JP2011110766A - 液体噴射記録ヘッドおよび液体噴射記録ヘッドの製造方法 - Google Patents

液体噴射記録ヘッドおよび液体噴射記録ヘッドの製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2011110766A
JP2011110766A JP2009267729A JP2009267729A JP2011110766A JP 2011110766 A JP2011110766 A JP 2011110766A JP 2009267729 A JP2009267729 A JP 2009267729A JP 2009267729 A JP2009267729 A JP 2009267729A JP 2011110766 A JP2011110766 A JP 2011110766A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
recording head
element substrate
liquid jet
recording element
sealing material
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2009267729A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5528071B2 (ja
Inventor
Akira Shimamura
亮 嶋村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2009267729A priority Critical patent/JP5528071B2/ja
Priority to US12/906,015 priority patent/US8398211B2/en
Priority to CN201010518128.9A priority patent/CN102069641B/zh
Publication of JP2011110766A publication Critical patent/JP2011110766A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5528071B2 publication Critical patent/JP5528071B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/16Production of nozzles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/16Production of nozzles
    • B41J2/1621Manufacturing processes
    • B41J2/1623Manufacturing processes bonding and adhesion
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14362Assembling elements of heads
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14491Electrical connection

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

【課題】 タンクケースの幅を小さくした液体噴射記録ヘッドにおいても安定的に封止材の塗布が可能な液体噴射記録ヘッドの提供。
【解決手段】 液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備える記録素子基板と、該記録素子基板に電気的に接続される電気配線部材と、前記記録素子基板及び前記電気配線部材を支持する支持部材と、を有する液体噴射記録ヘッドにおいて、前記記録素子基板の前記エネルギー発生素子が形成される面に対する前記記録素子基板の側面と前記支持部材とに挟まれた領域と、前記支持部材の外周と、をつなぐ連通路を備え、該連通路の少なくとも一部には封止材が備えられていることを特徴とする。
【選択図】 図1

