JP2011060924A - 基板処理装置及び基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板12を保持可能に構成される基板支持部と、前記基板支持部に保持された基板12の周縁の少なくとも一部に設けられるリングプレート70を有し、前記基板支持部に保持された基板12と前記リングプレート70との間に所定の間隔が設けられるように形成される基板保持具26の前記基板支持部に基板12を搬送する基板移載装置と、基板12の位置及び前記リングプレート70の位置を検出可能に構成される検出装置と、前記基板移載装置を制御する制御装置とを有し、基板12の位置及びリングプレート70の位置の少なくとも一方が、正常位置範囲データ外にあると判断した場合には異常と判断する。
【選択図】図13
Description
特許文献1は、フォトセンサから検知された検知波形が正常波形と比較され、少なくとも異常と判断された基板以外の基板を基板移載機にて移載する技術を開示する。
また、判定の際に単純に基本データとの一致・不一致という処理の場合に不一致と判定されてもリングなのかウエハなのか又はどの箇所でどのような状態で不一致となっているのかが解らなかった。
図1及び図2には、本発明の実施形態に係る基板処理装置10が示されている。基板処理装置10は、基板に拡散処理やCVD処理などを行う縦型のものである。この基板処理装置10は、シリコン等からなる基板12を収納したポッド14を、外部から筐体16内へ挿入するための入出ステージ18が筐体16の前面に付設されている。筐体16内には、挿入されたポッド14を保管するためのカセット棚22が設けられている。また、筐体16内には、N2パージ室24が設けられており、このN2パージ室24は、基板12の搬送エリアであり、基板保持具(ボート)26の搬入、搬出空間となっている。N2パージ室24は、基板12の処理を行う場合、N2ガスなどの不活性ガスで充満され、基板12に自然酸化膜が形成されるのを防止するようになっている。
まず、AGVやOHTなどにより筐体16の外部から搬送されたポッド14は、入出ステージ18に載置される。入出ステージ18に載置されたポッド14は、カセット移載機30によって、直接ポッドオープナ28上に搬送されるか、又は一旦カセット棚22にストックされた後にポッドオープナ28上に搬送される。ポッドオープナ28上に搬送されたポッド14は、ポッドオープナ28によってポッド14の蓋体が取外され、ポッド14の内部雰囲気がN2パージ室24の雰囲気と連通される。
ロード後は、処理炉36にて基板12に所定の処理が実施され、処理後は上述の逆の手順で、基板12及びポッド14は筐体16の外部へ払出される。
図3(a)は基板保持具26の平面図、図3(b)は基板保持具26の縦断面図である。また、図4(c)は、図3(a)の支柱とリング状部材との係合部を示す拡大図であり、図4(d)は図3(b)の支柱とリング状部材との係合部を示す拡大図である。
基板保持具26に移載された基板12の保持状態を検知する場合は、アーム62a,62bを基板保持具26側に回動固定し、フォトセンサ64a,64bの光軸が基板12を通過するようにし、基板移載機34を基板保持具26下端から上端まで移動し、フォトセンサ64a,64bの検知出力をモニタする。一方、基板移載機34により基板12を基板保持具26に移載する場合は、アーム62a,62bを反基板保持具側に回動し、アーム62a,62bが基板12又は基板保持具26と干渉するのを防止するようになっている。
本実施形態における検知機構として使用されるウエハセンサは透過型光電センサであり、図5に示すものと同様のものを使用する。また、値出力をアンプ出力とするための機構を備えている。検知機構は、入出力装置80、シーケンサ84、アンプ86及びフォトセンサ64a、64bから構成されている。入出力装置80、シーケンサ84及びアンプ86は、フォトセンサ64a、64bに、例えばダイレクト配線接続LANやWANなどのネットワーク85を介して接続されている。したがって、検知する際、フォトセンサ64a、64bから得られた受光量数値変化はアンプ86によって電圧数値変化に置き換えられ入出力装置80やシーケンサ84に伝えられる。その数値変化の度合いでウエハの状態判断を行い、入出力装置80等に伝えられる。入出力装置80は、基板処理装置10と一体に、又はネットワーク85を介して接続して設けられており、操作画面82を表示する。操作画面82には、ユーザにより所定のデータが入力される入力画面及び装置の状況等を示す表示画面などが表示される。また、入出力装置80には、制御部66が設けられている。
なお、データ取得方式がアナログ方式であってもピーク値を使用せず、ピーク部分の処理及び判定は省いてもよい。
検知環境の例としてフォトセンサ64a、64bを上下に速度一定で移動させる。そのときのウエハからウエハまでの時間的距離が50という値であるとする。1枚目と2枚目のウエハデータを比較する場合に両ウエハが正常であれば、Aからaまでの距離は50である。同様にBからbまでの距離も50である。したがって、A−B=a―bが成り立つ。このように、ウエハの異常・正常の判断を行っていく。デジタルデータの場合、ウエハデータの比較判定をする際、一定のしきい値でのデータ取得は図9(b)のようにONからOFFになった時、OFFからONになった時という2点のデータを1枚分のデータとして設定可能である。アナログデータの場合、デジタルデータのように一定のしきい値を引いた場合での、以上と以下に達した2点という取り方もできるし、データ上の下限値ピークPをとることが可能である。更に複数のしきい値での複数点でのデータ比較が可能である。更に時間軸でのデータの値をみた場合、デジタルではON又はOFFの2点での判定となるが、アナログではデータ数値の変化量を知ることができる。比較の仕方としては、仮に時間軸50の時の値が120だとすれば100の時も値は120であれば正常である等の方法や複数の時間軸における値の差分同士の比較で判断することもできる。
図10(a)の左図はウエハ12を載置していない状態のリングボート26を下方から順に検知したデータであり、(b)の左図はリングボート26に複数のウエハ12を載置した状態で下方から順に検知したデータであり、(c)の左図は(b)のリングボート26に複数のウエハ12を載せたデータに(a)のリングボート26のみのデータを重ねたものであり、(d)の左図は(b)のリングボート26にウエハ12を載せたデータと(a)のリングボート26のみのデータのデータ差分を示す。
すなわち、リングボート26のみを検知し、リングボートにウエハを載せたデータを検知することで、両者のデータを差分し、ウエハ12のみの検知波形を得ることができる。
ステップS10として、まず、ウエハ位置基準を定めるにあたって正常位置範囲とみなすことができるズレ許容値を設定する。
次に、ステップS12として、リングボート26の最上段及び最下段に今後使用するものと同じ異常のないウエハ12を載せる。
次に、ステップS14として、上述の検知機構でリングボート26のリング状プレート70とウエハ12のデータを取得する。
次に、ステップS16として、取得されたデータを生データとして、それから各ピーク位置、OFF位置、ON位置を抽出する。
次に、ステップS18として、各ピーク位置、OFF位置、ON位置、各々のデータの中から記憶部67に記憶(格納)されている各段のリング位置基準データと入力されたズレ許容値を基にリング適正位置範囲以外の位置データを抽出し、その抽出された位置データで各段のウエハ理論位置を2点ティーチング法により算出する。
次に、ステップS20として、各ピーク位置、OFF位置、ON位置それぞれの各段の理論位置をウエハ位置基準として記憶部67に記憶(格納)させる。
ステップS22として、初期設定としてリングボート26の段数を入力する。
次に、ステップS24として、上述の検知機構でウエハを載置していない状態でリングボート26のリング状プレート70のデータを取得する。
次に、ステップS26として、取得されたデータを生データとして、それから各ピーク位置、OFF位置、ON位置を抽出する。
次に、ステップS28として、各ピーク位置、OFF位置、ON位置の各々で各段のリングの理論位置を2点ティーチング法により算出する。
次に、ステップS30として、OFF位置、ON位置それぞれの各段の理論位置をリング位置基準として記憶部67に記憶(格納)させる。ここで、ピーク値は使用しない。
図13(a)は、ウエハ12を載置した状態のリングボート26の側面図を示し、(b)はウエハ12及びリング状プレート70の位置基準の範囲の設定例を示す。
