JP2011114117A - 半導体装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】貫通電極とパッド電極との接続信頼性を高める。
【解決手段】一方の面と、前記一方の面と対向する他方の面を有する半導体基板と、前記半導体基板の前記一方の面に設けられた絶縁膜と、前記半導体基板と前記絶縁膜とを貫通する貫通孔と、前記絶縁膜上に設けられ、平面視において前記貫通孔と重なる位置に凹部を有する配線層と、前記貫通孔と前記凹部とで構成される溝の内壁および前記溝の底面に設けられ、且つ、平面視において前記配線層の前記凹部と重なる接続孔を有する樹脂膜と、前記配線層に接続され、前記樹脂膜を介して前記溝内に設けられた貫通電極とを含むことを特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】一方の面と、前記一方の面と対向する他方の面を有する半導体基板と、前記半導体基板の前記一方の面に設けられた絶縁膜と、前記半導体基板と前記絶縁膜とを貫通する貫通孔と、前記絶縁膜上に設けられ、平面視において前記貫通孔と重なる位置に凹部を有する配線層と、前記貫通孔と前記凹部とで構成される溝の内壁および前記溝の底面に設けられ、且つ、平面視において前記配線層の前記凹部と重なる接続孔を有する樹脂膜と、前記配線層に接続され、前記樹脂膜を介して前記溝内に設けられた貫通電極とを含むことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体装置および半導体装置の製造方法に関する。
三次元実装技術として、半導体基板に貫通電極を形成する技術が一般的に知られている。貫通電極は、半導体基板に貫通孔を形成し、貫通孔に貫通電極を設けることで形成される。また、貫通電極と半導体基板との間には、絶縁性を確保するために、シリコン酸化膜を設けることが知られている。(例えば、特許文献1参照)。
上記の従来技術では貫通電極と半導体基板の貫通孔との間にシリコン酸化膜を形成しているが、このシリコン酸化膜の代わりに樹脂を用いることも考えられる。この場合、半導体装置に熱変化、特に冷却されて低温となった場合に、樹脂は半導体基板および貫通電極と比べて大きく収縮する。樹脂の収縮によって、貫通電極に負荷が掛かってしまう。その結果、貫通電極と面接続している配線との間の接続面を剥離する方向に負荷が発生する。最悪の場合には接続面の剥離、すなわち電気的な導通が取れなくなってしまう。しかし、樹脂はコスト削減には有効であり、上記の課題解決が望まれている。
本発明は、少なくとも上述の課題の一つを解決するように、下記の形態または適用例として実現され得る。
〔適用例1〕本適用例の半導体装置は、一方の面と、前記一方の面と対向する他方の面を有する半導体基板と、前記半導体基板の前記一方の面に設けられた絶縁膜と、前記半導体基板と前記絶縁膜とを貫通する貫通孔と、前記絶縁膜上に設けられ、平面視において前記貫通孔と重なる位置に凹部を有する配線層と、前記貫通孔と前記凹部とで構成される溝の内壁および前記溝の底面に設けられ、且つ、平面視において前記配線層の前記凹部と重なる接続孔を有する樹脂膜と、前記配線層に接続され、前記樹脂膜を介して前記溝内に設けられた貫通電極とを含むことを特徴とする。
上述の適用例は、平面視において貫通孔と重なる位置に凹部を有する配線層を有する。つまり、貫通電極と配線層との接続面の周辺の樹脂膜は、半導体装置のより内部(より深い位置)に形成されている。このため、半導体装置に熱ストレスがかかったとしても、貫通電極と第1配線層との接続面の周辺に位置する樹脂膜の熱収縮を抑制することができる。その結果、貫通電極と配線層との接続面の剥離を抑制できるため、貫通電極と配線層との接続信頼性を高めることができる。
〔適用例2〕上述の適用例において、前記配線層は、前記絶縁膜上に形成された第1バリア膜と、前記第1バリア膜上に形成された金属膜と、前記金属膜上に形成された第2バリア膜とを有し、前記貫通電極は、前記金属膜と直接接していることを特徴とする。
〔適用例3〕上述の適用例において、前記金属膜は、Al膜であることを特徴とする。
上述の適用例によれば、貫通電極は、金属膜と直接接しているため、貫通電極と配線層との接続信頼性をより高めることができる。
〔適用例4〕上述の適用例において、前記半導体基板は、シリコン基板であり、前記樹脂膜は、エポキシ樹脂またはポリイミドであり、前記貫通電極は、CuまたはAuであることを特徴とする。
