JP3861551B2 - 外観検査における光学系の較正方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、実装基板などの検査対象物の外観検査における光学系の較正方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
実装基板の電子部品の実装状態を検査する方法として、外観検査が広く用いられている。この外観検査は、実装基板をカメラで撮像し撮像結果を画像処理することにより電子部品の実装状態の異常の有無を検出するものであり、検査項目としては電子部品の有無や位置ずれなど各種のものがある。近年、基板と電子部品など検査対象部位の色の違いを利用することによって所定の検査を行うカラー画像処理による外観検査が実用化されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
このカラー画像処理においては、同一の対象物を撮像した場合に、取り込まれる画像の明るさや色のデータが常に同一であることが前提となっている。ところが、外観検査装置において撮像対象を照明するハロゲン光源などの照明手段は、一般に経時変化や時間応答性などの要因により一定の照度を維持することが困難である。このため、取り込まれた画像データから抽出された明るさや色の情報は照明の状態によって異なる。
【０００４】
すなわち同一種類の装置であって装置個体が異なる場合はもちろん、同一装置においても照明器の累積使用時間によって得られる画像情報はばらつく。したがって、検査精度を確保するためには、この画像情報のばらつきを補正するための光学系の較正が必要となる。そしてカラー画像処理を応用した外観検査においては、画像データの明るさのみならず色についても画像情報のばらつきを補正する必要がある。しかしながら従来このようなカラー画像処理を対象とした光学系の較正処理を適正なアルゴリズムでしかも実際の外観検査装置において効率よく行う方法は確立されていなかった。
【０００５】
そこで本発明は、カラー画像処理を用いた外観検査を適正に効率よく行うことができる外観検査における光学系の較正方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の外観検査における光学系の較正方法は、撮像対象を撮像してカラー画像を取り込む撮像手段と、撮像対象を照明する照明手段と、撮像により得られたカラー画像データからＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各要素ごとに明るさを検出する明るさ検出部と、前記各要素の明るさ目標値を記憶する明るさ目標値記憶部と、この明るさ目標値に基づいて前記照明手段を制御することにより前記各要素のうち特定要素の明るさを調整する明るさ調整部と、前記特定要素の明るさとその他の要素の明るさとの相対関係を所定条件に設定する色バランス調整手段とがあり、較正板を撮像して較正用のカラー画像を取り込むことにより光学系の較正処理を行う外観検査における光学系の較正方法であって、第１の較正板を撮像して較正用のカラー画像を取り込む較正用画像取り込み工程を行い、次いで撮像により得られたカラー画像データから明るさ検出部によりＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各要素ごとに明るさを検出する明るさ検出工程を行い、次いでこれらの各要素のうちの特定要素の明るさ検出値が予め記憶された明るさ目標値に一致するように明るさ調整部によって前記照明手段を制御する明るさ調整工程を行い、次いで前記特定要素の明るさとその他の要素の明るさとの相対関係を色バランス調整手段によって所定条件に設定する色バランス調整工程を行い、前記第１の較正板を用いた前記明るさ調整工程および前記色バランス調整工程が行なわれた状態で、第２の較正板を撮像してカラー画像データを取得し、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各要素ごとに明るさ検出値を求めて明るさ目標値を更新する。
【００１０】
請求項２記載の外観検査における光学系の較正方法は、請求項１記載の外観検査における光学系の較性方法であって、前記第２の較正板を外観検査装置に備えておき、外観検査装置の稼働中に前記第２の較正板を撮像して前記較正画像取り込み工程、明るさ検出工程、明るさ調整工程および色バランス調整工程を含む光学系の較正処理を所定インターバルで行う。
【００１１】
請求項３記載の外観検査における光学系の較正方法は、撮像対象を撮像してカラー画像を取り込む撮像手段と、撮像対象を照明する照明手段と、撮像により得られたカラー画像データからＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各要素ごとに明るさを検出する明るさ検出部と、前記各要素の明るさ目標値を記憶する明るさ目標値記憶部と、この明るさ目標値に基づいて前記照明手段を制御することにより前記各要素のうち特定要素の明るさを調整する明るさ調整部と、前記特定要素の明るさとその他の要素の明るさとの相対関係を所定条件に設定する色バランス調整手段とがあり、較正板を撮像して較正用のカラー画像を取り込むことにより光学系の較正処理を行う外観検査における光学系の較正方法であって、撮像対象を照明する照明手段を明るさ調整部によって制御することにより、第１の較正板を撮像して得られるカラー画像の明るさを予め記憶された明るさ目標値に基づいて調整するとともに、カラー画像のＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各要素の明るさの相対関係を色バランス調整手段によって所定条件に設定する第１較正工程と、第１較正工程後に第２の較正板を撮像して得られたカラー画像から前記各要素の明るさ検出値を求める工程と、この明るさ検出値によって前記明るさ目標値を置き換えて更新する工程とを含む。
請求項４記載の外観検査における光学系の較正方法は、請求項３記載の外観検査における光学系の較正方法であって、前記第２の較正板よりも前記第１の較正板が上位である。
請求項５記載の外観検査における光学系の較正方法は、請求項３記載の外観検査における光学系の較正方法であって、前記第２の較正板を外観検査装置に備えておき、外観検査装置の稼働中に前記第２の較正板を撮像して前記較正画像取り込み工程、明るさ検出工程、明るさ調整工程および色バランス調整工程を含む光学系の較正処理を所定インターバルで行う。
【００１２】
本発明によれば、撮像対象を照明する照明手段を明るさ調整部によって制御して、撮像により得られるカラー画像の明るさを予め記憶された明るさ目標値に基づいて調整し、次いでカラー画像のＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各要素の明るさの相対関係を色バランス調整手段によって所定条件に設定することにより、光学系の較正を適正に行ってカラー画像における画像情報のばらつきを排除することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態の外観検査装置の構成を示すブロック図、図２は本発明の一実施の形態の外観検査装置の処理機能を示す機能ブロック図、図３は本発明の一実施の形態の外観検査装置の光学系の較正処理のフロー図、図４は本発明の一実施の形態の外観検査装置のメンテナンス時較正処理のフロー図、図５は本発明の一実施の形態の外観検査装置の通常稼働時較正処理のフロー図、図６は本発明の一実施の形態の較正板のツリー構造を示す図である。
【００１４】
まず図１を参照して外観検査装置の構成を説明する。図１において、位置決めテーブル１上には外観検査の検査対象物である実装基板２が載置されている。実装基板２を撮像してカラー画像を取得し、得られたカラー画像を画像処理することにより、電子部品の有無や位置ずれなどの所定の検査が行われる。位置決めテーブル１上には、較正板３が装着されている。較正板３は後述するように光学系の較正処理に使用される。
【００１５】
位置決めテーブル１の上方には、撮像手段としてのカメラ１０が配設されている。位置決めテーブル制御部１５によって位置決めテーブル１を駆動することにより、実装基板２はカメラ１０に対して相対的に位置決めされ、実装基板２の任意位置をカメラ１０により撮像することができる。また較正処理時には位置決めテーブル１を駆動して較正板３をカメラ１０の下方に移動させ、較正板３を撮像する。
【００１６】
カメラ１０はカメラ制御部１１と接続されており、カメラ制御部１１はカメラ１０の撮像動作を制御するとともに、撮像により取得されたカラー画像情報を受け取る。カメラ１０による撮像時には、撮像対象の実装基板２は発光部１４からの照射光によって照明される。発光部１４は光ファイバなどの導光ケーブル１４ａによってハロゲンランプなどの光源部１３と接続されている。
【００１７】
光源部１３は照明制御部１２によって制御され、光源部１３を点灯することにより、発光部１４から照明光が照射される。照明制御部１２には、明るさを指示するデジタル値である指令値が入力され、照明制御部１２はこの指令値に比例した電力で光源部１３を点灯させる。光源部１３、導光ケーブル１４ａおよび発光部１４は撮像対象を照明する照明手段となっている。
【００１８】
演算処理部１６はＣＰＵであり、プログラム記憶部１７に記憶された各種プログラムおよびデータ記憶部１８に記憶された各種データに基づいて、画像処理による外観検査や、光学系の較正処理などの各種の処理・演算を行う。プログラム記憶部１７は、外観検査や光学系の較正処理などのプログラムを記憶する。データ記憶部１８は、光学系の較正に用いられる明るさ目標値などの各種のデータを記憶する。表示部１９はディスプレイ装置であり、カメラ１０によって撮像された画像表示や、操作入力時の案内画面などを表示する。操作・入力部２０はキーボードやマウスなどの入力手段であり、制御コマンドの入力やデータ入力を行う。
【００１９】
次に図２を参照して、外観検査装置の光学系の較正処理機能について説明する。この較正処理は、検査対象物を照明する照明装置の照明条件を、同一撮像対象を同一条件で撮像する場合については、常に同一撮像結果が得られるように調整するものである。この較正処理は次に説明する較正板を撮像して得られた画像データに基づいて行われる。
【００２０】
なお、図２に示す明るさ検出部２１、ゲイン補正部２２、明るさ調整部２４は、図１に示すプログラム記憶部１７に記憶されたプログラムにしたがって演算処理部１６によって行われる処理機能を示すものであり、明るさ目標データ記憶部２３は、図１に示すデータ記憶部１８に記憶されるデータ内容を示している。
【００２１】
図２において位置決めテーブル１上には第１の較正板としての基準較正板４および第２の較正板としての付属較正板３が装着される。付属較正板３は図１の較正板３であり、外観検査装置の通常稼働時において、照明装置の経時変化に起因する照明条件のばらつきを補正するための光学系の較正に用いられる。また、基準較正板４は、付属較正板３の表面性状が経時変化することによる較正条件のばらつきを補正するために用いられるものである。この基準較正板４は較正条件のばらつきを補正する場合にのみ使用され、通常は経時変化をできるだけ生じないような環境で保管されている。
【００２２】
これらの付属較正板３、基準較正板４をカメラ１０で撮像して得られたＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各要素の画像情報を含むカラー画像データは、カメラ制御部１１に送られる。そしてこれらＲ，Ｇ，Ｂの各要素の画像情報は明るさ検出部２１に送られ、明るさ検出部２１では対象エリア内の各画素の明るさの平均値を求めることによりＲ，Ｇ，Ｂ各要素ごとに明るさが検出される。
【００２３】
ここで検出された明るさを数値データで示す明るさ検出値のうち、特定要素（ここではＧ要素）の明るさ検出値は明るさ調整部２４に伝達される。そしてこの明るさ検出値を目標データ記憶部２３に記憶された明るさ目標値と比較し、比較結果に基づいて照明制御部１２に明るさ調整指令を出力する。これにより、光源部１３の出力が調整され、発光部１４より照射される照明光の明るさが変更される。すなわち、明るさ検出値が予め設定され記憶された明るさ目標値に一致するように、明るさ調整部１２によって照明手段を制御する。
【００２４】
ここで明るさ目標値について説明する。カラー画像処理では、Ｒ，Ｇ，Ｂの各要素の画像情報を抽出して所定の検査を行うものであるため、同一撮像対象を同一条件で撮像して取り込まれる画像については、検出される明るさが各要素ごとに常に同じであることが求められる。換言すれば、所定の基準撮像対象を撮像した場合に、各要素ごとに所定の明るさが検出されるよう、照明条件を設定する必要がある。
【００２５】
この所定の明るさは、基準撮像対象として用いられる較正板について、各要素ごとに明るさ目標値として設定される。すなわち、当該較正板を撮像して取り込まれた画像から検出された明るさ検出値が、Ｒ，Ｇ，Ｂの各要素について明るさ目標値と一致している場合には、カラー画像処理を行うための適正な照明条件が満たされ光学系が適正に較正されていることになる。
【００２６】
なお、明るさ目標値は一組のみに限定されず、複数組の目標値を設定してもよい。本実施の形態では、高明度の照明条件下で撮像する場合に用いられる照明条件に対応した明るさ目標値の組（Ｒ１，Ｇ１，Ｂ１）と、低明度の照明条件下で撮像する場合に用いられる照明条件に対応した明るさ目標値の組（Ｒ２，Ｇ２，Ｂ２）の２組の明るさ目標データ２３ａ，２３ｂが、明るさ目標データ記憶部２３に記憶されている。
【００２７】
明るさ目標データ記憶部２３に記憶されるこれらのデータは、明るさ検出部２１によって得られる明るさ検出値によって置き換えが可能であり、必要に応じて明るさ目標値の更新が行えるようになっている。
【００２８】
次に色バランス調整について説明する。前述の明るさ調整においては、特定要素（Ｇ）について検出された明るさ検出値が明るさ目標値と一致するよう、光源部１３を制御するものである。したがってこの明るさ調整によっては、他の要素（Ｒ，Ｂ）の明るさ検出値は必ずしも明るさ目標値と一致しない。そこで明るさ検出部２１によって検出されたＲ，Ｂの明るさ検出値に基づいて、ゲイン補正部２２によって色バランスの調整を行う。
【００２９】
ゲイン補正部２２は、カメラ制御部１１から出力される各要素の画像情報のゲインを変更できるようになっており、ここでは、Ｒ，Ｂの２要素についてゲインを補正する。そして明るさ検出値と明るさ目標値が一致するよう、ゲイン補正部２２によってカメラ制御部１１に対して補正指令が出力される。この補正処理はＲ，Ｂの各要素について行われ、全ての要素について特定要素（Ｇ）の明るさ検出値と他の要素の明るさ検出値との相対関係があらかじめ設定される所定条件に合致するようにゲインを設定することにより色バランス調整が行われる。すなわち、ゲイン補正部２２は、特定要素の明るさとその他の要素の明るさとの相対関係を所定条件に設定する色バランス調整手段となっている。
【００３０】
この外観検査装置は上記の様に構成されており、以下、光学系の較正処理のフローについて図３を参照して説明する。このフロー図は、較正板を用いた光学系の較正処理の一般フロー図を示すものであり、用いる較正板の種類によって実際の外観検査装置において行われる較正処理の目的は異なったものとなる。
【００３１】
まず位置決めテーブル１上に装着された較正板をカメラ１０によって撮像し、カラー画像データを取得する（ＳＴ１）。カラー画像データは、Ｒ，Ｇ，Ｂ各要素ごとにカメラ制御部１１から明るさ検出部２１に送られ、ここでＲ，Ｇ，Ｂ各要素ごとに明るさのエリア平均値を求める（ＳＴ２）。次に、特定要素（Ｇ）の明るさが目標値となるよう、明るさ調整部２４から照明制御部１２に出力される指令値を調整して光源部１３の明るさを調整する（ＳＴ３）。すなわち、較正板を撮像して得られる較正用のカラー画像の明るさを、予め記憶された明るさ目標値に基づいて調整する（明るさ調整工程）。
【００３２】
次に、カラー画像のＲ，Ｇ，Ｂの各要素の明るさ検出値の相対関係を所定条件に設定する（色バランス調整工程）。すなわち、まずＲの明るさとＧの明るさとの相対関係があらかじめ設定された所定条件を満たすように、Ｒのゲインを補正する（ＳＴ４）。そして同様に、Ｂの明るさとＧの明るさとの相対関係があらかじめ設定された所定条件を満たすように、Ｂのゲインを補正する（ＳＴ５）。これにより、較正板を用いて取得画像の明るさ調整および色バランス調整が行われ、光学系の較正処理が完了する。
【００３３】
以下、図４、図５のフロー図を参照して、具体的な較正処理について説明する。
【００３４】
まず図４を参照して、通常稼働時較正処理について説明する。この較正処理は、外観検査装置を継続して稼働させる際に、光源部１３の劣化などによる照明条件の経時変化を定期的に較正するために行われるものである。この較正処理は、位置決めテーブル１上の所定位置に固定装着された付属較正板３（図１参照）を撮像して行われる。
【００３５】
まず検査装置の稼働が開始され（ＳＴ１１）、実装基板２を対象として検査作業が実行される（ＳＴ１２）。そしてこの検査作業の実行において、既に所定サイクル数が経過したか否かが判断され（ＳＴ１３）、未経過であればそのまま検査作業が反復され、既に所定サイクル数が経過している場合には、付属較正板３を用いて図３に示すフロー図にしたがって光学系の較正を行う（ＳＴ１４）。
【００３６】
すなわちこの較正処理は、外観検査装置に備えた付属較正板３を用い、外観検査装置の稼働中に較正画像取り込み工程、明るさ検出工程、明るさ調整工程および色バランス調整工程を含む光学系の較正処理を所定インターバルで行うものである。そしてこの較正処理により、照明制御部１２への指令値が調整されて明るさ調整が行われるとともに、カメラ制御部１１においてＲ，Ｂのゲイン補正が行われ、色バランス調整が行われる。これにより、同一対象を撮像する場合においては、光源部１３の経時劣化状態に拘らず画像情報のばらつきを排除して常に所定の明るさ、色バランスの画像を取得することができ、カラー画像による外観検査の検査精度を確保することができる。
【００３７】
次に図５を参照して、メンテナンス時較正処理について説明する。この較正処理は付属較正板３を長期間外観検査装置に装着して使用することによる付属較正板３自体の表面性状の経時変化に起因する較正結果のばらつきを、装置メンテナンス時に定期的に補正する目的で行われるものである。この較正処理には、経時変化による表面劣化のない基準較正板４が用いられる（図２参照）。
【００３８】
まず図５において、基準較正板（第１の較正板）４を外観検査装置にセットし、図５に示すフロー図にしたがって光学系の較正を行う（ＳＴ２１）。すなわち、この較正処理により照明制御部１２への指令値が調整されて明るさ調整が行われるとともに、カメラ制御部１１においてＲ，Ｂのゲイン補正が行われ色バランス調整が行われる（第１較正工程）。
【００３９】
次に上記の明るさ調整および色バランス調整が行われた状態で、外観検査装置に備えられた付属較正板（第２の較正板）３を撮像してカラー画像データを取得する（ＳＴ２２）。そしてＲ，Ｇ，Ｂ各要素ごとに明るさ検出値Ｒ１，Ｇ１，Ｂ１を求め（ＳＴ２３）、求められた明るさ検出値Ｒ１，Ｇ１，Ｂ１を明るさ目標データ記憶部２３に記憶させる。そして既存の明るさ目標値をこれらの明るさ検出値Ｒ１，Ｇ１，Ｂ１によって置き換えて明るさ目標値を更新する（ＳＴ２４）。
【００４０】
これにより、付属較正板３の当該時点における表面性状に応じた明るさ目標値が新たに設定され記憶される。したがって、長期間の使用により付属較正板３自体の表面が変化する場合にあっても、常に適正な明るさ目標値が設定され、光学系の適正な較正結果を得ることができる。
【００４１】
更に図６に示すように、前述の基準較正板４の上位にマスター較正板５を設定するようにしてもよい。すなわち、同一種類の複数の基準較正板４を較正するために、さらに厳密に管理されたマスター較正板５を設けるものである。このマスター較正板５は、表面性状が経時変化することのないよう厳しい保管状態で保存される。そして、マスター較正板５と基準較正板４とを図５に示す処理と同様の方法で較正する。この場合には、マスター較正板５が第１の較正板に、基準較正板４が第２の較正板にそれぞれ相当する。
【００４２】
この較正処理により、基準較正板４自体の経時変化による較正結果のばらつきを補正することができる。このようなマスター較正板５を設定することにより、多数台製作される外観検査装置全体について共通の較正基準が保証され、広い範囲の検査対象物に対して共通の検査基準でばらつきのない外観検査を行うことが可能となる。
【００４３】
【発明の効果】
本発明によれば、撮像対象を照明する照明手段を明るさ調整部によって制御して、撮像により得られるカラー画像の明るさを予め記憶された明るさ目標値に基づいて調整し、次いでカラー画像のＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各要素の明るさの相対関係を色バランス調整手段によって所定条件に設定することにより、光学系の較正を適正に行ってカラー画像における画像情報のばらつきを排除し、外観検査の検査精度を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態の外観検査装置の構成を示すブロック図
【図２】本発明の一実施の形態の外観検査装置の処理機能を示す機能ブロック図
【図３】本発明の一実施の形態の外観検査装置の光学系の較正処理のフロー図
【図４】本発明の一実施の形態の外観検査装置のメンテナンス時較正処理のフロー図
【図５】本発明の一実施の形態の外観検査装置の通常稼働時較正処理のフロー図
【図６】本発明の一実施の形態の較正板のツリー構造を示す図
【符号の説明】
２ 実装基板
３ （付属）較正板
４ 基準較正板
１０ カメラ
１１ カメラ制御部
１２ 照明制御部
１３ 光源部
２１ 明るさ検出部
２２ ゲイン補正部
２３ 明るさ目標データ記憶部
２４ 明るさ調整部

Claims (5)

1. 撮像対象を撮像してカラー画像を取り込む撮像手段と、撮像対象を照明する照明手段と、撮像により得られたカラー画像データからＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各要素ごとに明るさを検出する明るさ検出部と、前記各要素の明るさ目標値を記憶する明るさ目標値記憶部と、この明るさ目標値に基づいて前記照明手段を制御することにより前記各要素のうち特定要素の明るさを調整する明るさ調整部と、前記特定要素の明るさとその他の要素の明るさとの相対関係を所定条件に設定する色バランス調整手段とがあり、較正板を撮像して較正用のカラー画像を取り込むことにより光学系の較正処理を行う外観検査における光学系の較正方法であって、
   第１の較正板を撮像して較正用のカラー画像を取り込む較正用画像取り込み工程を行い、次いで撮像により得られたカラー画像データから明るさ検出部によりＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各要素ごとに明るさを検出する明るさ検出工程を行い、次いでこれらの各要素のうちの特定要素の明るさ検出値が予め記憶された明るさ目標値に一致するように明るさ調整部によって前記照明手段を制御する明るさ調整工程を行い、次いで前記特定要素の明るさとその他の要素の明るさとの相対関係を色バランス調整手段によって所定条件に設定する色バランス調整工程を行い、前記第１の較正板を用いた前記明るさ調整工程および前記色バランス調整工程が行なわれた状態で、第２の較正板を撮像してカラー画像データを取得し、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各要素ごとに明るさ検出値を求めて明るさ目標値を更新することを特徴とする外観検査における光学系の較正方法。
2. 前記第２の較正板を外観検査装置に備えておき、外観検査装置の稼働中に前記第２の較正板を撮像して前記較正画像取り込み工程、明るさ検出工程、明るさ調整工程および色バランス調整工程を含む光学系の較正処理を所定インターバルで行うことを特徴とする請求項１記載の外観検査における光学系の較正方法。
3. 撮像対象を撮像してカラー画像を取り込む撮像手段と、撮像対象を照明する照明手段と、撮像により得られたカラー画像データからＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各要素ごとに明るさを検出する明るさ検出部と、前記各要素の明るさ目標値を記憶する明るさ目標値記憶部と、この明るさ目標値に基づいて前記照明手段を制御することにより前記各要素のうち特定要素の明るさを調整する明るさ調整部と、前記特定要素の明るさとその他の要素の明るさとの相対関係を所定条件に設定する色バランス調整手段とがあり、較正板を撮像して較正用のカラー画像を取り込むことにより光学系の較正処理を行う外観検査における光学系の較正方法であって、
   撮像対象を照明する照明手段を明るさ調整部によって制御することにより、第１の較正板を撮像して得られるカラー画像の明るさを予め記憶された明るさ目標値に基づいて調整するとともに、カラー画像のＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各要素の明るさの相対関係を色バランス調整手段によって所定条件に設定する第１較正工程と、第１較正工程後に第２の較正板を撮像して得られたカラー画像から前記各要素の明るさ検出値を求める工程と、この明るさ検出値によって前記明るさ目標値を置き換えて更新する工程とを含むことを特徴とする外観検査における光学系の較正方法。
4. 前記第２の較正板よりも前記第１の較正板が上位であることを特徴とする請求項３記載の外観検査における光学系の較正方法。
5. 前記第２の較正板を外観検査装置に備えておき、外観検査装置の稼働中に前記第２の較正板を撮像して前記較正画像取り込み工程、明るさ検出工程、明るさ調整工程および色バランス調整工程を含む光学系の較正処理を所定インターバルで行うことを特徴とする請求項３記載の外観検査における光学系の較正方法。

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