JPS63222086A - SiC焼結体 - Google Patents
SiC焼結体Info
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- JPS63222086A JPS63222086A JP62054578A JP5457887A JPS63222086A JP S63222086 A JPS63222086 A JP S63222086A JP 62054578 A JP62054578 A JP 62054578A JP 5457887 A JP5457887 A JP 5457887A JP S63222086 A JPS63222086 A JP S63222086A
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- sintered body
- sic
- sic sintered
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- voids
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 19
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000005470 impregnation Methods 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 4
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- 229920000609 methyl cellulose Polymers 0.000 description 2
- 239000001923 methylcellulose Substances 0.000 description 2
- 235000010981 methylcellulose Nutrition 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 238000003763 carbonization Methods 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011362 coarse particle Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000013001 point bending Methods 0.000 description 1
- 239000011856 silicon-based particle Substances 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、Si含浸型のSiC焼結体に関する。
(従来の技術)
従来のSi含浸型のSiC焼結体は、一般に、SiC粗
粒とSiC微粒とにバインダーを添加し、これらを混合
した後、これらのSiC粒子とバインダーの混合体を成
形、焼結し、この焼結体にSiを含浸することによって
形成されている。
粒とSiC微粒とにバインダーを添加し、これらを混合
した後、これらのSiC粒子とバインダーの混合体を成
形、焼結し、この焼結体にSiを含浸することによって
形成されている。
(発明が解決しようとする問題点)
第1図に示すように従来のSiC焼結体は、SiC布は
0.02〜6.0声の範囲に分布しており、平均気孔半
径は1−以下にある。このような平均気孔半径が小さい
SiC焼結体にSiを含浸した場合、SiがSiC焼結
体の内部まで充分に含浸されないためにSiC焼結体の
内部に空隙が生じる。なお、従来のSiC焼結体の光学
類m鏡組織は第2図に示され、第2図中、黒色部が空隙
である。
0.02〜6.0声の範囲に分布しており、平均気孔半
径は1−以下にある。このような平均気孔半径が小さい
SiC焼結体にSiを含浸した場合、SiがSiC焼結
体の内部まで充分に含浸されないためにSiC焼結体の
内部に空隙が生じる。なお、従来のSiC焼結体の光学
類m鏡組織は第2図に示され、第2図中、黒色部が空隙
である。
一般に、セラミックスのにうなぜい性材料は、空隙や欠
陥のような材料中の最も弱い箇所が存在すると、その部
分から破壊が生じる。従って、Siが含浸されたSiC
焼結体中に存在する空隙は強度低下の大きな原因となる
。また、SiC焼結体を1.000℃以上の高温のもと
に使用する場合には、−2= 前述のような空隙が存在りると、SiC焼結体の内部ま
で酸化が生じるため、その部分が破壊の原因となり得る
。
陥のような材料中の最も弱い箇所が存在すると、その部
分から破壊が生じる。従って、Siが含浸されたSiC
焼結体中に存在する空隙は強度低下の大きな原因となる
。また、SiC焼結体を1.000℃以上の高温のもと
に使用する場合には、−2= 前述のような空隙が存在りると、SiC焼結体の内部ま
で酸化が生じるため、その部分が破壊の原因となり得る
。
(問題点を解決するための手段)
本発明の目的は、Siが含浸されるSiC焼結体におい
てSi含浸を容易に行ない得、空隙が少なく高強度であ
って高信頼性のSiC焼結体を得ることにある。
てSi含浸を容易に行ない得、空隙が少なく高強度であ
って高信頼性のSiC焼結体を得ることにある。
本発明の前記目的は、次の構成によって達成される。す
なわち、水銀ポロシメータにより測定した平均気孔半径
が5〜50IJMの範囲にあり、気孔半径分布が1〜1
00加の範囲であるSiC焼結体材料にSiを含浸させ
たSiC焼結体である。
なわち、水銀ポロシメータにより測定した平均気孔半径
が5〜50IJMの範囲にあり、気孔半径分布が1〜1
00加の範囲であるSiC焼結体材料にSiを含浸させ
たSiC焼結体である。
(作用)
本発明のSiC焼結体は、例えばフェノール樹脂のよう