上述の適用例によれば、基板と貫通電極との絶縁膜として樹脂膜を用いることで、印刷法、スプレー法、スピンコーティング法などの簡便な方法によって形成することができるため、低コストの半導体装置を実現することができる。
〔適用例5〕本適用例の半導体装置の製造方法は、半導体基板の一方の面に絶縁膜を形成する工程と、前記絶縁膜上に配線層を形成する工程と、前記半導体基板に第1貫通孔を形成する工程と、前記絶縁膜に第2貫通孔を形成する工程と、前記配線層の一部を除去する工程と、前記第1貫通孔と、前記第2貫通孔と、除去された前記配線層の前記一部の領域とから構成される溝の内壁および底面に、樹脂膜を形成する工程と、前記樹脂膜に、前記配線層を露出させる接続孔を形成する工程と、前記溝内に前記樹脂膜を介して貫通電極を形成する工程と、を含むことを特徴とする。
上述の適用例によれば、第1貫通孔と、第2貫通孔と、配線層の除去された領域とから構成される溝の内壁および底面に、樹脂膜を形成する工程を有する。つまり、貫通電極と配線層との接続面の周辺の樹脂膜は、半導体装置のより内部(より深い位置)に形成される。このため、半導体装置に熱ストレスがかかったとしても、貫通電極と第1配線層との接続面の周辺に位置する樹脂膜の熱収縮を抑制することができる。その結果、貫通電極と配線層との接続面の剥離を抑制できるため、貫通電極と配線層との接続信頼性が高い半導体装置を製造することができる。
〔適用例6〕上述の適用例において、前記配線層は、前記絶縁膜上に形成された第1バリア膜と、前記第1バリア膜上に形成された金属膜と、前記金属膜上に形成された第2バリア膜とを有し、前記貫通電極は、前記金属膜と直接接していることを特徴とする。
〔適用例7〕上述の適用例において、前記金属膜は、Al膜であることを特徴とする。
上述の適用例によれば、貫通電極は、金属膜と直接接しているため、貫通電極と配線層との接続信頼性をより高めることができる。
〔適用例8〕上述の適用例において、前記半導体基板は、シリコン基板であり、前記樹脂膜は、エポキシ樹脂またはポリイミドであり、前記貫通電極は、CuまたはAuであることを特徴とする。
上述の適用例によれば、基板と貫通電極との絶縁膜として樹脂膜を用いることで、印刷法、スプレー法、スピンコーティング法などの簡便な方法によって形成することができるため、簡便な製造装置によって、低コストの半導体装置を製造することができる。
以下、図面を参照して、本発明に係る実施形態を説明する。
図1は、本実施形態における半導体装置の概要を示す部分断面図を示す。本実施形態の半導体装置100は、半導体基板10(以下、基板10という)を有する。基板10としては、シリコン基板などが用いられる。また、基板10は、一方の面10a(以下、表面10aという)と、一方の面10aと対向する他方の面10b(以下、裏面10b)とを有し、表面10aには、図示しないが、トランジスター等の素子が形成されている。
基板10の表面10a上には、絶縁膜20が形成されている。絶縁膜20は、無機膜、例えばシリコン酸化膜もしくはシリコン窒化膜などが用いられる。
基板10には、基板10を貫通する第1貫通孔が形成されている。また、絶縁膜20には、絶縁膜20を貫通する第2貫通孔が形成されている。即ち、基板10および絶縁膜20には、第1貫通孔および第2貫通孔から構成される貫通孔10cが形成されている。
絶縁膜20上には、貫通孔10cに対応する位置に設けられた第1配線層31が設けられている。第1配線層31は、平面視において、貫通孔10cと重なる位置に、凹部31aを有している。平面視とは、半導体基板の裏面10bの法線方向から見る場合をいう。また、凹部31aと貫通孔10cとで、溝10dを構成している。第1配線層31の膜厚は、例えば、300nm〜1000nmの範囲とすることができる。凹部31aの深さとしては、例えば、100nm〜200nmの範囲とすることができる。
第1配線層31は、単層の金属層であってもよいし、複数の金属層であってもよい。単層の金属層である場合は、AlやCuなどが用いられる。複数の金属層である場合は、例えば基板10に近い側からTi、TiN、Ti、Al、Ti、TiNの順に積層した積層膜が用いられる。なお、凹部31aは、後述する第1配線層凹部形成工程によって形成される形状であり、図示されているように、凹部31aの側面と底面とが垂直になっているような形状に限定されない。例えば、凹部31aは、一部に曲面等を有する形状であってもよい。また、凹部31aの側面は、凹部31aの底面に対して垂直でなくても良い。例えば、凹部31aの側面は、凹部31aの底面に対して傾斜していても良い。
