JP2011158376A - 回転体位置測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回転体6の回転軸に垂直な平面に対して傾斜角度θで反射ミラー8を回転体6に取り付けて、干渉測長手段である光学ユニット10から回転体6の回転軸に沿って照射される入射光20aを反射ミラー8によって反射させて干渉縞を得る。入射光20aの光路を回転軸から径方向にずらした距離Rと、入射光20aの波長λと、傾斜角度θとの関係が、0.4λ<2Rsinθを満たすように設定することで、サイクリックエラーによる測長誤差を低減する。
【選択図】図1
Description
0.4λ<2Rsinθ
ここで、λ:測定光の波長
2 定盤
3 主軸ハウジング
4 軸受け
5 主軸
6 回転体
7 モーター
8 反射ミラー
9 傾斜調整機構
10 光学ユニット
12 ビームスプリッタ
13 参照ミラー
14 受光素子
17 高さ調整機構
Claims (4)
- 回転体の位置を干渉測長手段によって測定する回転体位置測定方法において、
前記回転体の回転軸に垂直な平面に対して傾斜した反射ミラーを前記回転体に固定し、前記回転軸に沿って照射される測定光を前記反射ミラーによって反射させ、前記回転体を回転させながら前記干渉測長手段による測長データを得る工程と、
得られた測長データを演算処理することによって前記回転体の回転軸方向の変位を求める工程と、を有し、
前記測定光は、前記回転軸に対して垂直な方向にずれた位置に照射され、前記測定光の前記回転軸からの距離Rと、前記反射ミラーの傾斜角度θが以下の関係を満たすことを特徴とする回転体位置測定方法。
0.4λ<2Rsinθ
ここで、λ:測定光の波長 - 回転体の位置を干渉測長手段によって測定する回転体位置測定方法において、
前記回転体の回転軸に垂直な平面に対して傾斜した反射ミラーを前記回転体に固定し、前記回転軸に沿って照射される測定光を前記反射ミラーによって反射させ、前記回転体を回転させながら前記干渉測長手段による測長データを得る工程と、
得られた測長データを演算処理することによって前記回転体の回転軸方向の変位を求める工程と、を有し、
前記測定光は、前記回転軸に対して垂直な方向にずれた位置に照射され、前記測定光の前記回転軸からの距離Rと、前記反射ミラーの傾斜角度θが以下の関係を満たすことを特徴とする回転体位置測定方法。
0.45λ<2Rsinθ<0.55
ここで、λ:測定光の波長 - 前記演算処理においては、前記測長データを平均化処理することを特徴とする請求項1又は2に記載の回転体位置測定方法。
- 前記演算処理においては、前記測長データをフィルタリング処理することを特徴とする請求項1又は2に記載の回転体位置測定方法。
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