JP5595721B2 - 秤 - Google Patents
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Description
本発明による請求項1記載の秤は、固定部7と、前記固定部7に対向して設けられる可動部13と、前記固定部7と前記可動部13の間に設けられ、被計量物の荷重を受けて前記可動部13を上下に移動させるロバーバル部12と、からなり、スペーサ(5)を介して連結された基板(3a,3b)により形成されるロバーバル機構2と、
前記固定部7に設けられ、前記可動部13と対向する面の間の静電容量が該可動部13の移動により変化する電極部15と、
を備え、
前記基板は、半導体層であるシリコン層(4a,4a)の間に絶縁体層であるSiO 2 層(4b)を有するSOI基板であり、前記スペーサにはガラスが用いられ、前記基板と前記スペーサとは陽極接合によりて連結されたことを特徴としている。
前記電極部15には前記可動片14の側面14aに対向する櫛歯片16を有する櫛歯電極を用いたことを特徴としている。
本発明による秤は、ロバーバル機構を用いて被計量物の質量を測定し、その測定に静電力を利用するものであり、主に薬品などの微小物品を測定対象としている。なお、本明細書において、静電力を利用するとは、その力による作用の他に静電容量の変化などの現象を利用することも含む。
まず、図1〜5を参照して本発明の第一の実施の形態を説明する。
図1(a)に示すように、この実施の形態(秤1)は、ロバーバル機構2と、電極部14とを備えている。ロバーバル機構2は、固定部7と、ロバーバル部12と、可動部13とから構成されている。また、図2,3に示すように、ロバーバル機構2は、上下に配置され、その間にスペーサ5を介して連結された二枚の基板3(上基板3a),3(下基板3b)により形成されている。
次に、図6〜10を参照して本発明の第二の実施の形態を説明する。
なお、この実施の形態において、上述した第一の実施の形態と同等又は同一の箇所には同一の符号を付し、その説明を省略する。
2,22…ロバーバル機構
7…固定部
12,28…ロバーバル部
13…可動部
14…可動片
14a…(可動片の)側面
15…電極部(櫛歯電極)
16…櫛歯片
Claims (4)
- 固定部(7)と、前記固定部に対向して設けられる可動部(13)と、前記固定部と前記可動部の間に設けられ、被計量物の荷重を受けて前記可動部を上下に移動させるロバーバル部(12)と、からなり、スペーサ(5)を介して連結された基板(3a,3b)により形成されるロバーバル機構(2)と、
前記固定部に設けられ、前記可動部と対向する面の間の静電容量が該可動部の移動により変化する電極部(15)と、
を備え、
前記基板は、半導体層であるシリコン層(4a,4a)の間に絶縁体層であるSiO 2 層(4b)を有するSOI基板であり、前記スペーサにはガラスが用いられ、前記基板と前記スペーサとは陽極接合によりて連結されたことを特徴とする秤。 - 前記可動部(13)の先端には前記固定部(7)に向けて突出する可動片(14)が設けられ、
前記電極部(15)には前記可動片の側面(14a)に対向する櫛歯片(16)を有する櫛歯電極を用いたことを特徴とする請求項1記載の秤。 - 前記電極部(15)が前記可動部(13)の前記可動片(14)の数量に応じて複数の部分に分離されたことを特徴とする請求項2記載の秤。
- 前記電極部(15)の複数に分離された部分のうち、一以上のいずれかの前記部分(15a)を前記静電容量の変化を検出するセンサとしての機能に供し、残りの前記部分(15b)を静電力の作用を駆動源とするアクチュエータとしての機能に供したことを特徴とする請求項3記載の秤。
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Family Applications (1)
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