図13(b)に示すように、A1は1段リングボート許容位置範囲、A2は2段リングボート許容位置範囲、B1は1段ウエハ許容位置範囲、B2は2段ウエハ許容位置範囲を示す。また、C1とD1は1段異常位置範囲、C2とD2は2段異常位置範囲を示す。
すなわち、リングボート26の1段目のリング状プレート70がA1である1段リングボート許容範囲に、2段目のリング状プレート70がA2である2段リングボート許容範囲等になく、1段目のウエハ12がB1である1段ウエハ許容位置範囲、B2である2段ウエハ許容位置範囲になく、C1、D1の1段異常位置範囲やC2、D2の2段異常位置範囲にある等の場合にウエハ12又はリングボート26の位置が異常であると判断される。
図14(b)は、上述のウエハ検知機構により得られたデータ(検知波形)を示す。
図14(c)は、(b)のウエハ検知機構により得られたデータ(検知波形)にウエハ及びリング位置基準範囲を重ねたものを示している。
図14(c)のAはリング適正基準にズレ許容値を考慮して得られたリング適正範囲を示し、Bはウエハ適正基準にズレ許容値を考慮して得られたウエハ適正範囲を示し、Cは異常範囲(適正範囲外)を示す。
すなわち、記憶部67に記憶されているウエハ及びリング位置基準範囲と、検知されたウエハ及びリング状プレートの検知波形とを判断部69にて照合させて、検知されたデータが1つでも異常範囲Cにあれば、ウエハの搬送を中止もしくは、異常範囲にあるとされたウエハ以外のウエハを1枚ずつ枚葉搬送する。
まず、ステップS100において、記憶装置としての記憶部67に、後述するリング状プレート70の正常位置範囲データを含むリング位置基準が格納されているか否かを判定する。リング位置基準が格納されていると判定された場合には、次のステップS102へ進み、リング位置基準が格納されていないと判定された場合には、前述したリング位置基準の設定を行う。
また、リング状プレート70又はウエハ12の全てが異常と判断された場合には、例えば「ボートの載置状態の確認が必要」というメッセージを操作画面82等の入出力手段80に表示する。また、基板移載機34によるボート26からのウエハ搬送は中止される。
また、ウエハ12のうち少なくとも1枚が異常と判断された場合には、例えば「ウエハ異常」というメッセージを操作画面82等の入出力手段80に表示する。また、少なくとも異常と判断されたウエハ以外のウエハを1枚ずつ枚葉移載により回収する。
また、ウエハ12の全てが異常と判断された場合には、例えば「全ウエハ異常」というメッセージを操作画面82等の入出力手段80に表示する。また、基板移載機34によるボート26からのウエハ搬送は中止される。
図19(a)は、標準ボートの側面図を示し、(b)は位置基準の範囲の設定例を示す。
図19(b)に示すように、B1は1段ウエハ許容位置範囲、B2は2段ウエハ許容位置範囲、B3は3段ウエハ許容位置範囲、B4は4段ウエハ許容位置範囲を示す。また、C1は1段異常位置範囲、C2は2段異常位置範囲、C3は3段異常位置範囲、C4は4段異常位置範囲を示す。
すなわち、判定時に得られたデータが1つでも異常範囲Cにあれば、ウエハの搬送を中止もしくは、異常範囲にあるとされたウエハ以外のウエハを枚葉移送する。
まず、ステップS200として、ボートがリングボート26か標準ボート90かを判定する。リングボートであればステップS100へ進み、前述したリングボート使用時の検知機構により検知する。また、標準ボートであれば、次のステップS202へ進む。
格納領域は、任意設定領域と生データ領域と抽出データ領域とウエハ基準位置領域を有し、任意設定領域として段数、ズレ許容値、生データ領域として生データ格納領域、抽出データ領域としてピーク位置格納領域、OFF位置格納領域及びON位置格納領域、ウエハ基準位置領域として、ピーク位置格納領域、OFF位置格納領域及びON位置格納領域を格納している。これに対して、本実施形態におけるウエハ検知機構においては、図21(b)に示すように、従来のウエハ検知機構の格納領域に加えて、リングボート基準位置領域が格納され、リングボート基準位置領域として、OFF位置格納領域及びON位置格納領域を格納している点で相違する。