Description

本発明は液体、特には記録媒体に記録を行う記録液であるインクを液滴として吐出する液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法に関する。
図10を用いて従来の液体噴射記録ヘッドならびにその主要部分の構成を説明する。図10(a)は液体噴射記録ヘッドの斜視図、図10(b)は液体噴射記録ヘッドの主要部分の構成を示す分解斜視図である。図10において、液体噴射記録ヘッドは、液体(インク)を吐出する記録素子基板200、記録素子基板200と記録装置との電気接続を行うフレキシブルな部材からなる電気配線部材300を備える。さらに、記録素子基板200等、電気配線部材300等が固定され、内部にインクを保持するタンクケース100を備える。
一般に記録素子基板200と電気配線部材300との実装は記録素子基板200上に金メッキバンプを設け、その後、電気配線部材300が有する複数のリードとメッキバンプとを電気的にILB(Inner Lead Bonding)にて接合する。そしてILBされた記録素子基板200はタンクケース100に接着され接合される。その後、記録素子基板の周囲を第1の封止剤400で封止する(以下、周囲封止とも称す)。さらにILBの電気接続部が外部に露出しているとその部位にインク滴などが付着するおそれがあるため、電気接続部をエポキシ樹脂等の封止性である第2の封止材500で被覆し封止する(以下、ILB封止材とも称す)。こうして第1、第2の封止剤をそれぞれ記録素子基板の周囲及び前記メッキバンプと前記リードの電気接続部に塗布した後、これを熱で硬化させ液体噴射記録ヘッドの実装を行う。
図11は液体噴射記録ヘッドの主要部の概略構成を示す平面図であり、図11(a)、(b)、(c)はそれぞれ液体噴射記録ヘッドの製造工程における各工程での状態を示す。図11(a)はILBされた記録素子基板200及び電気配線部材300をタンクケース100にマウントした様子を示す。図11(b)はタンクケースにマウントされた記録素子基板200の周囲に第1の封止剤400を塗布した様子を示す概略平面図である。図11(c)は金メッキバンプとリードの電気接続部に第2の封止剤500を塗布した状態を示す。ここで記録素子基板の周囲の封止に適用される第1の封止材400は、一般に、流動性が高く、かつ硬化後に記録素子基板に対し硬化収縮などの応力を与えにくいものを選定する。一方、ILB封止に適用される第2の封止材500はワイパーブレード等に対する耐久性を考慮したものが選定される。通常、XYZの3軸ロボット、ディスペンサー、シリンジ及びニードル等を用いて所定の位置に所望する塗布量の封止剤を供給するディスペンスで行う。
このような周囲封止は、図12に示すように行われる。第1の封止材を注入したシリンジのニードルの先端部を支持部材の凹部101に面する記録素子基板200と電気配線部材300の隙間であるAに位置合せする。次に第1の封止材400をニードルから抽出させながら記録素子基板の長手方向(AからA’の方向)へ移動させる。同様にニードルの先端部をB’からBに移動させて封止材400を付与する。第1の封止材は比較的流れ性が良好なものを使用しているため、リードの下側へも流れこみ、周囲封止が行われる。その後、第2の封止材をリードおよび第1の封止材の上に塗布し、第1および第2の封止材を熱で硬化させる。特登録3592172号(特許文献1)には、このような封止を行う液体噴射記録ヘッドが記載されている。
特登録3592172号公報
近年、市場の要求として記録装置の小型化があり、これを達成するためにはタンクケースの幅を狭くし液体噴射記録ヘッドの小型化をはかることが有効である。このような液体噴射記録ヘッドの小型化に向けてタンクケースの幅が狭くなるに伴い、記録素子基板と電気配線部材の間の距離も狭くなるため封止材の塗布が困難になる。特に、上述したニードルによる封止材の塗布の場合は、ニードルの先端が記録素子基板と電気配線部材との間に入らず封止剤の塗布が困難になる。
そこで本発明は、タンクケースの幅を小さくした液体噴射記録ヘッドにおいても安定的に封止材の塗布が可能な液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法の提供を目的とする。
上述の課題を解決するため、本発明は液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備える記録素子基板と、該記録素子基板に電気的に接続される電気配線部材と、前記記録素子基板及び前記電気配線部材を支持する支持部材と、を有する液体噴射記録ヘッドにおいて、前記記録素子基板の前記エネルギー発生素子が形成される面に対する前記記録素子基板の側面と前記支持部材とに挟まれた領域と、前記支持部材の外周と、をつなぐ連通路を備え、該連通路の少なくとも一部には封止材が備えられていることを特徴とする。
本発明によれば、支持部材の外周側から連通路を介してニードルから封止材を塗布できるので、液体噴射記録ヘッドの小型化に伴い電気配線部材と記録素子基板との間が狭くなっても安定的な封止が可能である。
本発明の第1の実施形態を示す図。 本発明の液体噴射記録ヘッドの封止工程を示す概略図 本発明の液体噴射記録ヘッドの記録素子基板の周囲封止の様子を示す概略図 本発明の液体噴射記録ヘッドの記録素子基板の周囲封止の詳細を示す概略。 本発明の液体噴射記録ヘッドのILB封止の様子を示す図。 本発明の液体噴射記録ヘッドの封止状態を示す概略図。 本発明の第2の実施形態を示す図。 本発明の第3の実施形態を示す図。 本発明の第4の実施形態を示す図。 従来の液体噴射記録ヘッドの概略斜視図。 従来の液体噴射記録ヘッドの封止工程を示す概略図。 従来の液体噴射記録ヘッドの封止工程を示す概略図。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
