JP2011073906A - 多孔質SiC成形体、SiC/Si複合材料及びその製造方法 - Google Patents

多孔質SiC成形体、SiC/Si複合材料及びその製造方法 Download PDF

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【課題】メタルベイン等の欠陥のないSiC/Si複合材料を提供する
【解決手段】SiC粉末と、該SiC粉末間を相互に結合する熱硬化性樹脂とからなる三次元骨格構造を備え、開気孔率が2〜25%である多孔質SiC成形体。細孔径1〜30μmの細孔が全細孔の70%以上であり、閉気孔率が5%以下である。この多孔質SiC成形体を非酸化雰囲気中で脱脂して得られたプリフォ−ムに、Siを浸透させることによりSiC/Si複合材料を得る。
【選択図】なし

Description

本発明は、SiC/Si複合材料を得るための多孔質SiC成形体に関する。
SiC/Si複合材料は、金属材料に比べて軽量で比剛性が高く、熱膨張が小さいため、さまざまな産業分野で構造材料として注目され、実用化が進められている。SiC/Si複合材料の製法は、SiC粉末を所望の形に成形した多孔質SiC成形体を作製する工程と、多孔質SiC成形体を加熱して脱脂や焼結等を行ってプリフォ−ムを作製する工程と、プリフォ−ムの孔部に溶融したSiを含浸させる工程からなる。
例えば特許文献1には、反応焼結法を用いたSiC/Si複合材料の製法が記載されており、中心粒径1.1μmのSiCを水、カ−ボンブラック、PVAと共に混合してスラリ−状の混合粉体に調整し、石膏型に鋳込んで得たグリ−ン体を仮焼して、SiCとカ−ボンからなる多孔体を作製し、該多孔体中にレゾ−ル型のフェノ−ル樹脂をCIP処理により含浸させた後、再度仮焼して得られたSiC多孔体に溶融Siを含浸するSiC/Si複合材料の製造方法が提案されている。
また、特許文献2には、SiC粉末にフェノ−ル樹脂(10質量%)を添加して、金型による熱プレスを行いSiC含有率が70体積%の成形体を作製する方法が開示されている。
特許第4260629号公報 特開2008−50181号公報
しかしながら、上記のような製法では高緻密質なSiC/Si複合材料が得られるものの、多孔質SiC成形体や、それを脱脂等して得られるプリフォ−ムに変形や亀裂が生じることがあった。多孔質SiC成形体やプリフォ−ムに変形や亀裂があると、溶融Siを含浸したときにメタルベインと言われる層状もしくは亀裂状のSi相が生じるため問題となっていた。
本発明は、メタルベイン等の欠陥のないSiC/Si複合材料を提供することを目的とする。
本発明は、以下の(1)〜(5)を提供する。
(1)SiC粉末と、該SiC粉末間を相互に結合する熱硬化性樹脂とからなる三次元骨格構造を備え、開気孔率が2〜25%である多孔質SiC成形体。所定範囲に開気孔率が調整された多孔質SiC成形体を用いることにより、SiC/Si複合材料のメタルベインを解消することができる。
(2)細孔径1〜30μmの細孔が全細孔の70%以上である(1)記載の多孔質SiC成形体。細孔径分布が調整された多孔質SiC成形体を用いることでSiC/Si複合材料のメタルベインを解消することができる。
(3)閉気孔率が5%以下である(1)または(2)記載の多孔質SiC成形体。開気孔率に加えて、閉気孔率が調整された多孔質SiC成形体を用いることでSiC/Si複合材料のメタルベインを抑えることができる。
(4)(1)〜(3)記載の多孔質SiC成形体を非酸化雰囲気中で脱脂して得られたプリフォ−ムに、Siを浸透させてなるSiC/Si複合材料。上記の多孔質SiC成形体を用いることによりメタルベインのないSiC/Si複合材料が得られる。
