JP2011078203A - 圧電アクチュエータとその駆動方法、液体吐出装置、圧電型超音波振動子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の圧電アクチュエータの駆動方法は、負電界側と正電界側とにそれぞれ抗電界点を有し、負電界側の抗電界の絶対値と正電界側の抗電界値とが異なる非対称なバイポーラ分極-電界ヒステリシス特性を有する圧電体を備えた圧電アクチュエータを、正負の抗電界のうち絶対値の大きい側の極性の抗電界を超えない範囲内で、正の駆動電圧と負の駆動電圧との間で駆動させるものである。
【選択図】図1B
Description
ここで、非対称とは、バイポーラ分極―電界ヒステリシス特性が、分極値を示すy軸に対して非対称であることを意味する。
また、「正負の抗電界のうち絶対値の大きい側の極性の抗電界を超えない範囲内」とは、正側の抗電界の場合は抗電界以下、負側の抗電界の場合は、抗電界以上の範囲であることを意味する。
|Vc1|<|Vc2| ・・・(1)
(Vc1は前記正負の抗電界のうち絶対値の大きい側の極性を有する駆動電圧、Vc2は前記正負の抗電界のうち絶対値の小さい側の極性を有する駆動電圧。)
|Vc1|≦0.7×|V1| ・・・(2)
(V1はVc1と同一符号の抗電界E1と前記圧電体の電圧印加方向の厚みの積である。)
ここで、「圧電体への電圧印加方向と、圧電体の変位方向とが直交するモード」とは、いわゆる31方向の駆動を意味する。
ここで、「電圧変位特性が10%以下のリニアリティを有する」とは、図8に示されるように、実際に得られた電圧―変位曲線を最小自乗法によりフィッティングを行って直線に近似した際に、実際の変位の値と直線近似した歪の値とが最も大きくなる値(図示ノンリニアリティエラー)が、フィッティングを行った電圧―変位曲線の変位範囲(図示フルスケール)の10%以下であることを意味する。
一般式AaBbO3・・・(P)
(式中、AはPbを主成分とするAサイト元素、BはBサイトの元素であり、Ti,Zr,V,Nb,Ta,Cr,Mo,W,Mn,Sc,Co,Cu,In,Sn,Ga,Zn,Cd,Fe,及びNiからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素、Oは酸素。a≧1.0かつb=1.0である場合が標準であるが、これらの数値はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で1.0からずれてもよい。)
Pba(Zrb1Tib2Xb3)O3・・・(P−1)
(式(P−1)中、XはV族及びVI族の元素群より選ばれた少なくとも1種の金属元素である。a>0、b1>0、b2>0、b3≧0。a≧1.0であり、かつb1+b2+b3=1.0である場合が標準であるが、これらの数値はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で1.0からずれてもよい。)
上記一般式(P)又は(P−1)において、a>1.02である場合が好ましい。
本発明の圧電アクチュエータの駆動方法は、負電界側と正電界側とにそれぞれ抗電界点を有し、負電界側の抗電界Ec1の絶対値|Ec1|と正電界側の抗電界値Ec2とが異なる非対称なバイポーラ分極-電界ヒステリシス特性(P−Eヒステリシス特性)を有する圧電体、つまり、P−Eヒステリシスが正電界側又は負電界側に偏ったP−Eヒステリシス特性を有する圧電体を備えた圧電アクチュエータの駆動方法である。本実施形態では、正電界側に偏ったP−Eヒステリシスを有する圧電体を備えた圧電アクチュエータを例に説明するが、負電界側に偏ったP−Eヒステリシスを有する圧電体においてもその符号が異なるだけで同様の作用効果を得ることができる。
(Ec2+Ec1)/(Ec2―Ec1)×100 (%)
本発明の圧電アクチュエータの駆動方法では、かかるP−Eヒステリシス特性を有する圧電体を備えた圧電アクチュエータを、正の駆動電圧と負の駆動電圧との間で駆動させる。ここで、負の駆動電圧は、最大変位を示す電界Emaxまでの範囲で、所望の変位が得られる任意の電圧とすればよいが、正の駆動電圧はEc2を超えない範囲内とする。
