JP2011155081A - 流量測定装置及び流量測定方法 - Google Patents
流量測定装置及び流量測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011155081A JP2011155081A JP2010014725A JP2010014725A JP2011155081A JP 2011155081 A JP2011155081 A JP 2011155081A JP 2010014725 A JP2010014725 A JP 2010014725A JP 2010014725 A JP2010014725 A JP 2010014725A JP 2011155081 A JP2011155081 A JP 2011155081A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- exhaust
- mist
- imaging
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
【解決手段】
排気路の排気流量を測定する流量測定装置8において、ミスト供給部81は排気路7中にミストを供給し、撮像部82はこのミスト供給部81よりも下流側の排気路7を撮像する一方、推定部200はミスト供給部81から供給されたミストを前記撮像部82により撮像した撮像結果に基づいて排気流量を推定する。
【選択図】図6
Description
前記排気路中にミストを供給するためのミスト供給部と、
前記排気路におけるミスト供給部よりも下流側を撮像するために設けられた撮像部と、
前記ミスト供給部から供給されたミストを前記撮像部により撮像した撮像結果に基づいて排気流量を推定する推定部と、を備えたことを特徴とする。
(a)前記ミスト供給部よりも下流側において、前記排気路を形成する壁部の少なくとも一部が当該排気路の外から内部を覗くことができるように透明部材により構成され、前記撮像部は、この透明部材の外側に設けられていること。
(b)前記推定部は、ミスト供給部からミストが供給されてから予め設定した時間が経過した時点において撮像された画像中のミスト群の下流端の位置に基づいて排気流量を推定すること。
(c)前記推定部は、ミスト供給部からミストが供給されてからミスト群の下流端が予め設定した位置に到達するまでの時間を計測し、この計測時間に基づいて排気流量を推定すること。
(d)前記推定部は、前記撮像部で予め設定された時間だけ連続露光して撮像された画像中のミストが描く軌跡の長さに基づいて排気流量を推定すること。
(e)前記排気路は、液処理装置に設けられた排気路であり、この液処理装置は、下部に前記排気路が接続されたカップ体内の基板保持部に基板を水平に保持し、この基板に薬液を供給した状態で基板保持部を回転させて基板を処理する装置であること。
(f)前記カップ体は複数配置され、これら複数のカップ体の下部に各々接続された排気路は共通の排気路に接続され、前記撮像部により撮像されて排気流量の測定対象となる排気路は、前記カップ体と前記共通の排気路との間に位置する排気路であること。
本実施の形態において、流量測定装置8は例えばダンパー71の下流側の位置に配置されており、排気流量の測定の際に利用されるミストがダンパー71による排気流量の調節の妨げとならないようになっている。
以上に説明した処理が他の液処理ユニット21、22においても順次、並行して行われる。
アラームを確認したオペレータは排気流量の検出結果などを確認し、当該アラームの発報した液処理ユニット20、21、22の運転継続の可否やダンパー71などのメンテナンスの要否などを判断することができる。
10 液処理装置
20、21、22
液処理ユニット
200 制御部
3 スピンチャック
4 カップ体
7 排気路
71 ダンパー
72 共通排気路
8 流量測定装置
81 ミスト供給部
82 撮像部
83 照明ランプ
Claims (11)
- 排気路の排気流量を測定する流量測定装置において、
前記排気路中にミストを供給するためのミスト供給部と、
前記排気路におけるミスト供給部よりも下流側を撮像するために設けられた撮像部と、
前記ミスト供給部から供給されたミストを前記撮像部により撮像した撮像結果に基づいて排気流量を推定する推定部と、を備えたことを特徴とする流量測定装置。 - 前記ミスト供給部よりも下流側において、前記排気路を形成する壁部の少なくとも一部が当該排気路の外から内部を覗くことができるように透明部材により構成され、
前記撮像部は、この透明部材の外側に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の流量測定装置。 - 前記推定部は、ミスト供給部からミストが供給されてから予め設定した時間が経過した時点において撮像された画像中のミスト群の下流端の位置に基づいて排気流量を推定することを特徴とする請求項1または2に記載の流量測定装置。
- 前記推定部は、ミスト供給部からミストが供給されてからミスト群の下流端が予め設定した位置に到達するまでの時間を計測し、この計測時間に基づいて排気流量を推定することを特徴とする請求項1または2に記載の流量測定装置。
- 前記推定部は、前記撮像部で予め設定された時間だけ連続露光して撮像された画像中のミストが描く軌跡の長さに基づいて排気流量を推定することを特徴とする請求項1または2に記載の流量測定装置。
- 前記排気路は、液処理装置に設けられた排気路であり、
この液処理装置は、下部に前記排気路が接続されたカップ体内の基板保持部に基板を水平に保持し、この基板に薬液を供給した状態で基板保持部を回転させて基板を処理する装置であることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一つに記載の流量測定装置。 - 前記カップ体は複数配置され、これら複数のカップ体の下部に各々接続された排気路は共通の排気路に接続され、
前記撮像部により撮像されて排気流量の測定対象となる排気路は、前記カップ体と前記共通の排気路との間に位置する排気路であることを特徴とする請求項6に記載の流量測定装置。 - 排気路の排気流量を測定する方法において、
ミスト供給部から前記排気路中にミストを供給する工程と、
前記排気路におけるミスト供給部よりも下流側を撮像部により撮像する工程と、
前記ミスト供給部から供給されたミストを前記撮像部により撮像した撮像結果に基づいて排気流量を推定する工程と、を含むことを特徴とする流量測定方法。 - 前記排気流量を推定する工程は、ミスト供給部からミストが供給されてから予め設定した時間が経過した時点において撮像された画像中のミスト群の下流端の位置に基づいて排気流量を推定する工程であることを特徴とする請求項7に記載の流量測定方法。
- 前記排気流量を推定する工程は、ミスト供給部からミストが供給されてからミスト群の下流端が予め設定した位置に到達するまでの時間を計測し、この計測時間に基づいて排気流量を推定する工程であることを特徴とする請求項7に記載の流量測定方法。
- 前記排気流量を推定する工程は、記撮像部で予め設定された時間だけ連続露光して撮像された画像中のミストが描く軌跡の長さに基づいて排気流量を推定する工程であることを特徴とする請求項7に記載の流量測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010014725A JP5407900B2 (ja) | 2010-01-26 | 2010-01-26 | 流量測定装置及び流量測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010014725A JP5407900B2 (ja) | 2010-01-26 | 2010-01-26 | 流量測定装置及び流量測定方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011155081A true JP2011155081A (ja) | 2011-08-11 |
JP2011155081A5 JP2011155081A5 (ja) | 2011-12-15 |