凹部31aと貫通孔10cとで形成される溝10dの内壁および底面と、基板10の裏面10b上とには、樹脂膜50が形成されている。凹部31aと貫通孔10cとで形成される溝10d内の樹脂膜50には、第1配線層31と後述する貫通電極40との電気的接続を行うために、接続孔50aが形成されている。接続孔50aは、平面視において、第1配線層31と重なる位置に形成されている。樹脂膜50としては、エポキシ樹脂、ポリイミドなどが用いられる。
溝10d内には、樹脂膜50を介して貫通電極40が形成されている。貫通電極40は、接続孔50aを介して第1配線層31と接続されている。また、貫通電極40は、基板10の裏面10b上に形成された樹脂膜50の一部の上にも、形成されている。貫通電極の材料として、例えば、CuやAuなどが用いられる。また、樹脂膜50と貫通電極40との間には、貫通電極40の材料が基板10に拡散することを防止する目的でバリア層を設けても良い。バリア層としてはTiW(チタンタングステン)膜を形成するのが好ましい。
第1配線層31上には、第1プラグ61を介して第2配線層32が形成されている。第2配線層32上には、第2プラグ62を介して、第3配線層33が形成されている。
また、第1配線層31と第2配線層32との間には、第1層間絶縁膜71が形成されている。第2配線層32と第3配線層33との間には第2層間絶縁膜72が形成されている。第3配線層33上には、保護膜73が形成されている。保護膜73には開口部が形成され、開口部によって露出された第3配線層33は、パッド電極として機能する。
第2配線層32および第3配線層33として用いられる金属層の構成や材料は、第1配線層31と同様である。第1プラグ61および第2プラグ62としては、W膜が用いられる。または、TiやTiNなどのバリア膜とW膜との積層膜が用いられる。第1層間絶縁膜71や第2層間絶縁膜72として、シリコン酸化膜などの絶縁膜が用いられる。保護膜73として、シリコン酸化膜やシリコン窒化膜またはポリイミドなどの絶縁膜が用いられる。
次に、上述の半導体装置の製造方法について説明する。図2は、本実施形態の製造方法のフローチャートを示す。図3、図4および図5は、各製造工程における半導体装置の製造方法を示す概略断面図である。
まず、図3(a)の通り、基板10の表面10aに、絶縁膜20、第1配線層31、第1層間絶縁膜71、第1プラグ61、第2配線層32、第2層間絶縁膜72、第2プラグ62、第3配線層33、保護膜73を形成する。図示しないが、基板10の表面10aには、トランジスター等の素子が形成されている。また、これらは、通常の半導体プロセスを用いて形成される。
〔基板貫通孔形成工程〕
まず、基板10に貫通電極形成のための貫通孔を形成する基板貫通孔形成工程(S101)を実施する。図3(b)は貫通孔を形成するための準備工程として、基板10を薄型化する工程を示す。
まず、基板10に貫通電極形成のための貫通孔を形成する基板貫通孔形成工程(S101)を実施する。図3(b)は貫通孔を形成するための準備工程として、基板10を薄型化する工程を示す。
基板10の表面10a側に、サポートガラス200を接着剤300により接着固定する。サポートガラス200は、基板10の裏面10bを研磨などにより基板10の厚みを約100μmまで薄型化するための、図示しない研磨装置への固定部および加工時の強度確保のバックアップの機能を担う。
また、接着剤300は特に限定されないが、上述の薄型化加工に対して十分な接着強度を有し、後述する最終工程でサポートガラス200から基板10を容易に剥離することができるものであることが要求される。
サポートガラス200が接着された基板10を、図3(c)に示すように、裏面10bにフォトレジストによりマスク400を形成する。マスク400には基板10の貫通孔形成部に対応する開口部400aが設けられている。この開口部400aからドライエッチングにより、基板の貫通孔10c(第1貫通孔)が形成され、基板の貫通孔10c(第1貫通孔)の底部には絶縁膜20が露出する。
基板の貫通孔10c(第1貫通孔)の形成のドライエッチングは、RIE(反応性イオンエッチング)が好適である。更にはICP−RIEがより好適である。また、ボッシュプロセスによる形成も可能である。
〔絶縁膜除去工程〕
次に、露出した絶縁膜20に対して、絶縁膜20の貫通孔10c(第2貫通孔)を形成する絶縁膜除去工程(S102)に移行する。絶縁膜は酸化ケイ素もしくは窒化ケイ素等で形成されるが、本実施形態では酸化ケイ素により絶縁膜20が形成されている。
