JP2011135128A

JP2011135128A - 圧電部品

Info

Publication number: JP2011135128A
Application number: JP2009289989A
Authority: JP
Inventors: Yasuhiro Nakai; 泰広中井; Ko Matsuo; 香松尾
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 2009-12-22
Filing date: 2009-12-22
Publication date: 2011-07-07
Anticipated expiration: 2029-12-22
Also published as: JP5371728B2

Abstract

【課題】圧電素子５の振動部の周囲に形成される空間の封止性が損なわれることを防止でき、圧電素子５の振動部付近の凹部の内部空間を広く確保できる圧電部品１を提供する。
【解決手段】圧電基板２、圧電基板２の両主面のそれぞれに圧電基板２を挟んで互いに対向して被着されている第１振動電極３および第２振動電極４を含む圧電素子５と、圧電素子５が周囲に振動のための空間を確保して一方の主面に配置された支持基板６と、圧電素子５を収納するための凹部７を有しており、凹部７の開口の周囲の全面が接着シート８によって支持基板６の一方の主面に接着されているケース９とを具備する圧電部品１であり、接着シート８が、凹部７の開口の周囲の全周にわたって開口の周囲の面から凹部７の内壁にかけて被着している圧電部品１である。
【選択図】図２

Description

本発明は、電界を与えることによって振動する圧電素子を備えた圧電部品に関するものである。

従来の圧電部品として、例えば特許文献１には、第１の圧電フィルタ部および第１の中継容量部が構成された第１の圧電基板と、第２の圧電フィルタ部および第２の中継容量部が構成された第２の圧電基板と、第１および第２の圧電基板を接着して積層体を構成している接着剤層と、積層体の外表面に付与された複数の外部電極とを備え、接着剤層の弾性率が0.5〜3000ＭＰａの範囲にあり、接着剤層の外周縁に少なくとも１つの凹部が形成されており、凹部内に外部電極材料が入り込んでいる構成のものが提案されている。そして、特許文献１には、前述した接着剤層として、第１および第２の圧電フィルタ部の振動を妨げないための貫通孔が形成された接着シートが用いられ、第１および第２の圧電フィルタ部の振動を妨げないための空洞を有しており、この空洞の開口の周囲の面が接着シートによって圧電基板の一方の主面に接着されているケース基板を有することが開示されている。

特許文献１に開示された圧電部品によれば、接着シートに、第１および第２の圧電フィルタ部の振動を妨げないための空洞を形成するために貫通孔が形成されているので、この貫通孔により空洞が形成されて、第１および第２の圧電フィルタ部による安定な特性を得ることができるというものである。

特開2002−16478号公報特開平10−308643号公報

しかしながら、特許文献１に開示された圧電部品のような構成においては、接着シートの貫通孔を形成する際の寸法誤差、ケース基板の空洞を形成する際の寸法誤差および接着シートの貫通孔をケース基板の空洞にあわせる際の誤差等によって、ケース基板の空洞の開口の周囲の全面が圧電基板の一方の主面に接着シートを介して接着されないことがあるので、圧電部品の封止性が損なわれるという問題点があった。

そこで、特許文献１に開示された圧電部品のように、閉じられた空間が形成されるように第１および第２の基板を空間の周囲の領域において接着剤を介して貼り合わせた構造を有する電子部品において、接着剤層が閉じられた空間の側壁に至るフィレットが形成されている構成のものが提案されている。そして、特許文献２には、第１の基板が板状の圧電振動素子であり、第２の基板が凹部を有しており、この凹部が圧電振動素子の振動部を囲むように配置されている構成の圧電部品が開示されている。

特許文献２に開示された圧電部品によれば、接着剤層が閉じられた空間の側壁に至るフィレットを有することから、少なくとも第２の基板の凹部の開口の周囲の全面と第１の基板の一方の主面とは接着剤層によって確実に接着されており、圧電部品の封止性が損なわれることを防止することができるというものである。

しかしながら、特許文献２に開示された圧電部品のような構成においては、圧電振動素子となる第１の基板の振動部付近の凹部の内部空間が十分広く確保できなくなり、第２の基板の凹部の側壁のフィレットが第１の基板の振動部に接触しやすくなるという問題点があった。

本発明は上記のような従来の技術における課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、圧電素子の振動部の周囲に形成される空間の封止性が損なわれることを防止でき、圧電素子の振動部付近の凹部の内部空間を広く確保できる圧電部品を提供することにある。

本発明の圧電部品は、圧電基板、該圧電基板の両主面のそれぞれに該圧電基板を挟んで互いに対向して被着されている第１振動電極および第２振動電極を含む圧電素子と、該圧電素子が周囲に振動のための空間を確保して一方の主面に配置された支持基板と、前記圧電素子を収納するための凹部を有しており、該凹部の開口の周囲の全面が接着シートによって前記支持基板の一方の主面に接着されているケースとを具備する圧電部品であり、前記接着シートが、前記凹部の開口の周囲の全周にわたって開口の周囲の面から前記凹部の内壁にかけて被着していることを特徴とするものである。これを本発明の第１の圧電部品とする。

本発明の圧電部品は、圧電基板、該圧電基板の両主面に該圧電基板を挟んでそれぞれ被着されている第１振動電極、および前記圧電基板の内部に前記第１振動電極に対向して形成されている第２振動電極を含む圧電素子と、該圧電素子が周囲に振動のための空間を確保して一方の主面に配置された支持基板と、前記圧電素子を収納するための凹部を有しており、該凹部の開口の周囲の全面が接着シートによって前記支持基板の一方の主面に接着されているケースとを具備する圧電部品であり、前記接着シートが、前記凹部の開口の周囲の全周にわたって開口の周囲の面から前記凹部の内壁にかけて被着していることを特徴とするものである。これを本発明の第２の圧電部品とする。

また、本発明の圧電部品は、上記各構成において、前記接着シートは、繊維製の布に樹脂を含浸させた樹脂シート材であることを特徴とするものである。

本発明の圧電部品の製造方法は、圧電基板、該圧電基板の両主面のそれぞれに該圧電基板を挟んで互いに対向して被着されている第１振動電極および第２振動電極を含む圧電素子を、周囲に振動のための空間を確保して支持基板の一方の主面に配置する工程と、前記圧電素子を収納するための凹部を有しているケースに、少なくとも前記凹部の開口の周囲の全面を覆うように接着シートを配置する工程と、前記接着シートを前記凹部の開口の周囲の全周にわたって開口の周囲の面から前記凹部の内壁にかけて被着させる工程と、前記支持基板および前記ケースの前記凹部によって前記圧電素子を収納するように、前記ケースの前記凹部の開口の周囲の全面と前記支持基板の一方の主面とを前記接着シートによって接着する工程とを含むことを特徴とするものである。これを本発明の第１の圧電部品の製造方法とする。

