JP2011140093A

JP2011140093A - 固定治具

Info

Publication number: JP2011140093A
Application number: JP2010001984A
Authority: JP
Inventors: Toshifumi Matsuyama; 敏文松山
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2010-01-07
Filing date: 2010-01-07
Publication date: 2011-07-21

Abstract

【課題】装置本体から取り外さなくても加工装置の可動部を固定することができる固定治具を提供する。
【解決手段】可動部５３を本体部１０ｂに固定する際にはブロック９を第一のネジ穴５３０が形成された一面と固定部８の当該一面に対向する対向面８１ａとの間に位置させた状態で固定部８の第一の貫通孔８１０にボルト８３を挿入してブロック９の第二の貫通孔９０を介して第一のネジ穴５３０に螺合して締結し、可動部５３を本体部１０ｂに固定しない際にはブロック９を対向面９１ａの裏面側に位置させた状態でブロック９の第二の貫通孔９０にボルト８３を挿入して固定部８の第二のネジ穴８１１に螺合して固定する。可動部５３を本体部１０ｂに固定しない間も固定部８、ブロック９及びネジ８３が本体部１０ｂに固定されるため、これらを紛失することがない。
【選択図】図２

Description

本発明は、可動部を有する加工装置において可動部を固定する固定治具に関する。

例えば、半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面において格子状に配列された多数の領域にＩＣ、ＬＳＩ等の回路を形成し、該回路が形成された各領域を所定のストリート（切断ライン）に沿ってダイシングすることにより個々の半導体チップを製造している。このように半導体ウエーハをダイシングする装置としては、一般に切削装置が用いられている。半導体ウエーハをダイシングする切削装置は、ワークを負圧により保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたワークを切削する切削ブレードを備えた切削機構とを具備している（例えば特許文献１参照）。

このような切削装置は、チャックテーブル、切削ブレードを有する切削機構などを可動とするための可動部を有しており、例えば装置を輸送する場合などに可動部が動いてしまうのを防止するため、可動部と装置本体とを固定するために固定治具が用いられている。例えば図７に示すように、可動部２００と装置本体２０１とが、固定部２０２とネジ２０３、２０４によって固定される。可動部を有する他の加工装置についても同様の機能を有する固定治具が使用されている。

特開平８−２５２０９号公報

ところが、装置を設置すると固定治具は必要なくなるために、固定治具は、装置本体から外して装置本体とは別に保管することになる。したがって、再び装置を輸送する際などに固定治具を使用しようとすると、固定治具を紛失していたり探すのに時間がかかったりするという問題があった。

本発明はこれらの事実に鑑みて成されたものであって、その主な技術的課題は、装置本体から取り外すことを必要としない固定治具を提供することにある。

本発明は、本体部と当該本体部に対して可動な可動部とを有する加工装置を搬送する際に可動部を本体部に固定する固定治具に関するもので、可動部に形成された第一のネジ穴と、当該第一のネジ穴に対応する第一の貫通孔と、第一のネジ穴に対応しない第二のネジ穴とを含み本体部側に形成された固定部と、第一のネジ穴と第一の貫通孔に連通する第二の貫通孔を有するブロックとから構成され、可動部を本体部に固定する際にはブロックを第一のネジ穴が形成された一面と固定部の一面に対向する対向面との間に位置させた状態で固定部の第一の貫通孔にボルトを挿入してブロックの第二の貫通孔を介して第一のネジ穴に螺合して締結し、可動部を本体部に固定しない際にはブロックを対向面の裏面側に位置させた状態でブロックの第二の貫通孔にボルトを挿入して固定部の第二のネジ穴に螺合して固定することを特徴とするものである。

本発明に係る固定治具は、固定部を用いて可動部を本体部に固定する場合は可動部と固定部との間にブロックを介在させ、可動部を本体部に固定しない場合も本体部から固定部を取り外すことなくブロックの取り付け位置のみを変えることで可動部を可動とすることができる。したがって、常に固定部及びブロックを本体部に取り付けた状態とすることができるため、固定治具を紛失することがない。

