ１〜ＧＷｎと信号線ＳＷ１〜ＳＷｍとの交差部近傍には、走査線ＧＷ１〜ＧＷｎか
らの走査信号によって動作するスイッチング素子としてのＴＦＴ（図示省略）が形成され
ている。また、表示領域ＤＡの各画素には、ＴＦＴを介して信号線ＳＷ１〜ＳＷｍからの
映像信号が供給される画素電極（図示省略）が形成される。なお、この画素電極は、ＩＴ
Ｏ（Indium Tin Oxide）ないしＩＺＯ（Indium Zinc Oxide）等の透明導電性材料からな
る層で形成することができる。

なお、走査線ＧＷ１〜ＧＷｎは、窒化ケイ素や酸化ケイ素等の透明絶縁材料からなるゲ
ート絶縁膜１０で覆われている。そしてゲート絶縁膜１０の表面には、複数本の信号線Ｓ
Ｗ１〜ＳＷｍが各走査線ＧＷ１〜ＧＷｎと交差するように配設されている。これらの信号
線ＳＷ１〜ＳＷｍは、左側長辺２ｃから右側長辺２ｄまで所定のピッチでそれぞれ縦列に
配設されている。

走査線ＧＷ１〜ＧＷｎは、上側短辺２ｂから下側短辺２ａまで、所定のピッチでそれぞ
れ平行に横列に配設されている。これらの走査線ＧＷ１〜ＧＷｎは、上側から順に一本ご
とに左右に振り分けられ、その左右いずれからの端部は非表示領域ＰＡＬ、ＰＡＲにまで
達している。

左右に振り分けられた走査線ＧＷ１〜ＧＷｎは、更に、交互に、第１引き回し配線（Ｒ
Ｄ１〜ＲＤｎ、ＬＤ１〜ＬＤｎ）と、第２引き回し配線（ＲＵ１〜ＲＵｎ、ＬＵ１〜ＬＵ
ｎ）に接続されている。ここで、第１引き回し配線とは、ゲート絶縁膜１０の下面側に配
置されたゲート材料で走査線と同時に形成された引き回し配線を指し、第２引き回し配線
とは、ゲート絶縁膜１０の上面側にソース材料で信号線と同時に形成された引き回し配線
を指す。

より具体的には、図１に示すように、走査線ＧＷ１は、右側非表示領域ＰＡＲに配設さ
れた第１引き回し配線ＲＤ１に接続される。走査線ＧＷ２は、左側非表示領域ＰＡＬに配
設された第１引き回し配線ＬＤ１に接続される。走査線ＧＷ３は、右側非表示領域ＰＡＲ
に配設された第２引き回し配線ＲＵ１に接続される。走査線ＧＷ４は、左側非表示領域Ｐ
ＡＬに配設された第２引き回し配線ＬＵ１に接続される。走査線ＧＷ５は、右側非表示領
域ＰＡＲに配設された第１引き回し配線ＲＤ２に接続される。走査線ＧＷ６は、左側非表
示領域ＰＡＬに配設された第１引き回し配線ＬＤ２に接続される。以降、このように走査
線ＧＷｎと引き回し配線とが接続されている。

このようにして、奇数番目の走査線ＧＷ１、ＧＷ３、ＧＷ５、ＧＷ７・・・は、図１に
おける右側の周縁領域ＰＡＲに設けられた第１と第２の引き回し配線ＲＤ１、ＲＵ１、Ｒ
Ｄ２、ＲＵ２・・・にそれぞれ接続されている。このようにして奇数番目の走査線右側の
周縁領域ＰＡＲを張り出し部２ａ'まで延在され、ＩＣチップＤｒの実装領域の走査線用
電極端子ｔ１と電気的に接続されている。

また、同様にして、偶数番目の走査線ＧＷ２、ＧＷ４、ＧＷ６、ＧＷ８・・・は、左側
の周縁領域ＰＡＬに設けられた第１と第２の引き回し配線ＬＤ１、ＬＵ１、ＬＤ２、ＬＵ
２・・・にそれぞれ接続され、偶数番目の走査線左側の周縁領域ＰＡＬから張り出し部２
ａ'まで延在され、ＩＣチップ実装領域の走査線用電極端子ｔ２と電気的に接続されてい
る。

この際、走査線と走査線用電極端子ｔ１又はｔ２とを接続する第２引き回し配線は、例
えば参照符号IIIＡで示される位置で、走査線ＧＷとブリッジ接続されており、またスク
ライブ線ＳＣＲより下方の位置、例えば参照符号IIIＡ'で示される位置で、再度走査線用
電極端子１、２と同じくブリッジ接続されている。

これらのブリッジ接続の構成は同一であるので、ここでは参照符号IIIＡで示される位
置を代表して、走査線ＧＷとブリッジ接続する構成を、走査線ＧＷ３及び第２引き回し配
線ＲＵ１に代表させ、図３を用いて説明する。第２引き回し配線ＲＵ１はゲート絶縁膜１
０とパッシベーション膜１１との間に形成されており、このブリッジ接続箇所では、走査
線ＳＷ３の表面のゲート絶縁膜１０及びパッシベーション膜１１を貫通するように第１コ
ンタクトホール１２が形成され、第２引き回し配線ＲＵ１の表面のパッシベーション膜１
１を貫通するように第２コンタクトホール１３が形成されている。