|Vc1|<|Vc2| ・・・(1)
(Vc1は前記正負の抗電界のうち絶対値の大きい側の極性を有する駆動電圧、Vc2は前記正負の抗電界のうち絶対値の小さい側の極性を有する駆動電圧。)
|Vc1|≦0.7×|V1| ・・・(2)
(V1はVc1と同一符号の抗電界E1と前記圧電体の電圧印加方向の厚みの積である。)
図2を参照して、本発明に係る一実施形態の圧電アクチュエータ及びこれを備えたインクジェット式記録ヘッド(液体吐出装置)の構造について説明する。図2はインクジェット式記録ヘッドの要部断面図(圧電素子の膜厚方向の断面図)である。視認しやすくするため、構成要素の縮尺は実際のものとは適宜異ならせてある。
一般式AaBbO3・・・(P)
(式中、AはPbを主成分とするAサイト元素、BはBサイトの元素であり、Ti,Zr,V,Nb,Ta,Cr,Mo,W,Mn,Sc,Co,Cu,In,Sn,Ga,Zn,Cd,Fe,及びNiからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素、Oは酸素。a≧1.0かつb=1.0である場合が標準であるが、これらの数値はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で1.0からずれてもよい。)
上記一般式(P)で表されるペロブスカイト型酸化物としては、チタン酸鉛、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、ジルコニウム酸鉛、ニオブ酸ジルコニウムチタン酸鉛等が挙げられる。圧電体膜は、これら上記一般式(P)で表されるペロブスカイト型酸化物の混晶系であってもよい。
Pba(Zrb1Tib2Xb3)O3・・・(P−1)
(式(P−1)中、XはV族及びVI族の元素群より選ばれた少なくとも1種の金属元素である。a>0、b1>0、b2>0、b3≧0。a≧1.0であり、かつb1+b2+b3=1.0である場合が標準であるが、これらの数値はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で1.0からずれてもよい。)
Xは、VA族、VB族、VIA族、及びVIB族のいずれの金属元素でもよく、V,Nb,Ta,Cr,Mo,及びWからなる群より選ばれた少なくとも1種であることが好ましい。
図3及び図4を参照して、上記実施形態のインクジェット式記録ヘッド3を備えたインクジェット式記録装置の構成例について説明する。図3は装置全体図であり、図4は部分上面図である。
印字部102をなすヘッド3K,3C,3M,3Yが、各々上記実施形態のインクジェット式記録ヘッド3である。
ロール紙を使用する装置では、図3のように、デカール処理部120の後段に裁断用のカッター128が設けられ、このカッターによってロール紙は所望のサイズにカットされる。カッター128は、記録紙116の搬送路幅以上の長さを有する固定刃128Aと、該固定刃128Aに沿って移動する丸刃128Bとから構成されており、印字裏面側に固定刃128Aが設けられ、搬送路を挟んで印字面側に丸刃128Bが配置される。カット紙を使用する装置では、カッター128は不要である。
吸着ベルト搬送部122により形成される用紙搬送路上において印字部102の上流側に、加熱ファン140が設けられている。加熱ファン140は、印字前の記録紙116に加熱空気を吹き付け、記録紙116を加熱する。印字直前に記録紙116を加熱しておくことにより、インクが着弾後に乾きやすくなる。
印字検出部124は、印字部102の打滴結果を撮像するラインセンサ等からなり、ラインセンサによって読み取った打滴画像からノズルの目詰まり等の吐出不良を検出する。
後乾燥部142の後段には、画像表面の光沢度を制御するために、加熱・加圧部144が設けられている。加熱・加圧部144では、画像面を加熱しながら、所定の表面凹凸形状を有する加圧ローラ145で画像面を加圧し、画像面に凹凸形状を転写する。
大きめの用紙に本画像とテスト印字とを同時に並列にプリントする場合には、カッター148を設けて、テスト印字の部分を切り離す構成とすればよい。
