JP2011065735A - 不揮発性半導体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】不揮発性半導体記憶装置は、複数のビット線BL、複数のビット線BLに交差する複数のワード線WL、並びに複数のビット線BL及びワード線WLの各交差部に配置され、非オーミック素子NOと可変抵抗素子VRとが直列接続された複数のメモリセルMCを有するメモリセルアレイと、複数のメモリセルMCの一つを選択し、この選択されたメモリセルMCのデータ消去のための消去パルスを生成し、この選択されたメモリセルMCに消去パルスを供給する制御回路とを備える。制御回路は、非オーミック素子NOの逆バイアス方向に消去パルスによる電圧を印加することによりデータ消去を実行する。
【選択図】図7
Description
[第1の実施の形態に係る不揮発性半導体記憶装置の構成]
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る不揮発性半導体記憶装置のブロック図である。
図7及び図8を参照して、本実施の形態に係る不揮発性半導体記憶装置のデータ消去動作について説明する。図7は、本実施の形態におけるメモリセルアレイと、データ消去時に制御回路が生成する消去パルスの波形を示す図である。
上述のように、ダイオードの順バイアス方向に消去パルスを印加した場合、可変抵抗素子VRが低抵抗状態から高抵抗状態へと遷移した瞬間に、メモリセルMCに印加されていた電圧は、可変抵抗素子VRに集中する。そのため、可変抵抗素子VRに印加される電圧が書き込みに要する電圧を超え、誤書き込みがなされてしまうおそれがあった。
[第2の実施の形態に係る不揮発性半導体記憶装置の構成]
次に、本発明の第2の実施の形態に係る不揮発性半導体記憶装置について説明する。第2の実施の形態に係る不揮発性半導体記憶装置の構成は、第1の実施の形態と同様であるため、重複する説明を省略する。第2の実施の形態に係る不揮発性半導体記憶装置は、データ消去時に非選択ビット線BL及び非選択ワード線WLの双方に電圧パルスを印加する点において、第1の実施の形態と異なる。
図9及び図10を参照して、本実施の形態に係る不揮発性半導体記憶装置のデータ消去動作について説明する。図9は、本実施の形態におけるメモリセルアレイと、データ消去時に制御回路が生成する消去パルスの波形を示す図である。
本実施の形態の不揮発性半導体記憶装置も、選択セルのダイオードの逆バイアス方向に消去パルスを印加する。これにより、選択セルのダイオードはキャパシタとして機能することになる。本実施の形態においても、選択セルの可変抵抗素子VRが低抵抗状態から高抵抗状態へと遷移した瞬間に、可変抵抗素子VRに印加される電圧の増大が起こらず、誤書き込みが発生しない。このように、本実施の形態の不揮発性半導体記憶装置によれば、データ消去動作時に、誤書き込みの危険性を抑えることができる。
[第3の実施の形態に係る不揮発性半導体記憶装置の構成]
次に、本発明の第3の実施の形態に係る不揮発性半導体記憶装置について説明する。第3の実施の形態に係る不揮発性半導体記憶装置の構成は、第1の実施の形態と同様であるため、重複する説明を省略する。第3の実施の形態に係る不揮発性半導体記憶装置は、データ消去時にビット線BL及びワード線WLに印加する電圧パルスの前端エッジに要する時間が、第1の実施の形態と異なる。
図11及び図12を参照して、本実施の形態に係る不揮発性半導体記憶装置のデータ消去動作について説明する。図11は、本実施の形態におけるメモリセルアレイと、データ消去時に制御回路が生成する消去パルスの波形を示す図である。
本実施の形態の不揮発性半導体記憶装置も、選択セルのダイオードの逆バイアス方向に消去パルスを印加する。これにより、選択セルのダイオードはキャパシタとして機能することになる。本実施の形態においても、選択セルの可変抵抗素子VRが低抵抗状態から高抵抗状態へと遷移した瞬間に、可変抵抗素子VRに印加される電圧の増大が起こらず、誤書き込みが発生しない。このように、本実施の形態の不揮発性半導体記憶装置によれば、データ消去動作時に、誤書き込みの危険性を抑えることができる。
[第4の実施の形態に係る不揮発性半導体記憶装置の構成]