次に、露出した絶縁膜20に対して、絶縁膜20の貫通孔10c(第2貫通孔)を形成する絶縁膜除去工程(S102)に移行する。絶縁膜は酸化ケイ素もしくは窒化ケイ素等で形成されるが、本実施形態では酸化ケイ素により絶縁膜20が形成されている。
基板10の貫通孔10c(第1貫通孔)の底部に露出した絶縁膜20を、ドライエッチングにより、図4(d)に示すように絶縁膜20に最も近い第1配線層31が露出するまで絶縁膜20を除去する。エッチングにはフッ素系ガス、例えばC2F6、CF4、CHF3などを用いる。絶縁膜20の除去により、基板10と絶縁膜20とを貫通する貫通孔10cが形成される。
〔第1配線層凹部形成工程〕
次に絶縁膜20の除去工程によって貫通孔10cの底部に露出した第1配線層31に、凹部31aを形成する第1配線層凹部形成工程(S103)に移行する。
次に絶縁膜20の除去工程によって貫通孔10cの底部に露出した第1配線層31に、凹部31aを形成する第1配線層凹部形成工程(S103)に移行する。
図4(e)に示すように、第1配線層31に凹部31aを形成する。凹部31aは、第1配線層31であって、貫通孔10cに対応する領域の一部を除去することにより形成される。
図4(e)におけるA部拡大図である図6に示す通り、第1配線層31は、絶縁膜20の表面からTi、TiNおよびTiを有する第1バリア膜31bと、Alを有する金属膜31cと、TiおよびTiNを有する第2バリア膜31dとの順に成膜して形成される。第1バリア膜31b、金属膜31cおよび第2バリア膜31dはスパッタリングもしくはCVDによって成膜される。また、第1配線層31の凹部31aは、金属膜31cに達し、且つ、金属膜31cを貫通しない深さであることが好ましい。即ち、後述の工程で形成される貫通電極40は、Alを有する金属膜31cに直接接するように、凹部31aを形成することが好ましい。このような深さとすることで、貫通電極40と第1配線層31との電気的接合を良好とすることができる。
〔樹脂膜形成工程〕
次に、貫通孔10c内に樹脂膜を形成する樹脂膜形成工程(S104)に移行する。樹脂膜形成工程(S104)では、図4(f)に示すように感光性の樹脂材料により、貫通孔10cと凹部31aとで構成される溝10dの内壁および底面に樹脂層80を形成する。なお、樹脂膜形成工程(S104)の前に、基板貫通孔形成工程(S101)で形成されたマスク400は除去される。
次に、貫通孔10c内に樹脂膜を形成する樹脂膜形成工程(S104)に移行する。樹脂膜形成工程(S104)では、図4(f)に示すように感光性の樹脂材料により、貫通孔10cと凹部31aとで構成される溝10dの内壁および底面に樹脂層80を形成する。なお、樹脂膜形成工程(S104)の前に、基板貫通孔形成工程(S101)で形成されたマスク400は除去される。
樹脂層80は、例えばエポキシ樹脂またはポリイミドが好適である。また、形成方法は例えば、印刷法、スプレー法、スピンコーティング法などが好適であるが、特に限定されるものではない。
次に図5(g)に示すように、上述の樹脂層80に接続孔50aをフォトリソグラフィーにより形成する。基板10の裏面10b側、樹脂層80上にガラスマスクを合わせ、貫通孔底部の樹脂層80の一部を露光する。その後、現像により露光部を除去することで接続孔50aが形成される。
〔貫通電極形成工程〕
次に、基板10の裏面10bの一部および溝10d内に、樹脂膜50を介して貫通電極を形成する貫通電極形成工程(S105)に移行する。
次に、基板10の裏面10bの一部および溝10d内に、樹脂膜50を介して貫通電極を形成する貫通電極形成工程(S105)に移行する。
図5(h)に示すように、基板10の裏面10bおよび樹脂膜50の開口部内に、導電体を形成する。導電体としては、例えばCuをめっき法などにより形成する。また、導電体を形成する前に、樹脂膜50上および接続孔50aから露出する第1配線層31上に、基板10への導電体材料の拡散を防止するバリア層を設けても良い。バリア層としては、例えばTiWをスパッタリングもしくはCVDにより300nm程度の膜厚で成膜すればよい。導電体の形成後、導電体をパターニングすることにより、貫通電極40を形成する。
また、貫通電極40の形成と同時に裏面10b側の樹脂膜50上に配線膜を形成することもできる。その場合には、配線形成用のレジスト等のマスクを、導電体の形成後で貫通電極40の形成前に裏面10b側の樹脂膜50上に形成する。
次に、サポートガラス200を、接着剤300と共に剥離し貫通電極40を備える半導体装置100が完成する。