インクジェット記記録装置100は、以上のように構成されている。
図5を参照して、本発明に係る一実施形態の圧電型超音波振動子の構造について説明する。図5は圧電型超音波振動子の要部断面図である。視認しやすくするため、構成要素の縮尺は実際のものとは適宜異ならせてある。
本実施形態の圧電型超音波振動子5は、超音波モータ等に使用できる。
本実施形態の圧電型超音波振動子5はまた、特定周波数の超音波を発生し、対象物より反響して戻ってきた超音波を検知するセンサ等として使用でき、超音波探触子等に使用できる。対象物より反響して戻ってきた超音波を受けて振動板82が振動すれば、その応力に応じて圧電体膜72が変位し、圧電素子4にはその変位量に応じた電圧が生じる。これを検出することで、対象物の形状等を検出することができる。
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、適宜設計変更可能である。
(実施例1)
ダイアフラム構造が形成されているSOI基板上に、スパッタ法にて、Ti密着層を介して150nm厚のIr下部電極が順次積層された電極付き基板を用意した。次いでターゲットとしてPb1.3Zr0.43Ti0.44Nb0.13O3焼結体のターゲットを用いて、真空度0.5Pa、Ar/O2混合雰囲気(O2体積分率1.0%)、成膜温度525℃、投入電力500W、基板ターゲット間距離60mmの条件下で、NbドープPZT膜(Nb−PZT膜)4ミクロンの厚みで成膜を実施した。
このとき、基板を浮遊状態にして、ターゲットと基板との間ではない基板から離れたところにアースを配して成膜した。得られた膜の組成をXRFにより分析したところ、Pb1.03Zr0.43Ti0.44Nb0.13O3であった。
ターゲット組成をPb1.3Zr0.52Ti0.48O3とした以外は実施例1と同様にして圧電アクチュエータを作製した。得られた膜の組成をXRFにより分析したところ、Pb1.01Zr0.52Ti0.48O3であった。得られた圧電アクチュエータのP−Eヒステリシス特性を測定したところ、偏り率は13%であった(図示略)。
実施例1で作製した圧電アクチュエータを、バイアス印加せずに−26Vの矩形波を入力して同様に駆動させた(図1Cを参照)。その結果、得られる変位量は実施例1の80%程度であることが確認された。
実施例1で作製した圧電アクチュエータに+12Vの抗電界付近のバイアス電圧を印加して同様に駆動させた。その結果、実施例2で得られた範囲よりも小さい変位しかえられず、駆動特性が良好でなくなった。
2 圧電アクチュエータ
3、3K,3C,3M,3Y インクジェット式記録ヘッド(液体吐出装置)
10 基板
20、40 電極
30 圧電体膜(柱状構造膜)
60 インクノズル(液体貯留吐出部材)
61 インク室(液体貯留室)
62 インク吐出口(液体吐出口)
100 インクジェット式記録装置
4 圧電素子
5 圧電型超音波振動子(超音波トランスデューサ)
71、73 電極
72 圧電体膜(柱状構造膜)
82 振動板
90 Rf電源(高周波交流電源)
D1 電界印加方向
D3 圧電体の伸縮方向
Claims (13)
- 負電界側と正電界側とにそれぞれ抗電界点を有し、前記負電界側の抗電界の絶対値と前記正電界側の抗電界値とが異なる非対称なバイポーラ分極-電界ヒステリシス特性を有する圧電体と、該圧電体に電圧を印加する一対の電極とを備える圧電素子と、前記圧電体に電圧が印加された時に該圧電体に生じる歪みを変位として外部に伝える振動板とを備える圧電アクチュエータを駆動する方法であって、
前記正負の抗電界のうち絶対値の大きい側の極性の抗電界を超えない範囲内で、前記圧電アクチュエータを、正の駆動電圧と負の駆動電圧との間で駆動させることを特徴とする圧電アクチュエータの駆動方法。 - 前記圧電体に、前記正負の抗電界のうち絶対値の大きい側の極性の駆動電圧をバイアス電圧として常時印加して駆動させることを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエータの駆動方法。
- 下記式(1)を満足する条件で駆動することを特徴とする請求項1又は2に記載の圧電アクチュエータの駆動方法。
