JP2011119312A - 半導体レーザ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板1上に設けられた活性層2と活性層2上に設けられたクラッド層5とクラッド層5上に設けられたキャップ層6とを有する半導体レーザ装置10を備えた半導体レーザ装置であって、半導体レーザ装置本体10は、キャップ層6上に設けられた成長層側電極7と、半導体基板1の下面に設けられた基板側電極8とを具備し、活性層7は、半導体レーザ素子本体10の素子長L11よりも短く形成され、成長層側電極7は、半導体レーザ素子本体10の素子長L11よりも短く形成され、成長層側電極7および基板側電極8が、活性層2に電流注入を行うものである。
【選択図】図1
Description
半導体基板上に設けられた活性層と前記活性層上に設けられたクラッド層と前記クラッド層上に設けられたキャップ層とを有する半導体レーザ素子本体を備えた半導体レーザ装置であって、
前記半導体レーザ素子本体は、前記キャップ層上に設けられた成長層側電極と、前記半導体基板の下面に設けられた基板側電極とを具備し、
前記活性層は、前記半導体レーザ素子本体の素子長よりも短く形成され、
前記成長層側電極は、前記半導体レーザ素子本体の素子長よりも短く形成され、前記成長層側電極および前記基板側電極が、前記活性層に電流注入を行うものである
ことを特徴とする。
すなわち、上述した課題を解決する第2の発明に係る半導体レーザ装置は、
第1の発明に係る半導体レーザ装置であって、
前記半導体レーザ素子本体の素子長が175μm以上であり、前記活性層の長さが150μm以下である
ことを特徴とする。
第1または第2の発明に係る半導体レーザ装置であって、
前記成長層側電極は、前記活性層と同じ長さで形成される
ことを特徴とする。
第1乃至第3の発明の何れか1つに係る半導体レーザ装置であって、
前記基板側層側電極は、前記半導体レーザ素子本体の素子長よりも短く形成される
ことを特徴とする。
第4の発明に係る半導体レーザ装置であって、
前記基板側層側電極は、前記活性層と同じ長さで形成される
ことを特徴とする。
第1乃至第5の発明の何れか1つに係る半導体レーザ装置であって、
前記半導体レーザ素子本体は、前記活性層と前記クラッド層の間の一部に、当該クラッド層との境界が周期構造となるようにして回折格子が形成されたガイド層をさらに具備し、
前記回折格子の長さL1と前記活性層の長さL2との比率(L2/L1)が3以下である
ことを特徴とする。
第6の発明に係る半導体レーザ装置であって、
前記ガイド層の端面が前記半導体レーザ素子本体の端面に接していない
ことを特徴とする。
第1乃至第7の何れか一つの発明に係る半導体レーザ装置であって、
前記半導体レーザ素子本体が分布帰還型半導体レーザ装置である
ことを特徴とする。
第1乃至第5の発明の何れか1つに係る半導体レーザ装置であって、
前記半導体レーザ素子本体がファブリ・ペロー半導体レーザ装置である
ことを特徴とする。
本実施形態に係る半導体レーザ装置について、図1を参照して説明する。
本実施形態に係る分布帰還型半導体レーザ装置は、従来の分布帰還型半導体レーザ装置と同様の材料系で、従来の分布帰還型半導体レーザ装置と同様の製造方法で製造される。分布帰還型半導体レーザ装置は、例えば図1に示すように、n型InP基板1と、InGaAsP活性層2と、InGaAsPガイド層3と、p型InPクラッド層5と、p型InGaAsPキャップ層6とを備えた半導体レーザ素子本体10を備える。
最初に、n型InP基板1上に、InGaAsP活性層2、InGaAsPガイド層3を順番に成長させ、InGaAsPガイド層3とInGaAsP活性層2を島状に残してエッチングで周りを除去し、その後周りをInGaAsP光導波層11で埋め込む。その後は通常の方法と同様、InGaAsPガイド層3上に回折格子4を形成する。続いて、p型InPクラッド層5、p型InGaAsPキャップ層6を順番に成長させた後、埋め込み成長が行われることにより、ウエハが完成する。
本実施形態に係る半導体レーザ装置について、図2を参照して説明する。
本実施形態に係る半導体レーザ装置について、図3を参照して説明する。
本実施形態に係るファブリ・ペロー半導体レーザ装置は、従来のファブリ・ペロー半導体レーザ装置と同様の材料で、従来のファブリ・ペロー半導体レーザ装置と同様の製造方法で製造される。ファブリ・ペロー半導体レーザ装置は、例えば図3に示すように、n型InP基板31と、InGaAsP活性層32と、p型InPクラッド層33と、p型InGaAsPキャップ層34とを備えた半導体レーザ素子本体30を備える。
