JP2011102873A - アライメントマーク管理装置、アライメントマーク管理システム及びプログラム - Google Patents

Abstract

【課題】フラットディスプレイパネルの品種を変更して製造工程に供給する際における段取り替えを効率的に行う
【解決手段】アライメントマーク管理装置２は、フラットディスプレイパネルの製造工程毎に配置されるコンピュータ装置にネットワークで接続され、コンピュータ装置との間でデータを送受信する通信部２１と、複数台のコンピュータ装置のうち、少なくとも１台のコンピュータ装置が抽出したアライメントマークを受け取って、アライメントマークを記憶する管理データベース２３と、フラットディスプレイパネルが通過する製造工程に配されるコンピュータ装置に、管理データベース２３から読み出したアライメントマークをダウンロードさせ、アライメントマークとしてマーク記憶部に記憶させる制御部２２と、を備える。
【選択図】図４

Description

本発明は、例えば、フラットディスプレイパネルにアライメントマークを付して、工程毎にフラットディスプレイパネルの位置合せを行う場合に適用して好適なアライメントマーク管理装置、アライメントマーク管理システム及びプログラムに関する。

従来、フラットディスプレイパネル（例えば、液晶パネル、有機ＥＬディスプレイパネル）を製造する際に、フラットディスプレイパネルの所定位置に位置決めを行うためのアライメントマークを付していた。そして、フラットディスプレイパネルの製造工程毎にアライメントマークをカメラで撮影し、この画像からアライメントマークの位置を割り出すことによって、フラットディスプレイパネルの位置合せを行っていた。

例えば、アライメントマークを登録するため、各工程において、カメラでアライメントマークを撮影し、登録する方法が知られている。

特許文献１には、フラットディスプレイパネルに部品を実装する場合にフラットディスプレイパネルの仕様変更や各構成マシンの生産状況や各構成マシンの故障情報等を一括して管理でき、フラットディスプレイパネルの品種切替えの際に短時間で新仕様に切り替える技術が開示されている。

特開平９−２４４０５４号公報

ところで、フラットディスプレイパネルに付されたアライメントマークを工程毎に配されたコンピュータ装置が撮影していたものの、各コンピュータ装置はＬＡＮ（Local Area Network）に接続されていなかった。このため、全ての工程でコンピュータ装置が撮影したアライメントマークの画像について同期をとる必要があった。また、多品種のフラットディスプレイパネルを製造工程に流す必要があるが、品種切り替え時に各工程で使用するアライメントマークを登録し直す作業が発生するため、段取り替えが完了するまでに時間がかかっていた。

本発明はこのような状況に鑑みて成されたものであり、フラットディスプレイパネルの品種を変更して製造工程に供給する際における段取り替えを効率的に行うことを目的とする。

本発明は、フラットディスプレイパネルを所定の撮像条件で撮像するカメラから入力される画像データより、フラットディスプレイパネルの位置合せに用いられるアライメントマークを抽出するマーク抽出部と、フラットディスプレイパネルに付されるアライメントマークを予め記憶するマーク記憶部と、マーク抽出部が抽出したアライメントマークと、マーク記憶部から読み出したアライメントマークを比較して、比較結果を出力するマーク比較部と、比較結果に基づいて、フラットディスプレイパネルの位置合せを制御する位置合せ部に対して、フラットディスプレイパネルの位置合せを指示し、フラットディスプレイパネルが製造工程を通過したことを管理する第１の制御部と、を備えるコンピュータ装置に接続されるアライメントマーク管理装置に関する。
アライメントマーク管理装置は、フラットディスプレイパネルの製造工程毎に配置されるコンピュータ装置にネットワークで接続され、コンピュータ装置との間でデータを送受信する通信部と、複数台のコンピュータ装置のうち、少なくとも１台のコンピュータ装置が抽出したアライメントマークを受け取って、アライメントマークを記憶する記憶部と、フラットディスプレイパネルが通過する製造工程に配されるコンピュータ装置に、記憶部から読み出したアライメントマークをダウンロードさせ、マーク記憶部に記憶させる第２の制御部と、を備える。