|Vc1|<|Vc2| ・・・(1)
(Vc1は前記正負の抗電界のうち絶対値の大きい側の極性を有する駆動電圧、Vc2は前記正負の抗電界のうち絶対値の小さい側の極性を有する駆動電圧。) - 下記式(2)を満足する条件で駆動することを特徴とする請求項3に記載の圧電アクチュエータの駆動方法。
|Vc1|≦0.7×|V1| ・・・(2)
(V1はVc1と同一符号の抗電界E1と前記圧電体の電圧印加方向の厚みの積である。) - 前記圧電体が、Pbを含むものであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の圧電アクチュエータの駆動方法。
- 前記圧電体への電圧印加方向と、前記圧電体の伸縮方向とが直交するモードで駆動することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の圧電アクチュエータの駆動方法。
- 負電界側と正電界側とにそれぞれ抗電界点を有し、前記負電界側の抗電界の絶対値と前記正電界側の抗電界の絶対値とが異なる非対称なバイポーラ分極-電界ヒステリシス特性を有する圧電体と、該圧電体に電圧を印加する一対の電極とを備える圧電素子と、
前記圧電体に電圧が印加された時に該圧電体に生じる歪みを変位として外部に伝える振動板と、
前記圧電素子を駆動する駆動手段とを備える圧電アクチュエータであって、
該圧電アクチュエータを駆動したときの電圧変位特性において、駆動範囲の電圧変位特性が10%以下のリニアリティを有することを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記絶対値の小さい抗電界の極性が負であることを特徴とする請求項7に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記圧電体が、
プラズマを用いるスパッタリング法により基板上に成膜された、下記一般式(P)で表される1種又は複数種のペロブスカイト型酸化物からなる圧電体膜(不可避不純物を含んでいてもよい。)であることを特徴とする請求項8に記載の圧電アクチュエータ。
一般式AaBbO3・・・(P)
(式中、AはPbを主成分とするAサイト元素、BはBサイトの元素であり、Ti,Zr,V,Nb,Ta,Cr,Mo,W,Mn,Sc,Co,Cu,In,Sn,Ga,Zn,Cd,Fe,及びNiからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素、Oは酸素。a≧1.0かつb=1.0である場合が標準であるが、これらの数値はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で1.0からずれてもよい。) - 前記圧電体が、
下記一般式(P−1)で表される1種又は複数種のペロブスカイト型酸化物からなる(不可避不純物を含んでいてもよい。)ことを特徴とする請求項9に記載の圧電アクチュエータ。
Pba(Zrb1Tib2Xb3)O3・・・(P−1)
(式(P−1)中、XはV族及びVI族の元素群より選ばれた少なくとも1種の金属元素である。a>0、b1>0、b2>0、b3≧0。a≧1.0であり、かつb1+b2+b3=1.0である場合が標準であるが、これらの数値はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で1.0からずれてもよい。) - a>1.02であることを特徴とする請求項10に記載の圧電アクチュエータ。
- 請求項7〜11のいずれかに記載の圧電アクチュエータと、
該圧電アクチュエータと一体的にまたは隣接して設けられた液体吐出部材とを備え、
該液体吐出部材は、液体が貯留される液体貯留室と、該液体貯留室から外部に前記液体が吐出される液体吐出口とを有するものであることを特徴とする液体吐出装置。 - 請求項7〜11のいずれかに記載の圧電アクチュエータと、
前記電極に交流電流を印加する交流電源と、
前記圧電体の伸縮により振動する振動板とを備えたことを特徴とする圧電型超音波振動子。
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