(5)SiC粉末及び熱硬化性樹脂を含む混合物を熱プレス成形して、開気孔率2〜25%の多孔質SiC成形体を得る成形工程と、前記多孔質SiC成形体を所定雰囲気で脱脂してプリフォームを得る脱脂工程と、前記プリフォームに、Siを浸透させる浸透工程と、を含むSiC/Si複合材料の製造方法。
本発明によれば、メタルベイン等の欠陥のないSiC/Si複合材料を提供できる。
以下、本発明の多孔質SiC成形体及びSiC/Si複合材料について、更に詳しく説明する。
本発明の多孔質SiC成形体は、SiC粉末と熱硬化性樹脂とからなる。SiC粉末は、SiC/Si複合材料の剛性を高め、熱膨張を小さくする。熱硬化性樹脂は、多孔質SiC成形体のバインダ−として働くのみならず、残炭がSiと反応してSiCを構成し、SiC/Si複合材料の高剛性化にも寄与する。
高剛性化のため、SiCの生成量をさらに増やしたい場合は、多孔質SiC成形体にカ−ボン粉末を添加することもできる。
熱硬化性樹脂の種類は特に限定されず、例えばフェノ−ル樹脂、アミノ樹脂、不飽和ポリエステル、エポキシ樹脂、ポリウレタン、ジアリルフタレ−ト樹脂、ケイ素樹脂等を適用できる。なかでも、フェノ−ル樹脂を用いることが好ましい。特にフェノ−ル樹脂、アミノ樹脂、不飽和ポリエステル、ジアリルフタレート樹脂、ケイ素樹脂のように硬化過程で重縮合反応を伴う樹脂を使用した場合は本発明の効果が大きい。
多孔質SiC成形体は、開気孔率を2〜25%とすることが好ましい。所定範囲の開気孔率に調整することでメタルベイン等の欠陥の発生を抑えることができる。多孔質SiC成形体の成形工程では熱硬化性樹脂の硬化反応により縮合水が生成する。この縮合水は、多孔質SiC成形体内部で蒸気化するため、水蒸気の逃げ道がないと、ガス抜け不良によって膨れや亀裂などの欠陥が生じるおそれがある。また、成形後の脱脂工程においても熱硬化性樹脂の揮発成分のガス抜け不良が起きるおそれがある。本発明は、多孔質SiC成形体の開気孔率を調整することで、上記のようなガス抜け不良による問題を解消するものである。
本発明では、SiC充填率が高く、ガス抜け不良による問題の生じ易い、孔径の小さい多孔質SiC成形体において、極めて顕著な効果を発揮する。したがって、本発明によれば、セラミックスの充填率を高めた高剛性のSiC/Si複合材料をメタルベイン等の欠陥なく作製することができる。開気孔率の範囲は2〜20%、さらには2〜10%とすることができるので、SiCの充填率をより高めることが可能となる。多孔質SiC成形体の開気孔率は水銀圧入式ポロシメ−タを用いて測定することができる。
多孔質SiC成形体の細孔径1〜30μmの細孔が全細孔の70%以上とすることが好ましい。1μmよりも小さい細孔が多くなると、成形工程や脱脂工程でガス抜け不良が発生し易くなり、膨れや亀裂が発生し易くなるので好ましくない。細孔径30μmより大きい細孔が多くなると、Siが浸透しても細孔自体がスポット状の欠陥を形成するおそれがあり好ましくない。細孔径分布は、水銀圧入式ポロシメ−タを用いて測定することができる。
また、多孔質SiC成形体の閉気孔率を5%以下とすることが好ましい。これは閉気孔率が5%よりも大きくなった場合は、本発明の多孔質SiC成形体の成形工程や脱脂工程でガス抜け不良が発生し易くなり、膨れや亀裂が発生し易くなるので好ましくない。多孔質SiC成形体の閉気孔率が5%以下であれば、脱脂工程中に閉気孔が開気孔化するため緻密質なSiC/Si複合材料が得られる。なお、多孔質SiC成形体の閉気孔率は開気孔率及び見掛密度から求めることができる。
多孔質SiC成形体を非酸化雰囲気中で脱脂して得られたプリフォ−ムに、Siを浸透させることによりSiC/Si複合材料が得られる。Siの純度は97%以上が好ましい。
