JP2011114216A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の一態様に係る半導体装置の製造方法は、被加工部材1上の第1のマスク膜2上に、第1のアスペクト比を有する溝4aを含む小開口パターン領域5aと第1のアスペクト比よりも小さい第2のアスペクト比を有する溝4bを含む大開口パターン領域5bを含むパターンを有する第2のマスク膜3を積層する工程と、第2のマスク膜3のパターンを第1のマスク膜2に転写する工程と、小開口パターン領域5aの第2のマスク膜3を選択的に除去する工程と、小開口パターン領域5aの第2のマスク膜3を選択的に除去した後、第1のマスク膜2および第2のマスク膜3をマスクとして用いて被加工部材1にエッチングを施し、溝を形成する工程と、を含む。
【選択図】図1A
Description
図1A(a)〜(c)、図1B(d)、(e)は、本発明の第1の実施の形態に係る半導体装置の製造工程を示す断面図である。
本発明の第1の実施の形態によれば、マイクロローディング効果を抑えて、開口幅の異なる溝6aおよび溝6bを同程度の深さで同時に形成することができる。これにより、溝6aおよび溝6b内に深さのばらつきの小さい部材を形成し、半導体装置の性能のばらつきを抑えることができる。
本発明の第2の実施の形態は、溝4aのアスペクト比と溝4bのアスペクト比を近づけるための別の工程をさらに含む。なお、第1の実施の形態と同様の点については説明を省略または簡略化する。
本発明の第2の実施の形態によれば、小開口パターン領域5aの第2のマスク膜3を除去する工程により溝4aのアスペクト比と溝4bのアスペクト比との差を十分に小さくすることができなかった場合であっても、小開口パターン領域5aの第1のマスク膜2を薄くすることにより、十分に小さくすることができる。これにより、溝6aの深さと溝6bの深さとの差を十分に小さくすることができる。
本発明は、上記各実施の形態に限定されず、発明の主旨を逸脱しない範囲内において種々変形実施が可能である。例えば、上記各実施の形態において示した溝4aの幅と溝4bの幅は、同じ方向になくてもよい。また、溝4aと溝4bのパターンは特定の形状に限定されるものではない。
Claims (5)
- 被加工部材上に、第1のマスク膜と、小開口パターン領域に第1のアスペクト比を有する複数の溝が形成され、大開口パターン領域に前記第1のアスペクト比よりも小さい第2のアスペクト比を有する溝が形成されたパターンを有する第2のマスク膜とを積層する工程と、
前記第2のマスク膜の前記パターンを前記第1のマスク膜に転写する工程と、
前記小開口パターン領域の前記第2のマスク膜を選択的に除去する工程と、
前記小開口パターン領域の前記第2のマスク膜を選択的に除去した後、前記第1のマスク膜および前記第2のマスク膜をマスクとして用いて前記被加工部材にエッチングを施し、溝を形成する工程と、
を含む半導体装置の製造方法。 - 前記小開口パターン領域の前記第2のマスク膜を除去した後、前記被加工部材に前記溝を形成する前に、前記小開口パターン領域の前記第1のマスク膜を選択的に薄くする工程をさらに含む、
請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記前記小開口パターン領域の前記第1のマスク膜は、異方性エッチングにより薄くされる、
請求項2に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記小開口パターン領域の前記第2のマスク膜は、等方性エッチングにより除去される、
請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第2のマスク膜の前記パターンを前記第1のマスク膜に転写する工程から、前記第2のマスク膜を選択的に除去する工程までは、同一のチャンバー内で行われる、
請求項1〜4のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
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