最初に、n型InP基板31上にInGaAsP活性層32を成長した後、活性層32を島状に残してエッチングして周りを除去し、その後周りをInGaAsP光導波層38で埋め込む。その後通常方法と同様、p型InPクラッド層33、p型InGaAsPキャップ層34を順番に成長させた後、埋め込み成長が行われることにより、ウエハが完成する。
上述した第一番目〜第三番目の実施形態では、基板としてn型InPを具備する半導体レーザ装置を用いて説明したが、基板としてp型InPを具備する半導体レーザ装置とすることも可能である。その際は、キャップ層としてn型InGaAsP,クラッド層としてn型InPを用いれば良い。
2 活性層
3 ガイド層
4 回折格子
5 クラッド層
6 キャップ層
7 成長層側電極
8 基板側電極
9 高反射膜
10 半導体レーザ素子本体
11 光導波層
12 反射防止膜
20 半導体レーザ素子本体
23 ガイド層
24 回折格子
25 クラッド層
28 基板側電極
30 半導体レーザ素子本体
31 半導体基板
32 活性層
33 クラッド層
34 キャップ層
35 成長層側電極
36 基板側電極
37 高反射膜
38 光導波層
39 反射防止膜
Claims (9)
- 半導体基板上に設けられた活性層と前記活性層上に設けられたクラッド層と前記クラッド層上に設けられたキャップ層とを有する半導体レーザ素子本体を備えた半導体レーザ装置であって、
前記半導体レーザ素子本体は、前記キャップ層上に設けられた成長層側電極と、前記半導体基板の下面に設けられた基板側電極とを具備し、
前記活性層は、前記半導体レーザ素子本体の素子長よりも短く形成され、
前記成長層側電極は、前記半導体レーザ素子本体の素子長よりも短く形成され、前記成長層側電極および前記基板側電極が、前記活性層に電流注入を行うものである
ことを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項1に記載の半導体レーザ装置であって、
前記半導体レーザ素子本体の素子長が175μm以上であり、前記活性層の長さが150μm以下である
ことを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項1または請求項2に記載の半導体レーザ装置であって、
前記成長層側電極は、前記活性層と同じ長さで形成される
ことを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項1乃至請求項3の何れか一項に記載の半導体レーザ装置であって、
前記基板側層側電極は、前記半導体レーザ素子本体の素子長よりも短く形成される
ことを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項4に記載の半導体レーザ装置であって、
前記基板側層側電極は、前記活性層と同じ長さで形成される
ことを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項1乃至請求項5の何れか一項に記載の半導体レーザ装置であって、
前記半導体レーザ素子本体は、前記活性層と前記クラッド層の間の一部に、当該クラッド層との境界が周期構造となるようにして回折格子が形成されたガイド層をさらに具備し、
前記回折格子の長さL1と前記活性層の長さL2との比率(L2/L1)が3以下である
ことを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項6に記載の半導体レーザ装置であって、
前記ガイド層の端面が前記半導体レーザ素子本体の端面に接していない
ことを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項1乃至請求項7の何れか一項に記載の半導体レーザ装置であって、
前記半導体レーザ素子本体が分布帰還型半導体レーザ装置である
ことを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項1乃至請求項5の何れか一項に記載の半導体レーザ装置であって、
前記半導体レーザ素子本体がファブリ・ペロー半導体レーザ装置である
ことを特徴とする半導体レーザ装置。
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- 2009-12-01 JP JP2009273059A patent/JP2011119312A/ja active Pending
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