JP2017502251A5 - 流体処理装置および流体流れを冷却する方法 - Google Patents

Claims (22)

1. 第１流体流れを冷却するように構成されている流体処理装置であって、
   サーマルチャンバ内において前記第１流体流れを冷却するように構成されているサーマルチャンバと、
   前記第１流体流れを前記サーマルチャンバに流入させるように構成されている注入路と、
   冷却された第２流体流れを前記サーマルチャンバから流出させるように構成されている流出路と、を備えており、
   前記流出路に沿った第２流体流れは、前記注入路に沿った第１流体流れの熱エネルギーよりも低い熱エネルギーを有しており、
   前記流出路は前記注入路に熱的に接続されており、前記流出路は、該流出路に沿って流れる冷却された第２流体流れと前記注入路に沿った第１流体流れとの間において熱エネルギーを移動させることによって、前記第１流体流れを前記サーマルチャンバに入る前に冷却するように構成されている、流体処理装置。
2. 前記流出路に沿った第２流体流れが、前記注入路に沿った第１流体流れから隔離されている、請求項１に記載の流体処理装置。
3. 前記流出路を介して前記サーマルチャンバから出る第２流体流れが、前記サーマルチャンバに沿った第１流体流れの一部である、請求項１または２に記載の流体処理装置。
4. 前記流出路が流体通路を介して前記注入路に熱的に接続されており、前記流体通路が前記流出路と熱的に連通するとともに前記注入路と熱的に連通しており、前記流体通路が内部に第３流体流れを受容するように構成されており、前記流体通路に沿った第３流体流れと前記流出路に沿った第２流体流れとの間を熱エネルギーが移動することによって、前記第３流体流れが冷却され、前記注入路に沿った第１流体流れと前記流体通路に沿った第３流体流れとの間を熱エネルギーが移動することによって、前記注入路に沿った第１流体流れが冷却される、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の流体処理装置。
5. 前記流体通路に沿った第３流体流れが、前記注入路に沿った第１流体流れから隔離されている、請求項４に記載の流体処理装置。
6. 前記流出路に沿った第２流体流れが、前記注入路に沿った第１流体流れと同じ流体流れであり、前記注入路からの第１流体流れが前記第２流体流れとして前記流出路を介して前記サーマルチャンバから流出する、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の流体処理装置。
7. 排出路であって、前記注入路からの第１流体流れを前記サーマルチャンバから該排出路を介して流出させるように構成されている排出路と、前記第２流体流れを前記サーマルチャンバに流入させるように構成されている流入路と、をさらに備え、前記流入路が前記流出路と連通しており、前記サーマルチャンバに入る前記第２流体流れが、前記流出路を介してサーマルチャンバから流出するように構成されている、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の流体処理装置。
8. 前記流体通路が、蒸発性液体を有している、請求項４または５に記載の流体処理装置。
9. 前記サーマルチャンバが蒸発性液体を有している、請求項１乃至８のいずれか一項に記載の流体処理装置。
10. 前記注入路および排出路の少なくとも一方が蒸発性液体を有している、請求項７乃至９のいずれか一項に記載の流体処理装置。
11. 前記注入路から排出路まで流れる前記第１流体流れが気流であり、前記流入路から流出路まで流れる前記第２流体流れが蒸発性液体流れであり、前記サーマルチャンバを通る前記気流が前記蒸発性液体流れを気化させることによって前記蒸発性液体流れが冷却され、その結果前記サーマルチャンバが冷却される、請求項７乃至１０のいずれか一項に記載の流体処理装置。
12. 前記蒸発性液体流れが、流体方向に前記流入路から流出路まで前記サーマルチャンバを通って流れるように構成されており、前記気流が、気流方向に前記注入路から排出路まで流れ、前記流体方向が前記気流方向と略直交している、請求項１１に記載の流体処理装置。
13. 前記流出路が流体タンクに連通されている、請求項１１または１２に記載の流体処理装置。
14. 前記流体処理装置が冷却装置であり、前記サーマルチャンバが冷却チャンバである、請求項１乃至１３のいずれか一項に記載の流体処理装置。
15. 前記サーマルチャンバが、気化冷却によって前記第２流体流れを冷却するように構成されている、請求項１乃至１４のいずれか一項に記載の流体処理装置。
16. 流体処理装置によって第１流体流れを冷却する方法であって、
    注入路を介してサーマルチャンバに第１流体流れを受容することと、
    前記サーマルチャンバを通る前記第１流体流れを冷却することと、
    冷却された第２流体流れを前記サーマルチャンバから流出路に流入させることであって、前記流出路は前記注入路と熱的に連通しており、前記流出路に沿った第２流体流れは、前記注入路に沿った第１流体流れの熱エネルギーよりも低い熱エネルギーを有していることと、
    前記流出路に沿った第２流体流れと前記注入路に沿った第１流体流れとの間において熱エネルギーを移動させることによって、前記注入路に沿った第１流体流れを冷却することと、を含む方法。
17. 流入路を介して前記サーマルチャンバに前記第２流体流れを受容することをさらに含む、請求項１６に記載の方法。
18. 排出路を介して前記サーマルチャンバから前記第１流体流れを流出させることをさらに含む、請求項１６または１７に記載の方法。
19. 前記流出路に沿った第２流体流れと前記注入路に沿った第１流体流れとの間において熱エネルギーを移動させることが、
    流体通路内に第３流体流れを受容することと、
    前記流体通路に沿った第３流体流れと前記流出路に沿った第２流体流れとの間において熱エネルギーを移動させることと、
    前記注入路に沿った第１流体流れと前記流体通路に沿った第３流体流れとの間において熱エネルギーを移動させることによって、前記注入路に沿った第１流体流れを冷却させることと、を含む、請求項１６乃至１８のいずれか一項に記載の方法。
20. 前記第１流体流れが気流である、請求項１６乃至１９のいずれか一項に記載の方法。
21. 前記第２流体流れが蒸発性液体流れである、請求項１６乃至２０のいずれか一項に記載の方法。
22. 前記第２流体流れが気化冷却される、請求項１６乃至２１のいずれか一項に記載の方法。