JP2011065868A - 有機elデバイス製造装置及び成膜装置並びに液晶表示基板製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、前記基板を立てた姿勢に保持する基板保持手段と、前記シャドウマスクを保持するアライメントベースと、前記アライメントベースを垂下した姿勢に保持するアライメントベース垂下手段と、前記アライメントベースの垂下された垂下平面での前記アライメントベース回転の動きに追随する送り手段を有するアライメントベース支持手段と、前記基板とシャドウマスクに設けられたアライメントマークを撮像するアライメント光学手段と、前記垂下姿勢の状態で前記アライメントベースを駆動するアライメント駆動手段と、前記アライメント光学手段の結果に基づいて前記アライメント駆動手段を制御する制御手段とを有することを特徴とする。
【選択図】図3
Description
さらに、上記目的を達成するために、第2の特徴に加え、前記機能的とは接続された状態であり、前記送り手段は前記アライメントベースの周辺部を移動し、前記伸縮手段は前記真空チャンバの内壁又は前記真空チャンバ内に設けられた構造物に設けられたことを第3の特徴とする。
図1における処理チャンバ1の構成は処理内容によって異なるが、真空で発光材料を蒸着しEL層を形成する真空蒸着チャンバ1buを例にとって説明する。
本実施形態では、アライメント時は、基板6を固定し、シャドウマスク81を移動させ、基板6の必要な部分に蒸着させることができるように位置合せをする。
アライメント部8は、シャドウマスク81、シャドウマスク81を固定するアライメントベース82、アライメントベース82を保持し、アライメントベース82即ちシャドウマスク81のXZ平面での姿勢を規定するアライメント駆動部83、アライメントベース82を下から支持し、アライメント駆動部83と協調してシャドウマスク81の姿勢を規定するアライメントベース支持部84、基板6と前記シャドウマスク81に設けられた後述するアライメントマークを検出するアライメント光学系85、アライメントマークの映像を処理しアライメント量を求めアライメント駆動部83を制御する制御装置60からなる。
本実施例においても、第1の実施例同様に、アライメントベース82を滑らかに支えることができる。
本実施例は、アライメントベース支持部84が右駆動部83RのX駆動部83Xの多少負荷になるが、第1、第2の実施例同様に、アライメントベース82を滑らかに支えることができる。
また、バランスシリンダ84のバランス力の発生源としては、エア、圧縮バネ等を用いることができる。さらに、ローラの代わりに、シリンダロッド84の先端に球状のものを埋め込んだり、その先端の摩擦力を低減する材料をコーテングし、その先端をアライメントベース82上を摺動させたりしてもよい。
なお、撮像カメラ収納筒85t、アーム85a等は、基板が垂直姿勢になるときの軌道Kの邪魔にならないように破線で示すアーム85a位置までベローズ85v等により移動できるようになっている。
また、上記実施形態では、アライメント時に光源側反射ミラー85kmが蒸着領域を遮断するので遮蔽型アームを移動させたが、遮断しない場合は、遮蔽型アームを固定にすることができる。
上記実施形態では、撮像カメラ側反射ミラーを真空中に設けたが、撮像カメラ収納筒85を長くし、前記ミラーを内蔵してもよい。
上記実施形態では、6つのアライメント光学形を用いたが、アライメントの要求精度によっては、粗アライメント光学系を設ける必要がなく、さらに、精密アライメント光学系においても4つも必要がなく、粗・精密含めて最低2つあればよい。
最後に、本機構を用いた真空蒸着チャンバにおける処理動作をアライメント動作を主体に説明する。
2:搬送チャンバ 3:ロードクラスタ
6:基板 6m:基板のアライメントマーク
7:蒸着部 8:アライメント部
9:処理受渡部 60:制御装置
71:蒸発源 81:シャドウマスク
81a、81b:回転支持部 81m:シャドウマスクのアライメントマーク
82:アライメントベース 83:アライメント駆動部
83Z:Z軸駆動部 83X:X軸駆動部
84:アライメントベース支持部 84d:バランスシリンダ
84r:ローラ 85:アライメント光学系
85c:撮像カメラ 85k:光源
100:有機ELデバイスの製造装置 A〜D:クラスタ。
Claims (17)
- 真空チャンバ内で基板とシャドウマスクとのアライメントを行い、蒸発源内の蒸着材料を基板に蒸着する真空蒸着チャンバを有する有機ELデバイス製造装置において、
前記基板を立てた姿勢に保持する基板保持手段と、前記シャドウマスクを保持するアライメントベースと、前記アライメントベースを垂下した姿勢に保持するアライメントベース垂下手段と、前記アライメントベースの垂下された垂下平面での前記アライメントベース回転の動きに追随する送り手段を有するアライメントベース支持手段と、前記基板とシャドウマスクに設けられたアライメントマークを撮像するアライメント光学手段と、前記垂下姿勢の状態で前記アライメントベースを駆動するアライメント駆動手段と、前記アライメント光学手段の結果に基づいて前記アライメント駆動手段を制御する制御手段とを有することを特徴とする有機ELデバイス製造装置。 - 前記アライメントベース支持手段は、前記垂下平面での一定方向の動きを吸収し、前記送り手段と機能的に連結された伸縮手段を有することを特徴とする請求項1に記載の有機ELデバイス製造装置。