本発明によれば、アライメントマーク管理装置がフラットディスプレイパネルに付されるアライメントマークを管理し、コンピュータ装置に対して、アライメントマークを送出できる。そして、フラットディスプレイパネルが通過する製造工程に配置された複数台のコンピュータ装置が、アライメントマーク管理装置からアライメントマークをダウンロードすることでアライメントマークを共用できる。このため、フラットディスプレイパネルの品種を変更する場合における段取り換えの作業効率が向上するという効果がある。

本発明の一実施の形態におけるアライメントマーク管理システムの構成例を示すブロック図である。 本発明の一実施の形態におけるフラットディスプレイパネルとアライメントマークの例を示す説明図である。 本発明の一実施の形態におけるコンピュータ装置の構成例を示すブロック図である。 本発明の一実施の形態におけるアライメントマーク管理装置の構成例を示すブロック図である。 本発明の一実施の形態におけるフラットディスプレイパネルの品種切り替え時の処理例を示すフローチャートである。 本発明の一実施の形態における新品種のフラットディスプレイパネルに付されたアライメントマークを登録する処理例を示すフローチャートである。

以下、本発明の一実施の形態について、添付図面を参照して説明する。本実施の形態では、不図示の搬送台に設置されるフラットディスプレイパネル６（例えば、液晶パネル、有機ＥＬディスプレイパネル）の製造工程において、フラットディスプレイパネル６に付されたアライメントマークを管理するアライメントマーク管理システム１に適用した例について説明する。

図１は、本例のアライメントマーク管理システム１の内部構成例を示す。
アライメントマーク管理システム１は、各工程に設置された不図示のコンピュータ装置を管理するアライメントマーク管理装置２と、コンピュータ装置及びアライメントマーク管理装置２をネットワーク接続した装置内ＬＡＮ３を備える。

本例のフラットディスプレイパネル６の製造工程において、一連の工程４ａ〜４ｇまでフラットディスプレイパネル６に付されたアライメントマークを識別し、フラットディスプレイパネル６の通過状況を管理するため、コンピュータ装置５ａ〜５ｇが工程毎に設置される。アライメントマーク管理装置２とコンピュータ装置５ａ〜５ｇの内部構成例については後述する。

そして、フラットディスプレイパネル６は、工程４ａの端子クリーニング工程、工程４ｂのＡＣＦ（AnisotoropicConductive Film：異方性導電膜）貼り付け工程（第１工程）、工程４ｃのＡＣＦ貼り付け工程（第２工程）、工程４ｄの部品搭載工程（仮圧着工程）、工程４ｅの本圧着工程、工程４ｆの検査工程、工程４ｇのＰＣＢ搭載工程を経て、各工程で位置合せが行われた上で製造される。

図２は、フラットディスプレイパネル６とアライメントマーク７ａ，７ｂの例を示す。
工程４ａ〜４ｇに流されるフラットディスプレイパネル６の枠体には、工程毎に位置決めを行うため、アライメントマーク７ａ，７ｂが付される。工程毎に配置されたコンピュータ装置５ａ〜５ｇは、後述するカメラ１１を用いて、フラットディスプレイパネル６を撮像して得た画像データからアライメントマーク７ａ，７ｂを抽出する。そして、アライメントマーク７ａ，７ｂが所定の位置に合うように搬送台を動かすことで、フラットディスプレイパネル６の製造時における精度を高めている。

図３は、コンピュータ装置５ａ、位置合わせ部８、カメラ１１及び照明部１４の内部構成例を示す。
工程４ａには、フラットディスプレイパネル６を撮像するカメラ１１と、フラットディスプレイパネル６に光を照射する照明部１４と、コンピュータ装置５ａと、コンピュータ装置５ａの指示に基づいて搬送台を動かし、フラットディスプレイパネル６の位置合せを行う位置合せ部８と、が設置される。

カメラ１１は、フラットディスプレイパネル６の像光を取込むレンズ１２と、レンズ１２に収束した像光から画像信号を出力し、この画像信号に所定の処理を加えてコンピュータ装置５ａに画像信号からなる画像データを送出する撮像部１３を備える。