本発明の圧電部品の製造方法は、圧電基板、該圧電基板の両主面に該圧電基板を挟んでそれぞれ被着されている第１振動電極、および前記圧電基板の内部に前記第１振動電極に対向して形成されている第２振動電極を含む圧電素子を、周囲に振動のための空間を確保して支持基板の一方の主面に配置する工程と、前記圧電素子を収納するための凹部を有しているケースに、少なくとも前記凹部の開口の周囲の全面を覆うように接着シートを配置する工程と、前記接着シートを前記凹部の開口の周囲の全周にわたって開口の周囲の面から前記凹部の内壁にかけて被着させる工程と、前記支持基板および前記ケースの前記凹部によって前記圧電素子を収納するように、前記ケースの前記凹部の開口の周囲の全面と前記支持基板の一方の主面とを前記接着シートによって接着する工程とを含むことを特徴とするものである。これを本発明の第２の圧電部品の製造方法とする。

本発明の第１の圧電部品によれば、圧電基板、該圧電基板の両主面のそれぞれに該圧電基板を挟んで互いに対向して被着されている第１振動電極および第２振動電極を含む圧電素子と、圧電素子が周囲に振動のための空間を確保して一方の主面に配置された支持基板と、圧電素子を収納するための凹部を有しており、凹部の開口の周囲の全面が接着シートによって支持基板の一方の主面に接着されているケースとを具備する圧電部品であり、接着シートが、凹部の開口の周囲の全周にわたって開口の周囲の面から凹部の内壁にかけて被着していることから、ケースの凹部の開口の周囲の全面が接着シートによって支持基板の一方の主面に接着されることとなるので、ケースと支持基板との接着力を向上させることができ、圧電素子の振動部の周囲に形成される空間の封止性を向上させることができる。

また、本発明の第１の圧電部品によれば、ケースの凹部の開口の周囲の全周にわたって開口の周囲の面から凹部の内壁にかけて被着しているのは接着シートであるため、その厚みを薄くすることができる。従って、圧電素子の振動部付近の凹部の内部空間を広く確保できるようになるため、ケースの凹部の内壁に被着した接着シートの、圧電素子の振動部への接触を起こりにくくすることができる。

本発明の第２の圧電部品によれば、圧電基板、圧電基板の両主面に圧電基板を挟んでそれぞれ被着されている第１振動電極、および圧電基板の内部に第１振動電極に対向して形成されている第２振動電極を含む圧電素子と、圧電素子が周囲に振動のための空間を確保して一方の主面に配置された支持基板と、圧電素子を収納するための凹部を有しており、凹部の開口の周囲の全面が接着シートによって支持基板の一方の主面に接着されているケースとを具備する圧電部品であり、接着シートが、凹部の開口の周囲の全周にわたって開口の周囲の面から凹部の内壁にかけて被着していることから、ケースの凹部の開口の周囲の全面が接着シートによって支持基板の一方の主面に接着されることとなるので、ケースと支持基板との接着力を向上させることができ、圧電素子の振動部の周囲に形成される空間の封止性を向上させることができる。

また、本発明の第２の圧電部品によれば、ケースの凹部の開口の周囲の全周にわたって開口の周囲の面から凹部の内壁にかけて被着しているのは接着シートであるため、その厚みを薄くすることができる。従って、圧電素子の振動部付近の凹部の内部空間を広く確保できるようになるため、ケースの凹部の内壁に被着した接着シートの、圧電素子の振動部への接触を起こりにくくすることができる。

また、本発明の第２の圧電部品によれば、圧電素子は、少なくとも３つの振動電極（２つの第１振動電極および、１つの第２振動電極）を含むこととなるので、圧電基板の両主面に第１振動電極および第２振動電極がそれぞれ１つずつ被着されている場合と比較して、振動電極同士が対向する面積を大きくすることができる。従って、圧電素子の幅方向の寸法を小さくしつつ、同じ厚みの圧電基板で同じ値の容量を得ることができる。従って、容量値と反比例の関係にある圧電素子の共振抵抗を一定に保ったまま、圧電素子の幅方向の寸法を小さくすることができる。その結果、圧電素子の振動部付近の凹部の内部空間を広く確保できるようになるため、ケースの凹部の内壁に被着した接着シートの、圧電素子の振動部への接触を起こりにくくすることができる。

また、本発明の第１および第２の圧電部品によれば、接着シートは、繊維製の布に樹脂を含浸させた樹脂シート材であるときには、繊維製の布によって接着シートの強度が向上するので、圧電部品が急激な温度変化に晒される場合等に、ケースと支持基板との接着面に生じるせん断応力によって接着シートが破断することを防ぐことができる。

また、本発明の第１および第２の圧電部品によれば、ケースと支持基板とを加熱によって接着する際に、加熱して溶融した接着シートの樹脂を繊維製の布が保持することによって、樹脂の流動性を抑制することができる。従って、接着シートの樹脂が流動して圧電素子の振動部へ接触して特性が劣化することを防止することができる。

また、本発明の第１および第２の圧電部品によれば、一定の厚みを有する繊維製の布がスペーサーの役割をするので、ケースと支持基板との接着面において、硬化した接着シートの厚みが不均一になることを抑制することができる。

本発明の第１の圧電部品の製造方法によれば、圧電基板、該圧電基板の両主面のそれぞれに該圧電基板を挟んで互いに対向して被着されている第１振動電極および第２振動電極を含む圧電素子を、周囲に振動のための空間を確保して支持基板の一方の主面に配置する工程と、圧電素子を収納するための凹部を有しているケースに、少なくとも凹部の開口の周囲の全面を覆うように接着シートを配置する工程と、接着シートを凹部の開口の周囲の全周にわたって開口の周囲の面から凹部の内壁にかけて被着させる工程と、支持基板およびケースの凹部によって圧電素子を収納するように、ケースの凹部の開口の周囲の全面と支持基板の一方の主面とを接着シートによって接着する工程とを含むことから、ケースの凹部の開口の周囲の全面を接着シートによって支持基板の一方の主面に接着するので、ケースと支持基板との接着力を向上させることができ、圧電素子の振動部の周囲に形成される空間の封止性を向上させることができる。

また、本発明の第１の圧電部品の製造方法によれば、ケースの凹部の開口の周囲の全周にわたって開口の周囲の面から凹部の内壁にかけて被着させるのは接着シートであるため、その厚みを小さくすることができる。従って、圧電素子の振動部付近の凹部の内部空間を広く確保できるため、ケースの凹部の内壁に被着した接着シートの圧電素子の振動部への接触を起こりにくくすることができる。

