JP2011091171A - 荷電粒子ビーム描画方法および荷電粒子ビーム描画装置システム - Google Patents
荷電粒子ビーム描画方法および荷電粒子ビーム描画装置システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011091171A JP2011091171A JP2009242806A JP2009242806A JP2011091171A JP 2011091171 A JP2011091171 A JP 2011091171A JP 2009242806 A JP2009242806 A JP 2009242806A JP 2009242806 A JP2009242806 A JP 2009242806A JP 2011091171 A JP2011091171 A JP 2011091171A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- particle beam
- charged particle
- substrate
- drawing apparatus
- beam drawing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
- H01L21/0271—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers
- H01L21/0273—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers characterised by the treatment of photoresist layers
- H01L21/0274—Photolithographic processes
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/54—Absorbers, e.g. of opaque materials
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/26—Phase shift masks [PSM]; PSM blanks; Preparation thereof
- G03F1/32—Attenuating PSM [att-PSM], e.g. halftone PSM or PSM having semi-transparent phase shift portion; Preparation thereof
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/68—Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
- G03F1/76—Patterning of masks by imaging
- G03F1/78—Patterning of masks by imaging by charged particle beam [CPB], e.g. electron beam patterning of masks
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
- G03F7/2051—Exposure without an original mask, e.g. using a programmed deflection of a point source, by scanning, by drawing with a light beam, using an addressed light or corpuscular source
- G03F7/2059—Exposure without an original mask, e.g. using a programmed deflection of a point source, by scanning, by drawing with a light beam, using an addressed light or corpuscular source using a scanning corpuscular radiation beam, e.g. an electron beam
- G03F7/2063—Exposure without an original mask, e.g. using a programmed deflection of a point source, by scanning, by drawing with a light beam, using an addressed light or corpuscular source using a scanning corpuscular radiation beam, e.g. an electron beam for the production of exposure masks or reticles
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/317—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation
- H01J37/3174—Particle-beam lithography, e.g. electron beam lithography
Abstract
【解決手段】第1の荷電粒子ビーム描画装置において、反射率の異なる2層の膜が形成された較正用基板の上を荷電粒子ビームで走査し、較正用基板からの反射信号を検出して照射位置の誤差を求める。第2の荷電粒子ビーム描画装置においても、同様の方法で照射位置の誤差を求める。第1の荷電粒子ビーム描画装置における照射位置の誤差と、第2の荷電粒子ビーム描画装置における照射位置の誤差との差分を求め、この差分を用いて、第2の荷電粒子ビーム描画装置における荷電粒子ビームの照射位置の誤差を較正する。
【選択図】図6
Description
d(nm)=λ(nm)/2(n−1)
第1の荷電粒子ビーム描画装置において、反射率の異なる2層の膜が形成された較正用基板の上を荷電粒子ビームで走査し、較正用基板からの反射信号を検出して照射位置の誤差を求める工程と、
第2の荷電粒子ビーム描画装置において、較正用基板の上を荷電粒子ビームで走査し、較正用基板からの反射信号を検出して照射位置の誤差を求める工程と、
第1の荷電粒子ビーム描画装置における照射位置の誤差と、第2の荷電粒子ビーム描画装置における照射位置の誤差との差分を求める工程と、
差分を用いて、第2の荷電粒子ビーム描画装置における荷電粒子ビームの照射位置の誤差を較正する工程とを有することを特徴とするものである。
第1の荷電粒子ビーム描画装置に基板を搬入し、位置合わせマークを荷電粒子ビームで走査して基板の位置合わせを行う工程と、
第2の荷電粒子ビーム描画装置に基板を搬入し、位置合わせマークを荷電粒子ビームで走査して基板の位置合わせを行う工程とを有することができる。
基板本体の上に設けられた第1の導電膜と、
第1の導電膜の上に選択的に配置され、第1の導電膜よりも反射率の大きい第2の導電膜とを有することが好ましい。
第2の導電膜は、タンタル(Ta)、タングステン(W)およびプラチナ(Pt)よりなる群から選ばれるいずれか1つを含むことが好ましい。
第2の荷電粒子ビーム描画装置とを有し、
第2の荷電粒子ビーム描画装置は、第1の荷電粒子ビーム描画装置における照射位置の誤差と、第2の荷電粒子ビーム描画装置における照射位置の誤差との差分を用いて、第2の荷電粒子ビーム描画装置における荷電粒子ビームの照射位置の誤差を較正するように構成されており、
差分は、第1の荷電粒子ビーム描画装置において、反射率の異なる2層の膜が形成された較正用基板の上を荷電粒子ビームで走査し、較正用基板からの反射信号を検出して得られた照射位置の誤差と、第2の荷電粒子ビーム描画装置において、較正用基板の上を荷電粒子ビームで走査し、較正用基板からの反射信号を検出して得られた照射位置の誤差との差分であることを特徴とする荷電粒子ビーム描画装置システムに関する。
(1) ΔXij=A0+A1・Xij+A2・Yij+A3・Xij 2
+A4・Xij・Yij+A5・Yij 2+A6・Xij 3
+A7・Xij 2・Yij+A8・Xij・Yij 2+A9・Yij 3
(2) ΔYij=B0+B1・Xij+B2・Yij+B3・Xij 2
+B4・Xij・Yij+B5・Yij 2+B6・Xij 3
+B7・Xij 2・Yij+B8・Xij・Yij 2+B9・Yij 3
(3) ΔXij’=A0’+A1’・Xij+A2’・Yij+A3’・Xij 2
+A4’・Xij・Yij+A5’・Yij 2+A6’・Xij 3
+A7’・Xij 2・Yij+A8’・Xij・Yij 2+A9’・Yij 3
(4) ΔYij’=B0’+B1’・Xij+B2’・Yij+B3’・Xij 2
+B4’・Xij・Yij+B5’・Yij 2+B6’・Xij 3
+B7’・Xij 2・Yij+B8’・Xij・Yij 2+B9’・Yij 3
1…描画室
2…電子鏡筒(ビーム照射手段)
3…搬送室
4…アライメント室(アライメント部)
5…ステージ
5a、5b…ステージミラー
6…搬送ロボット
6a…回転軸
6b…ロボットアーム
6c…ロボットハンド
7…照射制御部
8…ステージ制御部
9…ロボット制御部
10…全体制御部
111…第1メモリ
112…第2メモリ
12…ステージ位置測定器
12a、12b…レーザ測長計
13…高さ測定器
13a…投光部
13b…受光部
13c…高さ信号処理部
101…第1のマーク部
102…第2のマーク部
103…ガラス基板
104…遮光膜
x1、x2、y1、y2…測定位置
110…較正用基板
112…基板本体
114、116…導電膜
120…開口部
Claims (5)
- 第1の荷電粒子ビーム描画装置によって基板に第1のパターンを描画した後、第2の荷電粒子ビーム描画装置によって前記基板に第2のパターンを描画する荷電粒子ビーム描画方法であって、
第1の荷電粒子ビーム描画装置において、反射率の異なる2層の膜が形成された較正用基板の上を荷電粒子ビームで走査し、前記較正用基板からの反射信号を検出して照射位置の誤差を求める工程と、
第2の荷電粒子ビーム描画装置において、前記較正用基板の上を荷電粒子ビームで走査し、前記較正用基板からの反射信号を検出して照射位置の誤差を求める工程と、
前記第1の荷電粒子ビーム描画装置における照射位置の誤差と、前記第2の荷電粒子ビーム描画装置における照射位置の誤差との差分を求める工程と、
前記差分を用いて、前記第2の荷電粒子ビーム描画装置における荷電粒子ビームの照射位置の誤差を較正する工程とを有することを特徴とする荷電粒子ビーム描画方法。 - 前記基板には位置合わせマークが設けられており、
前記第1の荷電粒子ビーム描画装置に前記基板を搬入し、前記位置合わせマークを荷電粒子ビームで走査して前記基板の位置合わせを行う工程と、
前記第2の荷電粒子ビーム描画装置に前記基板を搬入し、前記位置合わせマークを荷電粒子ビームで走査して前記基板の位置合わせを行う工程とを有することを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子ビーム描画方法。 - 前記較正用基板は、酸化シリコン(SiO2)よりも低い熱膨張係数の材料を用いた基板本体と、
前記基板本体の上に設けられた第1の導電膜と、
前記第1の導電膜の上に選択的に配置され、前記第1の導電膜よりも反射率の大きい第2の導電膜とを有することを特徴とする請求項1または2に記載の荷電粒子ビーム描画方法。 - 前記第1の導電膜は、クロム(Cr)、チタン(Ti)およびバナジウム(V)よりなる群から選ばれるいずれか1つを含み、
前記第2の導電膜は、タンタル(Ta)、タングステン(W)およびプラチナ(Pt)よりなる群から選ばれるいずれか1つを含むことを特徴とする請求項3に記載の荷電粒子ビーム描画方法。 - 第1の荷電粒子ビーム描画装置と、
第2の荷電粒子ビーム描画装置とを有し、
前記第2の荷電粒子ビーム描画装置は、前記第1の荷電粒子ビーム描画装置における照射位置の誤差と、前記第2の荷電粒子ビーム描画装置における照射位置の誤差との差分を用いて、前記第2の荷電粒子ビーム描画装置における荷電粒子ビームの照射位置の誤差を較正するように構成されており、
前記差分は、前記第1の荷電粒子ビーム描画装置において、反射率の異なる2層の膜が形成された較正用基板の上を荷電粒子ビームで走査し、前記較正用基板からの反射信号を検出して得られた照射位置の誤差と、前記第2の荷電粒子ビーム描画装置において、前記較正用基板の上を荷電粒子ビームで走査し、前記較正用基板からの反射信号を検出して得られた照射位置の誤差との差分であることを特徴とする荷電粒子ビーム描画装置システム。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009242806A JP2011091171A (ja) | 2009-10-21 | 2009-10-21 | 荷電粒子ビーム描画方法および荷電粒子ビーム描画装置システム |
KR1020100085195A KR20110043433A (ko) | 2009-10-21 | 2010-09-01 | 하전 입자 빔 묘화 방법 및 하전 입자 빔 묘화 장치 시스템 |
US12/902,540 US20110089346A1 (en) | 2009-10-21 | 2010-10-12 | Method and system for pattern writing with charged-particle beam |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009242806A JP2011091171A (ja) | 2009-10-21 | 2009-10-21 | 荷電粒子ビーム描画方法および荷電粒子ビーム描画装置システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011091171A true JP2011091171A (ja) | 2011-05-06 |
Family
ID=43878592
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009242806A Pending JP2011091171A (ja) | 2009-10-21 | 2009-10-21 | 荷電粒子ビーム描画方法および荷電粒子ビーム描画装置システム |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20110089346A1 (ja) |
JP (1) | JP2011091171A (ja) |
KR (1) | KR20110043433A (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5301312B2 (ja) * | 2008-03-21 | 2013-09-25 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 荷電粒子ビーム描画装置の較正用基板及び描画方法 |
JP6353278B2 (ja) | 2014-06-03 | 2018-07-04 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | マルチ荷電粒子ビーム描画方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 |
US10173249B2 (en) * | 2014-10-13 | 2019-01-08 | Rudolph Technologies, Inc. | Calibration of semiconductor metrology systems |
US10802475B2 (en) * | 2018-07-16 | 2020-10-13 | Elite Robotics | Positioner for a robotic workcell |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4442361A (en) * | 1982-09-30 | 1984-04-10 | Storage Technology Partners (Through Stc Computer Research Corporation) | System and method for calibrating electron beam systems |
JPH11121332A (ja) * | 1997-10-14 | 1999-04-30 | Hitachi Ltd | 荷電ビーム描画システムおよびそれにより描画されたパターンを有する半導体デバイス |
JP2001318455A (ja) * | 2000-05-12 | 2001-11-16 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置の製造方法 |
KR20090101117A (ko) * | 2008-03-21 | 2009-09-24 | 가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지 | 하전 입자 빔 묘화 장치의 교정용 기판 및 묘화 방법 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100500199B1 (ko) * | 1995-05-29 | 2005-11-01 | 가부시키가이샤 니콘 | 마스크패턴을겹쳐서노광하는노광방법 |
US6429090B1 (en) * | 1999-03-03 | 2002-08-06 | Nikon Corporation | Fiducial mark bodies for charged-particle-beam (CPB) microlithography, methods for making same, and CPB microlithography apparatus comprising same |
JP2000353657A (ja) * | 1999-06-14 | 2000-12-19 | Mitsubishi Electric Corp | 露光方法、露光装置およびその露光装置を用いて製造された半導体装置 |
JP3892656B2 (ja) * | 2000-09-13 | 2007-03-14 | 株式会社ルネサステクノロジ | 合わせ誤差測定装置及びそれを用いた半導体デバイスの製造方法 |
JP4022374B2 (ja) * | 2001-01-26 | 2007-12-19 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体デバイスの製造方法およびそのシステム |
JP2007027429A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-01 | Toshiba Corp | 露光装置補正システム、露光装置補正方法、及び半導体装置の製造方法 |
JP2008085120A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Nuflare Technology Inc | 荷電粒子ビーム描画装置の位置補正係数算出方法及び荷電粒子ビーム描画装置の位置補正係数更新方法 |
-
2009
- 2009-10-21 JP JP2009242806A patent/JP2011091171A/ja active Pending
-
2010
- 2010-09-01 KR KR1020100085195A patent/KR20110043433A/ko active Search and Examination
- 2010-10-12 US US12/902,540 patent/US20110089346A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4442361A (en) * | 1982-09-30 | 1984-04-10 | Storage Technology Partners (Through Stc Computer Research Corporation) | System and method for calibrating electron beam systems |
JPH11121332A (ja) * | 1997-10-14 | 1999-04-30 | Hitachi Ltd | 荷電ビーム描画システムおよびそれにより描画されたパターンを有する半導体デバイス |
JP2001318455A (ja) * | 2000-05-12 | 2001-11-16 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置の製造方法 |
KR20090101117A (ko) * | 2008-03-21 | 2009-09-24 | 가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지 | 하전 입자 빔 묘화 장치의 교정용 기판 및 묘화 방법 |
JP2009260273A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-11-05 | Nuflare Technology Inc | 荷電粒子ビーム描画装置の較正用基板及び描画方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20110043433A (ko) | 2011-04-27 |
US20110089346A1 (en) | 2011-04-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5301312B2 (ja) | 荷電粒子ビーム描画装置の較正用基板及び描画方法 | |
JP5821100B2 (ja) | フォトリソグラフィマスクによって処理されるウェーハ上の誤差を補正する方法及び装置 | |
KR100776479B1 (ko) | 하전 입자빔 묘화 방법, 하전 입자빔 묘화 장치, 위치오차량 계측 방법 및 위치 계측장치 | |
JP4820354B2 (ja) | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | |
JP4628267B2 (ja) | Z位置の誤差/ばらつき、及び基板テーブルの平坦度を決定するためのリソグラフィ装置及び方法 | |
JP4654313B2 (ja) | リソグラフィ装置及び測定方法 | |
JP5744601B2 (ja) | 電子線描画装置及びデバイス製造方法 | |
JP2018530773A (ja) | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 | |
TWI426354B (zh) | 微影裝置及元件製造方法 | |
KR20170051506A (ko) | 극자외선 파장 범위용 마스크를 제조하는 방법, 마스크 및 장치 | |
JP3393947B2 (ja) | 半導体回路パターンの評価方法と評価システム及び描画方法及び描画システム | |
JP2010219445A (ja) | 荷電粒子ビーム描画方法、荷電粒子ビーム描画用の基準マークの位置検出方法及び荷電粒子ビーム描画装置 | |
JP2005064268A (ja) | 露光装置及びその使用方法 | |
CN110235061A (zh) | 用于增加图案定位的准确度的方法及系统 | |
JP2011091171A (ja) | 荷電粒子ビーム描画方法および荷電粒子ビーム描画装置システム | |
JP2014225428A (ja) | 荷電粒子線照射装置、荷電粒子線の照射方法及び物品の製造方法 | |
JP2019020719A (ja) | Opc方法、及びそのopc方法を利用したマスク製造方法 | |
JP2007281449A (ja) | キャリブレーション方法、リソグラフィ装置、およびそのようなリソグラフィ装置のためのパターニングデバイス | |
TWI411887B (zh) | 判定曝光設定的方法、微影曝光裝置、電腦程式及資料載體 | |
KR102277996B1 (ko) | Euv 대역에 대한 포토리소그래피 마스크의 측정 데이터를 제1 주변부로부터 제2 주변부로 변환하는 방법 및 장치 | |
Huebner et al. | A nanoscale linewidth/pitch standard for high-resolution optical microscopy and other microscopic techniques | |
JP2012248767A (ja) | 露光用マスクの製造方法、欠陥合否判定方法、及び欠陥修正方法 | |
JP2008177256A (ja) | 電子ビーム描画装置及びマスクの製造方法 | |
TWI765361B (zh) | 用於判定一圖案化器件之表面參數之方法、用於補償一加熱效應之方法及用於表徵一圖案化器件之微影裝置 | |
CN109690412A (zh) | 确定结构的特性的方法、检查设备以及器件制造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121019 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140121 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140324 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141007 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20150303 |