コンピュータ装置５ａは、撮像部１３から供給された画像データより、アライメントマークを抽出するマーク抽出部１５と、事前に記憶したアライメントマークと比較するマーク比較部１６と、比較結果を工程管理に用いる制御部１７を備える。制御部１７は、装置内ＬＡＮ３との通信インタフェースとして用いられる通信部１８を介して、アライメントマーク管理装置２より、工程４ａに供給されるフラットディスプレイパネル６に付されるアライメントマークの画像データをダウンロードしたり、工程４ａを通過したフラットディスプレイパネル６に関するデータをアライメントマーク管理装置２にアップロードしたりする。また、制御部１７は、マーク比較部１６が出力する比較結果に基づいて、フラットディスプレイパネル６の位置合せを位置合せ部８に指示する。

また、コンピュータ装置５ａは、アライメントマーク管理装置２より受け取ったアライメントマークを辞書画像として記憶するマーク記憶部１９と、カメラ１１が撮像したフラットディスプレイパネルの画像や、マーク抽出部１５が抽出したアライメントマーク等を表示する表示部２０と、を備える。マーク記憶部１９に記憶されるアライメントマークは、制御部１７によって適宜更新される。そして、マーク比較部１６は、マーク記憶部１９からアライメントマークを読み出して、カメラ１１から供給された画像データより抽出したアライメントマークとの相関係数を算出する。さらに、この相関係数が高い部分について位置合せ部８に位置合せの指示を行う。これにより、位置合せ部８は、フラットディスプレイパネル６を所定の処理位置に移動させる。

ここで、マーク抽出部１５は、グレイサーチを用いて画像データからアライメントマーク７ａ，７ｂを抽出する。グレイサーチとは、正規化相関サーチや濃淡画像処理とも呼ばれることがあり、フラットディスプレイパネル６に付されたアライメントマーク７ａ，７ｂを抽出するために用いられる。例えば、カメラ１１によってアライメントマーク７ａ，７ｂを撮像した画像を、明るさを０〜２５５の範囲で捉えた８ビットの階調に変換する。次に、マーク抽出部１５は、アライメントマーク７ａ，７ｂを撮像した画像に対して、辞書画像を１画素ずつずらしながら相関値を算出する。そして、最大の相関値が得られる位置にアライメントマーク７ａ，７ｂが存在するとみなし、そのときの一致度を求めることで、アライメントマーク７ａ，７ｂの形状を抽出している。

そして、マーク抽出部１５は、抽出したアライメントマーク７ａ，７ｂに関するデータを、マーク比較部１６に出力すると共に制御部１７にも出力する。制御部１７は、アライメントマーク７ａ，７ｂに関するデータを、装置内ＬＡＮ３を介して、アライメントマーク管理装置２に送る。まず、新品種のフラットディスプレイパネル６が工程４ａを流れた際、このフラットディスプレイパネル６に付されたアライメントマーク７ａ，７ｂの形状に関するデータを、アライメントマーク管理装置２から他の工程４ｂ〜４ｇに設置されたコンピュータ装置５ｂ〜５ｇに出力する。これにより、コンピュータ装置５ａ〜５ｇがアライメントマーク７ａ，７ｂに関するデータを共有する。そして、マーク比較部１６は、抽出したアライメントマーク７ａ，７ｂの形状と、マーク記憶部１９から読み出したアライメントマークの形状（辞書画像）とを比較して、比較結果を制御部１７に出力する。

また、制御部１７は、マーク比較部１６から受け取った比較結果に基づいて、照明部１４の照明強度を変えたり、レンズ１２のフォーカスを変えたりする制御を行う。
以上説明したコンピュータ装置５ａ、カメラ１１の内部構成例は、他の工程４ｂ〜４ｇにおけるコンピュータ装置５ｂ〜５ｇについても同様であるため、コンピュータ装置５ｂ〜５ｇについて詳細な説明は省略する。

また、上述したレンズ１２と照明部１４に対する制御は、他のコンピュータ装置５ｂ〜５ｇについても同様に行われる。そして、各工程で、同一仕様のカメラ１１、レンズ１２、照明部１４を使用し、適宜調整することで、撮影したアライメントマークは同じように見ることができる。