本発明の第２の圧電部品の製造方法によれば、圧電基板、圧電基板の両主面に圧電基板を挟んでそれぞれ被着されている第１振動電極、および圧電基板の内部に第１振動電極に対向して形成されている第２振動電極を含む圧電素子を、周囲に振動のための空間を確保して支持基板の一方の主面に配置する工程と、圧電素子を収納するための凹部を有しているケースに、少なくとも凹部の開口の周囲の全面を覆うように接着シートを配置する工程と、接着シートを凹部の開口の周囲の全周にわたって開口の周囲の面から凹部の内壁にかけて被着させる工程と、支持基板およびケースの凹部によって圧電素子を収納するように、ケースの凹部の開口の周囲の全面と支持基板の一方の主面とを接着シートによって接着する工程とを含むことから、ケースの凹部の開口の周囲の全面を接着シートによって支持基板の一方の主面に接着するので、ケースと支持基板との接着力を向上させることができ、圧電素子の振動部の周囲に形成される空間の封止性を向上させることができる。

また、本発明の第２の圧電部品によれば、ケースの凹部の開口の周囲の全周にわたって開口の周囲の面から凹部の内壁にかけて被着させるのは接着シートであるため、その厚みを薄くすることができる。従って、圧電素子の振動部付近の凹部の内部空間を広く確保できるようになるため、ケースの凹部の内壁に被着した接着シートの、圧電素子の振動部への接触を起こりにくくすることができる。

本発明の圧電部品の実施の形態の例を示す外観斜視図である。図１に示す圧電部品の実施の形態の一例のＡ−Ａ線における断面図である。図１に示す圧電部品における圧電素子の実施の形態の他の例のＡ−Ａ線における断面図である。図１に示す圧電部品における圧電素子の実施の形態のさらに他の例のＡ−Ａ線における断面図である。図１に示す圧電部品における圧電素子の実施の形態のさらに他の例のＡ−Ａ線における断面図である。（ａ）は図１に示す圧電部品のケースを下方から見た外観斜視図であり、（ｂ）は図１に示す圧電部品のケースを取り除いた状態の外観斜視図である。（ａ）〜（ｄ）は、それぞれ本発明の圧電部品の製造方法の実施の形態の一例を模式的に示す工程毎の断面図である。

以下に、本発明の圧電部品の実施の形態の例について、図面を参照しつつ詳細に説明する。

図１は、本発明の圧電部品の実施の形態の一例を示す外観斜視図である。また、図２は、図１に示す圧電部品１の実施の形態の一例のＡ−Ａ線における断面図である。

図１および図２に示す例の圧電部品１は、本発明の第１の圧電部品であり、圧電基板２、圧電基板２の両主面のそれぞれに圧電基板２を挟んで互いに対向して被着されている第１振動電極３および第２振動電極４を含む圧電素子５と、圧電素子５が周囲に振動のための空間を確保して一方の主面に配置された支持基板６と、圧電素子５を収納するための凹部７を有しており、凹部７の開口の周囲の全面が接着シート８によって支持基板６の一方の主面に接着されているケース９とを具備する圧電部品１であり、接着シート８が、凹部７の開口の周囲の全周にわたって開口の周囲の面から凹部７の内壁にかけて被着している。

このような構成により、ケース９の凹部７の開口の周囲の全面が接着シート８によって支持基板６の一方の主面に接着されることとなるので、ケース９と支持基板６との接着力を向上させることができ、圧電素子５の振動部の周囲に形成される空間の封止性を向上させることができる。

また、本発明の圧電部品１によれば、ケース９の凹部７の開口の周囲の全周にわたって開口の周囲の面から凹部７の内壁にかけて被着しているのは接着シート８であるため、その厚みを薄くすることができる。従って、圧電素子５の振動部付近の凹部７の内部空間を広く確保できるようになるため、ケース９の凹部７の内壁に被着した接着シート８の圧電素子５の振動部への接触を起こりにくくすることができる。

なお、図１における符号10は外部電極を示しており、図２における符号11ａ，11ｂは導電性接続樹脂を示しており、符号12ａ，12ｂは上面電極を示しており、符号13ａ，13ｂは下面電極を示している。

圧電基板２は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ），チタン酸鉛（ＰＴ），ニオブ酸ナトリウム・カリウム（Ｎａ_１−ｘＫ_ｘＮｂＯ_３），ビスマス層状化合物（例：ＭＢｉ_４Ｔｉ_４Ｏ_１５、Ｍ：２価のアルカリ土類金属元素）等を基材とする圧電セラミックス、または水晶，タンタル酸リチウム等の圧電単結晶からなる。

なお、小型化および回路基板への実装性という観点からは、圧電基板２は、長さが0.5〜５ｍｍ、幅が0.2〜５ｍｍ、厚みが50μｍ〜１ｍｍの直方体形状とすることが好ましい。

また、圧電基板２は必ずしも全面で一様な厚みを有する必要はなく、厚み振動のエネルギー閉じ込めを良くして共振特性を向上する目的で、例えば、第１振動電極３および第２振動電極４が対向している部分の圧電基板２の厚みを周囲の領域よりも薄く形成したり、または厚く形成したりすることができる。

圧電基板２がセラミック材料から成る場合は、原料粉末にバインダを加えてプレスする方法、あるいは原料粉末を水や分散剤とともにボールミルを用いて混合した後に乾燥させ、バインダ，溶剤，可塑剤等を加えてドクターブレード法により成型する方法等によってシート状とし、次に、1100〜1400℃のピーク温度で0.5〜８時間焼成して基板を形成し、これに80〜200℃の温度にて厚み方向に３〜６ｋＶ／ｍｍの電圧をかけて分極処理を施すことによって、所望の圧電特性を有した圧電基板２が得られる。

また、圧電基板２が圧電単結晶材料からなる場合は、圧電基板２となる圧電単結晶材料のインゴット（母材）を所定の結晶方向となるように切断することによって、所望の圧電特性を有した圧電基板２が得られる。

第１振動電極３および第２振動電極４は、圧電基板２の両主面のそれぞれに圧電基板２を挟んで互いに対向して被着されているものである。なお、以下の説明においては、第１振動電極３および第２振動電極４は、それぞれ異なる電位の電極であるものとする。

