JPS63222086A - SiC焼結体 - Google Patents

SiC焼結体

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Publication number
JPS63222086A
JPS63222086A JP62054578A JP5457887A JPS63222086A JP S63222086 A JPS63222086 A JP S63222086A JP 62054578 A JP62054578 A JP 62054578A JP 5457887 A JP5457887 A JP 5457887A JP S63222086 A JPS63222086 A JP S63222086A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sintered body
sic
sic sintered
pore radius
voids
Prior art date
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Pending
Application number
JP62054578A
Other languages
English (en)
Inventor
野沢 辰雄
棚田 良信
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Coorstek KK
Original Assignee
Toshiba Ceramics Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Ceramics Co Ltd filed Critical Toshiba Ceramics Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、Si含浸型のSiC焼結体に関する。
(従来の技術) 従来のSi含浸型のSiC焼結体は、一般に、SiC粗
粒とSiC微粒とにバインダーを添加し、これらを混合
した後、これらのSiC粒子とバインダーの混合体を成
形、焼結し、この焼結体にSiを含浸することによって
形成されている。
(発明が解決しようとする問題点) 第1図に示すように従来のSiC焼結体は、SiC布は
0.02〜6.0声の範囲に分布しており、平均気孔半
径は1−以下にある。このような平均気孔半径が小さい
SiC焼結体にSiを含浸した場合、SiがSiC焼結
体の内部まで充分に含浸されないためにSiC焼結体の
内部に空隙が生じる。なお、従来のSiC焼結体の光学
類m鏡組織は第2図に示され、第2図中、黒色部が空隙
である。
一般に、セラミックスのにうなぜい性材料は、空隙や欠
陥のような材料中の最も弱い箇所が存在すると、その部
分から破壊が生じる。従って、Siが含浸されたSiC
焼結体中に存在する空隙は強度低下の大きな原因となる
。また、SiC焼結体を1.000℃以上の高温のもと
に使用する場合には、−2= 前述のような空隙が存在りると、SiC焼結体の内部ま
で酸化が生じるため、その部分が破壊の原因となり得る
(問題点を解決するための手段) 本発明の目的は、Siが含浸されるSiC焼結体におい
てSi含浸を容易に行ない得、空隙が少なく高強度であ
って高信頼性のSiC焼結体を得ることにある。
本発明の前記目的は、次の構成によって達成される。す
なわち、水銀ポロシメータにより測定した平均気孔半径
が5〜50IJMの範囲にあり、気孔半径分布が1〜1
00加の範囲であるSiC焼結体材料にSiを含浸させ
たSiC焼結体である。
(作用) 本発明のSiC焼結体は、例えばフェノール樹脂のよう
に熱硬化性があって比較的炭化度が高い樹脂100重量
部からなるバインダーに対して、例えばPV八、メチル
セルロース等のように熱分解性の樹脂1〜30重量部を
混合することにより、製造づることができる。また、S
iC粗粒とSiC微粒どの配合割合を適切に選択するこ
とにより、製造することができる。さらに、SiC粒子
とバインダーの混合体の焼結時の温度、雰囲気及び圧力
等を適切に選択することにより製造することができる。
本発明のSiC焼結体は、第3図に示すように、Si微
粒が偏在しており、気孔半径分布が1〜10〇−の範囲
にあるので、気孔の中に81が良好に注入される。気孔
半径が1柳以下では、Si含浸の際、Siの通路が確保
されず、SiC焼結体内部に空隙が多数列るので適当で
なく、気孔半径が100柳を越える大きな気孔の場合に
は、Slの含浸自体は比較的容易に行なわれるが、Si
の含浸後SiC焼結体の温度が81の融点よりも下がり
、Siが液体から固体へと相転移する際にSiの密度が
下がるために体積密度を生じ、Siの吹出し、欠落が多
くなり、SiC焼結体の強度低下を招くため適当でない
また、SiC焼結体内部に空隙を残さず、Siの吹出し
、欠落をなくし、SiC焼結体の強度を上げるためには
、前記理由により、気孔半径の分布は1〜100μsの
範囲ででざるだ(プ広い分布であるのが好ましい。
本発明のSiC焼結体は、平均気孔半径が5〜50−の
範囲にある。平均気孔半径が5−以下、すなわち気孔が
小さい方に多く分布している場合には、Slの含浸が前
述と同様の理由で困難であるので適当でなく、平均気孔
径が50μs以上、すなわち気孔が大きい方に多く分布
している場合には、前1本と同様な理由でSiの含浸が
困ガであるので適当でない。
本発明のSiC焼結体の光学顕微鏡による微組織観察(
第4図)によれば、SiCに囲まれたSiの占める面積
の平均値は50JIM2以上であり、Si含浸後の11
織中の空隙は全く認められなく、欠陥が少なく高強度で
あって信頼性の高いSiC焼結体が1qられた。
(具体例) 60メツシユ、220メツシユ、 1oooメツシユ。
3000メツシユのSiC粒子をそれぞれ10.5%、
 32.5%、 36.5%、 20.5%の割合でi
oo重量部配合し、これにフェノールレジン(固形)1
51ifi部、メチルセルロース3重量部、アセトン6
0重量部をボッ]−ミル中で20時間混合し、これを乾
燥した後、SiC焼結体月利としての金型(7X 6X
60)を成形した。この成形体を温度調節器付乾燥器で
25°C/時間の昇温速度で150℃まで徐々に昇温し
、150℃に2時間保持した。これをN2流15β/分
において、1,750’Cまで電気炉中で焼結した。
この焼結体の水銀ポロシメーターによる気孔半径の分布
は3〜55珈であり、平均気孔半径は15μs度存在す
るかを表わした累積分布曲線である。
この焼結体をSi粒子中に埋めて、石英ガラス製の容器
中、N2流15β/分、1,700℃で1時間焼結して
Siを含浸したところ、得られたSi含浸SiC焼結体
の微組織中には空隙がほとんど認められなかった。曲げ
強さく3点曲げ法)等の結果は表1の通りである。
従来の方法で作ったSiC焼結体、すなわち気孔半径の
分布が0.06−2.OuM(第5図)、平均気孔半径
08IlIRのSiC焼結体について前述と同様に81
を含浸した物の曲げ強さ等の結果は表1の通りである。
表1から明らかなように、曲げ強さの平均値で(発明の
効果) 本発明のSiC焼結体によれば、欠陥が少なく高強度で
あって信頼性の高いSiC焼結体h< isられる。
【図面の簡単な説明】
来のSiC焼結体と本発明のSiC焼結体の気孔半(¥
−比体積の比較グラフである。 第1図 第3図 図面の浄書(内−、=に変更なし) 第2図 第4因 手続ネ市正書(方式) 1.事件の表示   昭和62年特許願第54578号
2、発明の名称   SiC焼結体 3、補正をする者 事件との関係  特許出願人

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  水銀ポロシメータにより測定した平均気孔半径が5〜
    50μmの範囲にあり、気孔半径分布が1〜100μm
    の範囲であるSiC焼結体材料にSiを含浸させたSi
    C焼結体。
JP62054578A 1987-03-10 1987-03-10 SiC焼結体 Pending JPS63222086A (ja)

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JP62054578A JPS63222086A (ja) 1987-03-10 1987-03-10 SiC焼結体

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