図４は、アライメントマーク管理装置２の内部構成例を示す。
アライメントマーク管理装置２は、装置内ＬＡＮ３との通信インタフェースとして用いられる通信部２１を備える。アライメントマーク管理装置２は、通信部２１を介して、コンピュータ装置５ａ〜５ｇより工程毎に比較したアライメントマークの比較結果を受け取ったり、コンピュータ装置５ａ〜５ｇに対して、フラットディスプレイパネル６の品種切り替え時又は新品種の登録時に必要なアライメントマークに関する情報を出力したりする。

また、アライメントマーク管理装置２は、各部の動作を制御する制御部２２と、アライメントマーク等のデータを保存する管理データベース２３と、フラットディスプレイパネル６の品種切り替えを管理する品種切替管理部２４と、新品種の登録を管理する新品種管理部２５を備える。また、アライメントマーク管理装置２は、管理データベース２３から読み出したり、コンピュータ装置５ａ〜５ｇから受け取ったりしたアライメントマークを表示する表示部２６と、工程毎にどのアライメントマークを比較対象とするかをユーザが選択操作する操作部２７と、を備える。

フラットディスプレイパネル６の品種を切り替える際には、品種切替管理部２４は、登録済みのアライメントマークを各工程に配置されたコンピュータ装置に一斉にダウンロードする制御を行う。このアライメントマークは、管理データベース２３から適宜読み出される。

また、新品種のフラットディスプレイパネル６に付されたアライメントマークを登録する際には、新品種管理部２５は、同じアライメントマークを使用する工程を特定し、アライメントマークを登録済みとする。このため、各工程に設定されたコンピュータ装置が、一々アライメントマークを取得する必要がなくなる。

（品種切り替え）
図５は、フラットディスプレイパネル６の品種を切り替える処理例を示すフローチャートである。

始めに、工程４ａ〜４ｇに配置されたコンピュータ装置５ａ〜５ｇは、アライメントマーク管理装置２からアライメントマークをダウンロードする（ステップＳ１）。このとき、ダウンロードされる情報には、フラットディスプレイパネル６に付されるアライメントマークの位置情報も含まれている。

次に、アライメントマーク管理装置２は、表示部２６にアライメントマークを表示し、通信部２１を介して、フラットディスプレイパネル６が通過する工程に設置されたコンピュータ装置にアライメントマークを送出する（ステップＳ２）。

（補正）
次に、各工程に配置されたコンピュータ装置５ａ〜５ｇは、アライメントマーク管理装置２から受け取ったアライメントマークの情報に基づいて、各部の最適化を行う（ステップＳ３）。この最適化の処理では、例えば、カメラ１１の傾き調整やガンマ補正等を行っている。

次に、コンピュータ装置５ａ〜５ｇは、工程毎に設置された照明部１４の照明強度やカメラ１１のピント・フォーカスを合わせる処理を行う（ステップＳ４）。また、照明部１４は、コンピュータ装置５ａ〜５ｇが不図示の光センサを備え、この光センサが検出した光強度の情報をフィードバックすることにより、自動的に照明強度の調整を行ってもよい。

（新品種の登録）
図６は、新品種のフラットディスプレイパネル６に付されるアライメントマークを登録する処理例を示すフローチャートである。本例では、新品種のフラットディスプレイパネル６が工程４ａに流された場合における、コンピュータ装置５ａとアライメントマーク管理装置２との間で行われる処理例について説明する。

始めに、コンピュータ装置５ａは、新品種のフラットディスプレイパネル６に付されるアライメントマークを登録する（ステップＳ１１）。このとき、アライメントマーク管理装置２は、新しいアライメントマークの登録指示を表示部２６に表示し、ユーザに新しいアライメントマークの登録を促す。そして、コンピュータ装置５ａがカメラ１１を用いて撮像したアライメントマークをマーク記憶部１９に登録する（ステップＳ１２）。

（アップロード）
次に、コンピュータ装置５ａは、マーク抽出部１５が抽出したアライメントマークをアライメントマーク管理装置２へ転送する（ステップＳ１３）。このとき、コンピュータ装置５ａが登録したアライメントマークもアライメントマーク管理装置２へ送信する（ステップＳ１４）。