第１振動電極３および第２振動電極４は、導電性の観点からは金，銀，銅またはアルミニウム等の金属膜からなることが好ましい。電極３の厚みは0.1〜５μｍの範囲とすることが好ましい。第１振動電極３および第２振動電極４となる金属膜を0.1μｍよりも厚くすることにより、例えば、大気中において高温にさらされた場合に、酸化によって導電性が低下することを抑制することができる。また、金属膜を５μｍよりも薄くすることにより、金属膜が応力で剥離するのを防ぐことができる。

また、圧電基板２との密着性を高めるために、圧電基板２の主面（表面）に、例えば、クロムのようにセラミック基板との密着性が高い金属からなる下地電極層を予め形成し、その上に所望の金属膜を形成して、第１振動電極３および第２振動電極４としてもよい。

このような第１振動電極３および第２振動電極４となる金属膜の被着には、真空蒸着法，ＣＶＤ法またはスパッタリング法等が利用できる。

また、第１振動電極３および第２振動電極４は、例えば、銀または銅等の金属フィラーを含有し、低温ガラスをバインダとする導電性ペーストを、所定の温度で焼き付けて形成することもできる。この場合の第１振動電極３および第２振動電極４の厚みは５〜30μｍの範囲とすることが好ましい。第１振動電極３および第２振動電極４となる電極膜を５μｍよりも厚くすることにより、金属フィラー間の接触不良による導通抵抗の増大を抑制することができる。また、30μｍよりも薄くすることにより、第１振動電極３および第２振動電極４の質量効果による圧電基板２の振動特性の劣化を防ぐことができる。

第１振動電極３および第２振動電極４の寸法は、例えば、圧電基板２の寸法が、長さが２ｍｍ、幅が0.5ｍｍ、厚みが0.2ｍｍの直方体形状である場合は、圧電基板２の長さ方向の寸法が1.5ｍｍであり、圧電基板２の幅方向の寸法が0.5ｍｍであり、厚みが１μｍであるものとする。

圧電素子５は、圧電基板２、圧電基板２の表面に圧電基板２を挟んで互いに対向して被着されている第１振動電極３および第２振動電極４を含むものである。また、圧電素子５の振動部とは、圧電基板２を挟んで第１振動電極３および第２振動電極４が対向している領域のことを示すものである。

なお、図２に示す例においては、圧電基板２の両主面のうち上側の主面である上面に第１振動電極３が、下側の主面である下面に第２振動電極４がそれぞれ被着されている構成となっている。

ここで、図３は、図１に示す圧電部品１における圧電素子５の実施の形態の他の例のＡ−Ａ線における断面図である。

図３に示す例のように、圧電素子５は、圧電基板２の両主面のそれぞれに第１振動電極３および第２振動電極４が圧電基板２を挟んで互いに対向して被着されていれば、圧電基板２の内部に、さらに別の第１振動電極３および第２振動電極４が互いに対向するように、また両主面の第１振動電極３および第２振動電極４にそれぞれ対向するようにして、埋設されていてもよいものである。なお、図３に示す例に限られず、圧電基板２の内部に埋設されている第１振動電極３および第２振動電極４は、２つずつ以上であってもよいものである。

また、図４は、図１に示す圧電部品１における圧電素子５の実施の形態のさらに他の例のＡ−Ａ線における断面図である。

図４に示す例のように、圧電素子５は、圧電基板２、圧電基板２の両主面に圧電基板２を挟んでそれぞれ被着されている第１振動電極３、および圧電基板２の内部に第１振動電極３に対向して形成されている第２振動電極４を含むものでもよい。この図４に示す例の圧電部品１は、本発明の第２の圧電部品である。

圧電素子５をこのような構成とすることによって、圧電素子５は少なくとも３つの振動電極（２つの第１振動電極３および１つの第２振動電極４）を含むこととなるので、圧電基板２の両主面のそれぞれに第１振動電極３および第２振動電極４がそれぞれ１つずつ被着されている場合と比較して、振動電極同士が対向する面積を大きくすることができる。従って、圧電素子５の幅方向の寸法を小さくしつつ、同じ厚みの圧電基板２で同じ値の容量を得ることができる。従って、容量値と反比例の関係にある圧電素子５の共振抵抗を一定に保ったまま、圧電素子５の幅方向の寸法を小さくすることができる。その結果、圧電素子５の振動部付近の凹部７の内部空間を広く確保できるようになるため、ケース９の凹部７の内壁に被着した接着シート８の、圧電素子５の振動部への接触を起こりにくくすることができる。

また、図５は、図１に示す圧電部品１における圧電素子５の実施の形態のさらに他の例のＡ−Ａ線における断面図である。

図５に示す例のように、圧電素子５は、圧電基板２の両主面に圧電基板２を挟んでそれぞれ第１振動電極３が被着され、圧電基板２の内部に第１振動電極３に対向して第２振動電極４が形成されていれば、圧電基板２の内部にさらに別の第１振動電極３および第２振動電極４が圧電基板２の両主面の第１振動電極３および内部の第２振動電極４と互いに対向するように埋設されていてもよいものである。

このような構成とすることによって、圧電素子５は、振動電極同士の対向面積をさらに大きく確保することができ、圧電素子５の容量値を大きくすることができるので、圧電素子５の幅方向の寸法をさらに小さくすることができる。その結果、圧電素子５の振動部付近の凹部７の内部空間を広く確保できるようになるため、ケース９の凹部７の内壁に被着した接着シート８の圧電素子５の振動部への接触を起こりにくくすることができる。

なお、図５に示す例に限られず、圧電基板２の内部に埋設されている第１振動電極３は２つ以上であってもよく、第２振動電極４は３つ以上であってもよいものである。

なお、図２に示す例においては、圧電素子５は、両端がそれぞれ導電性接続樹脂11ａ，11ｂによって支持されることによって、支持基板６の一方の主面に配置されているものである。なお、それぞれの導電性接続樹脂11ａ，11ｂは、上面電極12ａ，12ｂを介して支持基板６の上面に配置されているものである。また、上面電極12ａ，12ｂおよび下面電極13ａ，13ｂにおける圧電素子５の幅方向の両端部は、支持基板６の周縁部まで延びている。そして、各電極12ａ，12ｂ，13ａ，13ｂの両端部が、図１に示された例における外部電極10に電気的に接続されている。以上のような電極の構成によって、本発明の圧電部品１は、外部電極10を介して外部の電子機器等と電気的に接続される。

