JP2011145100A - 秤及び該秤の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】固定部7と、可動部12と、ロバーバル部16とからなるロバーバル機構2を備えた秤1において、ロバーバル機構2を、一端縁部6a(固定部7)と、他端縁部6bと、端縁部6c,6cとからなるフレーム6と、他端縁部6bから延出し、その先端が可動部12となる中間部10とを有し、端縁部6c,6cの所定箇所が薄厚加工されてバネ部11が形成された第一の基板3aと、第一の基板3aと対面配置され、一端縁部6a(固定部7)と、他端縁部6bと、端縁部6c,6cとからなるフレーム6を有し、端縁部6c,6cの所定箇所が薄厚加工されてバネ部11が形成された第二の基板3bと、第一及び第二の基板3a,3bの一端縁部6a,6a、他端縁部6b,6bを連結させたスペーサ5,5と、から構成した。
【選択図】図1
Description
本発明による請求項1記載の秤は、固定部7と、前記固定部7に対向して設けられた可動部12と、前記固定部7と前記可動部12の間に設けられ、被計量物の荷重を受けて前記可動部12を上下に移動させるロバーバル部16と、からなるロバーバル機構2を備え、前記ロバーバル機構2の変位量に基づいて前記被計量物の荷重を検出し、該被計量物の質量を測定する秤1において、
前記ロバーバル機構2が、
前記固定部7となるように固定された一端縁部6aと、前記一端縁部6aと対向する他端縁部6bと、前記一端縁部6aと前記他端縁部6bの間を連結する二つの端縁部6c,6cと、から形成されたフレーム6と、
前記他端縁部6bの内縁から前記一端縁部6aの内縁に向けて延出し、その先端が前記可動部12となるように自由端とされた中間部10と、を有し、
前記ロバーバル部16を構成するために、前記二つの端縁部6c,6cのそれぞれの前記一端縁部6a側と前記他端縁部6b側の所定位置が薄厚加工されてなるバネ部11が形成された第一の基板3aと、
前記第一の基板3aと対面して配置され、前記固定部7となるように固定された一端縁部6aと、前記一端縁部6aと対向する他端縁部6cと、前記一端縁部6aと前記他端縁部6bの間を連結する二つの端縁部6c,6cと、から形成されたフレーム6を有し、
前記ロバーバル部16を構成するために、前記二つの端縁部6c,6cのそれぞれの前記一端縁部6a側と前記他端縁部6b側の所定位置が薄厚加工されてなるバネ部11が形成された第二の基板3bと、
前記第一の基板3aと前記第二の基板3bの間に設けられ、前記第一及び第二の基板3a,3bの前記一端縁部6a,6aの間及び前記他端縁部6b,6bの間をそれぞれ連結させた二つのスペーサ5,5と、
から構成されたことを特徴としている。
前記第一の基板3aの一方の面に所定形状を得るためのマスクM1 を施し、該面の前記シリコン層4aを除去して所定形状の凹部を形成した後、前記マスクM1 を除去する工程と、
前記第一の基板3aの他方の面に所定形状を得るためのマスクM2 を施し、該面の前記シリコン層4aを除去して所定形状の凹部を形成した後、前記マスクM2 を除去する工程と、
前記第一の基板3aの一方及び他方の面にて露出している前記二酸化シリコン層4bを除去する工程と、
前記第二の基板3bの一方の面に所定形状を得るためのマスクM3 を施し、該面の前記シリコン層4aを除去して所定形状の凹部を形成した後、前記マスクM3 を除去する工程と、
前記第二の基板3bの他方の面に所定形状を得るためのマスクM4 を施し、該面の前記シリコン層4aを除去して所定形状の凹部を形成した後、前記マスクM4 を除去する工程と、
前記第二の基板3bの一方及び他方の面にて露出している前記二酸化シリコン層4bを除去する工程と、
前記第一の基板3aの一方の面と前記スペーサ5を接合する工程と、
前記第二の基板3bの一方又は他方のいずれかの面と前記スペーサ5を接合する工程と、
を備えたことを特徴としている。
本発明による秤は、ロバーバル機構を用いて被計量物の質量を測定する秤であり、主に薬品などの微小物品を測定対象としている。
まず、図1〜5を参照して本発明の第一の実施の形態を説明する。