（同一マークを使用する工程を抽出）
次に、アライメントマーク管理装置２は、自動又は手動により、同一のアライメントマークを使用する工程を絞り込む（ステップＳ１５）。ユーザが手動で工程を絞り込む場合、アライメントマーク管理装置２が表示部２６に表示した工程から、ユーザが選択することとなる（ステップＳ１６）。

（マーク登録）
次に、アライメントマーク管理装置２は、新品種のフラットディスプレイパネル６に対応するアライメントマークを絞り込み、同一のアライメントマークを使用する工程に設けられた全てのコンピュータ装置に、絞り込んだアライメントマークを登録させる（ステップＳ１７）。次に、アライメントマーク管理装置２は、選択した工程に設けられたコンピュータ装置にアライメントマークを送信する（ステップＳ１８）。

（未登録工程の有無）
次に、アライメントマーク管理装置２は、アライメントマークが未登録である工程の有無を検索する（ステップＳ１９）。そして、アライメントマークが登録されていない工程を表示部２６に表示し、登録を促す（ステップＳ２０）。そして、Ｓ１１〜Ｓ２０の処理を繰り返した後、ステップＳ１９においてアライメントマークの未登録工程がなくなると、新品種の登録処理を終了する。

以上説明した本実施の形態に係るアライメントマーク管理システム１によれば、フラットディスプレイパネル６の品種変更や、新品種を登録する際に、各工程に配置されたコンピュータ装置５ａ〜５ｇが速やかにアライメントマークの情報を共有することができる。例えば、コンピュータ装置５ａがフラットディスプレイパネル６を撮像して、アライメントマークを抽出すると、アライメントマーク管理装置２に抽出したアライメントマークをアップロードする。そして、フラットディスプレイパネル６が通過する工程に配置されたコンピュータ装置は、アライメントマーク管理装置２からアライメントマークを一斉にダウンロードする。このため、従来に比べてフラットディスプレイパネル６の段取り替えに要する時間が短くなるという効果がある。

また、フラットディスプレイパネル６の品種を変更する際には、品種切替管理部２４が変更された品種のフラットディスプレイパネルが通過する製造工程を管理している。このとき、制御部２２は、品種切替管理部２４が管理している製造工程に配されたコンピュータ装置に対してアライメントマークに関するデータを送出すればよく、他のコンピュータ装置にアライメントマークに関するデータを送出しない。このため、装置内ＬＡＮ３の帯域が圧迫されず、コンピュータ装置５ａ〜５ｇは、アライメントマーク管理装置２から速やかにアライメントマークに関するデータをダウンロードすることができる。

また、新品種のフラットディスプレイパネル６に付されたアライメントマークを登録する場合において、少なくとも１台のコンピュータ装置がアライメントマーク管理装置２に画像データから抽出したアライメントマークに関するデータをアップロードする。他のコンピュータ装置は、アライメントマーク管理装置２にアップロードされたアライメントマークに関するデータを共用し、同期をとることとなる。このため、アライメントマークの登録に必要なコンピュータ装置は少なくとも１台でよく、フラットディスプレイパネル６の段取り替えに要する時間が短くなるという効果がある。

また、フラットディスプレイパネルが通過する製造工程に配された一のコンピュータ装置が備えるマーク抽出部１５が抽出するアライメントマークが、他のコンピュータ装置が備えるマーク抽出部１５が抽出するアライメントマークと同じ明るさ及びフォーカスとなるように、照明部１４の照明強度及び撮像部１３の撮像条件を補正する。これにより、各コンピュータ装置が備えるマーク抽出部１５で抽出するアライメントマークが同じ明るさ、同じ大きさとなるため、工程間でのアライメントマークの比較が容易となり、フラットディスプレイパネル６の位置合せの精度が向上するという効果がある。

なお、上述した一実施の形態例における一連の処理は、ハードウェアにより実行することができるが、ソフトウェアにより実行させることもできる。一連の処理をソフトウェアにより実行させる場合には、そのソフトウェアを構成するプログラムが専用のハードウェアに組み込まれているコンピュータ、または、各種の機能を実行するためのプログラムをインストールしたコンピュータにより、実行可能である。例えば汎用のパーソナルコンピュータなどに所望のソフトウェアを構成するプログラムをインストールして実行させればよい。

また、上述した実施の形態の機能を実現するソフトウェアのプログラムコードを記録した記録媒体を、システムあるいは装置に供給してもよい。また、そのシステムあるいは装置のコンピュータ（またはＣＰＵ等の制御装置）が記録媒体に格納されたプログラムコードを読み出し実行することによっても、機能が実現されることは言うまでもない。

この場合のプログラムコードを供給するための記録媒体としては、例えば、フレキシブルディスク、ハードディスク、光ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ、磁気テープ、不揮発性のメモリカード、ＲＯＭなどを用いることができる。

また、コンピュータが読み出したプログラムコードを実行することにより、上述した実施の形態の機能が実現される。加えて、そのプログラムコードの指示に基づき、コンピュータ上で稼動しているＯＳなどが実際の処理の一部又は全部を行う。その処理によって上述した実施の形態の機能が実現される場合も含まれる。

また、本発明は上述した実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した本発明の要旨を逸脱しない限りその他種々の応用例、変形例を取り得ることは勿論である。

１…アライメントマーク管理システム、２…アライメントマーク管理装置、３…装置内ＬＡＮ、５ａ，５ｂ…コンピュータ装置、６…フラットディスプレイパネル、７ａ，７ｂ…アライメントマーク、８…位置合わせ部、１１…カメラ、１２…レンズ、１３…撮像部、１４…照明部、１５…マーク抽出部、１６…マーク比較部、１７…制御部、１８…通信部、１９…マーク記憶部、２０…表示部、２１…通信部、２２…制御部、２３…管理データベース、２４…品種切替管理部、２５…新品種管理部、２６…表示部

Claims (6)