支持基板６は、圧電素子５が周囲に振動のための空間を確保して一方の主面（上面）に配置されるものである。

なお、支持基板６の材料には、例えば、アルミナ，チタン酸バリウム，チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ），チタン酸鉛（ＰＴ）またはニオブ酸ナトリウム・カリウム（Ｎａ_１−ｘＫ_ｘＮｂＯ_３））等のセラミック材料が使用される。また、他にも、フェノール系樹脂，ポリイミド系樹脂またはエポキシ系樹脂等の樹脂材料も使用される。さらに、他にも、ガラス繊維またはアラミド繊維等からなる布にポリイミド系樹脂またはエポキシ系樹脂等の樹脂材料を含浸させた樹脂シート材も用いられる。

なお、支持基板６として前述した樹脂材料を使用することによって、その厚みをセラミック材料では比較的割れが発生しやすい20〜100μｍの範囲へと薄くすることが容易となる。

また、支持基板６の寸法は、長さ方向が1.5〜７ｍｍであり、幅方向が１〜７ｍｍであり、厚みが50μｍ〜１ｍｍであるものとする。

また、圧電素子５を支持基板６に配置した結果、圧電素子５の周囲に振動のための空間を確保できるためには、圧電素子５の両端がそれぞれ支持されており、圧電素子５の振動部付近の凹部の内部空間が十分に広く確保されていることが必要である。例えば、図２に示す例においては、圧電素子５の両端はそれぞれ導電性接続樹脂11ａ，11ｂによって支持されている。

ケース９は、圧電素子５を収納するための凹部７を有しており、凹部７の開口の周囲の全面が接着シート８によって支持基板６の一方の主面に接着されているものである。

ケース９は、例えば、フェノール系樹脂，ポリイミド系樹脂もしくはエポキシ系樹脂等の樹脂材料、またはガラス繊維，アラミド繊維等からなる布にポリイミド系樹脂またはエポキシ系樹脂等を含浸させた樹脂シート材が用いられる。

特に、これらの樹脂シート材を使用した場合には、ケース９を薄く形成することができることに加えて、機械的強度にも優れたものとすることができる。

また、ケース９には、アルミナ等のセラミック材料またはＳＵＳ等の金属材料を用いることもできる。金属材料を用いる場合には、薄板を折り曲げて凹部７を形成し、接着面を有する形状へと加工することによって、ケース９を作製することもできる。

なお、ケース９に金属材料を用いた場合には、圧電部品１を小型化することによって、導電性接続樹脂11ａ，11ｂと金属材料からなるケース９との距離が近接してしまうことがある。しかし、図２に示す例のように、本発明の圧電部品１は、接着シート８が凹部７の開口の周囲の全周にわたって開口の周囲の面から凹部７の内壁にかけて被着されているため、接着シート８をエポキシ樹脂等の絶縁材料からなるものとしておけば、導電性接続樹脂11ａ，11ｂと金属材料からなるケース９とが近接していても、両者が接触して電気的にショートすることを抑制しつつ、圧電部品１の小型化の要求を満たすことができる。

また、ケース９の寸法は、長さが1.5〜７ｍｍであり、幅が１〜７ｍｍであり、厚みが0.2〜２ｍｍである。また、ケース９の凹部７の寸法は、長さが1.3〜５ｍｍであり、幅が0.8〜５ｍｍであり、深さが80μｍ〜1.5ｍｍである。

ここで、図６（ａ）は、図１に示す圧電部品１のケース９を下方から見た外観斜視図であり、図６（ｂ）は、図１に示す圧電部品１のケース９を取り除いた状態の外観斜視図である。

図２および図６（ａ）に示す例のように、接着シート８はケース９の凹部７の開口の周囲の全面と支持基板６の一方の主面とを接着するものであり、接着シート８は凹部７の開口の周囲の全周にわたって開口の周囲の面から凹部７の内壁にかけて被着されている。

接着シート８には、フェノール系樹脂，ポリイミド系樹脂もしくはエポキシ系樹脂等の樹脂材料が用いられる。特に、接着シート８が繊維製の布に樹脂を含浸させた樹脂シート材であるときには、繊維製の布によって接着シート８の強度が向上するので、圧電部品１が急激な温度変化に晒される場合等にケース９と支持基板６との接着面において生じるせん断応力によって接着シート８が破断することを防ぐことができる。

また、本発明の圧電部品１によれば、ケース９と支持基板６とを加熱によって接着する際に、加熱して溶融した接着シート８の樹脂を繊維製の布が保持することによって、樹脂の流動性を抑制することができる。従って、接着シート８の樹脂が流動して圧電素子５の振動部に接触して圧電部品１の特性が劣化することを防止することができる。

また、本発明の圧電部品１によれば、一定の厚みを有する繊維製の布がスペーサーの役割をするので、ケース９と支持基板６との接着面において、硬化した接着シート８の厚みが不均一になることを抑制することができる。

接着シート８の厚みは、圧電素子５の振動部付近の凹部７の内部空間を広く確保するという観点からは、10〜80μｍが好適である。

次に、本発明の圧電部品１の製造方法について、図７を参照して説明する。図７（ａ）〜（ｄ）は、それぞれ本発明の圧電部品１の製造方法の実施の形態の一例を模式的に示す工程毎の断面図である。

まず、図７（ａ）に示すように、圧電基板２、圧電基板２の両主面のそれぞれに圧電基板２を挟んで互いに対向して被着されている第１振動電極３および第２振動電極４を含む圧電素子５を、周囲に振動のための空間を確保して支持基板６の一方の主面に配置する。

この工程においては、例えば、支持基板６上に、導電性接続樹脂11ａ，11ｂを用いて圧電素子５を搭載する。導電性接続樹脂11ａ，11ｂは、金属粉末を樹脂中に分散させてなるものであり、この導電性接続樹脂11ａ，11ｂをディスペンサ等を用いて２つの上面電極12ａ，12ｂ上にそれぞれ塗布しておいて、上面電極12ａ上の導電性接続樹脂11ａに第１振動電極３を、上面電極12ｂ上の導電性接続樹脂11ｂに第２振動電極４をそれぞれ接続するように圧電素子５を載せ、加熱または紫外線照射により導電性接続樹脂11ａ，11ｂ中の樹脂を硬化させる。このとき、導電性接続樹脂11ａ，11ｂが硬化する前の状態で導電性接続樹脂11ａ，11ｂが圧電素子５の両端のそれぞれにおいて圧電基板２の下面側から上面側へと回り込むようにしておくことにより、導電性接続樹脂11ａが第１振動電極３に確実に電気的に接続され、導電性接続樹脂11ｂが第２振動電極４に確実に電気的に接続されるようにすることができる。

なお、前述したように、圧電素子５は、図４および図５に示す例のように、圧電基板２、圧電基板２の両主面に圧電基板２を挟んでそれぞれ被着されている第１振動電極３、および圧電基板２の内部に第１振動電極３に対向して形成されている第２振動電極４を含むものでもよい。