本発明のSiC/Si複合材料は、SiCの充填率を高めることができ、緻密質である。SiC/Si複合材料のSiC充填率は、75%以上、より好ましくは80%以上にすることが可能である。また、SiC/Si複合材料の開気孔率は0.1%以下の緻密質にすることができる。なお、SiC/Si複合材料のSiC充填率は、炭素がSiC化して生成したSiC分を含む充填率である。
次に本発明の多孔質SiC成形体及びSiC/Si複合材料の製造方法について詳しく説明する。
SiC粉末の平均粒径(レ−ザ−回折式粒度分布測定によるメディアン径D50)は、特に限定されないが、得られる多孔質SiC成形体の細孔径1〜30μmの細孔が全細孔の70%以上となるように調整することが好ましい。粒度の異なるSiC粉末を組み合わせても良い。例えば、平均粒径2.0〜40μmの微粉と、平均粒径40〜300μmの粗粉とを組み合わせることによりSiC粉末の充填を高めることができる。多孔質SiC成形体のSiC充填率は、使用するSiC粉末により決まり、単粒の場合は48〜58%、微粉と粗粉を組み合わせる場合は60〜76%に調整できる。
熱硬化性樹脂としては、粉末状のものを用いることが好ましい。例えば、平均粒径1〜100μmの粉末状の樹脂を用いることができる。熱硬化性樹脂の添加量は、予め測定したSiC粉末の充填率から求めた気孔率によって適正量に調整する。即ち、予めSiC粉末単体でのタップ密度を測定し、該タップ密度から求めた気孔率((1−タップ密度/SiCの密度)×100)に対し、該気孔を充填する熱硬化性樹脂の体積を計算することで、多孔質SiC成形体の開気孔率を2〜25%に調整できる。
カーボン粉末としては、カーボンブラック、カーボンビーズ、コークス粉等を用いることができる。カーボン粉末の形態は、無定形、針状、球状を用いることができるが、高充填させるためには特に球状が好ましい。カーボン粉末の平均粒径は2〜20μmが好ましい。
また、脱脂後の不揮発分としてプリフォ−ムに残存する熱硬化性樹脂由来の炭素とカーボン粉末の総量が、5〜15体積%となるように調整することが好ましい。上記の範囲で添加し、かつプリフォ−ム中の炭素量を調整することで、保形に十分な強度が得られ、かつ炭素のSiC化に伴う発熱により温度の急上昇が起こり、局所的な体積膨張により発生するクラックやメタルベインの不良を低減することができる。この範囲であれば、多孔質SiC成形体の開気孔率、細孔径分布等を所望の範囲に調整でき、ガス抜け不良を抑えることができる。
SiC粉末と熱硬化性樹脂との混合は、乾式、湿式を問わず、種々の方法を採用することができる。十分に混合することで熱硬化性樹脂に分散され、均質な多孔質SiC成形体を得ることができる。
SiC粉末と熱硬化性樹脂との混合物の成形方法としては、プレス成形、CIP成形、湿式成形等を用いることができる。なかでも加熱しながら圧力を加える熱プレス成形が好ましい。熱ブレスは、0.5〜20MPaの圧力で、1〜12時間プレスすることが好ましい。また、熱硬化性樹脂の硬化反応により生成する縮合水の蒸気の抜けを妨げないように、上記圧力でプレスを加えた後に、またはプレスを加えながら加熱することが好ましい。このように熱プレスを制御することで、多孔質SiC成形体の開気孔率及び細孔径分布を調整しながら、SiC粉末の充填を高めることができる。
こうして熱硬化性樹脂と炭素粉末及びSiCからなる多孔質SiC成形体を得た後、熱硬化性樹脂を脱脂することでSiCと炭素からなるプリフォ−ムを得る。脱脂工程の雰囲気は非酸化雰囲気が好ましく、真空中、アルゴンまたは窒素雰囲気中、または減圧下でのアルゴンまたは窒素のパ−シャル圧気流中を採用することができる。なかでも真空雰囲気中または減圧下でのArガスのパ−シャル圧気流中が好ましい。真空圧は1〜100Pa、パ−シャル圧は10〜1000Paとすることが好ましい。脱脂温度は、800〜1200℃が好ましい。