次に、本発明の第4の実施の形態に係る不揮発性半導体記憶装置について説明する。第4の実施の形態に係る不揮発性半導体記憶装置の構成は、第1の実施の形態と同様であるため、重複する説明を省略する。第4の実施の形態に係る不揮発性半導体記憶装置は、第2の実施の形態及び第3の実施の形態に係るデータ消去動作をあわせて実行するものである。
図13及び図14を参照して、本実施の形態に係る不揮発性半導体記憶装置のデータ消去動作について説明する。図13は、本実施の形態におけるメモリセルアレイと、データ消去時に制御回路が生成する消去パルスの波形を示す図である。
本実施の形態の不揮発性半導体記憶装置も、選択セルのダイオードの逆バイアス方向に消去パルスを印加する。これにより、選択セルのダイオードはキャパシタとして機能することになる。本実施の形態においても、選択セルの可変抵抗素子VRが低抵抗状態から高抵抗状態へと遷移した瞬間に、可変抵抗素子VRに印加される電圧の増大が起こらず、誤書き込みが発生しない。このように、本実施の形態の不揮発性半導体記憶装置によれば、データ消去動作時に、誤書き込みの危険性を抑えることができる。
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更、追加、組み合わせ等が可能である。例えば、データ消去時の電圧パルスの前端エッジに要する時間、及び後端エッジに要する時間はどちらが短くともよい。図15に示すように、電圧パルスの前端エッジに要する時間を時間T1として、後端エッジに要する時間を時間T2とした電圧パルスを用いてデータ消去を実行することもできる。この場合、電圧パルスの前端エッジ時にキャパシタとして機能するダイオードの接合容量による充電が生じる。これにより、可変抵抗素子VRに電流が流れ、可変抵抗素子VRに電圧が印加されることになる。また、実施の形態の不揮発性半導体記憶装置は、消去パルスの前端エッジ、及び後端エッジの際のキャパシタの充放電を利用するものであるため、図16に示すように、電圧パルスを複数回連続して印加しても良い。
Claims (5)
- 複数の第1の配線、前記複数の第1の配線に交差する複数の第2の配線、並びに前記複数の第1及び第2の配線の各交差部に配置され、非オーミック素子と可変抵抗素子とが直列接続された複数のメモリセルを有するメモリセルアレイと、
前記複数のメモリセルの一つを選択し、この選択されたメモリセルのデータ消去のための消去パルスを生成し、この選択されたメモリセルに前記消去パルスを供給する制御回路と
を備え、
前記制御回路は、前記非オーミック素子の逆バイアス方向に前記消去パルスによる電圧を印加することによりデータ消去を実行する
ことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 前記第1の配線は、前記非オーミック素子のアノード側に接続され、
前記第2の配線は、前記非オーミック素子のカソード側に接続され、
前記制御回路は、選択された前記第1の配線に負の電圧値の第1の電圧パルスを印加する
ことを特徴とする請求項1記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記制御回路は、
非選択の前記第1の配線及び非選択の前記第2の配線に負の電圧値であり、且つ前記第1の電圧パルスよりも電圧の振幅が小さい第2の電圧パルスを印加する
ことを特徴とする請求項2記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記第1の電圧パルスは、前端エッジに要する時間と後端エッジに要する時間とが異なる
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記第1の電圧パルスの前端エッジに要する時間、又は後端エッジに要する時間は、低抵抗状態の前記可変抵抗素子の抵抗値と前記非オーミック素子の接合容量の値との積よりも小さい
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか記載の不揮発性半導体記憶装置。
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