- 前記機能的とは接続された状態であり、前記送り手段は前記アライメントベースの周辺部を移動し、前記伸縮手段は前記真空チャンバの内壁又は前記真空チャンバ内に設けられた構造物に設けられたことを特徴とする請求項2に記載の有機ELデバイス製造装置。
- 前記機能的とは接続された状態であり、前記送り手段は前記真空チャンバの内壁又は前記真空チャンバ内に設けられた構造物上を移動し、前記伸縮手段は前記アライメントベースの周辺部に設けられたことを特徴とする請求項2に記載の有機ELデバイス製造装置。
- 前記機能的とは前記送り手段が前記伸縮手段の一端に設けられた面部を移動する状態であり、送り手段及び前記伸縮手段の他端の一方が前記アライメントベースの周辺部に設けられ、他方が前記真空チャンバの内壁又は前記真空チャンバ内に設けられた構造物上に設けられたことを特徴とする請求項2に記載の有機ELデバイス製造装置。
- 前記一定方向は垂下方向であり、前記アライメントベース支持手段は前記アライメントベースの下側に設けられたことを特徴とする請求項3乃至5のいずれかに記載の有機ELデバイス製造装置。
- 前記一定方向は前記垂下平面において垂下方向と垂直であり、前記アライメントベース支持手段は前記アライメントベースの側部側に設けられたことを特徴とする請求項3乃至5のいずれかに記載の有機ELデバイス製造装置。
- 前記アライメントベース支持手段は、前記アライメントベースの下部側前後を挟むように送り手段を少なくとも1対有することを特徴とする請求項1に記載の有機ELデバイス製造装置。
- 前記送り手段は前記送りを回転移動で行なうローラを有していることを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の有機ELデバイス製造装置。
- 前記送り手段は前記送りを摺動移動で行なう摺動部を有していることを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の有機ELデバイス製造装置。
- 前記伸縮手段はバランスシリンダを有していることを特徴とする請求項2乃至8のいずれかに記載の有機ELデバイス製造装置。
- 前記バランスシリンダを前記真空チャンバの外に設置し、前記バランスシリンダのシリンダロットは真空シール手段とベローズを介して前記送り手段に接続されていることを特徴とする請求項11に記載の有機ELデバイス製造装置。
- 前記シャドウマスク垂下手段は前記アライメントベースを回転可能に支持する複数(2ヶ所以上)の回転支持部を前記アライメントベースの上部側に有し、前記アライメント駆動手段は前記複数の回転支持部のうち少なくとも2ヶ所を独立に前記アライメントベースの垂下方向に駆動する垂下方向駆動手段と、前記複数のうち1ヶ所を前記アライメントベースの垂下された垂下平面で垂下方向と垂直な方向に駆動する垂直駆動手段とを有することを特徴とする請求項1に記載の有機ELデバイス製造装置。
- 真空チャンバ内で基板とシャドウマスクとのアライメントを行い、蒸発源内の蒸着材料を基板に蒸着する真空蒸着チャンバを有する成膜装置において、
前記基板を立てた姿勢に保持する基板保持手段と、前記シャドウマスクを保持するアライメントベースと、前記アライメントベースを垂下した姿勢に保持するアライメントベース垂下手段と、前記アライメントベースの垂下された垂下平面での前記アライメントベース回転の動きに追随する送り手段を有するアライメントベース支持手段と、前記基板とシャドウマスクに設けられたアライメントマークを撮像するアライメント光学手段と、前記垂下姿勢の状態で前記アライメントベースを駆動するアライメント駆動手段と、前記アライメント光学手段の結果に基づいて前記アライメント駆動手段を制御する制御手段とを有することを特徴とする成膜装置。 - 前記アライメントベース支持手段は、前記垂下平面での一定方向の動きを吸収し、前記送り手段と機能的に連結された伸縮手段を有することを特徴とする請求項14に記載の成膜装置。
- 基板とシャドウマスクとのアライメントを行い、前記基板に液体を塗布する液晶表示基板製造装置において、
前記基板を立てた姿勢に保持する基板保持手段と、前記シャドウマスクを保持するアライメントベースと、前記アライメントベースを垂下した姿勢に保持するアライメントベース垂下手段と、前記アライメントベースの垂下された垂下平面での前記アライメントベース回転の動きに追随する送り手段を有するアライメントベース支持手段と、前記基板とシャドウマスクに設けられたアライメントマークを撮像するアライメント光学手段と、前記垂下姿勢の状態で前記アライメントベースを駆動するアライメント駆動手段と、前記アライメント光学手段の結果に基づいて前記アライメント駆動手段を制御する制御手段とを有することを特徴とする液晶表示基板製造装置。 - 前記アライメントベース支持手段は、前記垂下平面での一定方向の動きを吸収し、前記送り手段と機能的に連結された伸縮手段を有することを特徴とする請求項16に記載の液晶表示基板製造装置。
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