更に、第１コンタクトホール１２及び第２コンタクトホール１３を介して透明導電性材
料からなる導電層１４がブリッジ状に形成されており、走査線ＧＷ３と第１引き回し配線
ＲＵ１とが透明導電性材料からなる導電層１４によって電気的に接続されている。この透
明導電性材料からなる層１４は、例えば表示領域ＤＡに形成する画素電極(図示省略)と同
じＩＴＯないしＩＺＯで形成することができるため、画素電極と同時に形成することがで
きる。

次に、本発明の要部を図４を参照して説明する。本発明の要部は、例えば図４Ａに示さ
れているように、走査線ＧＷと第１引き回し配線（ＲＤｎ、ＬＤｎ）との接続状態にある
。ここでは、図１の参照符号IVＡで示される位置の走査線ＧＷ１と第１引き回し配線ＲD
１との接続の様子を代表して、その構成を説明する。

図４Ａに示されるように、走査線ＧＷ１と第１引き回し配線ＲＤ１とは、コンタクト部
ＣＴを介して接続されている。コンタクト部ＣＴの詳細を図４Ｂに示す。なお、図４Ｂは
図４ＡのIVＢ−IVＢ線の断面図である。

走査線ＧＷ１及び第１引き回し配線ＲＤ１は、いずれも透明基板２の表面にゲート材料
で同時に形成されており、その側端部同士は一定間隔、隔てられている。走査線ＧＷ１及
び第１引き回し配線ＲＤ１は、表面がゲート絶縁膜１０で被覆されるとともに、走査線Ｇ
Ｗ１の表面のゲート絶縁膜１０には走査線ＧＷ１の一部を露出させる第３コンタクトホー
ル１５が形成され、第１引き回し配線ＲＤ１の表面にも、第１引き回し配線ＲＤ１の一部
を露出させる第４コンタクトホール１６が設けられている。

これら第３コンタクトホール１５及び第４コンタクトホール１６を含むゲート絶縁膜１
０の表面は、信号線ＳＷ１及び第１引き回し配線ＲＤ１に隣接する第２引き回し配線ＲＵ
１と同時に形成されるソース材料で被覆されている。なお、隣接する走査線ＧＷ３及び第
２引き回し配線ＲＵ１との間の接続は、図３Ａ及び図３Ｂに示したとおり、透明導電性材
料からなる導電層１４でブリッジ接続してもよいし、ソース材料である第２引き回し配線
ＲＵ１と走査線ＧＷ３を直接接続してもよい。また、本実施形態では、走査線ＧＷ１と第
１引き回し配線ＲＤ１をソース材料により接続したが、走査線ＧＷ３及び第２引き回し配
線ＲＵ１との間のブリッジ接続と同じ透明導電からなる材料により接続してもよい。

このように、走査線ＧＷ１と第１引き回し配線（ＲＤ、ＬＤ）を導電性材料１７により
接続する以前の段階では、第１引き回し線の長短にかかわらず、第１引き回し配線に接続
される全ての走査線の長さ（アンテナ長）を第２引き回し配線に接続される走査線の長さ
と等しくすることができる。したがって外部から浸入した静電気は、表示領域上の第１引
き回し配線に接続された複数の走査線及び第２引き回し配線に接続された複数の走査線に
均等に分散されるので、これらの走査線に接続されているＴＦＴに対する影響はほぼ等し
くなる。これにより、外部からの静電気の影響を受けても、それぞれの走査線に接続され
ているＴＦＴに対する影響は、実質的に同様になるので、走査線毎の表示のばらつきを抑
制することができるようになる。

また、走査線ＧＷ３の一部を露出させるコンタクトホール１２とともに、走査線ＧＷ１
の一部を露出させるコンタクトホール１５を形成することによって、ドライエッチングに
よるコンタクトホール形成時の静電気の影響の差やコンタクトホール形成後の静電気の影
響の差を軽減することができる。

なお、信号線ＳＷ１〜ＳＷｍは、下方端が周縁領域ＰＡＢ内を延在されて張り出し部２
ａ'に形成された信号線用電極端子ｔ３に電気的に接続されている。この信号線ＳＷ１〜
ＳＷｍと信号線用電極端子ｔ３とはパッシベーション膜１１で被覆されたソース材料と同
時一体形成されている。したがって、信号線接続用引き回し配線は、本発明の第２引き回
し配線と同様に、表面が露出されることはない。

以上のようにして、本実施形態の液晶表示パネルによれば、走査線と、この走査線と同
層に形成された第１引き回し配線とを、導電性材料で接続するように構成したので、製造
プロセス中に、全ての走査線の長さ（アンテナ長）を等しくすることができ、それにより
、静電気は表示領域上の複数の走査線の全てに均等に分散されるので、外部からの静電気
の影響を受けても、より走査線毎の表示のばらつきを抑制することができるようになる。