JP5407900B2 JP5407900B2 (ja) | 2014-02-05 |
Family
ID=44540850
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010014725A Expired - Fee Related JP5407900B2 (ja) | 2010-01-26 | 2010-01-26 | 流量測定装置及び流量測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5407900B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI834370B (zh) | 2021-11-26 | 2024-03-01 | 日商東芝三菱電機產業系統股份有限公司 | 霧滴流量測量裝置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0315721A (ja) * | 1989-02-10 | 1991-01-24 | Tokyo Electron Ltd | 流量測定方法およびこれを用いた処理装置,レジスト処理装置 |
JPH04176115A (ja) * | 1990-11-08 | 1992-06-23 | Tokyo Electron Ltd | 排気装置及び処理装置 |
JPH06109752A (ja) * | 1992-03-16 | 1994-04-22 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 流体の流れ検知装置 |
JPH10312952A (ja) * | 1997-05-14 | 1998-11-24 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2007085784A (ja) * | 2005-09-20 | 2007-04-05 | Photron Ltd | 流体計測装置および流体計測方法 |
-
2010
- 2010-01-26 JP JP2010014725A patent/JP5407900B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0315721A (ja) * | 1989-02-10 | 1991-01-24 | Tokyo Electron Ltd | 流量測定方法およびこれを用いた処理装置,レジスト処理装置 |
JPH04176115A (ja) * | 1990-11-08 | 1992-06-23 | Tokyo Electron Ltd | 排気装置及び処理装置 |
JPH06109752A (ja) * | 1992-03-16 | 1994-04-22 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 流体の流れ検知装置 |
JPH10312952A (ja) * | 1997-05-14 | 1998-11-24 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2007085784A (ja) * | 2005-09-20 | 2007-04-05 | Photron Ltd | 流体計測装置および流体計測方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI834370B (zh) | 2021-11-26 | 2024-03-01 | 日商東芝三菱電機產業系統股份有限公司 | 霧滴流量測量裝置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5407900B2 (ja) | 2014-02-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI357099B (en) | Polishing apparatus | |
US8887657B2 (en) | Film forming system and method using application nozzle | |
US9698062B2 (en) | System and method for performing a wet etching process | |
KR101709863B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
US20150262848A1 (en) | Substrate processing apparatus and substrate processing method for discharge of processing liquid from nozzle | |
JP2007046156A (ja) | 半導体基板に金属を無電界堆積する装置 | |
US10651064B2 (en) | Substrate treatment device and substrate treatment method | |
JP5336441B2 (ja) | 液処理装置及び液処理方法 | |
US20070245591A1 (en) | Methods for drying objects using aerosols | |
JP4931605B2 (ja) | 半導体基板上へ金属を無電解堆積するための装置 | |
JP2010239013A (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
JP5290837B2 (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
JP5407900B2 (ja) | 流量測定装置及び流量測定方法 | |
JP2003017384A (ja) | 半導体製造装置、液処理装置、及び液処理装置の運転方法 | |
JP2016115863A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
KR20170077031A (ko) | 기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및 기억 매체 | |
KR102301912B1 (ko) | 액 토출 특성 검사 유닛, 액 토출 특성 검사 방법 및 기판 처리 장치 | |
JP7040870B2 (ja) | 基板処理装置、及び基板処理装置の部品検査方法 | |
TW202405893A (zh) | 基板處理裝置及基板處理方法 | |
KR20230101664A (ko) | 기판 처리 장치 및 방법 | |
JP2020174099A (ja) | 基板処理装置及び異常検出方法 | |
CN113539888A (zh) | 基板处理装置 | |
JP2003098127A (ja) | 蛍光x線分析用試料前処理装置およびそれを備えた蛍光x線分析システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111031 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111101 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130212 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130401 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131008 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131021 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5407900 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |