JP2011149949A - 磁気抵抗センサ素子および磁気抵抗センサ素子の角度誤差を低減する方法 - Google Patents
磁気抵抗センサ素子および磁気抵抗センサ素子の角度誤差を低減する方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011149949A JP2011149949A JP2011042352A JP2011042352A JP2011149949A JP 2011149949 A JP2011149949 A JP 2011149949A JP 2011042352 A JP2011042352 A JP 2011042352A JP 2011042352 A JP2011042352 A JP 2011042352A JP 2011149949 A JP2011149949 A JP 2011149949A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- magnetic field
- magnetoresistive
- external magnetic
- sensor element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
- G01R33/093—Magnetoresistive devices using multilayer structures, e.g. giant magnetoresistance sensors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y25/00—Nanomagnetism, e.g. magnetoimpedance, anisotropic magnetoresistance, giant magnetoresistance or tunneling magnetoresistance
Abstract
【解決手段】第1の固着薄膜(35)は、第1の強磁性材料製とりわけCoFe合金製であり、前記第2の固着薄膜(33)は、第2の強磁性材料製とりわけCoFe合金製であり、前記中間薄膜(34)は、非磁性材料製とりわけルテニウム製である磁気抵抗センサ素子において、前記第1の固着薄膜(35)の厚みは、第2の固着薄膜(33)の厚みよりも0.2nm〜0.8nmだけ小さい。
【選択図】図3
Description
Claims (12)
- 上から見て少なくとも領域毎にストライプ状の磁気抵抗薄膜系(10)を有する磁気抵抗センサ素子であって、
前記磁気抵抗薄膜系(10)は、GMR効果に基づいて作動し、且つ、スピンバルブ方式により構成されており、
前記磁気抵抗薄膜系(10)は、当該磁気抵抗薄膜系(10)に作用する外部磁場の方向から近似的に作用を受けない磁化方向の基準薄膜(35)を有しており、
前記センサ素子(5)は、作動時に、測定信号を形成し、
該測定信号は、前記磁気抵抗薄膜系(10)の面内に位置している、前記外部磁場の磁場強度の成分と、前記基準薄膜(35)の磁化方向との間の測定角度の関数として変化し、
該測定信号から測定角度を求めることができ、
上から見てストライプ状の磁気抵抗薄膜系(10)に関して、外部磁場がない状態での前記基準薄膜(35)の磁化方向と、前記ストライプ状の磁気抵抗薄膜系(10)の長手方向との間の角度が、所定の動作範囲から選択された磁場強度を有する外部磁場が作用する時に、前記磁気抵抗薄膜系(10)の角度誤差が、当該角度と磁場強度との関数として少なくとも近似的に最小であるように調整されており、
前記角度誤差は、
・前記磁気抵抗薄膜系(10)の面内に位置している外部磁場の磁場強度の成分と、外部磁場が無視し得る程度に弱い場合での前記基準薄膜(35)の磁化方向の成分との角度(a)と、
・前記測定信号から求めることができ、前記磁気抵抗薄膜系(10)の面内に位置している前記外部磁場の可能な全ての方向に亘る前記外部磁場の磁場強度の成分と、前記基準薄膜(35)の磁化方向の成分との測定角度(b)と
の間の最大偏差(|a−b|)として定義され、
前記ストライプ状の薄膜系(10)は、第1の固着薄膜(35)と第2の固着薄膜(33)とを有する人工的な反強磁性体(40)を有しており、
前記第1の固着薄膜(35)と前記第2の固着薄膜(33)とは、中間薄膜(34)を介して相互に分離されており、
前記基準薄膜(35)は、前記第1の固着薄膜(35)であり、
該第1の固着薄膜(35)は、第1の強磁性材料製とりわけCoFe合金製であり、前記第2の固着薄膜(33)は、第2の強磁性材料製とりわけCoFe合金製であり、前記中間薄膜(34)は、非磁性材料製とりわけルテニウム製である磁気抵抗センサ素子において、
前記第1の固着薄膜(35)の厚みは、第2の固着薄膜(33)の厚みよりも0.2nm〜0.8nmだけ小さいことを特徴とする磁気抵抗センサ素子。 - 上から見て前記ストライプ状の磁気抵抗薄膜系(10)に関して、外部磁場がない場合での前記基準薄膜(35)の磁化方向と、前記ストライプ状の磁気抵抗薄膜系(10)の長手方向との間の角度および前記ストライプ状の磁気抵抗薄膜系(10)の幅が、所定の動作範囲から選定された磁場強度を有する外部磁場が作用する時に、前記磁気抵抗薄膜系(10)の角度誤差が、当該角度、前記磁場強度および前記磁気抵抗薄膜系(10)の幅の関数として少なくとも近似的に最小であるように相互に合わせて調整されている請求項1記載の磁気抵抗センサ素子。
- 外部磁場の磁場強度は、0.8kA/m〜80kA/mの動作範囲から選択されており、
前記外部磁場がない場合での前記基準薄膜(35)の磁化方向と、前記ストライプ状の磁気抵抗薄膜系(10)の長手方向との間の角度は、少なくとも近似的に0°又は90°又は180°又は270°である請求項1または2記載の磁気抵抗センサ素子。 - 前記ストライプ状の磁気抵抗薄膜系(10)の幅は、1μm〜100μmの範囲から選定されている請求項1から3までのいずれか1項記載の磁気抵抗センサ素子。
- 前記第2の固着薄膜(33)は、反強磁性薄膜(32)またはPtMn合金製薄膜に隣接している請求項1から4までのいずれか1項記載の磁気抵抗センサ素子。
- 前記第1の固着薄膜(35)は金属化薄膜(36)に隣接しており、
前記金属化薄膜(36)は、検出薄膜(41)に隣接しており、