(実施形態1)
図1は本発明を適用できる第1の実施形態を示す図である。図1(a)は支持部材としてのタンクケース100の一部を示す平面図である。タンクケース中央には凹部101が設けられている。凹部101は液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備える記録素子基板200が接着固定される接着面を有し、またその中央付近にはインクが供給される通路となるインク供給口103が形成されている。
第1の実施形態では、タンクケースには凹部101とタンクケースの外周とを連通する連通路102が形成されている。この連通路102はタンクケースに少なくとも1箇所以上設ければよいが、好ましくは記録素子基板200の端部近傍に形成される電気接続部であるリード近傍に連通することが、後述する封止を安定的に行える点で好ましい。そこで本実施形態では、凹部の長手方向端部近傍の位置に連通路102を設けた。
図1(b)はあらかじめ熱と荷重の付加によるILB(Inner Lead Bonding)によって記録素子基板と電気接接続された電気配線部材300および記録素子基板200と、タンクケース100がマウントされた様子を示す平面図である。マウントではタンクケースに対して高精度に接着固定される。また、本発明が適用できるタンクケース100は、その幅が10mm程度と、従来のタンクケースの幅に対しておよそ半分以下の幅である。またそれに伴って記録素子基板200と電気配線部材300との間(図1(b)のw)が狭くなっている。図1(b)において連通路102は凹部101とタンクケース100の外周とを貫通してつなぐ連通路であり、タンクケースに形成された溝と前記電気配線部材とに挟まれた領域で構成される。この連通路はタンクケース自身に形成された貫通孔でもよい。
以上のように第1の実施形態では、タンクケース100に形成された溝と電気配線部材300とで挟まれた領域で連通路を構成する。これをタンクケース100が有する凹部101の長手方向の両端部の2箇所に設けた。
次に本発明が適用できる液体噴射記録ヘッドの製造における封止方法について説明する。封止工程では図2(a)〜(c)が示すように、まず第1の封止材400を使用して記録素子基板200の周囲の封止を行い、次に第2の封止材500により上述したように電気接続部を封止するILB封止を行う。図2(a)は封止前の様子を示す概略平面図である。図2(b)は記録素子基板200の周囲封止後の様子を示す概略平面図である。更に、図2(c)はILB封止後の様子を示す概略平面図である。
図3(a)は第1の封止材400を塗布する記録素子基板200の周囲封止を行う様子を示す概略図である。第1の封止材400が注入されたシリンジに取り付けられたニードル700を、タンクケースの側方から連通路内に挿入する。ニードル700は前記連通路の断面積より外形が小さいものを選択する。図3(a)では電気接続部であるリードの近傍にニードル先端を近接して配置できるように、電気配線部材のデバイスホールの長手方向の端部に連通路を設けた。第1の封止材400を塗布する際は、1本のニードルを各連通路に対して塗布するように塗布装置のプログラムで指定できるが、図3(a)に示すように2本のニードルを用いて塗布すると、効率的に封止でき好ましい。
また、図3(b)に示すように連通路102は凹部における対角位置に配置してもよい。これにより封止材を付与する装置が互いに干渉することなく塗布装置のスペースを確保できるため、2本のニードルによる同時塗布が可能になる点で好ましい。
次に本発明における第1の封止材が塗布される様子を図4(a)〜(c)を用いて詳細に説明する。図4(a)は第1の封止材を塗布する前の前記電気接続部を示す平面図の一部である。記録素子基板200と電気配線部材300とは、リード301によって電気的に接続されている。
図4(b)は第1の封止材400を塗布している最中の様子を示す概略平面図である。
第1の封止材400が注入されたシリンジに取り付けられたニードル700の先端部は、連通路102の外方から凹部に向けて挿入されて、電気接続部の近傍に位置合せされる。第1の封止材400は所定の圧力で圧入されるが、流動性の高い封止材でるためニードル700の先端に近い側から順に図中の矢印の方向にスムーズに広がっていく。また、高さ方向に対しては重力方向の下から順に、上部に向かって電気配線部を隅々まで充填していく。この際、隣接する各リード間では表面張力により、リードが形成されている高さまで封止材400が引き上げられ、その後封止材自体の自重とバランスをとった状態で封止材の形状が維持される。こうして凹部に面するリードの下の領域を充填していく。さらに図2(c)にの矢印に示すように、第1の封止材400は凹部に面するリード下の領域を充填しながら、記録素子基板長手方向にも記録素子基板や電気配線部材とメニスカスを形成しながら広がっていく。
