JP2011069818A - X線撮像装置に用いる格子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 X線撮像装置に用いる格子の製造方法において、周期的に配列された複数の突条部を有する格子を用意する工程と、前記格子を前記複数の突条部が配列された方向に湾曲させる湾曲工程と、前記格子を湾曲させた状態で、前記突条部間に金属を充填する金属充填工程とを有することを特徴とするX線撮像装置に用いる格子の製造方法。
【選択図】 図1
Description
(1)格子を用意する工程
本工程では、周期的に配列された複数の突条部を有する格子を用意する。
(2)湾曲工程
本工程では、(1)で用意した格子を複数の突条部が配列された方向に湾曲させる。
(3)金属充填工程
本工程では、(2)で得た湾曲させた状態の格子の突条部間に金属を充填させる。
充填させる方法として、めっき、CVD(Chemical Vapor Deposition)法、スパッタリング法などが挙げられる。めっきにより金属を充填させる場合、(1)の工程で用意する複数の突条部を有する格子は、突条部の下部に、めっき成長の起点となるシード層を有するものである。この格子のシード層のうち突条部が形成されていない領域、即ちシード層が露出した面を起点としてめっきをすることにより、前記突条部間に金属を充填する。
本発明に係る実施形態の一例について図1を用いて説明する。
まず、基板101の一方の面にめっき成長の起点となるシード層102を形成する(図1(a))。次に基板101を加工して、シード層102の面上に複数の突条部が周期的に配列された格子パターンを形成し、シード層102と突条部104を有する格子106を形成する。
次に、作製した格子106を複数の突条部が配列された方向に湾曲させる(図1(e))。
シード層102の突条部が形成されていない領域(図1(f)の109)を起点にめっきして、突条部間(開口部105)に金属を充填する(図1(f)の110)。金属が充填されているので、湾曲状態を支持するための機構を必要とすることなく、所望の曲率を安定的に保持することができる。
本発明に係る実施形態の別の例について図2を用いて説明する。
まず、基板101の表面に、ハードマスク層103を形成する(図2(a))。ハードマスク層103の材料は基板の種類に応じて適宜選択することができるが、基板101がSiである場合、SiO2などの酸化シリコン、SiN、Cr、Alなど、Siをエッチングする際にマスクとして機能するものの中から選択することが好ましい。
実施形態1と同様の手法を用いることができる。
実施形態1と同様の手法を用いることができる。
また、実施形態1において記載した(1)(2)(3)以外の工程を有していてもよい。
102 シード層
103 マスク層
104 突条部
105 開口部
106 格子
107 型
Claims (9)
- X線撮像装置に用いる格子の製造方法において、
周期的に配列された複数の突条部を有する格子を用意する工程と、
前記格子を前記複数の突条部が配列された方向に湾曲させる湾曲工程と、
前記格子を湾曲させた状態で、前記突条部間に金属を充填する金属充填工程とを有することを特徴とするX線撮像装置に用いる格子の製造方法。 - 前記複数の突条部を有する格子は、前記突条部の下部に、めっき成長の起点となるシード層を有し、
前記金属充填工程は、前記シード層の前記突条部が形成されていない領域を起点として、めっきにより前記突条部間に金属を充填することを特徴とする請求項1に記載のX線撮像装置に用いる格子の製造方法。 - 前記シード層と前記突条部との間にTi、Cr、TiNのいずれかの層を設ける工程を有することを特徴とする請求項2に記載のX線撮像装置に用いる格子の製造方法。
- 前記湾曲工程は、
前記複数の突条部を有する格子を前記突条部が形成されている方向に突出させて湾曲させることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のX線撮像装置に用いる格子の製造方法。 - 前記湾曲工程は、
X線の放射角に応じた曲率半径を有する型を、前記シード層の裏面に押し当てて形状を保持する工程であることを特徴とする請求項2乃至4のいずれかに記載のX線撮像装置に用いる格子の製造方法。 - 前記金属充填工程の後に、前記シード層に固定した前記型を除去する工程を有することを特徴とする請求項5に記載のX線撮像装置に用いる格子の製造方法。
- 前記突条部間に充填された金属が、Au、Bi、Ni、Pb、Ptのいずれか、又はこれら金属のうち2種類以上を含む合金であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載のX線撮像装置に用いる格子の製造方法。
- 前記格子を用意する工程の後、かつ、前記湾曲工程の前に、
前記シード層の面のうち、前記突条部が形成されている方の面の反対側の面に補強層を形成する工程を有することを特徴とする請求項2乃至7のいずれかに記載のX線撮像装置に用いる格子の製造方法。 - 請求項1乃至8のいずれかの製造方法によって製造されるX線撮像装置に用いる格子は、タルボ干渉を利用したX線撮像装置で用いる吸収格子または位相格子であることを特徴とするX線撮像装置に用いる格子の製造方法。
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