［変形例］
上述の実施形態では、図４に示したコンタクト部ＣＴでは、第１コンタクトホール１５
と第２コンタクトホール１６の２つのコンタクトホールを設けたが、接触抵抗の低減を考
慮し、これら２つのコンタクトホールを合わせてコンタクト部ＣＴに１つのコンタクトホ
ールのみを形成すればよくなる。

本実施形態の変形例のコンタクト部ＣＴの構造を、製造工程と共に図５を用いて説明す
る。なお、図５は、実施形態の変形例を製造工程順に示す断面図である。この変形例にお
いても、走査線ＧＷ１及び第１引き回し配線ＲＤ１は、いずれも透明基板２の表面にゲー
ト材料で同時に形成され、その側端部同士は一定間隔開けられている（図５Ａ）。その後
、これらの表面をゲート絶縁膜１０の形成工程で同時に被覆したのち（図５Ａ）、走査線
ＧＷ１と、第１引き回し配線ＵＲ１の側端部を露出させる１つのコンタクトホール１８を
設ける（図５Ｂ）。その後、信号線ＳＷ等の形成と同時に、ソース材料で、コンタクトホ
ール１８を被覆する。このような方法によっても、走査線ＧＷと、第１引き回し配線（Ｒ
Ｄ、ＬＤ）は、接触抵抗を生じさせる導電性材料１７により接続することができ、上記実
施形態と同様の効果を得ることができる。

１…液晶表示パネル２…第１透明ガラス基板３…第２透明ガラス基板４…シール
材５…液晶層６…第１構造物７…第２構造物１０…ゲート絶縁膜１１…パッシ
ベーション膜１２…第１コンタクトホール１３…第２コンタクトホール１４…透明
導電層１５…第３コンタクトホール１６…第４コンタクトホール１７…導電性材料
１８…コンタクトホール６０…透明ガラス基板６１…走査線６２…信号線６３
…走査線用電極端子６４…信号線用電極端子６５…引き回し配線６６…ゲート絶縁
膜６７…第１接続部６８…第２接続部６９…コンタクトホールＡＲ…アレイ基板
ＣＦ…カラーフィルター基板ＣＴ…コンタクト部ＤＡ…表示領域ＧＷ…走査線
Ｄｒ…ドライバー用ＩＣＰＡＢ…下側周縁領域ＰＡＬ…左側非表示領域ＰＡＲ…右
側非表示領域ＲＤ…右側第１引き回し配線ＬＤ…左側第１引き回し配線ＲＵ…右側
第２引き回し配線ＬＵ…左側第２引き回し配線ＳＣＲ…スクライブ線ＳＷ…信号線
Ｔ…外部接続端子ｔ１…走査線用電極端子ｔ２…走査線用電極端子ｔ３…信号線用
電極端子

Claims

透明基板上に絶縁膜を挟んで複数の走査線と信号線とがマトリクス状に配置された表示
領域が形成され、
前記表示領域の周囲の非表示領域には、前記透明基板の端部側に配置された複数の端子
部と、前記複数の走査線のそれぞれを前記端子部に接続するための複数の引き回し配線と
、が形成され、
前記複数の引き回し配線は、前記絶縁膜の下面側に配置された第１引き回し配線と、前
記絶縁膜の表面側に配置された第２引き回し配線とからなり、
前記第２引き回し配線は、前記絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介し前記走査線
と電気的に接続される電気光学表示パネルであって、
前記第１引き回し配線は、前記第１引き回し配線及び前記走査線とは別個に形成された
導電性材料によって、前記走査線と電気的に接続されることを特徴とする電気光学表示パ
ネル。
前記第１引き回し配線に接続される前記走査線の長さは、前記第２引き回し配線に接続
される前記走査線の長さと同一とされていることを特徴とする請求項１に記載の電気光学
表示パネル。
前記第１引き回し配線に接続される前記走査線は、前記第１引き回し配線に接続される
前記走査線上の前記絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して、前記導電性材料に電
気的に接続されていることを特徴とする請求項１に記載の電気光学表示パネル。
前記第１引き回し配線に接続される前記走査線上のコンタクトホールの数は、前記第２
引き回し配線に接続される前記走査線上のコンタクトホールの数と等しいことを特徴とす
る請求項３に記載の電気光学表示パネル。
前記第１引き回し配線は、前記絶縁膜の前記第１引き回し配線上および前記走査線上に
連続して設けられたコンタクトホールに形成された前記導電性材料によって、前記走査線
と電気的に接続されていることを特徴とする請求項１に記載の電気光学表示パネル。
前記第１引き回し配線および前記第２引き回し配線は、隣接して交互に配置されること
を特徴とする請求項１に記載の電気光学表示パネル。
前記第１引き回し配線は前記走査線と同一の材料で形成されたものであり、前記導電性
材料及び前記第２引き回し配線は前記信号線と同一の材料で形成されたものであることを
特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の電気光学表示パネル。