JP2011119548A - ステルスダイシング用粘着シート及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ステルスダイシング用粘着シート10は、基材1と、その片面に形成された粘着剤層2とからなり、該粘着シート10の23℃におけるヤング率が200〜600MPaであり、該粘着剤層2の23℃における貯蔵弾性率が0.10〜50MPaである。
【選択図】図1
Description
(1)基材と、その片面に形成された粘着剤層とからなるステルスダイシング用粘着シートであって、
該粘着シートの23℃におけるヤング率が200〜600MPaであり、
該粘着剤層の23℃における貯蔵弾性率が0.10〜50MPaであるステルスダイシング用粘着シート。
該半導体ウエハの裏面に、(1)〜(4)のいずれかに記載のステルスダイシング用粘着シートを貼付する工程、
該粘着シートのエキスパンドにより、該半導体ウエハを分割してチップ化する工程、及び
該半導体チップをピックアップする工程を含む半導体装置の製造方法。
下記シリコンウエハの裏面側から、シリコンウエハ内部に下記の条件でレーザー光を照射した。次いで、シリコンウエハ裏面に実施例又は比較例の粘着シートを貼付し、リングフレームに固定した。その後、粘着シートをエキスパンドし、シリコンウエハをチップ化した。なお、カットチップサイズは、2mm×2mm、0.5mm×0.5mm、0.15mm×0.15mmとした。また、粘着シートの粘着剤層にエネルギー線硬化型の粘着剤層を用いる場合は、エネルギー線照射前に粘着シートをエキスパンドした。
・装置 :Nd−YAGレーザー
・波長 :1064nm
・繰り返し周波数 :100kHz
・パルス幅 :30nm
・カット速度 :100mm/秒
・ウエハ材質 :シリコン
・ウエハ厚 :100μm
・ウエハサイズ :50mm×50mm(正方形)
・粘着シートサイズ :約207mmφ
粘着シートのヤング率及び破断伸度は、万能引張試験機(オリエンテック社製テンシロンRTA−T−2M)を用いて、JIS K7161:1994に準拠して、23℃、湿度50%の環境下において引張速度200mm/分で測定した。なお、粘着シートの粘着剤層にエネルギー線硬化型の粘着剤層を用いる場合は、エネルギー線照射前の粘着シートのヤング率及び破断伸度を測定した。
実施例および比較例について、シリコーン剥離処理を行った2枚のポリエチレンテレフタレートフィルム(剥離フィルム)で挟まれた粘着剤層を得た。片方の剥離フィルムを剥がし、粘着剤層が重なるように積層を繰り返し、厚みが3mmの粘着剤層を得た。直径8mmの円柱形に型抜きして弾性率測定用の試料を作製した。両側の剥離フィルムを剥がし、この試料の捻り剪断法による周波数1Hz、温度23℃における貯蔵弾性率(G’)を、粘弾性測定装置(RHEOMETRIC社製DYNAMIC ANALYZER RDA−II)を用いて測定した。なお、エネルギー線硬化型の粘着剤層を用いる場合は、エネルギー線照射前の粘着剤層の貯蔵弾性率(G’)を測定した。
基材及び粘着剤層の厚さは、定圧厚さ計(TECLOCK製PG−02)を用いて測定した。
8インチウエハ用のリングフレームに実施例又は比較例の粘着シートを貼付し、エキスパンド装置(ディスコ社製、DDS2010)を用い、300mm/分でエキスパンド(10mm引き落とし)した。問題なくエキスパンドできた場合を「良好」とし、リングフレームから粘着シートが脱落したり、粘着シートが裂けてしまった場合を「不良」とした。なお、粘着シートの粘着剤層にエネルギー線硬化型の粘着剤層を用いる場合は、エネルギー線照射前の粘着シートのエキスパンド性を評価した。
上記のステルスダイシング条件で、シリコンウエハの内部に改質部を形成し、ウエハに実施例又は比較例の粘着シートと8インチウエハ用リングフレームとを貼付後、エキスパンド装置(ディスコ社製、DDS2010)を用いて、粘着シートをエキスパンドし、ウエハをチップ化した。なお、カットチップサイズが2mm×2mmのものは、粘着シートをエキスパンド(300mm/分で10mm引き落とし)してウエハをチップ化し、カットチップサイズが0.5mm×0.5mm及び0.15mm×0.15mmのものは、エキスパンド(300mm/分で5mm引き落とし)と同時に粘着シートを基材側から治具を用いてひっかいて、ウエハをチップ化した。カットチップサイズにチップ化されたチップの数(完全に個片化されたチップの数)を目視にて数え、ウエハ上に想定された全チップ数(仮想チップの合計数)に対するチップ分割率を算出した。チップ分割率が99.5%以上の場合を「非常に良好」、98%以上を「良好」、98%未満を「不良」とした。また、粘着シートの粘着剤層にエネルギー線硬化型の粘着剤層を用いる場合は、エネルギー線照射前に粘着シートをエキスパンドした。