図1に示すように、この実施の形態(秤1)は、ロバーバル機構2と、被計量物の荷重を検出するための検出部とを備えている。ロバーバル機構2は、固定部7と、可動部12と、ロバーバル部16とから構成されている。また、図2,3に示すように、ロバーバル機構2は、上下に配置され、その間にスペーサ5を介して立体構造となるように連結された第一の基板(上基板)3a及び第二の基板(下基板)3bにより構成されている。
次に、図6〜9を参照して本発明の第二の実施の形態を説明する。
なお、この実施の形態において、上述した第一の実施の形態と同等又は同一の箇所には同一の符号を付し、その説明を省略する。
2…ロバーバル機構
3a…第一の基板(上基板)
3b…第二の基板(下基板)
4a…シリコン層
4b…二酸化シリコン層
5…スペーサ
6a…一端縁部
6b…他端縁部
7…固定部
10…中間部
11…バネ部
12…可動部
16…ロバーバル部
M1 ,M2 ,M3 ,M4 …マスク
Claims (4)
- 固定部(7)と、前記固定部に対向して設けられた可動部(12)と、前記固定部と前記可動部の間に設けられ、被計量物の荷重を受けて前記可動部を上下に移動させるロバーバル部(16)と、からなるロバーバル機構(2)を備え、前記ロバーバル機構の変位量に基づいて前記被計量物の荷重を検出し、該被計量物の質量を測定する秤(1)において、
前記ロバーバル機構が、
前記固定部となるように固定された一端縁部(6a)と、前記一端縁部と対向する他端縁部(6b)と、前記一端縁部と前記他端縁部の間を連結する二つの端縁部(6c,6c)と、から形成されたフレーム(6)と、
前記他端縁部の内縁から前記一端縁部の内縁に向けて延出し、その先端が前記可動部となるように自由端とされた中間部(10)と、を有し、
前記ロバーバル部を構成するために、前記二つの端縁部のそれぞれの前記一端縁部側と前記他端縁部側の所定位置が薄厚加工されてなるバネ部(11)が形成された第一の基板(3a)と、
前記第一の基板と対面して配置され、前記固定部となるように固定された一端縁部(6a)と、前記一端縁部と対向する他端縁部(6b)と、前記一端縁部と前記他端縁部の間を連結する二つの端縁部(6c,6c)と、から形成されたフレーム(6)を有し、
前記ロバーバル部を構成するために、前記二つの端縁部のそれぞれの前記一端縁部側と前記他端縁部側の所定位置が薄厚加工されてなるバネ部(11)が形成された第二の基板(3b)と、
前記第一の基板と前記第二の基板の間に設けられ、前記第一及び第二の基板の前記一端縁部の間及び前記他端縁部の間をそれぞれ連結させた二つのスペーサ(5,5)と、
から構成されたことを特徴とする秤。 - 前記第一及び第二の基板(3a,3b)にはシリコン層(4a)とシリコン層(4a)の間に二酸化シリコン層(4b)を有するSOI基板を用いたことを特徴とする請求項1記載の秤。
- 前記スペーサ(5)がガラスからなり、前記第一及び第二の基板(3a,3b)と前記スペーサが陽極接合により接合されたことを特徴とする請求項1又は2記載の秤。
- 請求項2又は3記載の秤の製造方法において、
前記第一の基板(3a)の一方の面に所定形状を得るためのマスク(M1 )を施し、該面の前記シリコン層(4a)を除去して所定形状の凹部を形成した後、前記マスクを除去する工程と、
前記第一の基板の他方の面に所定形状を得るためのマスク(M2 )を施し、該面の前記シリコン層を除去して所定形状の凹部を形成した後、前記マスクを除去する工程と、
前記第一の基板の一方及び他方の面にて露出している前記二酸化シリコン層(4b)を除去する工程と、
前記第二の基板(3b)の一方の面に所定形状を得るためのマスク(M3 )を施し、該面の前記シリコン層(4a)を除去して所定形状の凹部を形成した後、前記マスクを除去する工程と、
前記第二の基板の他方の面に所定形状を得るためのマスク(M4 )を施し、該面の前記シリコン層を除去して所定形状の凹部を形成した後、前記マスクを除去する工程と、
前記第二の基板の一方及び他方の面にて露出している前記二酸化シリコン層(4b)を除去する工程と、
前記第一の基板の一方の面と前記スペーサ(5)を接合する工程と、
前記第二の基板の一方又は他方のいずれかの面と前記スペーサを接合する工程と、
を備えたことを特徴とする秤の製造方法。
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2010
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