プリフォ−ムにSiを含浸させる方法としては、例えば、融点以上の温度に加熱され溶融したSiをプリフォームと接触させる方法を採用することができる。溶融したSiとプリフォーム中の炭素が反応してSiCを生成する。SiC/Si複合材料のSiC充填率は複合則によりかさ密度から求めることができる。
含侵工程の雰囲気は、非酸化雰囲気が好ましく、真空中、アルゴン、または窒素雰囲気を採用することができる。なかでも真空またはアルゴン雰囲気中が望ましい。真空雰囲気の場合圧力は1〜100Paが好ましい。
含侵温度は、1450〜1600℃とすることができる。このような範囲であれば、珪素が十分に溶融するので含侵が進行し、また珪素の揮発による不良も生じ難い。
以下、本発明の試験例を具体的に挙げ、本発明をより詳細に説明する。
市販のSiC粉末とフェノ−ル樹脂(脱脂後の不揮発分50%)とを混合して原料粉末を作製した。原料粉末を金型に充填して熱プレス成形(150℃−3hr、2MPa)し、多孔質SiC成形体を得た。熱プレス成形は、上記圧力でプレスを加えた後に、またはプレスを加えながら加熱した。
得られた多孔質SiC成形体を、減圧下でのArガスのパ−シャル圧気流中(100Pa)、1000℃で脱脂してプリフォ−ムを作製した。次に得られたプリフォ−ムとSiとを10Paの真空雰囲気中で1500℃の温度で3時間保持し、Siを含侵させることによりSiC/Si複合材料を得た。
表1に作製した多孔質SiC成形体及びSiC/Si複合材料の評価結果を示す。メタルベインの有無は目視観察によって評価した。
試験No.1は、多孔質SiC成形体の開気孔率が低かったため、ガス抜け不良により成形時に割れが発生し、得られたSiC/Si複合材料中にも亀裂状のメタルベインが認められた。試験No.2〜4、7〜9は本発明の範囲内であったため、欠陥は発生せず緻密質でSiC充填率が75%以上のSiC/Si複合材料が得られた。試験No.5は、バインダー成分が少なく、多孔質SiC成形体の開気孔率が高かったため脱脂後のプリフォーム強度が不十分でありハンドリングできなかった。試験No.6は多孔質SiC成形体の細孔径分布が本発明の範囲外であったため、多孔質SiC成形体を脱脂する過程でガス抜け不良により割れが発生し、得られたSiC/Si複合材料中にも亀裂状のメタルベインが認められた。No.10は多孔質SiC成形体の閉気孔率が本発明の範囲外であったため、多孔質SiC成形体を脱脂する過程でガス抜け不良により割れが発生し、得られたSiC/Si複合材料中にも層状のメタルベインが認められた。

Claims (5)

  1. SiC粉末と、該SiC粉末間を相互に結合する熱硬化性樹脂とからなる三次元骨格構造を備え、開気孔率が2〜25%である多孔質SiC成形体。
  2. 細孔径1〜30μmの細孔が全細孔の70%以上である請求項1記載の多孔質SiC成形体。
  3. 閉気孔率が5%以下である請求項1または2記載の多孔質SiC成形体。
  4. 請求項1〜3記載の多孔質SiC成形体を非酸化雰囲気中で脱脂して得られたプリフォ−ムに、Siを浸透させてなるSiC/Si複合材料。
  5. SiC粉末及び熱硬化性樹脂を含む混合物を熱プレス成形して、開気孔率2〜25%の多孔質SiC成形体を得る成形工程と、前記多孔質SiC成形体を所定雰囲気で脱脂してプリフォームを得る脱脂工程と、前記プリフォームに、Siを浸透させる浸透工程と、を含むSiC/Si複合材料の製造方法。
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