1. フラットディスプレイパネルを所定の撮像条件で撮像するカメラから入力される画像データより、前記フラットディスプレイパネルの位置合せに用いられるアライメントマークを抽出するマーク抽出部と、
   前記フラットディスプレイパネルに付される前記アライメントマークを予め記憶するマーク記憶部と、
   前記マーク抽出部が抽出したアライメントマークと、前記マーク記憶部から読み出したアライメントマークを比較して、比較結果を出力するマーク比較部と、
   前記比較結果に基づいて、前記フラットディスプレイパネルの位置合せを制御する位置合せ部に対して、前記フラットディスプレイパネルの位置合せを指示し、前記フラットディスプレイパネルが製造工程を通過したことを管理する第１の制御部と、を備えるコンピュータ装置に接続されるアライメントマーク管理装置であって、前記フラットディスプレイパネルの前記製造工程毎に配置されるコンピュータ装置にネットワークで接続され、前記コンピュータ装置との間でデータを送受信する通信部と、
   複数台の前記コンピュータ装置のうち、少なくとも１台の前記コンピュータ装置が抽出した前記アライメントマークを受け取って、前記アライメントマークを記憶する記憶部と、
   前記フラットディスプレイパネルが通過する製造工程に配される前記コンピュータ装置に、前記記憶部から読み出した前記アライメントマークをダウンロードさせ、前記マーク記憶部に記憶させる第２の制御部と、を備える
   アライメントマーク管理装置。
2. 前記フラットディスプレイパネルの品種が変更された場合に、変更された品種の前記フラットディスプレイパネルが通過する製造工程を管理する品種切替管理部を備え、
   前記第２の制御部は、前記品種切替管理部が管理する前記製造工程に配置された前記コンピュータ装置に対して、変更された品種の前記フラットディスプレイパネルに付される前記アライメントマークを送出する
   請求項１記載のアライメントマーク管理装置。
3. 新品種の前記フラットディスプレイパネルが前記製造工程を通過する場合に、新品種の前記フラットディスプレイパネルに付される前記アライメントマーク及び前記新品種の前記フラットディスプレイパネルが通過する製造工程を管理する新品種管理部を備え、
   複数台の前記コンピュータ装置のうち、少なくとも１台の前記コンピュータ装置が備える前記第１の制御部が、変更された前記フラットディスプレイパネルに付された前記アライメントマークをアップロードしたことに伴い、
   前記第２の制御部は、前記第１の制御部から受け取った前記アライメントマークを前記記憶部に記憶させ、前記新品種管理部が管理する前記製造工程に配置された前記コンピュータ装置に対して、変更された品種の前記フラットディスプレイパネルに付される前記アライメントマークを送出する
   請求項１又は２記載のアライメントマーク管理装置。
4. 前記コンピュータ装置は、
   前記フラットディスプレイパネルを照明する照明部を備え、
   前記第１の制御部は、
   前記フラットディスプレイパネルが通過する製造工程に配された一の前記コンピュータ装置が備える前記マーク抽出部が抽出する前記アライメントマークが、他の前記コンピュータ装置が備える前記マーク抽出部が抽出する前記アライメントマークと同じ明るさ及びフォーカスとなるように、前記照明部の照明強度及び前記カメラの撮像条件を補正する
   請求項１〜３のいずれか１項に記載のアライメントマーク管理装置。
5. フラットディスプレイパネルを所定の撮像条件で撮像し、画像データを出力するカメラに接続され、フラットディスプレイパネルの製造工程毎に配置されるコンピュータ装置と、前記コンピュータ装置にネットワークで接続され、互いにデータを送受信するアライメントマーク管理装置と、を備えるアライメントマーク管理システムであって、
   前記コンピュータ装置は、
   前記カメラから入力される前記画像データより、前記フラットディスプレイパネルの位置合せに用いられるアライメントマークを抽出するマーク抽出部と、
   前記フラットディスプレイパネルに付される前記アライメントマークを予め記憶するマーク記憶部と、
   前記マーク抽出部が抽出する前記アライメントマークと、前記マーク記憶部から読み出した前記アライメントマークを比較して、比較結果を出力するマーク比較部と、
   前記比較結果に基づいて、前記フラットディスプレイパネルの位置合せを制御する位置合せ部に対して、前記フラットディスプレイパネルの位置合せを指示し、前記フラットディスプレイパネルが製造工程を通過したことを管理する第１の制御部と、を備え、
   前記アライメントマーク管理装置は、
   複数台の前記コンピュータ装置のうち、少なくとも１台の前記コンピュータ装置が抽出した前記アライメントマークを受け取って、前記アライメントマークを記憶する記憶部と、
   前記フラットディスプレイパネルが通過する前記製造工程に配される前記コンピュータ装置に、前記記憶部から読み出した前記アライメントマークをダウンロードさせ、前記マーク記憶部に記憶させる第２の制御部と、を備える
   アライメントマーク管理システム。
6. フラットディスプレイパネルの製造工程毎に配置される複数台のコンピュータ装置と、前記コンピュータ装置にネットワークで接続され、互いにデータを送受信するアライメントマーク管理装置のいずれかに実行させるプログラムであって、
   フラットディスプレイパネルを所定の撮像条件で撮像するカメラから入力される画像データより、前記フラットディスプレイパネルの位置合せに用いられるアライメントマークを抽出する手順、
   前記フラットディスプレイパネルに付される前記アライメントマークを予めマーク記憶部に記憶する手順、
   抽出された前記アライメントマークと、前記マーク記憶部から読み出した前記アライメントマークを比較して、比較結果を出力する手順、
   前記比較結果に基づいて、前記フラットディスプレイパネルの位置合せを制御する位置合せ部に対して、前記フラットディスプレイパネルの位置合せを指示し、前記フラットディスプレイパネルが製造工程を通過したことを管理する手順、
   複数台の前記コンピュータ装置のうち、少なくとも１台の前記コンピュータ装置が抽出した前記アライメントマークを受け取って、前記アライメントマークを記憶部に記憶する手順と、
   前記フラットディスプレイパネルが通過する前記製造工程に配される前記コンピュータ装置に、前記記憶部から読み出した前記アライメントマークをダウンロードさせ、前記マーク記憶部に記憶させる手順と、を含む処理を実行させるプログラム。

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