すなわち、上述のウエハ検知動作に加えてリング検知動作を行うことで、標準ボートでのウエハ検知、すなわちウエハの有無・位置判定はもちろん、リングボートでもウエハの有無・位置判定が可能となる。また、リングボートの基準位置を記憶させることにより、リングボート単体でもリングボート各段のリングの有無及び位置判定が可能となる。
(1)前記記憶装置に記憶されている前記第一正常位置範囲データのうち、少なくとも前記基板保持部に保持された一つの基板に対する前記第一正常位置範囲データは、前記一つの基板に隣接する前記プレートに対する前記第二正常位置範囲データを介在して上下に配置されるデータである請求項1の基板処理装置。
(2)基板を保持した基板保持部と、該基板保持部に保持された基板の周縁の少なくとも一部に設けられるプレートとが各々、前記基板保持部に保持された基板と前記プレートとの間に所定の間隔が設けられるように形成される基板保持体を処理室内に搬送する工程と、前記処理室で前記基板を熱処理する工程と、検出装置により、前記基板保持部に保持された基板の位置及び前記プレートの位置を検出する工程と、前記検出装置が検出した前記基板保持部に保持された基板の位置及び前記プレートの位置と、記憶装置に記憶された前記基板保持部に保持された基板の第一正常位置範囲データ及び前記プレートの第二正常位置範囲データとを比較し、前記基板の位置及び前記プレートの位置の少なくとも一方が前記第一正常位置範囲データ外若しくは及び前記第二正常位置範囲データ外であれば異常と判断する工程と
を有する半導体装置の製造方法。
12 基板(ウエハ)
26 基板保持具(ボート)
34 基板移載機
36 処理炉
50 支柱
60 検出部
66 制御部
67 記憶部
68 駆動部
69 判断部
70 リングプレート
72 基板支持ピン(基板支持部)
Claims (3)
- 基板を保持可能に構成される基板支持部と、前記基板支持部に保持された基板の周縁の少なくとも一部に設けられるプレートを有し、前記基板支持部に保持された基板と前記プレートとの間に所定の間隔が設けられるように形成される基板保持具の前記基板支持部に基板を搬送する基板移載装置と、
前記基板支持部に保持された基板の位置及び前記プレートの位置を検出可能に構成される検出装置と、
前記基板移載装置を制御する制御装置と、を有し、前記制御装置は、前記基板支持部に保持された基板の第一正常位置範囲データ及び前記プレートの第二正常位置範囲データを記憶する記憶装置と、前記検出装置が検出した前記基板支持部に保持された基板の位置及び前記プレートの位置と前記記憶装置に記憶された前記第一正常位置範囲データ及び前記第二正常位置範囲データとを比較し、前記基板の位置及び前記プレートの位置の少なくとも一方が前記第一正常位置範囲データ外若しくは及び前記第二正常位置範囲データ外にあると判断した場合に異常と判断する判断装置と、
を有する基板処理装置。 - 前記基板移載装置は、さらに前記基板保持具と異なり、前記基板支持部を有し、前記プレートを有さない他の基板保持具における前記基板支持部に基板を搬送可能に構成されており、前記基板移載装置が、前記他の基板保持具における前記基板支持部に基板を搬送する場合には、前記判断装置は、前記異常判断に代えて、前記検出装置が検出した前記基板保持具に保持された基板の位置と前記記憶装置に記憶された前記第一正常位置範囲データとを比較し、前記基板の位置が前記第一正常位置範囲データ外にあると判断した場合に異常と判断する請求項1の基板処理装置。
- 基板を保持した基板支持部と、前記基板支持部に保持された基板の周縁の少なくとも一部に設けられるプレートを有し、前記基板支持部に保持された基板と前記プレートとの間に所定の間隔が設けられるように形成される基板保持具を処理室内に搬送する工程と、
前記処理室で前記基板を熱処理する工程と、検出装置により、前記基板支持部に保持された基板の位置及び前記プレートの位置を検出する工程と、
前記検出装置が検出した前記基板支持部に保持された基板の位置及び前記プレートの位置と、記憶装置に記憶された前記基板支持部に保持された基板の第一正常位置範囲データ及び前記プレートの第二正常位置範囲データとを比較し、前記基板の位置及び前記プレートの位置の少なくとも一方が前記第一正常位置範囲データ外若しくは及び前記第二正常位置範囲データ外であれば異常と判断する工程と、
を有する基板処理方法。
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