切削装置の例を示す斜視図である。図１のＡ部を拡大して示す分解斜視図である。可動部を固定する場合の固定部、ブロック及び固定ボルトを示す分解斜視図である。可動部を固定した状態を示す斜視図である。可動部を固定しない場合の固定部、ブロック及び固定ボルトを示す分解斜視図である。可動部を固定せずにブロックを固定部に固定した状態を示す斜視図である。従来の固定治具の例を示す斜視図である。

図１に示す切削装置１は、本発明を適用可能な加工装置の一種であり、チャックテーブル２に保持された被加工物に対して２つの切削手段３ａ、３ｂが切削加工を施す装置である。切削対象の被加工物は特に限定はされないが、例えばシリコンウェーハ、ガリウム砒素等の半導体ウェーハや、チップ実装用としてウェーハの裏面に設けられるＤＡＦ（Die Attach Film）等の粘着部材、半導体製品のパッケージ、セラミックス、ガラス、サファイア（Al₂O₃）系の無機材料基板、ＬＣＤドライバー等の各種電子部品、さらには、ミクロンオーダーの加工位置精度が要求される各種加工材料が挙げられる。

切削装置１は、水平基台１０ａと垂直基台１０ｂとが一体に形成された本体部１０を備えており、チャックテーブル２は、水平基台１０ａに配設されたＸ軸送り機構４によって駆動されてＸ軸方向に移動可能となっている。一方、切削手段３ａ、３ｂは、垂直基台１０ｂに配設されたＹ軸送り機構５ａ、５ｂによって駆動されてＸ軸方向と水平方向に直交するＹ軸方向に移動可能となっている。また、切削手段３ａ、３ｂは、Ｙ軸送り機構５ａ、５ｂに配設されたＺ軸送り機構６ａ、６ｂによって駆動されてＸ軸方向及びＹ軸方向に直交するＺ軸方向に移動可能となっている。切削手段３ａ、３ｂは、Ｙ軸方向の軸心を有するスピンドルの先端に切削ブレード３０を備えて構成されている。

Ｘ軸送り機構４は、Ｘ軸方向にのびるボールスクリュー４０と、ボールスクリュー４０と平行に配設されたガイドレール４１と、ボールスクリュー４０の一端に連結されボールスクリュー４０を回動させるモータ４２と、内部のナットがボールスクリュー４０に螺合し下部がガイドレール４１に摺接する移動基台４３とから構成されており、モータ４２の駆動によりボールスクリュー４０が回動することにより移動基台４３がガイドレール４１にガイドされてＸ軸方向に移動する構成となっている。すなわち、移動基台４３は、本体部１０に対してＸ軸方向に可動な可動部である。移動基台４３にはチャックテーブル２が回転可能に固定されており、移動基台４３のＸ軸方向の移動にともないチャックテーブル２もＸ軸方向に移動する構成となっている。

２つのＹ軸送り機構５ａ、５ｂは、同様に構成されるため共通の符号を付して説明すると、Ｙ軸送り機構５ａ、５ｂは、Ｙ軸方向にのびるボールスクリュー５０と、ボールスクリュー５０と平行に配設されたガイドレール５１と、ボールスクリュー５０の一端に連結されボールスクリュー５０を回動させるパルスモータ５２と、内部のナットがボールスクリュー５０に螺合し側部がガイドレール５１に摺接する移動基台５３とから構成されており、パルスモータ５２の駆動によりボールスクリュー５０が回動することにより移動基台５３がガイドレール５１にガイドされてＹ軸方向に移動する構成となっている。すなわち、移動基台５３は、本体部１０に対してＹ軸方向に可動な可動部である。

