JP2011104781A - 透明バリアフィルム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】透明基材102の少なくとも片面に、少なくとも1層のバリア性薄膜104を積層してなる透明バリアフィルム10において、前記バリア性薄膜104が、酸化反応性ガスを導入しながら行なう真空成膜により形成され、かつ前記バリア性薄膜104のクラック発生開始歪量[%]が、2.5%以上3.3%以下であることを特徴とする透明バリアフィルム10。
【選択図】図1
Description
前記バリア性薄膜が、酸化反応性ガスを導入しながら行なう真空成膜により形成され、かつ前記バリア性薄膜のクラック発生開始歪量[%]が、2.5%以上3.3%以下であることを特徴とする透明バリアフィルムである。
請求項2に記載の発明は、前記酸化反応性ガスが、酸素ガス、水蒸気ガスおよび二酸化炭素ガスから選択された少なくとも1種であることを特徴とする請求項1に記載の透明バリアフィルムである。
請求項3に記載の発明は、前記バリア性薄膜が、酸化珪素膜であることを特徴とする請求項1または2に記載の透明バリアフィルムである。
図1は、本発明の透明バリアフィルムの一例の断面図である。本発明の透明バリアフィルム10は、透明基材102の少なくとも片面に、少なくとも1層のバリア性薄膜104を積層してなり、バリア性薄膜104が、酸化反応性ガスを導入しながら行なう真空成膜により形成され、かつバリア性薄膜104のクラック発生開始歪量[%]が、2.5%以上3.3%以下であることを特徴とする。
まず、図2に示すように、引張試験機1を準備する。引張試験機1は、基台2上に固定されたステージ3と、基台2上で水平方向に移動可能なステージ4とを有する。本発明の透明バリアフィルム10の一方の端部を、引張試験機1のステージ3に固定する。また、本発明の透明バリアフィルム10の他方の端部を、引張試験機1のステージ4に固定する。なお、透明基材102の厚さは12μm、バリア性薄膜104の厚さは25nmに設定するのが好ましい。次に、ステージ4を基台2上で水平方向に下記の歪量が毎秒0.01%となる速度で移動させ、本発明の透明バリアフィルム10に引張力を印加する。バリア性薄膜104の上方に設置された顕微鏡観察手段5により、バリア性薄膜104の状態を100倍の倍率にて観察する。ステージ4による引張方向に対して垂直方向にクラック破壊が観察された時点で測定を終了する。測定終了時における、透明バリアフィルム10の歪量、すなわち{(透明バリアフィルム10の引張後の長さ−透明バリアフィルム10の測定前の長さ)/透明バリアフィルム10の測定前の長さ} × 100 (%)を、本発明でいうクラック発生開始歪量[%]とする。
実施例1と同様の条件で、酸素の流量を0sccmとして膜厚が25nmとなるように成膜速度を調整した。
実施例1と同様の条件で、酸素の流量を1200sccm、圧力8.5×10−2(Pa)として膜厚が25nmとなるように成膜速度を調整した。
[比較例3]
実施例1と同様の条件で、水蒸気の流量を500sccm、圧力を6.0×10−2(Pa)として膜厚が25nmとなるように成膜速度を調整した。
(1)クラック発生開始歪量・・・得られた透明バリアフィルムを幅5mm、長さ35mmにカットし、引張試験機1に25mm長となるように設置した。このフィルムはステージ4によりフィルムを引張ることで歪量を与えた。毎秒0.01%の歪量を与えて、光学顕微鏡での倍率100倍観察によりクラック発生時の歪量[%]を得た。なお、透明バリアフィルムのバリア性薄膜の観察の結果、ステージ4による引張方向に対して垂直方向にクラック破壊が観察された時点で測定を終了した。
(2)水蒸気透過率・・・モダンコントロール社製(MOCON PERMATRAN W3/33)を用いて、40℃−90%RH雰囲気下で測定した。
(3)外観・・・目視による色味確認で透明性判断
以上(1)〜(3)を総合判断とし、評価した。結果を表1に示す。
以上より総合判断では実施例1〜3が透明バリアフィルムとして適していると考えられる。
2・・・基台
3,4・・・ステージ
5・・・顕微鏡観察手段
10・・・透明バリアフィルム
102・・・透明基材
104・・・バリア性薄膜
Claims (3)
- 透明基材の少なくとも片面に、少なくとも1層のバリア性薄膜を積層してなる透明バリアフィルムにおいて、
前記バリア性薄膜が、酸化反応性ガスを導入しながら行なう真空成膜により形成され、かつ前記バリア性薄膜のクラック発生開始歪量[%]が、2.5%以上3.3%以下であることを特徴とする透明バリアフィルム。 - 前記酸化反応性ガスが、酸素ガス、水蒸気ガスおよび二酸化炭素ガスから選択された少なくとも1種であることを特徴とする請求項1に記載の透明バリアフィルム。
- 前記バリア性薄膜が、酸化珪素膜であることを特徴とする請求項1または2に記載の透明バリアフィルム。
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