に熱硬化性があって比較的炭化度が高い樹脂100重量
部からなるバインダーに対して、例えばPV八、メチル
セルロース等のように熱分解性の樹脂1〜30重量部を
混合することにより、製造づることができる。また、S
iC粗粒とSiC微粒どの配合割合を適切に選択するこ
とにより、製造することができる。さらに、SiC粒子
とバインダーの混合体の焼結時の温度、雰囲気及び圧力
等を適切に選択することにより製造することができる。
に熱硬化性があって比較的炭化度が高い樹脂100重量
部からなるバインダーに対して、例えばPV八、メチル
セルロース等のように熱分解性の樹脂1〜30重量部を
混合することにより、製造づることができる。また、S
iC粗粒とSiC微粒どの配合割合を適切に選択するこ
とにより、製造することができる。さらに、SiC粒子
とバインダーの混合体の焼結時の温度、雰囲気及び圧力
等を適切に選択することにより製造することができる。
本発明のSiC焼結体は、第3図に示すように、Si微
粒が偏在しており、気孔半径分布が1〜10〇−の範囲
にあるので、気孔の中に81が良好に注入される。気孔
半径が1柳以下では、Si含浸の際、Siの通路が確保
されず、SiC焼結体内部に空隙が多数列るので適当で
なく、気孔半径が100柳を越える大きな気孔の場合に
は、Slの含浸自体は比較的容易に行なわれるが、Si
の含浸後SiC焼結体の温度が81の融点よりも下がり
、Siが液体から固体へと相転移する際にSiの密度が
下がるために体積密度を生じ、Siの吹出し、欠落が多
くなり、SiC焼結体の強度低下を招くため適当でない
。
粒が偏在しており、気孔半径分布が1〜10〇−の範囲
にあるので、気孔の中に81が良好に注入される。気孔
半径が1柳以下では、Si含浸の際、Siの通路が確保
されず、SiC焼結体内部に空隙が多数列るので適当で
なく、気孔半径が100柳を越える大きな気孔の場合に
は、Slの含浸自体は比較的容易に行なわれるが、Si
の含浸後SiC焼結体の温度が81の融点よりも下がり
、Siが液体から固体へと相転移する際にSiの密度が
下がるために体積密度を生じ、Siの吹出し、欠落が多
くなり、SiC焼結体の強度低下を招くため適当でない
。
また、SiC焼結体内部に空隙を残さず、Siの吹出し
、欠落をなくし、SiC焼結体の強度を上げるためには
、前記理由により、気孔半径の分布は1〜100μsの
範囲ででざるだ(プ広い分布であるのが好ましい。
、欠落をなくし、SiC焼結体の強度を上げるためには
、前記理由により、気孔半径の分布は1〜100μsの
範囲ででざるだ(プ広い分布であるのが好ましい。
本発明のSiC焼結体は、平均気孔半径が5〜50−の
範囲にある。平均気孔半径が5−以下、すなわち気孔が
小さい方に多く分布している場合には、Slの含浸が前
述と同様の理由で困難であるので適当でなく、平均気孔
径が50μs以上、すなわち気孔が大きい方に多く分布
している場合には、前1本と同様な理由でSiの含浸が
困ガであるので適当でない。
範囲にある。平均気孔半径が5−以下、すなわち気孔が
小さい方に多く分布している場合には、Slの含浸が前
述と同様の理由で困難であるので適当でなく、平均気孔
径が50μs以上、すなわち気孔が大きい方に多く分布
している場合には、前1本と同様な理由でSiの含浸が
困ガであるので適当でない。
本発明のSiC焼結体の光学顕微鏡による微組織観察(
第4図)によれば、SiCに囲まれたSiの占める面積
の平均値は50JIM2以上であり、Si含浸後の11
織中の空隙は全く認められなく、欠陥が少なく高強度で
あって信頼性の高いSiC焼結体が1qられた。
第4図)によれば、SiCに囲まれたSiの占める面積
の平均値は50JIM2以上であり、Si含浸後の11
織中の空隙は全く認められなく、欠陥が少なく高強度で
あって信頼性の高いSiC焼結体が1qられた。
(具体例)
60メツシユ、220メツシユ、 1oooメツシユ。
3000メツシユのSiC粒子をそれぞれ10.5%、
32.5%、 36.5%、 20.5%の割合でi
oo重量部配合し、これにフェノールレジン(固形)1
51ifi部、メチルセルロース3重量部、アセトン6
0重量部をボッ]−ミル中で20時間混合し、これを乾
燥した後、SiC焼結体月利としての金型(7X 6X
60)を成形した。この成形体を温度調節器付乾燥器で
25°C/時間の昇温速度で150℃まで徐々に昇温し
、150℃に2時間保持した。これをN2流15β/分
において、1,750’Cまで電気炉中で焼結した。
32.5%、 36.5%、 20.5%の割合でi
oo重量部配合し、これにフェノールレジン(固形)1
51ifi部、メチルセルロース3重量部、アセトン6
0重量部をボッ]−ミル中で20時間混合し、これを乾
燥した後、SiC焼結体月利としての金型(7X 6X
60)を成形した。この成形体を温度調節器付乾燥器で
25°C/時間の昇温速度で150℃まで徐々に昇温し
、150℃に2時間保持した。これをN2流15β/分
において、1,750’Cまで電気炉中で焼結した。
この焼結体の水銀ポロシメーターによる気孔半径の分布
は3〜55珈であり、平均気孔半径は15μs度存在す
るかを表わした累積分布曲線である。
は3〜55珈であり、平均気孔半径は15μs度存在す
るかを表わした累積分布曲線である。
この焼結体をSi粒子中に埋めて、石英ガラス製の容器
中、N2流15β/分、1,700℃で1時間焼結して
Siを含浸したところ、得られたSi含浸SiC焼結体
の微組織中には空隙がほとんど認められなかった。曲げ
強さく3点曲げ法)等の結果は表1の通りである。
中、N2流15β/分、1,700℃で1時間焼結して
Siを含浸したところ、得られたSi含浸SiC焼結体
の微組織中には空隙がほとんど認められなかった。曲げ
強さく3点曲げ法)等の結果は表1の通りである。
従来の方法で作ったSiC焼結体、すなわち気孔半径の