２つのＺ軸送り機構６ａ、６ｂは、２つの移動基台５３の側面にそれぞれ配設されている。Ｚ軸送り機構６ａ、６ｂは、同様に構成されるため共通の符号を付して説明すると、Ｚ軸送り機構６ａ、６ｂは、Ｚ軸方向にのびるボールスクリュー６０と、ボールスクリュー６０と平行に配設されたガイドレール６１と、ボールスクリュー６０の一端に連結されボールスクリュー６０を回動させるモータ６２と、内部のナットがボールスクリュー６０に螺合し側部がガイドレール６１に摺接する昇降基台６３とから構成されており、パルスモータ６２の駆動によりボールスクリュー６０が回動することにより昇降基台６３がガイドレール６１にガイドされてＺ軸方向に移動する構成となっている。すなわち、昇降基台６３は、本体部１０に対してＺ軸方向に可動な可動部である。昇降基台６３には切削手段３ａ、３ｂがそれぞれ固定されており、昇降基台６３の昇降とともに切削手段３ａ、３ｂも昇降する構成となっている。また、切削手段３ａ、３ｂは、Ｙ軸送り機構５ａ、５ｂの移動基台５３のＹ軸方向の移動によってＹ軸方向に移動可能となっている。

チャックテーブル２に保持された被加工物を切削する際には、Ｙ軸送り機構５によって駆動されて切削手段３ａ、３ｂがＹ軸方向に移動することにより切削ブレード３０が所定のＹ軸方向の位置に位置決めされ、その状態でＸ軸送り機構４によって駆動されてチャックテーブル２がＸ軸方向に移動するとともに、Ｚ軸送り機構６によって駆動されて切削手段３ａ、３ｂが下降することにより、回転する切削ブレード３０が被加工物の所定位置を切削する。

このように動作する切削装置１を運搬する際には、各種可動部が動かないように固定する。以下では、図２〜５に示す固定治具７を用いて、複数ある可動部のうちＹ軸送り機構５ａを構成する移動基台５３を本体部に固定する場合と固定しない場合とについて説明する。

図２に示すように、固定治具７は、第一の平板８０と第二の平板８１とが一体となり断面Ｌ字型に形成された固定部８と、固定部８を構成する第二の平板８１の対抗面８１ａに対面する直方体形状のブロック９とを有している。対向面８１ａの裏面は非対向面８１ｂとなっている。

固定部８を構成する第一の平板８０には、複数（図示の例では２つ）の貫通孔８００が形成されている。これらの貫通孔８００は、ボルト８２を挿通させるためのものである。一方、本体部１０を構成する垂直基台１０ｂの垂直面１００ｂには２つのネジ穴１００が形成されており、第一の平板８０に形成された貫通孔８００を挿通した２つのボルト８２が２つのネジ穴１００にそれぞれ螺合して締結されることで、固定部８を垂直基台１０ｂに固定可能となっている。なお、固定部は本体部側に形成されたものであればよく、本体部１０に対する固定方法はネジ止めには限定されない。また、固定部が本体部と一体に形成されていてもよい。

可動部である移動基台５３には、２つの第一のネジ穴５３０が形成されている。一方、固定部８を構成する第二の平板８１には、第一のネジ穴５３０に対応して形成された２つの第一の貫通孔８１０と、第一のネジ穴５３０に対応しない２つの第二のネジ穴８１１とが交互に形成されている。２つの第一の貫通孔８１０は、固定ボルト８３を挿通させるためのものであり、固定ボルト８３を２つの第一の貫通孔８１０に挿通させ、第一のネジ穴５３０においてそれぞれ螺合させて締結することができる。

第二の平板８１と移動基台５３との間にはブロック９を介在させることができる。ブロック９は、たとえば硬質のナイロンや、鉄などにより形成されており、固定ボルト８３を挿通させるための２つの第二の貫通孔９０が形成されている。２つの第二の貫通孔９０は、移動基台５３に形成された第一のネジ穴５３０及び固定部８に形成された第一の貫通孔８１０に連通可能となっている。

可動部である移動基台５３を垂直基台１０ｂに固定する際には、図３に示すように、第二の平板８１の後方側、すなわち、第二の平板８１の対向面８１ａと第一のネジ穴５３０が形成された垂直基台１０ｂの垂直面との間にブロック９を位置させ、第一の貫通孔８１０に２つの固定ボルト８３を挿入し、第二の平板８１の後方側において第二の貫通孔９０にも挿通させ、移動基台５３の第一のネジ穴５３０においてそれぞれ螺合させて締結する。そうすると、図４に示すように、第二の平板８１の対抗面８１ａがブロック９の第一の面９ａに密着し、第一の面９ａの裏面である第二の面９ｂが移動基台５３に密着し、移動基台５３が動くのを防止することができる。すなわち、第一のネジ穴５３０と、固定部８と、ブロック９とで、固定治具７が構成される。