該検出薄膜は、前記磁気抵抗薄膜系(10)の面内に位置している、外部磁場の磁場強度の成分の方向に対して常に少なくとも近似的に平行であるような磁化方向を有している請求項1から5までのいずれか1項記載の磁気抵抗センサ素子。 - 前記検出薄膜(41)は、少なくとも2つの部分薄膜(37,38)から構成されており、
前記金属化薄膜(36)に隣接している第1の部分薄膜(37)は、CoFe合金製であり、第2の部分薄膜(38)は、NiFe合金製である請求項6記載の磁気抵抗センサ素子。 - 前記反磁性薄膜(32)は、20nm〜40nmの厚みを有しており、
前記第2の固着薄膜(33)は、2nm〜4nmの厚みを有しており、
前記中間薄膜(34)は、0.6nm〜0.8nmの厚みを有しており、
前記第1の固着薄膜(35)は、1nm〜3.5nmの厚みを有しており、
前記金属化薄膜(36)は、1nm〜4nmの厚みを有しており、
前記第1の部分薄膜(37)は、0.5nm〜2nmの厚みを有しており、
前記第2の部分薄膜(38)は、1.5nm〜5nmの厚みを有している請求項1から7までのいずれか1項記載の磁気抵抗センサ素子。 - 前記ストライプ状の磁気抵抗薄膜系(10)は、領域毎に平行に延在しているストライプ部分をし、かつメアンダ状に形成されており、前記ストライプ部分の基準薄膜(35)の磁化方向は、少なくとも近似的に相互に平行に配向されている請求項1から8までのいずれか1項記載の磁気抵抗センサ素子。
- 前記ストライプ状の磁気抵抗薄膜系(10)は、ストライプ区間に対して垂直方向に延在しているストライプ部分を有しており、
良導電性導体薄膜(11)またはアルミニウム製のコーティング部が設けられており、
前記良導電性導体薄膜(11)または前記コーティング部は、前記ストライプ部分の上または前記ストライプ部分の下に平行に延在して、当該ストライプ部分を少なくとも近似的に電気的に短絡または橋絡しているか、または前記ストライプ部分は、良導電性材料またはアルミニウムから形成されている請求項9記載の磁気抵抗センサ素子。 - 磁気抵抗センサ素子の角度誤差の低減方法であって、
該磁気抵抗センサ素子は、上から見て少なくとも領域毎にストライプ状であり、且つ、GMR効果に基づいて作動し、且つ、スピンバルブ方式により構成された磁気抵抗薄膜系(10)を有しており、
前記磁気抵抗薄膜系(10)は、当該磁気抵抗薄膜系(10)に作用する外部磁場の方向から近似的に作用を受けない磁化方向の基準薄膜(35)を有しており、
前記センサ素子(5)は、作動時に、測定信号を形成し、
該測定信号は、前記磁気抵抗薄膜系(10)の面内に位置している、外部磁場の磁場強度の成分と、前記基準薄膜(35)の磁化方向との間の測定角度の関数として変化し、
該測定信号から測定角度を求めることができ、
上から見てストライプ状の前記磁気抵抗薄膜系(10)に関して、外部磁場がない状態での前記基準薄膜(35)の磁化方向と、前記ストライプ状の薄膜系(10)の長手方向との間の角度が、所定の動作範囲から選択された磁場強度を有する外部磁場が作用する時に、前記薄膜系(10)の角度誤差が、当該の角度と磁場強度の関数として少なくとも近似的に最小であるように調整されており、
前記角度誤差は、
・前記磁気抵抗薄膜系(10)の面内に位置している外部磁場の磁場強度の成分と、外部磁場が無視し得る程度に弱い場合での前記基準薄膜(35)の磁化方向の成分との角度(a)と、
・前記測定信号から求めることができ、前記磁気抵抗薄膜系(10)の面内に位置している、前記外部磁場の可能な全ての方向に亘る前記外部磁場の磁場強度の成分と、前記基準薄膜(35)の磁化方向の成分との測定角度(b)と
の間の最大偏差(|a−b|)として定義され、
前記ストライプ状の薄膜系(10)は、第1の固着薄膜(35)と第2の固着薄膜(33)とを有する人工的な反強磁性体(40)を有しており、
前記第1の固着薄膜(35)と前記第2の固着薄膜(33)とは、中間薄膜(34)を介して相互に分離されており、
前記基準薄膜(35)は、前記第1の固着薄膜(35)であり、
該第1の固着薄膜(35)は、第1の強磁性材料製とりわけCoFe合金製であり、前記第2の固着薄膜(33)は、第2の強磁性材料製とりわけCoFe合金製であり、前記中間薄膜(34)は、非磁性材料製とりわけルテニウム製である磁気抵抗センサ素子の角度誤差の低減方法において、
前記第1の固着薄膜(35)の厚みは、第2の固着薄膜(33)の厚みよりも0.2nm〜0.8nmだけ小さく選択されていることを特徴とする磁気抵抗センサ素子の角度誤差の低減方法。 - 上から見て前記ストライプ状の磁気抵抗薄膜系(10)に関して、外部磁場がない場合での前記基準薄膜(35)の磁化方向と、前記ストライプ状の磁気抵抗薄膜系(10)の長手方向との間の角度および前記ストライプ状の磁気抵抗薄膜系(10)の幅が、所定の動作範囲から選定された磁場強度を有する外部磁場が作用する時に、前記磁気抵抗薄膜系(10)の角度誤差が、当該角度、前記磁場強度および前記磁気抵抗薄膜系(10)の幅の関数として少なくとも近似的に最小であるように相互に合わせて調整する請求項11記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10255327.0 | 2002-11-27 | ||
DE10255327A DE10255327A1 (de) | 2002-11-27 | 2002-11-27 | Magnetoresistives Sensorelement und Verfahren zur Reduktion des Winkelfehlers eines magnetoresistiven Sensorelements |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004554185A Division JP5150038B2 (ja) | 2002-11-27 | 2003-10-09 | 磁気抵抗センサ素子および磁気抵抗センサ素子の角度誤差を低減する方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011149949A true JP2011149949A (ja) | 2011-08-04 |
Family
ID=32335793
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004554185A Expired - Fee Related JP5150038B2 (ja) | 2002-11-27 | 2003-10-09 | 磁気抵抗センサ素子および磁気抵抗センサ素子の角度誤差を低減する方法 |
JP2011042352A Pending JP2011149949A (ja) | 2002-11-27 | 2011-02-28 | 磁気抵抗センサ素子および磁気抵抗センサ素子の角度誤差を低減する方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004554185A Expired - Fee Related JP5150038B2 (ja) | 2002-11-27 | 2003-10-09 | 磁気抵抗センサ素子および磁気抵抗センサ素子の角度誤差を低減する方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7095596B2 (ja) |
EP (1) | EP1567878B1 (ja) |
JP (2) | JP5150038B2 (ja) |
DE (2) | DE10255327A1 (ja) |
WO (1) | WO2004048986A2 (ja) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006019484A (ja) * | 2004-07-01 | 2006-01-19 | Yamaha Corp | 磁気センサ |
DE10357150A1 (de) * | 2003-12-06 | 2005-06-30 | Robert Bosch Gmbh | Magnetsensoranordnung |
JP2006253411A (ja) * | 2005-03-10 | 2006-09-21 | Yamaha Corp | 磁気センサ |
US7394247B1 (en) | 2007-07-26 | 2008-07-01 | Magic Technologies, Inc. | Magnetic field angle sensor with GMR or MTJ elements |
JP5244805B2 (ja) * | 2007-09-03 | 2013-07-24 | アルプス電気株式会社 | 磁気検出装置 |
US8058866B2 (en) * | 2008-09-08 | 2011-11-15 | Infineon Technologies Ag | Off-center angle measurement system |
US9606194B2 (en) | 2008-09-08 | 2017-03-28 | Infineon Technologies Ag | Off-center angle measurement system |
EP2284553B1 (en) * | 2009-07-31 | 2012-06-20 | TDK Corporation | Magneto-resistance effect element and sensor |
US11506732B2 (en) * | 2010-10-20 | 2022-11-22 | Infineon Technologies Ag | XMR sensors with serial segment strip configurations |
US8670217B1 (en) | 2013-02-11 | 2014-03-11 | HGST Netherlands B.V. | Scissoring-type current-perpendicular-to-the-plane (CPP) magnetoresistive sensor with free layers having shape anisotropy |
US8670216B1 (en) | 2013-02-11 | 2014-03-11 | HGST Netherlands B.V. | Current-perpendicular-to-the-plane (CPP) magnetoresistive sensor with an exchange-coupled reference layer having shape anisotropy |
US10096767B2 (en) * | 2013-03-09 | 2018-10-09 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Elongated magnetoresistive tunnel junction structure |
US9529060B2 (en) | 2014-01-09 | 2016-12-27 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetoresistance element with improved response to magnetic fields |
WO2016196157A1 (en) | 2015-06-05 | 2016-12-08 | Allegro Microsystems, Llc | Spin valve magnetoresistance element with improved response to magnetic fields |
US10620279B2 (en) | 2017-05-19 | 2020-04-14 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetoresistance element with increased operational range |
US11022661B2 (en) | 2017-05-19 | 2021-06-01 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetoresistance element with increased operational range |
DE102019200183A1 (de) * | 2018-01-15 | 2019-07-18 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Verfahren zur Wegerfassung, Wegerfassungsanordnung und Bremssystem |
US11719771B1 (en) | 2022-06-02 | 2023-08-08 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetoresistive sensor having seed layer hysteresis suppression |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05159902A (ja) * | 1991-12-05 | 1993-06-25 | Murata Mfg Co Ltd | 抵抗素子 |
WO2000079298A2 (en) * | 1999-06-18 | 2000-12-28 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Magnetic systems with irreversible characteristics and a method of manufacturing and repairing and operating such systems |
JP2001217478A (ja) * | 2000-02-01 | 2001-08-10 | Yamaha Corp | 磁気抵抗素子 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01214077A (ja) * | 1988-02-22 | 1989-08-28 | Nec Corp | 磁気抵抗効果素子 |
JPH05281319A (ja) * | 1992-04-02 | 1993-10-29 | Fujitsu Ltd | 磁気センサ |
JPH08130338A (ja) * | 1994-10-31 | 1996-05-21 | Nec Corp | 薄膜磁気センサ |
JPH08327359A (ja) * | 1995-05-29 | 1996-12-13 | Sony Corp | 磁気抵抗効果素子、地磁気方位センサ、及び磁気抵抗効果素子の着磁方法 |
DE19532674C1 (de) * | 1995-09-05 | 1996-11-07 | Inst Physikalische Hochtech Ev | Drehwinkelgeber unter Verwendung von Giant Magnetowiderstandsmaterialien |
DE19742366C1 (de) * | 1997-09-25 | 1999-05-27 | Siemens Ag | Einrichtung mit magnetoresistivem Sensorelement und zugeordneter Magnetisierungsvorrichtung |
JP4316806B2 (ja) * | 1998-05-11 | 2009-08-19 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 磁気多重層センサ |
JPH11340541A (ja) * | 1998-05-28 | 1999-12-10 | Nippon Seiki Kk | 半導体磁気抵抗素子及びその製造方法 |
DE19843349A1 (de) * | 1998-09-22 | 2000-03-23 | Bosch Gmbh Robert | Magnetoresistives Sensorelement, insbesondere Winkelsensorelement |
US6208492B1 (en) * | 1999-05-13 | 2001-03-27 | International Business Machines Corporation | Seed layer structure for spin valve sensor |
JP4338060B2 (ja) * | 1999-05-27 | 2009-09-30 | Fdk株式会社 | 磁気センサの製造方法 |
DE19949714A1 (de) * | 1999-10-15 | 2001-04-26 | Bosch Gmbh Robert | Magnetisch sensitives Bauteil, insbesondere Sensorelement, mit magnetoresistiven Schichtsystemen in Brückenschaltung |
WO2001067460A1 (en) * | 2000-03-09 | 2001-09-13 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Magnetic device with a coupling layer and method of manufacturing and operation of such device |
US6633462B2 (en) * | 2000-07-13 | 2003-10-14 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Magnetoresistive angle sensor having several sensing elements |
DE10138757A1 (de) * | 2001-08-07 | 2003-03-06 | Bosch Gmbh Robert | Magnetoresistive Schichtanordnung |
US7005958B2 (en) | 2002-06-14 | 2006-02-28 | Honeywell International Inc. | Dual axis magnetic sensor |
-
2002
- 2002-11-27 DE DE10255327A patent/DE10255327A1/de not_active Ceased
-
2003
- 2003-10-09 EP EP03769233A patent/EP1567878B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-10-09 DE DE50309276T patent/DE50309276D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-10-09 US US10/535,475 patent/US7095596B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-10-09 WO PCT/DE2003/003339 patent/WO2004048986A2/de active IP Right Grant
- 2003-10-09 JP JP2004554185A patent/JP5150038B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-02-28 JP JP2011042352A patent/JP2011149949A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05159902A (ja) * | 1991-12-05 | 1993-06-25 | Murata Mfg Co Ltd | 抵抗素子 |
WO2000079298A2 (en) * | 1999-06-18 | 2000-12-28 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Magnetic systems with irreversible characteristics and a method of manufacturing and repairing and operating such systems |
JP2001217478A (ja) * | 2000-02-01 | 2001-08-10 | Yamaha Corp | 磁気抵抗素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006508528A (ja) | 2006-03-09 |
JP5150038B2 (ja) | 2013-02-20 |
US20060152218A1 (en) | 2006-07-13 |
WO2004048986A2 (de) | 2004-06-10 |
WO2004048986A3 (de) | 2004-07-29 |
DE10255327A1 (de) | 2004-06-24 |
DE50309276D1 (de) | 2008-04-10 |
EP1567878B1 (de) | 2008-02-27 |
US7095596B2 (en) | 2006-08-22 |
EP1567878A2 (de) | 2005-08-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2011149949A (ja) | 磁気抵抗センサ素子および磁気抵抗センサ素子の角度誤差を低減する方法 | |
US7737678B2 (en) | Magnetic sensor and current sensor | |
US6707298B2 (en) | Magnetic sensor | |
US8063633B2 (en) | Magnetoresistive magnetic field sensor structure | |
JP5389005B2 (ja) | 磁気抵抗型積層構造体ならびに該構造体を備えたグラジオメータ | |
JP5124606B2 (ja) | 磁気抵抗性の多層デバイスおよびセンサエレメント | |
JP5686635B2 (ja) | 磁気センサ及びその製造方法 | |
JP4245007B2 (ja) | 磁気センサ | |
US11037715B2 (en) | Magnetic sensor including a plurality of magnetic detection elements and a plurality of magnetic field generators | |
US9389286B2 (en) | Magnetic sensor with reduced effect of interlayer coupling magnetic field | |
JP5924695B2 (ja) | 磁界検出装置、電流検出装置、半導体集積回路、および、磁界検出方法 | |
JP2011047930A (ja) | 磁気抵抗効果素子およびセンサ | |
US8164331B2 (en) | Magnetic field measurement method and magnetic sensor | |
JP2012119613A (ja) | 磁気検出素子及びそれを用いた磁気センサ | |
US8164330B2 (en) | Magnetic sensor and magnetic field strength measurement method saturating magnetization of magnetization-free layer | |
JP5195845B2 (ja) | 磁気センサ及び磁場強度測定方法 | |
RU2316783C2 (ru) | Магниторезистивная слоистая система и чувствительный элемент на основе такой слоистой системы | |
JP6116694B2 (ja) | 磁気抵抗効果素子を備えた磁界検出器、および電流検出器 | |
JP6007479B2 (ja) | 電流センサ | |
WO2020054112A1 (ja) | 磁気センサおよび電流センサ | |
JP6040523B2 (ja) | 電力検知センサ | |
JP2017058376A (ja) | 電力検知センサ | |
JP2010190571A (ja) | 磁気検出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130208 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20130507 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20130510 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20131028 |