こうして第1の封止材400が充填された後に、第2の封止材500を用いてILB封止を行う。図5は第2の封止材500によりILB封止の様子を示す概略側面図である。第2の封止材を注入したシリンジに取り付けたニードル600の先端部が図中の矢印の方向に移動しながら、リードおよび第1の封止材400の上に第2の封止材500を塗布する。図6に第1および第2の封止材が塗布された状態の図を示す。上述したように、予め塗布された第1の封止材400は毛管力で電気接続部を隅々まで充填され、また第2の封止材500はその第1の封止材400上を塗布するため、電気接続部およびリードは露出することなく封止される(図6(a)(b))。
以上のように第1の封止材400および第2の封止材500の封止が終了した後、これを熱で硬化させる。このようにして実装した記録素子基板ユニットを用いて液体噴射記録ヘッドを構成することが出来る。
以上のように本実施形態においては、タンクケース100が有する凹部101とタンクケース100の外周部とを貫通する連通路102を有する液体噴射記録ヘッドであることが特徴である。この構成により、記録素子基板と電気配線部材との間にニードルが入るだけの領域を確保する必要がなくなり、その分、タンクケースおよび電気配線部材の外形寸法を小さく出来るのでタンクケースの幅が狭くでき、結果、液体噴射記録ヘッドが小型化できる。
また、本発明が適用できる液体噴射記録ヘッドは、連通路102からニードルを挿入して電気接続部近傍に直接、封止材を塗布できる。従って従来のように封止材の滞留時間を確保することなく、短時間で封止材を充填することが出来るので生産効率も向上する。さらに、電気配線部材の開口を広げる必要がないため、電気配線部材の配線幅や配線数等の制約なく、電気配線部材の外形を小さくすることが出来る。
(実施形態2)
図7は本発明が適用できる第2実施形態を示す概略平面図である。先の実施形態と異なるところは、タンクケース100が有する凹部101とタンクケースの外周とを連通する連通路102が、凹部101の長手方向の両端部において、対向する位置に計4本設けられている点である。
本実施形態においては、電気接続部ならびに複数のリードの配列方向に対して両方向から同時に封止材を塗布することができるので、効率的に、左右バランスよく封止出来る。また、複数の連通路102に対して一度に複数のニードルを用いて塗布できるため、従来のように滞留時間を確保することなく、短時間で封止材を充填することが出来るので生産効率も向上する点で好ましい。
(実施形態3)
図8(a)、(b)は本発明が適用できる第3実施形態を示す概略平面図である。図8(a)は本発明の実施形態を示すタンクケース100の概略平面図であり、図8(b)は図8(a)のC−C断面を示す図である。本実施形態の連通路102において、凹部101に面する近傍の開口(第1の開口)の深さ(図8(b)のD)が、もう一方の開口(第2の開口)であるタンクケース外周に面する近傍の開口の深さ(図8(b)のd)より深い。つまり第2の開口の底面は、第1の開口の底面よりも鉛直方向の上方に位置している。
本実施形態では、連通路102の底面がタンクケースの凹部101に面する開口からタンクケース外周に面する開口に向かって、徐々に高くなるような傾斜を有する。よって封止材にはたらく重力の影響に対し、封止材のタンクケース外周方向への溢れだしを防止する効果がある。これにより封止材を加熱して硬化させるキュア工程において、ヘッドを上向き姿勢(吐出口が上向き)で封止材流すことができる。また、電気接続部ならびにリード群の配列方向に対して両方向から同時に封止材を塗布することができるので、効率良く、左右バランスよく封止出来る。
更に、複数の連通路に対して一度に複数のニードルを用いて塗布できるため、従来のように滞留時間を確保することなく、短時間で第1の封止材を充填することが出来るので生産効率も向上する。
(実施形態4)
図9は本発明が適用できる第4実施形態を示す概略平面図である。本実施形態では連通路102において、タンクケースが有する凹部101に面する開口の面積(図9のtの部分)が、もう一方の開口であるタンクケース外周に面する開口の面積(図9のTの部分)より小さい。タンクケースの凹部に面する連通路の断面積が所定の領域まで一定の大きさで設けられ、タンクケース外周に向けて断面積が徐々に大きくなる形状を有する。
本発明における液体噴射記録ヘッドは、インクを吐出口まで供給するために行うインク回復工程を有する。本工程では一般に弾性部材で形成されたキャップを電気配線部材に圧接させてキャッピングを行う。図9においてキャップ部材が当接するキャップ領域802はキャップが当接される領域を示し、記録素子基板が有する吐出口群を含む領域を弾性部材と電気配線部材とが当接して覆われる領域となる。このようなキャッピングではキャップ領域802を隙間なく圧接するため、平面性ならびに密閉性が求められる。よってキャップ領域802における連通路102内は封止材で充填されることで、キャップ領域802の平面性が保持されているので好ましい。
本実施形態の形態ではキャップ領域に設けられる連通路102の面積が小さく、キャップ領域以外であるタンクケース外周に面する連通路の断面積は徐々に大きくなる形状である。これにより、断面積の小さい部分における連通路のメニスカス力によって封止材を保持するため、タンクケース外周へのインクの溢れ出しを防止することが出来るので好ましい。
以上のように本実施形態ではキャップ領域における連通路を封止材で充填することで、キャップによる吸引が安定して行える。また、封止材のタンクケース外周方向への溢れ出しを防止するという効果もある。
100 タンクケース
101 凹部
102 連通路
103 インク供給口
200 記録素子基板
300 電気配線部材
301 リード
400 第1の封止材
500 第2の封止材