一方、切削装置１を設置して使用する場合は、可動部である移動基台５３を固定する必要はないため、図５に示すように、ブロック９を固定部８の第二の平板８１の非対向面８１ｂ側に位置させ、２つの固定ボルト８３をブロック９の第二の貫通孔９０に挿入した後、第二の平板８１に形成された２つの第二のネジ穴８１１に螺合させて固定する。そうすると、図６に示すように、ブロック９が可動部固定時とは逆の面である非対向面８１ｂに固定されるため、移動基台５３を固定せずに可動状態としつつ、固定部８及びブロック９を本体部１０に固定することができる。したがって、切削装置１の使用時にも固定ボルト８３を外したままにすることがなく、２つの固定ボルト８３によって固定部８及びブロック９が固定されるため、固定ボルト８３、固定部８及びブロック９を紛失することがない。また、ブロック９の厚みの分だけ対向面８１ａと移動基台５３との間に隙間が形成されるため、固定部８が移動基台５３の動きを妨げることもない。

上記の例では、ブロック９を直方体形状としたが、第二の平板８１の両面と本体部の第一のネジ穴が形成された面に固定できる形状であれば、形状は限定されない。また、固定部８は、本体部と可動部の両方に固定できる形状であればＬ字形状には限定されない。

なお、図１に示した他の可動部である移動基台４３を固定する場合は、例えば、移動基台４３の側面４３ａと水平基台１０ａの水平面１００ａとをブロック９を介して固定部８によって固定すればよい。また、他の可動部である昇降基台６３を固定する場合は、例えば、昇降基台６３の側面６３ａと垂直基台１０ｂの上面１００ｃとをブロック９を介して固定部８によって固定すればよい。

１：切削装置
２：チャックテーブル
３ａ、３ｂ：切削手段３０：切削ブレード
４：Ｘ軸送り機構
４０：ボールスクリュー４１：ガイドレール４２：モータ
４３：移動基台（可動部）
５ａ、５ｂ：Ｙ軸送り機構
５０：ボールスクリュー５１：ガイドレール５２：パルスモータ
５３：移動基台（可動部）５３０：第一のネジ穴
６ａ、６ｂ：Ｚ軸送り機構
６０：ボールスクリュー６１：ガイドレール６２：モータ
６３：昇降基台（可動部）
７：固定治具
８：固定部
８０：第一の平板８００：貫通孔
８１：第二の平板８１ａ：対向面８１ｂ：非対向面
８１０：第一の貫通孔８１１：第二のネジ穴
８２：ボルト８３：固定ボルト
９：ブロック９０：第二の貫通孔
９ａ：第一の面９ｂ：第二の面
１０：本体部１０ａ：水平基台１０ｂ：垂直基台１００：ネジ穴
１００ａ：水平面１００ｂ：垂直面１００ｃ：上面

Claims

本体部と該本体部に対して可動な可動部とを有する加工装置を搬送する際に該可動部を該本体部に固定する固定治具であって、
該可動部に形成された第一のネジ穴と、
該第一のネジ穴に対応する第一の貫通孔と、該第一のネジ穴に対応しない第二のネジ穴と、を含み該本体部側に形成された固定部と、
該第一のネジ穴と該第一の貫通孔に連通する第二の貫通孔を有するブロックと、
から構成され、
該可動部を該本体部に固定する際には該ブロックを該第一のネジ穴が形成された一面と該固定部の該一面に対向する対向面との間に位置させた状態で該固定部の該第一の貫通孔にボルトを挿入して該ブロックの該第二の貫通孔を介して該第一のネジ穴に螺合して締結し、該可動部を該本体部に固定しない際には該ブロックを該対向面の裏面側に位置させた状態で該ブロックの該第二の貫通孔にボルトを挿入して該固定部の該第二のネジ穴に螺合して固定する固定治具。