JP2011153900A - ガスセンサ用基板、ガスセンサ用容器、およびガスセンサ - Google Patents
ガスセンサ用基板、ガスセンサ用容器、およびガスセンサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011153900A JP2011153900A JP2010015288A JP2010015288A JP2011153900A JP 2011153900 A JP2011153900 A JP 2011153900A JP 2010015288 A JP2010015288 A JP 2010015288A JP 2010015288 A JP2010015288 A JP 2010015288A JP 2011153900 A JP2011153900 A JP 2011153900A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas sensor
- gas
- base
- main surface
- sensor substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
【解決手段】設置対象物21に取り付けることにより検出対象ガスを検知するガスセンサ1に用いられるガスセンサ用基板であって、第1主面2a、および第1主面2aの反対側に位置しておりかつ設置対象物21に取り付けられるべき第2主面2bを有する基体2と、基体2の第1主面2aに設けられており、かつ検出対象ガスに対して活性であるガス感応体4を載置するための載置部3と、を備える。
【選択図】図1
Description
図8は、変形例1に係るガスセンサ1aの概略構成を示す断面図である。なお、図8は、図2と同じ個所を表す断面図である。また、図8において、図2と同様の機能を有する構成については、同じ参照符号を付記し、その詳細な説明を省略する。
上述の実施形態に係るガスセンサ1は、接触燃焼式のガスセンサの例について説明したが、これに限定されない。すなわち、半導体式のガスセンサであってもよい。ガスセンサが半導体式である場合、ガス感応体は、例えば、金属酸化物半導体からなる。
2 基体
2a 第1主面
2b 第2主面
2c 第1側面(側面)
2d 第2側面(側面)
2e 第3側面(側面)
2f 第4側面(側面)
3 載置部
4 ガス感応体
5 枠体
6 発熱抵抗体
7 配線導体
9 中空
21 設置対象物
22 開口部
Claims (9)
- 設置対象物に取り付けることにより検出対象ガスを検知するガスセンサに用いられるガスセンサ用基板であって、
第1主面、および前記第1主面の反対側に位置しておりかつ前記設置対象物に取り付けられるべき第2主面を有する基体と、
前記基体の第1主面に設けられており、かつ前記検出対象ガスに対して活性であるガス感応体を載置するための載置部と、を備えたガスセンサ用基板。 - 前記基体に設けられており、かつ前記検出対象ガスを循環させる開口部をさらに備える、請求項1に記載のガスセンサ用基板。
- 前記基体は、側面を有しており、
前記開口部は、前記基体の側面と連通している、請求項2に記載のガスセンサ用基板。 - 前記基体を平面視した場合に、前記載置部は、前記開口部を跨ぐようにして設けられている、請求項2または3に記載のガスセンサ用基板。
- 前記基体を平面視した場合に、前記開口部は、前記載置部の一部分を除いて当該載置部を取り囲むようにして設けられている、請求項2または3に記載のガスセンサ用基板。
- 前記基体には、発熱体が埋設されており、
前記基体には、前記発熱体と電気的に接続された配線導体が埋設されている、請求項1〜5のいずれか一項に記載のガスセンサ用基板。 - 前記基体を断面視した場合に、前記発熱体と前記基体の第2主面との間における前記基体には、中空が設けられている、請求項6に記載のガスセンサ用基板。
- 請求項1〜7のいずれか一項に記載のガスセンサ用基板と、
前記ガスセンサ用基板における前記載置部を囲むようにして前記基体の第1主面に設けられた枠体と、を備えたガスセンサ用容器。 - 請求項8に記載のガスセンサ用容器と、
前記載置部に載置されたガス感応体と、を備えたガスセンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010015288A JP2011153900A (ja) | 2010-01-27 | 2010-01-27 | ガスセンサ用基板、ガスセンサ用容器、およびガスセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010015288A JP2011153900A (ja) | 2010-01-27 | 2010-01-27 | ガスセンサ用基板、ガスセンサ用容器、およびガスセンサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011153900A true JP2011153900A (ja) | 2011-08-11 |
Family
ID=44539983
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010015288A Pending JP2011153900A (ja) | 2010-01-27 | 2010-01-27 | ガスセンサ用基板、ガスセンサ用容器、およびガスセンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011153900A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017101949A (ja) * | 2015-11-30 | 2017-06-08 | 京セラ株式会社 | ガスセンサ用基体およびガスセンサ装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08122160A (ja) * | 1994-10-24 | 1996-05-17 | Ricoh Seiki Co Ltd | 熱依存性検出装置 |
JP2004093470A (ja) * | 2002-09-03 | 2004-03-25 | Ngk Spark Plug Co Ltd | シリコン製マイクロセンサ |
-
2010
- 2010-01-27 JP JP2010015288A patent/JP2011153900A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08122160A (ja) * | 1994-10-24 | 1996-05-17 | Ricoh Seiki Co Ltd | 熱依存性検出装置 |
JP2004093470A (ja) * | 2002-09-03 | 2004-03-25 | Ngk Spark Plug Co Ltd | シリコン製マイクロセンサ |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017101949A (ja) * | 2015-11-30 | 2017-06-08 | 京セラ株式会社 | ガスセンサ用基体およびガスセンサ装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP3715842B1 (en) | Mems gas sensor | |
JP4732804B2 (ja) | ガスセンサ及びその製造方法 | |
JP2004015061A (ja) | 集積回路、冷却体および温度センサを有する半導体構成素子 | |
KR101135404B1 (ko) | 가스센서 어레이용 마이크로 플랫폼 | |
EP3449246B1 (en) | Sensor | |
JP2009216543A (ja) | 接触燃焼式ガスセンサ | |
ES2264532T3 (es) | Conjunto calentador electrico. | |
JP5252742B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP5710995B2 (ja) | 半導体装置 | |
KR20160035781A (ko) | 가스센서 어레이 | |
JP2005020003A (ja) | 光電信号検出器 | |
JP2011153900A (ja) | ガスセンサ用基板、ガスセンサ用容器、およびガスセンサ | |
JP4677848B2 (ja) | 駆動用集積回路の温度センサ取付構造 | |
JP2009079907A (ja) | 接触燃焼式ガスセンサ | |
KR20150031709A (ko) | 가스센서패키지 | |
JP2011106921A (ja) | ガスセンサ用基板、ガスセンサ用パッケージ、およびガスセンサ | |
JP5018624B2 (ja) | 負荷駆動用半導体装置 | |
JP4552564B2 (ja) | 薄型温度センサ及びその製造方法 | |
JP6507372B2 (ja) | 電気素子と温度検知器とを備えた電子装置 | |
TWI674653B (zh) | 氣體感測器封裝結構 | |
JP4138762B2 (ja) | 熱感知器 | |
KR20150111104A (ko) | 가스 센서 패키지 | |
JPH09307030A (ja) | 結露防止機能付冷却装置 | |
KR100530003B1 (ko) | 후막형 가스 센서 칩 | |
JP6410542B2 (ja) | ガスセンサおよびガス検出器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121115 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130829 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130903 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20131021 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140107 |