アクリル共重合体(2−エチルヘキシルアクリレート/酢酸ビニル/アクリル酸/メチルメタクリレート/2−ヒドロキシエチルメタクリレート=18.5/75/1/5/0.5(質量比)、Mw=60万、Mw/Mn=8.2、Tg=5℃)100重量部に対し、エネルギー線硬化性化合物として2官能ウレタンアクリレートオリゴマー(Mw=8000)60重量部、6官能ウレタンアクリレートオリゴマー(Mw=2000)60重量部を配合したエネルギー線硬化型粘着成分に、光重合開始剤(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「イルガキュア184」)3重量部及び多価イソシアナート化合物(日本ポリウレタン社製、コロネートL)3重量部を配合(すべて固形分換算による配合比)し、粘着剤組成物とした。
粘着剤層の厚みを5μmとした以外は、実施例1と同様にしてステルスダイシング用粘着シートを得、測定及び評価を行った。結果を表1に示す。
基材として、厚さ80μmの無延伸ポリプロピレンフィルム(ヤング率=550MPa)を用いた以外は、実施例1と同様にしてステルスダイシング用粘着シートを得、測定及び評価を行った。結果を表1に示す。
アクリル粘着性重合体(ブチルアクリレート/メチルメタクリレート/2−ヒドロキシエチルアクリレート=62/10/28(質量比))100重量部に対して、重合性基含有化合物としてメタクリロイルオキシエチルイソシアネート30重量部を反応させたエネルギー線硬化型粘着性重合体(Mw=55万、Mw/Mn=6.2、Tg=−30℃)に、光重合開始剤(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「イルガキュア184」)2.5重量部及び多価イソシアナート化合物(日本ポリウレタン社製、コロネートL)1.1重量部を配合(すべて固形分換算による配合比)し、粘着剤組成物とした以外は、実施例1と同様にしてステルスダイシング用粘着シートを得、測定及び評価を行った。結果を表1に示す。
粘着剤層の厚みを5μmとした以外は、実施例4と同様にしてステルスダイシング用粘着シートを得、測定及び評価を行った。結果を表1に示す。
アクリル共重合体(東レコーテックス製アクリルラバー S−9000、Mw=60万、Mw/Mn=2.4、Tg=−25℃)100重量部に対し、多価イソシアナート化合物(日本ポリウレタン社製、コロネートL)1.9重量部を配合(すべて固形分換算による配合比)し、粘着剤組成物とした。
基材として、厚さ50μmのポリ塩化ビニルフィルム(ヤング率=350MPa)を用いた以外は、実施例2と同様にしてステルスダイシング用粘着シートを得、測定及び評価を行った。結果を表1に示す。
粘着剤層の厚みを15μmとした以外は、実施例1と同様にしてステルスダイシング用粘着シートを得、測定及び評価を行った。結果を表1に示す。
基材として、厚さ80μmのエチレン・メタクリル酸共重合体フィルム(ヤング率=120MPa)を用いた以外は、実施例1と同様にしてステルスダイシング用粘着シートを得、測定及び評価を行った。結果を表1に示す。
アクリル共重合体(ブチルアクリレート/アクリル酸=91/9(質量比)、Mw=80万、Mw/Mn=10.5、Tg=−38℃)100重量部に対し、エネルギー線硬化性化合物として3官能ウレタンアクリレートオリゴマー(Mw=4000)124重量部を配合したエネルギー線硬化型粘着成分に、光重合開始剤(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「イルガキュア184」)3重量部及び多価イソシアナート化合物(日本ポリウレタン社製、コロネートL)2.2重量部を配合(すべて固形分換算による配合比)し、粘着剤組成物とした以外は、実施例1と同様にしてステルスダイシング用粘着シートを得、測定及び評価を行った。結果を表1に示す。
基材として、厚さ50μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(ヤング率=4500MPa)を用いた以外は、実施例1と同様にしてステルスダイシング用粘着シートを得、測定及び評価を行った。結果を表1に示す。
2…粘着剤層
10…ステルスダイシング用粘着シート
11…半導体ウエハ
12…半導体チップ
13…回路
18…切断予定ライン(仮想)
Claims (5)
- 基材と、その片面に形成された粘着剤層とからなるステルスダイシング用粘着シートであって、
該粘着シートの23℃におけるヤング率が200〜600MPaであり、
該粘着剤層の23℃における貯蔵弾性率が0.10〜50MPaであるステルスダイシング用粘着シート。 - 200mm/分で延伸したときの該粘着シートの破断伸度が50%以上である請求項1に記載のステルスダイシング用粘着シート。
- 該粘着剤層がアクリル共重合体からなる粘着剤組成物からなり、該粘着剤層の厚みが1〜15μmである請求項1または2に記載のステルスダイシング用粘着シート。
- 該基材が塩化ビニルフィルムからなり、該基材の厚みが40〜90μmである請求項1〜3のいずれかに記載のステルスダイシング用粘着シート。
- 表面に回路が形成された半導体ウエハにレーザー光を照射して、ウエハ内部に改質部を形成する工程、
該半導体ウエハの裏面に、請求項1〜4のいずれかに記載のステルスダイシング用粘着シートを貼付する工程、
該粘着シートのエキスパンドにより、該半導体ウエハを分割してチップ化する工程、及び
該半導体チップをピックアップする工程を含む半導体装置の製造方法。
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