一方で、図７（ｂ）に示すように、圧電素子５を収納するための凹部７を有しているケース９に、少なくとも凹部７の開口の周囲の全面を覆うように接着シート８を配置する。

この工程においては、例えば、ケース９に配置した接着シート８を、80〜150℃の温度で加熱した平板で0.05〜１ＭＰａの応力でプレスすることによって軟化させると同時に、接着シート８をケース９の凹部７の開口の周囲の全面と密着させた後、加熱した平板を接着シート８から離して接着シート８を常温まで冷却して固化させて、接着シート８とケース９の凹部７の開口の周囲の全面とを仮接着させる。

なお、このように接着シート８を加熱によって軟化した状態とした際には、接着シート８を構成する樹脂材料は流動性を有しているため、接着シート８が過度に変形しやすくなってしまう。従って、接着シート８の樹脂材料にシリカ等の無機材料またはプラスチック等からなる針形状または球形状のフィラーを２〜50質量％程度含ませて、接着シート８の流動性を調整することが好ましい。これによって、接着シート８の形状を過度に変形しにくくして、接着シート８とケース９とを確実に接着させることができる。

なお、接着シート８を加熱・加圧する方法としては、加熱した平板でプレスする方法以外に、加熱したローラーで押圧する方法を採用してもよい。

なお、図２，図６（ａ）および図７（ｂ）〜（ｄ）に示す例においては、接着シート８は開口がないものを用いているが、開口がある接着シート８を用いてもよい。

また、開口がある接着シート８を用いる際には、接着シート８の開口の寸法をケース９の凹部７の開口の寸法より小さくしておくことが好ましい。このような構成とすることによって、接着シート８をケース９に配置する際に、接着シート８のケース９に対する配置位置が多少ずれた場合であっても、接着シート８の開口はケース９の凹部７の開口の範囲内に収まりやすくなるので、接着シート８と凹部７の開口の周囲の全面とを接着させやすくなる。

なお、開口がない接着シート８を用いる場合には、予め接着シート８に開口を設ける必要がないため、製造工程を簡略化することが可能となる。

次に、図７（ｃ）に示すように、接着シート８を凹部７の開口の周囲の全周にわたって開口の周囲の面から凹部７の内壁にかけて被着させる。

なお、図７（ｃ）における符号14は、シリコーンゴムからなるピンを示している。また、図７（ｃ）における一点鎖線は、凹部７の底面に押圧されることによって凹部７の底面と平行な方向に弾性変形した状態のピン14の形状を示している。

この工程においては、シリコーンゴムからなるピン14によって、ケース９とは接着されていない部分の接着シート８を押圧しつつ、このピン14をケース９の凹部７の内部空間に挿入する方法を採用するとよい。

なお、この作業を行なう前に、接着シート８が配置されたケース９を、予め接着シート８が載っていない方の面を下面として、80〜150℃の温度で加熱した平板の上に載せておくとよい。これによって、加熱した平板からケース９を介して接着シート８に熱が加わり、接着シート８が軟化して変形しやすくなる。

また、シリコーンゴムからなるピン14の形状は、ケース９の凹部７の内部空間に沿った形状とし、その寸法は、ピン14をケース９の凹部７の内部空間に挿入した際に、凹部７の内壁との間に50μｍ〜0.2ｍｍ程度のクリアランスがあることが好ましい。このような寸法とすることによって、ピン14を凹部７の内部空間に挿入する際にピン14の位置が多少ずれたとしても、ピン14は凹部７の開口の範囲に収まるため、ピン14の先端がケース９の凹部７の開口の周囲の面に接触することを防ぐことができ、ケース９およびピン14が破損することを防ぐことができる。

また、図７（ｃ）に示す例のように、ピン14の先端の形状は、角をとって丸みを帯びた形状とすることが好ましい。ピン14の先端をこのような形状とすることによって、仮にピン14を凹部７の内部空間に挿入する際のピン14の位置がずれてピン14の先端がケース９の凹部７の開口の周囲の面にわずかに接触した場合であっても、ピン14の先端とケース９の凹部７の開口の周囲の面とが互いに滑りやすくなり、ケース９およびピン14が破損することを防ぐことができる。

なお、ケース９に凹部７を形成する際の寸法誤差とピン14を凹部７の内部空間に挿入する際の工程の位置精度の誤差とを合計すると25μｍ〜0.1ｍｍ程度なので、前述したように、ピン14をケース９の凹部７の内部空間に挿入した際に凹部７の内壁との間に形成されるクリアランスは、50μｍ〜0.2ｍｍ程度で妥当であるといえる。

以上のことを考慮して、ピン14の先端の寸法は、例えば、ケース９の凹部７の内部空間が直方体形状であり、その内部空間が、ケース９の幅方向の寸法が0.9ｍｍであり、ケース９の長さ方向の寸法が2.8ｍｍであった場合に、ピン14の先端の断面の形状は略長方形状であり、ケース９の幅方向の寸法が0.8ｍｍであり、ケース９の長さ方向の寸法が2.7ｍｍであるものとすればよい。

以上で説明したピン14によって、ケース９とは接着されていない部分の接着シート８を押圧しつつピン14を凹部７の内部空間に挿入していくと、接着シート８がケース９の凹部７の深さ方向に伸び、その後、凹部７の底面に接着シート８が被着する。そして、接着シート８を介してピン14を凹部７の底面に押圧すると、シリコーンゴムからなるピン14は凹部７の底面と平行な方向に弾性変形し、前述したクリアランスの寸法分だけ変形する。図７（ｃ）に示す例においては、ピン14は同図中に一点鎖線で示すような形状となる。その結果、ピン14の側面が接着シート８を凹部７の底面と平行な方向に伸ばしていき、接着シート８を凹部７の側壁に接着させることとなる。

以上のようにして、接着シート８が凹部７の開口の周囲の全周にわたって開口の周囲の面から凹部７の内壁にかけて被着することとなる。

また、接着シート８を介してピン14を凹部７の底面に押圧する際の圧力は、例えば0.05〜１ＭＰａ程度である。この程度の圧力を負荷した場合には、ピン14は凹部７の底面と平行な方向に0.2〜0.8ｍｍ程度の寸法で弾性変形することから、ピン14をケース９の凹部７の内部空間に挿入した際に凹部７の内壁との間に形成されるクリアランスは、前述した50μｍ〜0.2ｍｍ程度で妥当であるといえる。