分布が0.06−2.OuM(第5図)、平均気孔半径
08IlIRのSiC焼結体について前述と同様に81
を含浸した物の曲げ強さ等の結果は表1の通りである。
分布が0.06−2.OuM(第5図)、平均気孔半径
08IlIRのSiC焼結体について前述と同様に81
を含浸した物の曲げ強さ等の結果は表1の通りである。
表1から明らかなように、曲げ強さの平均値で(発明の
効果) 本発明のSiC焼結体によれば、欠陥が少なく高強度で
あって信頼性の高いSiC焼結体h< isられる。
効果) 本発明のSiC焼結体によれば、欠陥が少なく高強度で
あって信頼性の高いSiC焼結体h< isられる。
来のSiC焼結体と本発明のSiC焼結体の気孔半(¥
−比体積の比較グラフである。 第1図 第3図 図面の浄書(内−、=に変更なし) 第2図 第4因 手続ネ市正書(方式) 1.事件の表示 昭和62年特許願第54578号
2、発明の名称 SiC焼結体 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人
−比体積の比較グラフである。 第1図 第3図 図面の浄書(内−、=に変更なし) 第2図 第4因 手続ネ市正書(方式) 1.事件の表示 昭和62年特許願第54578号
2、発明の名称 SiC焼結体 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人
Claims (1)
- 水銀ポロシメータにより測定した平均気孔半径が5〜
50μmの範囲にあり、気孔半径分布が1〜100μm
の範囲であるSiC焼結体材料にSiを含浸させたSi
C焼結体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62054578A JPS63222086A (ja) | 1987-03-10 | 1987-03-10 | SiC焼結体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62054578A JPS63222086A (ja) | 1987-03-10 | 1987-03-10 | SiC焼結体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63222086A true JPS63222086A (ja) | 1988-09-14 |
Family
ID=12974581
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62054578A Pending JPS63222086A (ja) | 1987-03-10 | 1987-03-10 | SiC焼結体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63222086A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04224169A (ja) * | 1990-12-26 | 1992-08-13 | Ngk Insulators Ltd | SiC質耐火物 |
EP0781739A1 (en) * | 1995-12-26 | 1997-07-02 | Asahi Glass Company Ltd. | Jig for heat treatment and process for fabricating the jig |
JP2010222153A (ja) * | 2009-03-19 | 2010-10-07 | Taiheiyo Cement Corp | 炭化珪素質焼結体及びその製造方法 |
JP2011073906A (ja) * | 2009-09-29 | 2011-04-14 | Taiheiyo Cement Corp | 多孔質SiC成形体、SiC/Si複合材料及びその製造方法 |
JP2011136845A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-07-14 | Taiheiyo Cement Corp | プリフォーム及び金属−セラミックス複合材料 |
-
1987
- 1987-03-10 JP JP62054578A patent/JPS63222086A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04224169A (ja) * | 1990-12-26 | 1992-08-13 | Ngk Insulators Ltd | SiC質耐火物 |
EP0781739A1 (en) * | 1995-12-26 | 1997-07-02 | Asahi Glass Company Ltd. | Jig for heat treatment and process for fabricating the jig |
KR100427118B1 (ko) * | 1995-12-26 | 2004-07-27 | 도카이 카본 가부시키가이샤 | 열처리용지그및그제조방법 |
JP2010222153A (ja) * | 2009-03-19 | 2010-10-07 | Taiheiyo Cement Corp | 炭化珪素質焼結体及びその製造方法 |
JP2011073906A (ja) * | 2009-09-29 | 2011-04-14 | Taiheiyo Cement Corp | 多孔質SiC成形体、SiC/Si複合材料及びその製造方法 |
JP2011136845A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-07-14 | Taiheiyo Cement Corp | プリフォーム及び金属−セラミックス複合材料 |
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