JP2011114313A - 基板収納容器および当該容器を搬送するための搬送容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の基板収納容器50は、周縁部同士を対向配置することによって中空部13を形成することができる一対のプレート体1を備え、下側プレート体11には収納する基板の片面におけるエッジ部分よりも内側において貼着して当該基板を支持固定する台座14であって、下側プレート体11の下側周縁部11aよりも、対向配置させた上側プレート体12に向けて突出している台座14を有している。これにより、基板のエッジ部分と下側周縁部11aとの間に比較的広い隙間を形成することができ、治具を挿入することによって、容易に、且つ基板のエッジ部分を汚染することなく、基板を台座14から取り外すことができる。
【選択図】図2
Description
周縁に位置する周縁部同士を対向配置することによって、基板を収納するための中空体を形成することができる一対のプレート体と、
対向配置させたプレート体同士を互いに固定するクランプとを備えており、
一方の上記プレート体における他方の上記プレート体と対向する側の面には、上記基板の片面における外周部分よりも内側において貼着して当該基板を支持固定する台座であって、当該一方のプレート体の上記周縁部よりも、対向配置させた他方の上記プレート体に向けて突出している台座を有していることを特徴としている。
上記周縁部は、対向配置させた上記他方のプレート体に向けて突出していることが好ましい。
対向配置させた上記一方のプレートと上記他方のプレートとの接合部分には、上記中空体を密閉するための弾性体が設けられていることが好ましい。
上記一方のプレート体の上記周縁部は、上記台座を中心として円形に構成されており、
上記他方のプレート体の上記周縁部は、上記一方のプレート体の上記周縁部と合致する形状を有しており、
上記弾性体は、上記円形の周縁部の上に配置されるOリングであることが好ましい。
上記円形の周縁部の上には、上記Oリングに沿って、凹溝が形成されていることが好ましい。
上記台座は、上記一方のプレートの中央に配置されていることが好ましい。
上記台座における当該基板との対向面の一部分が基板に対して貼着性を有するように、上記基板の片面を貼着する粘着シートが、当該対向面に散在していることが好ましい。
上記粘着シートは、上記基板の側の面が、上記台座の側の面に比べて弱い粘着力を示すシートであることが好ましい。
上記クランプは、対向配置させた上記一対のプレート体の外周部分を挟持することによって、プレート体同士を互いに固定するように構成されていることが好ましい。
上記他方のプレート体における上記一方のプレート体と対向する側の面には、対向配置させた上記一方のプレートの上記台座に貼着された上記基板を当該台座に向けて押さえる押さえ治具が設けられていることが好ましい。
周縁に位置する周縁部同士を対向配置することによって、基板を収納するための中空体を形成することができる一対のプレート体と、
対向配置させたプレート体同士を互いに固定するクランプとを備えており、
一方の上記プレート体における他方の上記プレート体と対向する側の面には、上記基板の片面における外周部分よりも内側において貼着して当該基板を支持固定する台座であって、当該一方のプレート体の上記周縁部よりも、対向配置させた他方の上記プレート体に向けて突出している台座を有していることを特徴としている。
図1は、本発明の一実施形態に係る基板収納容器50の構成を示した上面図である。また、図2は、図1に示す切断線A−A´において基板収納容器50を切断した状態を示した矢視断面図である。基板収納容器50は、図2に示すように、対をなす2枚のプレート体(図1では片方のプレート体が示されている)11・12と、クランプ2とをその基本構成としている。本発明は、下側プレート体11の構造に特徴を有している。以下、一対のプレート体1、およびクランプ2の構成について詳述する。
図2に示すように、一対のプレート体1は、下側プレート体11(一方のプレート体)と、上側プレート体12(他方のプレート体)とによって構成されている。
図3の(a)は下側プレート体11の上面図であり、図3の(b)は(a)に示す切断線A−A´において下側プレート体11を切断した状態を示した矢視断面図である。図3の(b)において紙面上側が上側プレート体12との対向側に相当し、紙面下側が基板収納容器50の外面の一部に相当する。
図7の(a)は上側プレート体12の上面図であり、図7の(b)は(a)に示す切断線A−A´において上側プレート体12を切断した状態を示した矢視断面図である。図7の(b)において紙面下側が下側プレート体11との対向側に相当し、紙面上側が基板収納容器50の外面の一部に相当する。
ここで、上側プレート体12の変形例を説明する。
クランプ2は、対向配置させた下側プレート体11と上側プレート体12とを固定するために設けられている。
以上のような基板収納容器の構成によれば、下側プレート体11に台座14を設けることにより、基板40と下側周縁部11aとを、図5に示す位置関係で実現することによって、基板40のエッジ部分と下側周縁部11aとの間に、比較的広い隙間を形成することができる。これにより、この隙間に図6に示すような治具を挿入し、基板40の台座14側の面に治具を接触させたり、吸着させたりするなどして、基板40を台座14から容易に取り外すことができる。この取り外しの際に、台座14によって基板40のエッジ部分が下側周縁部11aから離された位置に支持されるので、下側周縁部11aが基板40のエッジ部分に接触したり、治具30が基板40のエッジ部分に接触したりする虞がなく、基板40のエッジ部分を汚染する虞がない。
上述した実施形態では、下側プレート体11に、対向させた上側プレート体12に向けて突出した下側周縁部11aが設けられた構成を説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、図10に示す下側プレート体11´と上側プレート体12´との組み合わせであってもよい。図10に示す形態では、下側プレート体11´は、台座14以外は、面一となっており、下側周縁部11a´は突出していない。一方、上側プレート体12´の上側周縁部12a´は、上述した実施形態の上側周縁部12aに比べて対向させた下側プレート体11に向けてより大きく突出した構造となっている。上側周縁部12a´の突出量は、上述した実施形態の下側周縁部11aの突出量と上側周縁部12aの突出量とを合わせた長さがある。
図11(a)および図11(b)は、基板収納容器50を複数個収納することが可能な搬送用の搬送容器を示した図であり、図11(a)は搬送容器の蓋が開封された状態の図であり、図11(b)は搬送容器の蓋が閉じられている状態の図である。
汚染評価機構の一形態について図12から図14に基づいて説明する。図12は、本実施形態における汚染物回収機構の構成を示した図である。
図15に、本実施例で用いた基板収納容器の断面とその寸法を示す。上側プレート体12および下側プレート体11は、ポリプロピレンによって構成されており、台座14は下側プレート体11と一体的に構成されている。クランプは、ポリアセタール製のものを用いた。
実施例の基板収納容器に収納した基板の汚染評価結果は、基板のエッジ部分の金属元素汚染が不検出(0.02ng以下)であった。
2 クランプ
2a ヒンジ
2b 固定部
11、11´ 下側プレート体
11a、11a´ 下側周縁部
12、12´ 上側プレート体
12a、12a´ 上側周縁部
12b リング状の突起部
13 中空部
14 台座
15 凹溝
16 Oリング
17 端部(ガイド構造)
18 粘着シート
19 治具
19a 羽部
20 搬送容器
20a 本体
21 梱包部
22 ベルト
23 袋取手部
30 治具
40 基板
40a エッジ部分
50 基板収納容器
60 汚染物回収装置
61 ウエハ回転体
70 回収治具
71 回収本体
71a 本体下部
71b 本体上部
72 制御手段
72a 枠部
72b 芯部
73 フランジ部
74 貯留部
75 貫通部
76 ネジ山
77 ネジ山
78 雌ネジ
79 底面
80 底面
81 通気孔
Claims (11)
- 周縁に位置する周縁部同士を対向配置することによって、基板を収納するための中空体を形成することができる一対のプレート体と、
対向配置させたプレート体同士を互いに固定するクランプとを備えており、
一方の上記プレート体における他方の上記プレート体と対向する側の面には、上記基板の片面における外周部分よりも内側において貼着して当該基板を支持固定する台座であって、当該一方のプレート体の上記周縁部よりも、対向配置させた他方の上記プレート体に向けて突出している台座を有していることを特徴とする基板収納容器。 - 上記周縁部は、対向配置させた上記他方のプレート体に向けて突出していることを特徴とする請求項1に記載の基板収納容器。
- 上記周縁部同士の対向部分には、上記中空体を密閉するための弾性体が設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の基板収納容器。
- 上記一方のプレート体の上記周縁部は、上記台座を中心として円形に構成されており、
上記他方のプレート体の上記周縁部は、上記一方のプレート体の上記周縁部と合致する形状を有しており、
上記弾性体は、上記円形の周縁部の上に配置されるOリングであることを特徴とする請求項3に記載の基板収納容器。 - 上記円形の周縁部の上には、上記Oリングに沿って、凹溝が形成されていることを特徴とする請求項4に記載の基板収納容器。
- 上記台座は、上記一方のプレートの中央に配置されていることを特徴とする請求項1から5までの何れか1項に記載の基板収納容器。
- 上記台座における当該基板との対向面の一部分が基板に対して貼着性を有するように、上記基板の片面を貼着する粘着シートが、当該対向面に散在していることを特徴とする請求項1から6までの何れか1項に記載の基板収納容器。
- 上記粘着シートは、上記基板の側の面が、上記台座の側の面に比べて弱い粘着力を示すシートであることを特徴とする請求項7に記載の基板収納容器。
- 上記クランプは、対向配置させた上記一対のプレート体の外周部分を挟持することによって、プレート体同士を互いに固定するように構成されていることを特徴とする請求項1から8までの何れか1項に記載の基板収納容器。
- 上記他方のプレート体における上記一方のプレート体と対向する側の面には、対向配置させた上記一方のプレートの上記台座に貼着された上記基板を当該台座に向けて押しつける押さえ治具が設けられていることを特徴とする請求項1から9までの何れか1項に記載の基板収納容器。
- 請求項1から10までの何れか1項に記載の基板収納容器を複数個収納することができる搬送容器。
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