なお、以上の説明においては、ピン14にはシリコーンゴムからなるものを用いたが、ポリイミド，ポリエチレンテレフタレートおよびフッ素系等の樹脂材料を用いてもよいものである。また、テフロン（登録商標）からなるピン14を使用した際には、ピン14の弾性変形の割合は小さくなるものの、ピン14に対する接着シート８の濡れ性が悪いため、ピン14で接着シート８を押圧した後にピン14を接着シート８から離す際に、軟化した接着シート８がピン14に溶着することを防ぐことができるので好ましい。

なお、ピン14の耐久性を向上させる目的で、ＳＵＳ等の金属からなる軸にこれらの樹脂材料をコーティングしたものを用いてピン14としてもよい。

また、ケース９の凹部７の内壁にプライマーを予め塗布しておくと、接着シート８とケース９の凹部７の内壁との接着性が向上するので好ましい。このプライマーとしては、エポキシ系樹脂，ポリアミド系樹脂，合成ゴム，ウレタンまたはシリコーンレジン等から、ケース９の材質によって最適なものを用いればよい。例えば、ケース９がエポキシ系樹脂からなる場合には、エポキシ樹脂系のプライマーを用いることが望ましい。なお、ケース９の凹部７の内壁へのプライマーの塗布方法は、内壁に均一に塗布でき、生産性を高めることができるという点から、スプレー式の塗布を採用することが好ましい。

なお、以上の説明においては、凹部７の内壁というのは、凹部７の側壁および凹部７の底面を示すものとして説明した。しかし、凹部７の内壁とは、凹部７の側壁のみを示すものであっても構わない。例えば、ピン14によってケース９とは接着されていない部分の接着シート８を押圧した際に、接着シート８が、延びずに破れることによって凹部７の底面に被着せず、凹部７の側壁のみに被着する場合もあるが、このような場合であっても、本発明の圧電部品１の効果は同様に発揮し得るものである。

また、以上の説明では、ピン14が凹部７の底面に押圧されることにより、接着シート８を凹部７の開口の周囲の全周にわたって開口の周囲の面から凹部７の内壁にかけて被着する方法を説明したが、ピン14を使用することなく空気圧を利用して接着シート８を被着させる方法を採用してもよい。

例えば、図７（ｂ）に示すケース９に、少なくとも凹部７の開口の周囲の全面を覆うように開口を有しない接着シート８を配置して、真空チャンバー内等による真空状態下で、例えば、ケース９に配置した接着シート８の温度が80〜150℃となるよう加熱しつつ、0.05〜１ＭＰａ程度の応力でプレスし、ケース９の凹部７の開口の周囲の全面と接着シート８とを仮接着させる。

次に、接着シート８が加熱で軟化した状態を保持しつつ、真空チャンバー内の気圧を大気圧に戻すことにより、接着シート８が被着された凹部７の内部空間と凹部７の外部との気圧差によって、接着シート８を凹部７の開口の周囲の全周にわたって開口の周囲の面から凹部７の内壁にかけて被着することができる。

そして、接着シート８を常温まで冷却して固化させれば、接着シート８とケース９の凹部７の開口の周囲の全面とを仮接着させることができる。

このような工程によって接着シート８を仮接着させ、しかる後、図７（ｄ）に示すように、支持基板６およびケース９の凹部７によって圧電素子５を収納するように、ケース９の凹部７の開口の周囲の全面と支持基板６の一方の主面とを接着シート８によって接着する。

この工程においては、支持基板６の一方の主面に、接着シート８を介して配置されたケース９を120〜180℃の温度で加熱して0.01〜３ＭＰａの圧力によって加圧することによって、接着シート８を構成する樹脂を硬化させることによって、ケース９の凹部７の開口の周囲の全面と支持基板６の一方の主面とを接着する。

本発明の圧電部品の実施例を以下に説明する。なお、本実施例においては、図２に示す例の圧電部品１を作製した。

まず、圧電基板２の主面に圧電基板２を挟んで互いに対向する第１振動電極３および第２振動電極４が被着されてなる圧電素子５を、周囲に振動のための空間を確保して支持基板６の一方の主面に配置した。

圧電基板２は、チタン酸ジルコン酸鉛の粉末にバインダを加えてプレスする方法によって作製した基板形状の成形体を、1200℃のピーク温度で２時間焼成し、所望の厚みになるよう加工して、圧電基板２となる焼結体の上下面に分極用の電極を形成した後、100℃の温度にて厚み方向に５ｋＶ／ｍｍの電圧をかけて分極処理を施し、しかる後、所望の寸法にカットすることによって作製した。この圧電基板２の寸法は、長さが2.4ｍｍ、幅が0.5ｍｍ、厚みが0.2ｍｍの直方体形状とした。

次に、圧電基板２の主面に、マスクを用いた真空蒸着法によって、第１振動電極３および第２振動電極４を形成した。なお、これらの第１振動電極３および第２振動電極４は、厚みを１μｍとし、材料には銀を用いた。以上の工程によって、圧電素子５を作製した。

また、第１振動電極３および第２振動電極４の寸法は、圧電基板２の長さ方向の寸法が1.5ｍｍであり、圧電基板２の幅方向の寸法が0.5ｍｍであり、厚みが１μｍであるものとした。

支持基板６は、アルミナからなるものとし、その寸法は、長さ方向が3.2ｍｍであり、幅方向が1.3ｍｍであり、厚みが0.3ｍｍであるものとした。

また、支持基板６の上面に、圧電素子５の第１振動電極３および第２振動電極４と、それぞれ電気的に接続されるための上面電極12ａ，12ｂとを、支持基板６の下面に、半田付け実装に用いられる下面電極13ａ，13ｂを、それぞれ２つずつ導電性樹脂材料を用いて設けた。

また、支持基板６の上面の上面電極12ａ，12ｂの上に、金属粉末を樹脂中に分散させてなる導電性接続樹脂をそれぞれディスペンサによって塗布しておき、この導電性接続樹脂によって両端がそれぞれ支持されるように、圧電素子５を支持基板６に配置した。

次に、圧電素子５を収納するための凹部７を有しているケース９に、少なくとも凹部７の開口の周囲の全面を覆うように接着シート８を配置した。

なお、ケース９に配置した接着シート８は、130℃の温度で加熱した平板で0.5ＭＰａの圧力でプレスすることによって、軟化させると同時にケース９の凹部７の開口の周囲の全面と密着させ、常温まで冷却することにより、固化させてケース９と仮接着した。

ケース９は、エポキシ樹脂を用いて、圧電素子５を収納するための凹部７を有しているものとした。

また、ケース９の寸法は、長さが3.2ｍｍであり、幅が1.3ｍｍであり、厚みが0.6ｍｍであるものとした。また、ケース９の凹部７の寸法は、長さが0.28ｍｍであり、幅が0.9ｍｍであり、深さが0.4ｍｍであるものとした。

