JP2011155081A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. 排気路の排気流量を測定する流量測定装置において、
   前記排気路中にミストを供給するためのミスト供給部と、
   前記排気路におけるミスト供給部よりも下流側を撮像するために設けられた撮像部と、
   前記ミスト供給部から供給されたミストを前記撮像部により撮像した撮像結果に基づいて排気流量を推定する推定部と、を備えたことを特徴とする流量測定装置。
2. 前記ミスト供給部よりも下流側において、前記排気路を形成する壁部の少なくとも一部が当該排気路の外から内部を覗くことができるように透明部材により構成され、
   前記撮像部は、この透明部材の外側に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の流量測定装置。
3. 前記推定部は、ミスト供給部からミストが供給されてから予め設定した時間が経過した時点において撮像された画像中のミスト群の下流端の位置に基づいて排気流量を推定することを特徴とする請求項１または２に記載の流量測定装置。
4. 前記推定部は、ミスト供給部からミストが供給されてからミスト群の下流端が予め設定した位置に到達するまでの時間を計測し、この計測時間に基づいて排気流量を推定することを特徴とする請求項１または２に記載の流量測定装置。
5. 前記推定部は、前記撮像部で予め設定された時間だけ連続露光して撮像された画像中のミストが描く軌跡の長さに基づいて排気流量を推定することを特徴とする請求項１または２に記載の流量測定装置。
6. 前記排気路は、液処理装置に設けられた排気路であり、
   この液処理装置は、下部に前記排気路が接続されたカップ体内の基板保持部に基板を水平に保持し、この基板に薬液を供給した状態で基板保持部を回転させて基板を処理する装置であることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一つに記載の流量測定装置。
7. 前記カップ体は複数配置され、これら複数のカップ体の下部に各々接続された排気路は共通の排気路に接続され、
   前記撮像部により撮像されて排気流量の測定対象となる排気路は、前記カップ体と前記共通の排気路との間に位置する排気路であることを特徴とする請求項６に記載の流量測定装置。
8. 排気路の排気流量を測定する方法において、
   ミスト供給部から前記排気路中にミストを供給する工程と、
   前記排気路におけるミスト供給部よりも下流側を撮像部により撮像する工程と、
   前記ミスト供給部から供給されたミストを前記撮像部により撮像した撮像結果に基づいて排気流量を推定する工程と、を含むことを特徴とする流量測定方法。
9. 前記排気流量を推定する工程は、ミスト供給部からミストが供給されてから予め設定した時間が経過した時点において撮像された画像中のミスト群の下流端の位置に基づいて排気流量を推定する工程であることを特徴とする請求項８に記載の流量測定方法。
10. 前記排気流量を推定する工程は、ミスト供給部からミストが供給されてからミスト群の下流端が予め設定した位置に到達するまでの時間を計測し、この計測時間に基づいて排気流量を推定する工程であることを特徴とする請求項８に記載の流量測定方法。
11. 前記排気流量を推定する工程は、記撮像部で予め設定された時間だけ連続露光して撮像された画像中のミストが描く軌跡の長さに基づいて排気流量を推定する工程であることを特徴とする請求項８に記載の流量測定方法。