Claims (9)

  1. 液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備える記録素子基板と、該記録素子基板に電気的に接続される電気配線部材と、前記記録素子基板及び前記電気配線部材を支持する支持部材と、を有する液体噴射記録ヘッドにおいて、
    前記記録素子基板の前記エネルギー発生素子が形成される面に対する前記記録素子基板の側面と前記支持部材とに挟まれた領域と、前記支持部材の外周と、をつなぐ連通路を備え、該連通路の少なくとも一部には封止材が備えられていることを特徴とする液体噴射記録ヘッド。
  2. 前記連通路は、前記支持部材に形成された溝と前記電気配線部材とに挟まれた領域で構成されることを特徴とする請求項1に記載の液体噴射記録ヘッド。
  3. 前記連通路は、前記支持部材に形成される貫通孔により構成されることを特徴とする請求項1に記載の液体噴射記録ヘッド。
  4. 前記連通路の前記領域に面する第1の開口は、前記記録素子基板の長手方向の端部近傍に形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずかに記載の液体噴射記録ヘッド。
  5. 前記第1の開口は、前記記録素子基板の長手方向の両端部の近傍に形成されていることを特徴とする請求項4に記載の液体噴射記録ヘッド。
  6. 前記連通路の、前記支持部材の外周に面する第2の開口の面積は、前記第1の開口の面積より大きいことを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の液体噴射記録ヘッド。
  7. 前記第2の開口の底面は、前記第1の開口の底面よりも鉛直方向の上方に位置し、前記第2の開口の面積は前記
    第1の開口の面積よりも小さいことを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の液体噴射記録ヘッド。
  8. 液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備える記録素子基板と、該記録素子基板に電気的に接続される電気配線部材と、前記記録素子基板及び前記電気配線部材を支持する支持部材と、を有する液体噴射記録ヘッドの製造方法において、
    前記記録素子基板の前記エネルギー発生素子が形成される面に対する前記記録素子基板の側面と前記支持部材とに挟まれた領域と、前記支持部材の外周と、をつなぐ連通路から前記領域に封止材を付与することを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。
  9. 前記連通路内に、封止材を注入するためのニードルを挿入し、該ニードルの先端を前記記録素子基板の長手方向の端部近傍に近接させた後に、前記ニードルから前記領域に封止材を付与することを特徴とする請求項8に記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。
JP2009267729A 2009-11-25 2009-11-25 液体噴射記録ヘッドおよび液体噴射記録ヘッドの製造方法 Expired - Fee Related JP5528071B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009267729A JP5528071B2 (ja) 2009-11-25 2009-11-25 液体噴射記録ヘッドおよび液体噴射記録ヘッドの製造方法
US12/906,015 US8398211B2 (en) 2009-11-25 2010-10-15 Liquid-ejecting recording head having an element that generates energy and method of producing the same
CN201010518128.9A CN102069641B (zh) 2009-11-25 2010-10-25 液体喷射记录头及其制造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009267729A JP5528071B2 (ja) 2009-11-25 2009-11-25 液体噴射記録ヘッドおよび液体噴射記録ヘッドの製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2011110766A true JP2011110766A (ja) 2011-06-09
JP5528071B2 JP5528071B2 (ja) 2014-06-25