接着シート８には、繊維製の布に樹脂を含浸させた、厚みが40μｍの樹脂シートを用いた。

次に、接着シート８を凹部７の開口の周囲の全周にわたって開口の周囲の面から凹部７の内壁にかけて被着させた。

なお、この工程においては、ケース９に配置された接着シート８が軟化する130℃になるよう加熱しながら、シリコーンゴムからなるピン14で、ケース９とは接着されていない部分の接着シート８を押圧しつつ、このピン14をケース９の凹部７の内部空間に0.5ＭＰａで挿入することによって、接着シート８を凹部７の内壁に被着させた。

また、シリコーンゴムからなるピン14の形状は、ケース９の凹部７の内部空間に沿った形状とし、その寸法は、ピン14をケース９の凹部７の内部空間に挿入した際に凹部７の内壁との間に0.1ｍｍのクリアランスがあるものとした。

ピン14は、先端の断面の形状が長方形状であり、ケース９の幅方向の寸法が0.7ｍｍであり、ケース９の長さ方向の寸法が2.6ｍｍであるものとした。

しかる後に、支持基板６およびケース９の凹部７によって圧電素子５を収納するように、ケース９の凹部７の開口の周囲の全面と支持基板６の一方の主面とを接着シート８によって接着した。

なお、この接着においては、支持基板６の一方の主面に、接着シート８を介して配置されたケース９を150℃の温度で加熱し、２ＭＰａの圧力によって加圧することにより、接着シート８を構成する樹脂を硬化させ、ケース９の凹部７の開口の周囲の全面と支持基板６の一方の主面とを接着した。

そして、以上のようにして得られた実施例の圧電部品１を用いて、−40℃および＋125℃の各温度に制御した恒温槽に15分ずつ保持することを１サイクルとして1000サイクル繰り返す熱サイクル加速試験を行なった。そして、熱サイクル加速試験が終わった圧電部品１の封止性が維持されているか否かを確認した。

封止性が維持されているか否かの確認は、熱サイクル加速試験後に、室温の状態から130℃の温度に保った液槽に浸漬するリーク試験によって行なった。

その結果、実施例の圧電部品１では、リーク試験での気泡の発生は認められなかった。従って、ケース９の凹部７の開口の周囲の全面と支持基板６の一方の主面との間に隙間は空いておらず、封止性が保たれていることが分かった。

また、熱サイクル加速試験が終わった圧電部品１を切断して、その断面を観察したところ、接着シート８は、凹部７の開口の周囲の全周にわたって開口の周囲の面から凹部７の内壁にかけて一様に被着しており、圧電素子５の振動部に接触していないことが分かった。

これらの結果から、ケース９の凹部７の開口の周囲の全面が接着シート８によって支持基板６の一方の主面に接着されており、接着シート８が凹部７の開口の周囲の全周にわたって開口の周囲の面から凹部７の内壁にかけて被着していることによって、圧電素子５の振動部の周囲に形成される空間の封止性が損なわれることを防止でき、圧電素子５の振動部付近の凹部７の内部空間を広く確保できることが分かった。

１：圧電部品
２：圧電基板
３：第１振動電極
４：第２振動電極
５：圧電素子
６：支持基板
７：凹部
８：接着シート
９：ケース
10：外部電極
11ａ，11ｂ：導電性接続樹脂
12ａ，12ｂ：上面電極
13ａ，13ｂ：下面電極
14：ピン

Claims

圧電基板、該圧電基板の両主面のそれぞれに該圧電基板を挟んで互いに対向して被着されている第１振動電極および第２振動電極を含む圧電素子と、
該圧電素子が周囲に振動のための空間を確保して一方の主面に配置された支持基板と、
前記圧電素子を収納するための凹部を有しており、該凹部の開口の周囲の全面が接着シートによって前記支持基板の一方の主面に接着されているケースと
を具備する圧電部品であり、
前記接着シートが、前記凹部の開口の周囲の全周にわたって開口の周囲の面から前記凹部の内壁にかけて被着していることを特徴とする圧電部品。
圧電基板、該圧電基板の両主面に該圧電基板を挟んでそれぞれ被着されている第１振動電極、および前記圧電基板の内部に前記第１振動電極に対向して形成されている第２振動電極を含む圧電素子と、
該圧電素子が周囲に振動のための空間を確保して一方の主面に配置された支持基板と、
前記圧電素子を収納するための凹部を有しており、該凹部の開口の周囲の全面が接着シートによって前記支持基板の一方の主面に接着されているケースと
を具備する圧電部品であり、
前記接着シートが、前記凹部の開口の周囲の全周にわたって開口の周囲の面から前記凹部の内壁にかけて被着していることを特徴とする圧電部品。
前記接着シートは、繊維製の布に樹脂を含浸させた樹脂シート材であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の圧電部品。
圧電基板、該圧電基板の両主面のそれぞれに該圧電基板を挟んで互いに対向して被着されている第１振動電極および第２振動電極を含む圧電素子を、周囲に振動のための空間を確保して支持基板の一方の主面に配置する工程と、
前記圧電素子を収納するための凹部を有しているケースに、少なくとも前記凹部の開口の周囲の全面を覆うように接着シートを配置する工程と、
前記接着シートを前記凹部の開口の周囲の全周にわたって開口の周囲の面から前記凹部の内壁にかけて被着させる工程と、
前記支持基板および前記ケースの前記凹部によって前記圧電素子を収納するように、前記ケースの前記凹部の開口の周囲の全面と前記支持基板の一方の主面とを前記接着シートによって接着する工程と
を含むことを特徴とする圧電部品の製造方法。
圧電基板、該圧電基板の両主面に該圧電基板を挟んでそれぞれ被着されている第１振動電極、および前記圧電基板の内部に前記第１振動電極に対向して形成されている第２振動電極を含む圧電素子を、周囲に振動のための空間を確保して支持基板の一方の主面に配置する工程と、
前記圧電素子を収納するための凹部を有しているケースに、少なくとも前記凹部の開口の周囲の全面を覆うように接着シートを配置する工程と、
前記接着シートを前記凹部の開口の周囲の全周にわたって開口の周囲の面から前記凹部の内壁にかけて被着させる工程と、
前記支持基板および前記ケースの前記凹部によって前記圧電素子を収納するように、前記ケースの前記凹部の開口の周囲の全面と前記支持基板の一方の主面とを前記接着シートによって接着する工程と
を含むことを特徴とする圧電部品の製造方法。