上記の半導体装置100においては、樹脂膜50は、貫通孔10cと第1配線層31の凹部31aとで構成される溝10dの内壁および底面に形成されている。また、貫通電極40と第1配線層31の電気的接続面は、第1配線層31の凹部31aに形成されている。つまり、貫通電極40と第1配線層31との電気的接続面の周辺の樹脂膜50は、半導体装置のより内部(より深い位置)に形成されている。このため、半導体装置100に熱ストレスがかかったとしても、貫通電極40と第1配線層31の接続面の周辺に位置する樹脂膜50の熱収縮を抑制することができる。その結果、貫通電極40と第1配線層31との接続面の剥離を抑制できるため、貫通電極と配線層との接続信頼性を高めることができる。
なお、上記の半導体装置においては、基板10からみて第1層目の第1配線層31に、貫通電極40が接続される形態について説明したが、これに限定されることなく、第2層目など、他の層の配線層に貫通電極を接続させても良い。
また、上記の貫通電極は、素子が形成されていない基板に対しても適用することができる。この場合、その基板は、他の装置同士の電気的接続をとるための中継基板として用いることができる。
10…半導体基板(基板)、20…絶縁膜、31…第1配線層、32…第2配線層、33…第3配線層、40…貫通電極、50…樹脂膜、61…第1プラグ、62…第2プラグ、71…第1層間絶縁膜、72…第2層間絶縁膜、73…保護膜、100…半導体装置。
Claims (8)
- 一方の面と、前記一方の面と対向する他方の面を有する半導体基板と、
前記半導体基板の前記一方の面に設けられた絶縁膜と、
前記半導体基板と前記絶縁膜とを貫通する貫通孔と、
前記絶縁膜上に設けられ、平面視において前記貫通孔と重なる位置に凹部を有する配線層と、
前記貫通孔と前記凹部とで構成される溝の内壁および前記溝の底面に設けられ、且つ、平面視において前記配線層の前記凹部と重なる接続孔を有する樹脂膜と、
前記配線層に接続され、前記樹脂膜を介して前記溝内に設けられた貫通電極と、を含む、
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1において、
前記配線層は、前記絶縁膜上に形成された第1バリア膜と、前記第1バリア膜上に形成された金属膜と、前記金属膜上に形成された第2バリア膜とを有し、
前記貫通電極は、前記金属膜と直接接している、
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項2において、
前記金属膜は、Al膜である、
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1ないし3のいずれか一項において、
前記半導体基板は、シリコン基板であり、
前記樹脂膜は、エポキシ樹脂またはポリイミドであり、
前記貫通電極は、CuまたはAuである、
ことを特徴とする半導体装置。 - 半導体基板の一方の面に絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜上に配線層を形成する工程と、
前記半導体基板に第1貫通孔を形成する工程と、
前記絶縁膜に第2貫通孔を形成する工程と、
前記配線層の一部を除去する工程と、
前記第1貫通孔と、前記第2貫通孔と、除去された前記配線層の前記一部の領域とから構成される溝の内壁および底面に、樹脂膜を形成する工程と、
前記樹脂膜に、前記配線層を露出させる接続孔を形成する工程と、
前記溝内に前記樹脂膜を介して貫通電極を形成する工程と、を含む
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項5において、
前記配線層は、前記絶縁膜上に形成された第1バリア膜と、前記第1バリア膜上に形成された金属膜と、前記金属膜上に形成された第2バリア膜とを有し、
前記貫通電極は、前記金属膜と直接接している、
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項6において、前記金属膜は、Al膜である、
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項5ないし7のいずれか一項において、
前記半導体基板は、シリコン基板であり、
前記樹脂膜は、エポキシ樹脂またはポリイミドであり、
前記貫通電極は、CuまたはAuである、
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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