JP2011083923A - サーマルヘッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】セラミック基板1上に、発熱体5に電気的に接続された複数の個別電極3、共通電極4、発熱体、複数の個別電極及び共通電極を覆う絶縁性保護膜6、絶縁性保護膜上面を覆い、共通電極と接続された熱伝導性の高い導電性保護膜7、導電性保護膜上に高周波(RF)スパッター法で成膜したサイアロン膜8を有する。サイアロン膜は、窒素ガスを2%混合したアルゴンガス雰囲気の高周波スパッター法で成膜する。
【選択図】図1
Description
図5に示すように、絶縁性保護膜6を覆うように設けた導電性保護膜7は、その一端で共通電極4に接続されている。これにより印字媒体である感熱紙の走行に伴う摩擦によって発生する静電気は、前記導電性保護膜7を通して共通電極4に流入することで外部に誘導して発熱体の静電破壊を防止することができる。更に、感熱紙に含まれるイオンも同様に外部に誘導することでイオン破壊なる電触症状をも抑制することが可能となる(特許文献1参照)。
ルゴンガス(Ar)雰囲気中で高周波(RF)スパッター法で成膜する。
実験によると、サイアロン膜の下層が導電性性保護膜の場合、サイアロン膜の下層が絶縁性保護膜のいずれの場合も、アルゴンガスに対して窒素ガスを2%混合した条件が最も成膜外観不良の発生レートが低い好適な結果を得た。
図3に示すように、引っかき試験のデータによれば導電性保護膜表層にサイアロン膜を積層した構成のサーマルヘッド、絶縁性保護膜表層にサイアロン膜を積層した構成のサーマルヘッドのいずれの場合も高周波(RF)スパッター時のアルゴンガスに対する窒素ガスの含有量(混合率%)が4%から2%に変えると引っかきライン周辺のサイアロン膜の剥れが少なくなり、下層との密着性に優れていることが分かった。
しかして、アルゴンガスに対する窒素ガスの混合率を2%にすると、前記サーマルヘッドにおいて、前記導電紙保護膜と前記サイアロン膜との密着性及びサイアロン膜のビッカース硬度を満足できる好適な加工条件を得ることができた。
使用したスパッター装置・・・マグネトロン型高周波スパッター装置
圧力・・・1Pa
高周波(13.56MHz)出力・・・500W
成膜温度・・・150℃
Arガス流量・・・20sccm
窒素ガス流量・・・0.4sccm
成膜時間・・・300分
ターゲット用サイアロン・・・Si3N4−Al2O3−AlN+8%以下のY2O3
5・・発熱体 6・・絶縁性保護膜 7・・導電性保護膜 8・・サイアロン膜
Claims (3)
- 絶縁基板と、
前記絶縁基板上に形成された発熱体と、
前記絶縁基板上に形成され、前記発熱体に電気的に接続された複数の個別電極と、
前記絶縁基板上に形成され、前記発熱体に電気的に接続された共通電極と、
前記発熱体、前記複数の個別電極及び前記共通電極を覆う電気的絶縁性保護膜からなる第1のコート層と、
前記第1のコート層の上面を覆う熱伝導性の高い導電性保護膜からなる第2のコート層と、を有し、前記導電性保護膜と前記共通電極とを電気的に接続してなるサーマルヘッドであって、
前記導電性保護膜上に高周波スパッター法で成膜したサイアロン膜でなる第3のコート層を有することを特徴とするサーマルヘッド。 - 請求項1において、前記第3のコート層は、窒素ガスが2%混合されたアルゴンガス雰囲気の高周波スパッター法で成膜されたサイアロン膜であることを特徴とするサーマルヘッド。
- 絶縁基板と、
前記絶縁基板上に形成された発熱体と、
前記絶縁基板上に形成され、前記発熱体に電気的に接続された複数の個別電極と、
前記絶縁基板上に形成され、前記発熱体に電気的に接続された共通電極と、
前記発熱体、前記複数の個別電極及び前記共通電極を覆う電気的絶縁性保護膜からなる第1のコート層と、
前記第1のコート層の上面を覆うサイアロン膜でなる第2のコート層と、を有するサーマルヘッドであって、
前記第2のコート層は、窒素ガスが2%混合されたアルゴンガス雰囲気の高周波スパッター法で成膜されたサイアロン膜であることを特徴とするサーマルヘッド。
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JP2000062229A (ja) * | 1998-08-13 | 2000-02-29 | Fuji Photo Film Co Ltd | サーマルヘッドの製造方法 |
WO2008015958A1 (fr) * | 2006-08-04 | 2008-02-07 | Rohm Co., Ltd. | Tête d'impression thermique |
-
2009
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