Family

ID=44028477

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009267729A Expired - Fee Related JP5528071B2 (ja) 2009-11-25 2009-11-25 液体噴射記録ヘッドおよび液体噴射記録ヘッドの製造方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US8398211B2 (ja)
JP (1) JP5528071B2 (ja)
CN (1) CN102069641B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014205291A (ja) * 2013-04-12 2014-10-30 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6238617B2 (ja) 2013-07-24 2017-11-29 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07171958A (ja) * 1993-12-17 1995-07-11 Fuji Xerox Co Ltd インクジェット記録ヘッド及びその組立方法
JP2002120371A (ja) * 2000-10-13 2002-04-23 Ricoh Co Ltd インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法
JP2007261156A (ja) * 2006-03-29 2007-10-11 Canon Inc インクジェット記録ヘッドの製造方法およびインクジェット記録ヘッド

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6084612A (en) * 1996-07-31 2000-07-04 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejection head, liquid ejection head cartridge, printing apparatus, printing system and fabrication process of liquid ejection head
JPH1044419A (ja) * 1996-07-31 1998-02-17 Canon Inc 液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法、液体吐出装置、および記録装置
JP3592172B2 (ja) * 1999-01-27 2004-11-24 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッドの製造方法、該製法によって製造されたインクジェット記録ヘッド及び該インクジェット記録ヘッドを搭載したインクジェット記録装置
JP4332416B2 (ja) * 2003-12-12 2009-09-16 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッド
JP4290154B2 (ja) * 2004-12-08 2009-07-01 キヤノン株式会社 液体吐出記録ヘッドおよびインクジェット記録装置
US7971966B2 (en) * 2006-12-15 2011-07-05 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording head
US8061808B2 (en) * 2007-10-10 2011-11-22 Canon Kabushiki Kaisha Recording head

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07171958A (ja) * 1993-12-17 1995-07-11 Fuji Xerox Co Ltd インクジェット記録ヘッド及びその組立方法
JP2002120371A (ja) * 2000-10-13 2002-04-23 Ricoh Co Ltd インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法
JP2007261156A (ja) * 2006-03-29 2007-10-11 Canon Inc インクジェット記録ヘッドの製造方法およびインクジェット記録ヘッド

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014205291A (ja) * 2013-04-12 2014-10-30 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20110122202A1 (en) 2011-05-26
US8398211B2 (en) 2013-03-19
CN102069641B (zh) 2013-12-18
JP5528071B2 (ja) 2014-06-25
CN102069641A (zh) 2011-05-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5738018B2 (ja) インクジェット記録ヘッドとその製造方法
JP5843444B2 (ja) 液体吐出ヘッドの製造方法および液体吐出ヘッド
JPH08207269A (ja) 回路の導電線の封入方法
JP5649640B2 (ja) 液体吐出ヘッドの製造方法
US8167408B2 (en) Ink jet recording head, and method for manufacturing ink jet recording head
JP2008173960A (ja) インクジェットへッド
JP5528071B2 (ja) 液体噴射記録ヘッドおよび液体噴射記録ヘッドの製造方法
JP5312005B2 (ja) インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法
JP6044258B2 (ja) インクジェットヘッド
US8342655B2 (en) Liquid jet head and method for manufacturing liquid jet head
US20030090558A1 (en) Package for printhead chip
JP2007069445A (ja) 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置
JP6324123B2 (ja) 液体吐出ヘッドおよびその製造方法
US8425012B2 (en) Liquid ejection recording head including an element generating energy used to eject liquid and method of manufacturing the same
JP7224782B2 (ja) 液体吐出ヘッドおよびその製造方法
JP5451357B2 (ja) 液体噴射記録ヘッドおよび液体噴射記録ヘッドの製造方法
JP2018047573A (ja) 液体吐出ヘッドの製造方法及び液体吐出ヘッド
JP2022012862A (ja) 液体吐出ヘッドおよびその製造方法
JP2008263049A (ja) 半導体装置、半導体装置の製造方法および液滴吐出装置
JP2010228158A (ja) 液体噴射ヘッド、その製造方法および液体噴射装置
JP2021075005A (ja) 液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法および画像形成装置
JP2007307833A (ja) インクジェット記録ヘッド
JP2022165220A (ja) 液体吐出ヘッドの製造方法
KR101193323B1 (ko) 잉크젯 프린트 헤드 어셈블리 조립 방법 및 이를 이용하여 조립된 잉크젯 프린트 헤드 어셈블리
JP6066747B2 (ja) 液体吐出ヘッドの製造方法及びこの製造方法により製造された液体吐出ヘッド

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20121126

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130912

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130917

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140318

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140415

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees