CN112635373A - 装载端口装置及装载端口装置的驱动方法 - Google Patents

装载端口装置及装载端口装置的驱动方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供能够防止在打开晶圆搬运容器的盖部时内部的气体从连结部分向外部漏出的问题的装载端口装置及装载端口装置的驱动方法等。一种装载端口装置，将晶圆搬运容器的主开口连结于框架开口，具有：载置部，其具有设置上述晶圆搬运容器并相对于上述框架开口相对移动的载置台；框架部，其从上述载置部向上方直立，并形成有上述框架开口；凸缘夹部，其具有：卡合部，其能够卡合于包围上述主开口的外周的凸缘部；以及驱动部，其在上述卡合部进行将上述卡合部卡合于上述凸缘部的卡合动作和将上述卡合部从上述凸缘部脱离的脱离动作；以及检测部，其能够将上述凸缘夹部进行的上述卡合动作至少区别为正常卡合动作和异常卡合动作而进行检测。

Description

装载端口装置及装载端口装置的驱动方法
技术领域
本发明涉及一种装载端口装置以及装载端口装置的控制方法。
背景技术
在半导体的制造工序中，使用称为FOUP或FOSB等的晶圆(wafer)搬运容器，进行各处理装置之间的晶圆的搬运。这样的晶圆搬运容器具有存取晶圆的主开口以及封闭主开口的盖部，晶圆搬运容器内的晶圆被保管于通过盖部而密闭的空间内。
在打开晶圆搬运容器的盖部而从晶圆搬运容器内部取出晶圆，或者从晶圆的主开口导入清洁化气体的情况下，使用将晶圆搬运容器连接于开口的装载端口(load port)装置。通过使用装载端口装置，能够将晶圆搬运容器的内部空间经由开口而气密地连接于称为微环境(mini environment)的另一空间，并且可以将容器内的晶圆从半导体工厂内的其它的空间隔离，并从晶圆搬运容器内存取。
另外，提出了一种装载端口装置，其防止晶圆搬运容器的位置偏移，并且具有适当地将晶圆搬运容器连结于框架开口的夹部。这样的装载端口装置通过使装载端口装置的卡合部卡合于晶圆搬运容器的凸缘部，从而能够维持晶圆搬运容器与框架开口的适当的连结状态。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2019-62104号公报
在现有的装载端口装置中，由于晶圆搬运容器的变形或微小的载置位置的偏移等，尽管使凸缘夹部动作，但存在卡合部无法正常地卡合于晶圆搬运容器的凸缘部的情况。当为凸缘夹部无法卡合于晶圆搬运容器的凸缘部的状态时，在将晶圆搬运容器的盖部开放并且连结晶圆搬运容器与微环境的搬运室等时，存在容器内和搬运室内的气体向外部漏出的问题。
发明内容
本发明鉴于这样的实际状况，提供一种装载端口装置等，其能够在打开晶圆搬运容器的盖部时，防止内部的气体从连结部分向外部漏出的问题。
为了实现上述目的，本发明所涉及的装载端口装置，
是将晶圆搬运容器的主开口连结于框架开口的装载端口装置，
具有：
载置部，其具有设置所述晶圆搬运容器并相对于所述框架开口相对移动的载置台；
框架部，其从所述载置部向上方直立，并形成有所述框架开口；
凸缘夹部，其具有：卡合部，其能够卡合于包围所述主开口的外周的凸缘部；以及驱动部，其在所述卡合部进行将所述卡合部卡合于所述凸缘部的卡合动作和将所述卡合部从所述凸缘部脱离的脱离动作；以及
检测部，其能够将所述凸缘夹部所进行的所述卡合动作至少区别为正常卡合动作和异常卡合动作而进行检测。
由于本发明所涉及的装载端口装置具有能够将凸缘夹部进行的卡合动作至少区别为正常卡合动作和异常卡合动作而进行检测的检测部，因此，检测部可以检测尽管使凸缘夹部动作，但卡合部无法正常地卡合于晶圆搬运容器的凸缘部的状态。因此，这样的装载端口装置尽管凸缘夹部进行了异常卡合动作，但能够防止未识别其而继续控制，并且能够在打开晶圆搬运容器的盖部等时防止内部的气体从连结部分向外部漏出的问题。
另外，例如，也可以是所述卡合部相对于形成于所述凸缘部并向所述凸缘部的外径方向开口的被卡合部，从上方或侧方卡合。
这样的凸缘夹部与例如将晶圆搬运容器整体从晶圆搬运容器的后方压向框架部的机构相比在小型化的观点上是有利的。
另外，例如，也可以是所述驱动部具有连接于所述卡合部并沿着第一方向往返动作的第一动作部分，
也可以是所述卡合部具有沿着与所述第一方向不同的第二方向动作并与所述凸缘部卡合和脱离的第二动作部分。
驱动部的第一动作部分和卡合部的第二动作部分的动作的方向不同，从而可以防止凸缘夹部与晶圆搬运容器的动线干涉，并且可以将凸缘夹部的卡合部以少的移动量卡合于凸缘部。
另外，例如，也可以是所述第一动作部分往返动作的所述第一方向与所述卡合部将所述凸缘部压向所述框架部的第三方向大致正交。
由于这样的装载端口装置可以通过小型的凸缘夹部使将凸缘部压向框架部的力作用，因此可以可靠地防止从连结部分的内部气体的漏出。
另外，例如，也可以是所述驱动部具有能够移动沿着第一方向的第一位置、第二位置和第三位置的第一动作部分，当所述第一动作部分位于所述第一位置时，所述卡合部相对于所述凸缘部进行脱离动作，当所述第一动作部分位于所述第二位置时，所述卡合部相对于所述凸缘部进行所述正常卡合动作，当所述第一动作部分位于所述第三位置时，所述卡合部相对于所述凸缘部进行所述异常卡合动作，
也可以是所述检测部将所述第一动作部分位于所述第二位置与所述第一动作部分位于所述第一位置以及所述第三位置的情况区别地检测。
由于这样的装载端口装置通过检测部检测驱动部中的第一动作部分的位置来判断卡合部进行正常卡合动作，因而可以实现可靠性高的检测。
另外，例如，也可以是所述检测部具有所述发光部和能够对所述发光部的光进行受光的所述受光部，
也可以是所述第一动作部分具有检测用动作部，所述检测用动作部具有将所述发光部的光朝向所述受光部的第一部分、以及将所述发光部的光遮蔽或吸收、或者朝向与所述受光部不同的方向的第二部分。
这样的装载端口装置使用光学传感器检测检测用动作部，从而可以将卡合部进行的卡合动作区别为正常卡合动作和异常卡合动作而高精度地检测。
另外，例如，也可以是本发明所涉及的凸缘夹部具有空开规定的间隔而配置的至少两个所述凸缘夹部，
也可以是所述检测部的所述发光部的光能够经由各个所述凸缘夹部的所述检测用动作部所具有的至少两个所述第一部分而入射于所述受光部。
这样的装载端口装置由一个检测部检测至少两个凸缘夹部进行正常卡合动作，从而可以简化装置并更可靠地防止内部的气体向外部漏出的问题。
另外，例如，也可以具有安装于所述框架部中的所述载置部侧的面，并且覆盖所述凸缘夹部的至少一部分的罩部。
具有这样的罩部的装载端口装置可以通过罩部来保护凸缘夹部。另外，这样的凸缘夹部的配置有助于装载端口装置的小型化。
另外，例如，也可以是本发明所涉及的装载端口装置具有：
门，其卡合于安装于所述晶圆搬运容器的所述主开口的盖部，并且开闭所述主开口和所述框架开口；
门驱动部，其驱动所述门；以及
联锁机构，其仅在所述检测部检测出所述正常卡合动作时，能够使所述门驱动部打开所述门。
这样的装载端口装置利用联锁机构，尽管凸缘夹部进行了异常卡合动作，但能够防止打开晶圆搬运容器的盖部，能够更加可靠地防止内部的气体向外部漏出的问题。
本发明所涉及的装载端口装置的驱动方法具有：
将载置于载置台的晶圆搬运容器移动至所述晶圆搬运容器接近框架开口的连结位置的步骤；
以进行凸缘夹部的卡合部相对于所述晶圆搬运容器的凸缘部卡合的卡合动作的方式，驱动所述凸缘夹部的驱动部的步骤；
检测所述卡合部的卡合动作是否为正常卡合动作的步骤；以及
将安装于所述晶圆搬运容器的主开口的盖部和所述框架开口打开的步骤，
仅在检测出所述正常卡合动作时，能够执行打开所述盖部和所述框架开口的步骤。
根据这样的装载端口装置的控制方法，尽管凸缘夹部进行了异常卡合动作，但能够防止打开晶圆搬运容器的盖，能够可靠地防止内部的气体向外部漏出的问题。
附图说明
图1是本发明的一个实施方式所涉及的装载端口装置的概略立体图。
图2是表示在图1所示的装载端口装置载置有晶圆搬运容器的状态的概略立体图。
图3是示出图1所示的装载端口装置所具有的凸缘夹部的部分放大图。
图4是示出图1所示的装载端口装置所具有的凸缘夹部的卡合部从图3所示的状态移动的状态的部分放大图。
图5是图3所示的凸缘夹部的放大立体图。
图6是示出第二实施方式所涉及的装载端口装置所具有的凸缘夹部分离的状态的概念图。
图7是示出图6所示的凸缘夹部进行了正常卡合动作的状态的概念图。
图8是示出图6所示的凸缘夹部进行了异常卡合动作的状态的概念图。
图9是示出图6所示的装载端口装置的驱动方法的一个例子的流程图。
符号的说明
10……晶圆搬运容器
12……壳体部
12a……主开口
13……凸缘部
13a……凸缘槽部
13b……凸缘相对面
13c……肋
14……盖部
14a……盖外面
14b……盖背面
20……装载端口装置
22……载置部
23……载置台
24……框架部
24a……框架开口
25a……周缘部相对面
26、66、126……凸缘夹部
27、67……卡合部
27a……第二动作部分
28、128……驱动部
29、129……第一动作部分
29a……驱动轴
29b、129b……检测用动作部
29ba、129ba……贯通孔
29bb、129bb……第二部分
30……罩部
30a……罩分离面
31……状态显示灯
32……门
33……门驱动部
34……密封部
37……联锁机构
38……底部清洁部
40、140……检测部
41、141……发光部
42、142……受光部
51……第一方向
52……第二方向。
具体实施方式
以下，基于附图所示的实施方式对本发明进行说明。
图1是本发明的第一实施方式所涉及的装载端口装置20的概略立体图。装载端口装置20例如在半导体工厂内，用作将晶圆搬运容器10连结于形成有微环境的空间的接口。装载端口装置20以框架部24构成形成微环境的侧壁的一部分的方式设置，将图2所示的晶圆搬运容器10的主开口12a连结于框架开口24a(参照图2和图7)。
如图1所示，装载端口装置20具有：具有载置台23的载置部22；形成有框架开口24a的框架部24；罩部30；门32和门驱动部33；联锁(interlock)机构37；图3所示的凸缘夹部26、66；以及检测部40。另外，装载端口装置20具有卡合于晶圆搬运容器10的底部，并且将晶圆搬运容器10相对于载置部22固定的底部夹(bottom clamp)部(未图示)、从晶圆搬运容器10的底部向容器内导入清洁化气体的底部清洁(Bottom purge)部38等。
图2是表示在图1所示的装载端口装置载置有晶圆搬运容器10的状态的概略立体图。如图2所示，在装载端口装置20的载置部22载置有晶圆搬运容器10。晶圆搬运容器10在半导体工厂等中，是用于搬运晶圆的容器，可以列举符合SEMI标准的FOUP或FOSB等。然而，作为晶圆搬运容器10，不限于此，能够密闭地搬运或保管晶圆的其它的容器也可以包含于晶圆搬运容器10。此外，在第一实施方式所涉及的装载端口装置20和第二实施方式所涉及的装载端口装置120的说明中，使用同样的晶圆搬运容器10进行。
如图2所示，晶圆搬运容器10具有大致长方体或大致立方体的箱型的外形形状。晶圆搬运容器10具有：壳体部12，在侧面形成有用于存取晶圆的主开口12a(参照图6)；以及盖部14，其相对于壳体部12可装卸地设置，并且堵塞主开口12a(参照图6)。在壳体部12的底面，设置有装载端口装置20的底部夹部卡合的槽部(未图示)。
如图2所示，晶圆搬运容器10的壳体部12具有包围主开口12a的外周的凸缘部13。凸缘部13配置于壳体部12的主开口部12a侧(Y轴正方向侧)的端部，与邻接于中央侧的其它的部分相比，向外径方向突出。在凸缘部13形成有作为向凸缘部13的外径方向开口的被卡合部的凸缘槽部13a。另外，在凸缘部13形成有将凸缘槽部13a在周向上分割，并提高凸缘部13的强度的肋13c。凸缘槽部13a的径向深度没有特别限定，例如可以设为1mm～25mm左右。另外，肋13c的周向的形成间隔没有特别限定，例如可以设为15mm～350mm左右。
如图2所示，在晶圆搬运容器10移动到接近框架开口24a(参照图1)的接近位置(对接位置)的状态下，如图3所示，作为凸缘部13中的晶圆取出方向的前面(Y轴正方向)的凸缘相对面13b(参照图6)与框架部24的周缘部相对面25a相对。另外，如图2所示，凸缘夹部26、66的卡合部27、67可以卡合于凸缘槽部13a。此外，对于卡合部27、67向凸缘槽部13a卡合的卡合动作，使用第二实施方式所涉及的装载端口装置的凸缘夹部126(图6～图8)等在后面进行描述。
另外，晶圆搬运容器10的盖部14(参照图6～图8)可自由装卸地安装于主开口12a。如图6～图8所示，盖部14具有：与装载端口装置20的门32相对的盖外面14a；以及作为盖外面14a的相反面且与壳体部12内的晶圆相对的盖背面14b。从可靠地卡合门32和盖部14的观点出发，优选在盖部14封闭主开口12a的状态下，盖外面14a比凸缘相对面13b稍微向晶圆取出方向(Y轴正方向)突出。
如图1所示，装载端口装置20的载置部22具有设置晶圆搬运容器10的载置台23。如图2所示，载置台23以使载置台23和设置于载置台23的晶圆搬运容器10相对于框架开口24a接近以及离开的方式相对移动。载置台23由未图示的气缸或马达等的驱动机构驱动，但是驱动载置台23的驱动装置没有特别限定。载置部22的载置台23不仅能够沿水平方向移动，而且能够在载置了晶圆搬运容器10的状态下旋转180度，由此能够改变晶圆搬运容器10的朝向。此外，在装载端口装置20的说明中，如图1和图2所示，将高度方向设为Z轴方向，将与Z轴方向正交的方向、即载置台23相对于框架部24接近/离开的方向设为Y轴方向，将正交于Z轴方向和Y轴方向的方向设为X轴方向进行说明。
如图2所示，框架部24从载置部22向上方直立。在框架部24形成有位于载置部22的上方的框架开口24a，框架部24具有框架上的形状。如图2所示，装载端口装置20具有封闭/开放框架开口24a的门32。
门32由门驱动部33驱动。另外，门32吸附于安装于晶圆搬运容器10的主开口12a的盖部14的盖外面14a并卡合，并且开闭主开口12a和框架开口24a。即，门32能够通过与盖部14一体地移动，与开放框架开口24a同时地，将盖部14从主开口12a卸下并开放主开口12a。
在框架开口24a的周缘部，设置有图1、图2所示的罩部30。罩部30设置于框架开口24a的上方和侧方的至少一方，并且覆盖框架开口24a的周缘部的一部分。即，关于载置部22的晶圆搬运容器10的搬运方向，在作为周缘部25中的朝向载置台23侧(Y轴负方向侧)的面的周缘部相对面25a的一部分，设置有罩部30。如根据表示将罩部30从框架部24卸下的状态的图3和图4而可以理解的那样，罩部30覆盖凸缘夹部26、66的至少一部分。
但是，如图1所示，邻接于框架开口24a的周缘部相对面25a的其它的一部分从罩部30露出，如图6所示，与晶圆搬运容器10的凸缘部13、特别是凸缘相对面13b相对。在周缘部相对面25a，设置有用于提高相对于凸缘相对面13b的气密性的密封部34。罩部30具有关于晶圆搬运容器10的搬运方向(Y轴方向)最离开周缘部相对面25a的罩分离面30a(参照图6)，在罩分离面30a设置有图1和图2所示的状态显示灯31。状态显示灯31的点灯状态根据装载端口装置20的驱动状态而变化。
图3是关于图1所示的装载端口装置20，示出卸下了罩部30的状态的部分放大图。如图3所示，装载端口装置20具有两个凸缘夹部26、66。凸缘夹部26、66在框架开口24a的上方，空开规定的间隔而配置。两个凸缘夹部26、66以在相对于主开口12a的中心位置左右对称的位置卡合于凸缘部13的方式配置。
凸缘夹部66相对于凸缘夹部26空开规定的间隔而对称地配置，但是具有与凸缘夹部26相同的结构。因此，关于凸缘夹部26、66，以凸缘夹部26为中心进行说明，省略凸缘夹部66的特征中与凸缘夹部26共同的部分的说明。
图5是放大了图3所示的凸缘夹部26的放大立体图。凸缘夹部26具有能够卡合于晶圆搬运容器10的凸缘部13的卡合部27、以及驱动卡合部27的驱动部28。驱动部28在卡合部27进行将卡合部27卡合于凸缘部13的卡合动作(参照图7等)、以及将卡合部27从凸缘部13分离的脱离动作(参照图6)。
如图3和图4所示，包含于凸缘夹部26的卡合部27和包含于凸缘夹部66的卡合部67配置于框架开口24a的上方。如图2所示，卡合部27和卡合部67能够相对于形成于晶圆搬运容器10的凸缘部13的凸缘槽部13a，从上方接近并卡合。
然而，作为凸缘夹部26、66具有的卡合部27、67的位置不限于此，例如，变形例所涉及的卡合部也可以配置于框架开口24a的侧方。配置于侧方的卡合部可以从框架开口24a的侧方，卡合于凸缘部13的凸缘槽部13a。另外，图1所示的装载端口装置20具有两个凸缘夹部26、66，但是作为凸缘夹部26、66的数量不限于此，装载端口装置可以具有一个凸缘夹部，也可以具有三个以上的凸缘夹部。
图5所示的凸缘夹部26的驱动部28例如由气缸或马达等构成，可以经由驱动轴29a而使卡合部27移动。即，驱动部28具有连接于卡合部27并且沿着作为第一方向51的Z轴方向往返运动的第一动作部分29。图3示出驱动部28的第一动作部分29沿上方向移动的状态，图4示出驱动部28的第一动作部分29沿下方向移动的状态。如图5所示，第一动作部分29具有驱动轴29a和检测用动作部29b。
如图5所示，本实施方式所涉及的驱动部28具有具备在上下方向(Z轴方向)移动的驱动轴29a的气缸，驱动轴29a经由能够旋转的连接部29c而相对于卡合部27连接。此外，凸缘夹部26如图3和图4所示，可以相对于一个卡合部27具有一个驱动部，也可以相对于多个例如两个)卡合部27具有一个驱动部。
凸缘夹部26的卡合部27除了经由连接部29c而连接于驱动轴29a之外，经由能够旋转的连结部(未图示)而连接于框架部24(或罩部30)。如图5所示，卡合部27具有根据驱动部28中的驱动轴29a的上下移动(或伸缩)，沿着与第一方向51不同的第二方向52动作的第二动作部分27a。如使用图6～图8在后面描述的那样，卡合部27的第二动作部分27a与晶圆搬运容器10的凸缘部13卡合和脱离。此外，如图5所示，作为卡合部27的动作方向的第二方向52是以驱动轴29a与卡合部27的连接部29c为中心轴进行旋转的方向。
如图3和图4所示，装载端口装置20具有检测凸缘夹部26、66的动作的检测部40。图3和图4所示的检测部40是光束传感器，具有发光部41和能够对发光部41的光进行受光的受光部42。发光部41和受光部42以从X轴方向的两侧夹持两个凸缘夹部26、66的方式配置。即，发光部41配置于框架部24的周缘部相对面25a的X轴正方向侧的端部周边，受光部42配置于框架部24的周缘部相对面25a的X轴负方向侧的端部周边。
如图5所示，凸缘夹部26的第一动作部分29中的检测用动作部29b根据第一动作部分29的位置，使发光部41的光通过，或将发光部41的光遮蔽。即，检测用动作部29b是形成有作为将发光部41的光朝向受光部42的第一部分的贯通孔(或狭缝)29ba的板状的构件，检测用动作部29b中的贯通孔29ba以外的部分成为遮蔽或吸收发光部41的光、或者朝向与受光部42不同的方向的第二部分29bb。
通过将图3至图5所示的检测部40与凸缘夹部26组合，能够将凸缘夹部26所进行的晶圆搬运容器10的卡合动作至少区别为正常卡合动作(参照图7)和异常卡合动作而进行检测。对于检测部40进行的卡合动作的检测，使用图6～图8在后面进行描述。
如图4所示，两个凸缘夹部26使高度(Z轴方向的位置)一致来配置。检测部40中的发光部41的光能够经由作为各个凸缘夹部26、66的检测用动作部29b、69b所具有的至少两个第一部分的贯通孔29ba、69ba而入射于受光部42。通过这样配置检测部40和凸缘夹部26、66，可以由一个检测部40检测两个凸缘夹部26、66的卡合动作，并且当两个凸缘夹部26、66进行了正常卡合动作时，可以使发光部41的光入射于受光部42。
如图1所示，装载端口装置20具有能够仅在检测部40检测到正常卡合动作时使门驱动部33打开门32的联锁机构37。在联锁机构37，输入有来自检测部40的检测信号。联锁机构37例如是仅在检测部40检测到正常卡合动作时，将打开门32的电力提供给门驱动部33的电路那样的通过硬件来实现的联锁机构，也可以是通过使用了软件的运算处理控制控制硬件来实现的联锁机构。
以下，使用图6～图8所示的第二实施方式所涉及的装载端口装置120，对检测部140和凸缘夹部126的动作进行说明。在第二实施方式所涉及的装载端口装置120中，检测部140所具有的发光部141和受光部142将一个凸缘夹部126在Y轴方向上夹持而配置的方面、以及凸缘夹部126的检测用动作部129b中的作为第一部分的贯通孔129ba能够使发光部141的光在Y轴方向上通过的方面与第一实施方式所涉及的装载端口装置不同。
然而，图6～图8所示的检测部140除了发光部141和受光部142分别安装于罩部30中的在Y轴方向上相对的内面的方面，与第一实施方式所涉及的检测部40相同。另外，凸缘夹部126除了检测用动作部129b的安装方向旋转90度，与图1所示的凸缘夹部26相同。另外，第二实施方式所涉及的装载端口装置120关于检测部140和凸缘夹部126以外的部分，与装载端口装置20相同。因此，对第二实施方式所涉及的装载端口装置120，省略关于与第一实施方式所涉及的装载端口装置20的共同点的说明。另外，对于第一实施方式所涉及的凸缘夹部26、66和检测部40等的动作，与以下说明的装载端口装置120的凸缘夹部126和检测部140相同。
图9是示出图6～图8所示的装载端口装置120的驱动方法的一个例子的流程图。在图9所示的步骤S001中，通过载置传感器(未图示)检测晶圆搬运容器10载置于载置台23(参照图1)。晶圆搬运容器10通过半导体工厂内的OHT等，在装载端口装置120运送至载置台23。
在图9所示的步骤S002中，将晶圆搬运容器10固定于载置台23。尽管未在图1中示出，但是在载置台23，具备卡合于晶圆搬运容器10的底部的底部夹部，装载端口装置120能够将晶圆搬运容器10固定于载置台23。
在图9所示的步骤S003中，将载置于载置台23的晶圆搬运容器10移动至晶圆搬运容器10接近框架开口24a的连结位置。在连结位置，晶圆搬运容器10的盖部14与门32(参照图1)接触。此外，在图9所示的步骤S004中，门32吸附晶圆搬运容器10的盖部14。图6是示出装载端口装置120所具有的凸缘夹部126进行了脱离动作的状态的概念图，并且示出了即将开始步骤S005之前的状态。
如图9所示的步骤S001～步骤S004之间的那样，设置有晶圆搬运容器10的载置台23位于从框架开口24a分开的非对接位置的情况，或在晶圆搬运容器10通过载置台23移动的期间，凸缘夹部126的卡合部27如图6所示，位于通过凸缘夹部126进行脱离动作而配置的退避位置。位于退避位置的卡合部27相对于晶圆搬运容器10的凸缘部13分开。另外，位于退避位置的卡合部27相对于晶圆搬运容器10的动线、即晶圆搬运容器10的移动路径不干涉。此外，卡合部27即使通过电源开启或者刚复位之后等的初始动作，也位于与凸缘夹部126进行了脱离动作的状态相同的退避位置。
在图6所示的状态下，凸缘夹部126的驱动部128中的第一动作部分129在图6～图8所示的状态中配置于最上方，位于第一位置P1。当第一动作部分129位于第一位置P1时，在第一动作部分129的检测动作部分129b中，其第二部分129bb遮蔽发光部141的光，从而发光部141的光不入射于受光部142。因此，检测部140可以识别是凸缘夹部126至少相对于凸缘部13未进行正常卡合动作的状态。
在图9所示的步骤S005中，相对于晶圆搬运容器10的凸缘部13，以进行凸缘夹部126的卡合部27进行卡合的卡合动作的方式，驱动凸缘夹部126的驱动部128。图7是示出装载端口装置120所具有的凸缘夹部126进行了正常卡合动作的状态的概念图，并且示出了步骤S005刚结束之后的一个状态。
如图7所示，凸缘夹部126的卡合部27通过驱动部128的驱动，移动至通过凸缘夹部126进行正常卡合动作而配置的卡合位置。位于卡合位置的卡合部27与晶圆搬运容器10的动线干涉并卡合于凸缘部13。如从图6和图7的比较可以理解的那样，卡合部27从位于图6所示的退避位置的状态，伴随着驱动轴29a的下降旋转并移动至图7所示的卡合位置(正常卡合状态)，相对于位于对接位置的晶圆搬运容器10的凸缘部13，从上方(更具体地，从上斜后方)卡合于凸缘槽部13a。
如图7所示，位于卡合位置的卡合部27以将晶圆搬运容器10的凸缘相对面13b向框架部24中的周缘部相对面25a压附的方式，卡合于凸缘部13。即，驱动部128的第一动作部分129往返运动的第一方向(Z轴方向)与卡合部27将凸缘部13压向框架部24的第三方向(Y轴方向大致正交。由此，能够提高凸缘相对面13b与周缘部相对面25a的气密性，并且通过伴随着门14进行的盖14的开放动作的振动等，可以防止晶圆搬运容器10从正规的位置脱离的问题。特别地，优选通过卡合部27卡合于凸缘部13，如图7所示凸缘相对面13b直立，并且凸缘相对面13b关于载置部22的晶圆搬运容器10的搬运方向，位于盖外面14a和盖背面14b之间。卡合部27通过将晶圆搬运容器10以这样的姿势保持，能够进行门32进行的盖部14的圆滑的开放动作，另外，在盖部14的开放动作中等，可以提高凸缘相对面13b与周缘部相对面25a的气密性。
如图7所示，凸缘夹部126在至少通过卡合部27正常地卡合了凸缘部13的状态下，关于载置部22的晶圆载置容器10的搬运方向，设置于框架部24和罩部30中最远离周缘部相对面25a的罩分离面30a之间。另外，凸缘夹部126优选关于载置部22的晶圆搬送容器10的搬运方向(Y轴方向)，设置于从框架部24起75mm以内的区域内。这样的凸缘夹部126是小型的，另外，为了卡合部27卡合于凸缘部13而需要的移动距离也能够缩短。
另外，罩部30的沿着载置部22的晶圆搬运容器10的搬送方向的厚度也可以比凸缘夹部126厚。这样，使凸缘夹部126变薄，使凸缘夹部126不从罩分离面30a向载置台23侧飞出，由此在通过OHT等将晶圆搬运容器10向上方搬运时，可以避免凸缘夹部126与晶圆搬运容器10接触的问题。
在图7所示的状态下，凸缘夹部126的驱动部128中的第一动作部分129相较于图6所示的状态配置于下方，并且位于第二位置P2。当第一动作部分129位于第二位置P2时，在第一动作部分129的检测用动作部129b中，作为其第一部分的贯通孔129ba使发光部141的光通过。由此，发光部141的光入射于受光部142。因此，检测部140可以识别是凸缘夹部126相对于凸缘部13进行正常卡合动作的状态。
在图9所示的步骤S006中，装载端口装置120基于检测部140的信号，检测在步骤S005中进行的卡合动作是否为正常卡合动作。如图7所示，检测部140的受光部142通过对来自发光部141的光进行受光，来检测凸缘夹部126的正常卡合动作。在这种情况下，装载端口装置120进入步骤S007。在步骤S007中，装载端口装置120中，门驱动部33(参照图1)驱动门32，来打开盖部14和框架开口24a。
另外，图9所示的步骤S005中进行的卡合动作的结果，也会存在凸缘夹部126进行异常卡合动作的情况。图8是示出装载端口装置120所具有的凸缘夹部126进行了异常卡合动作的状态的概念图，并且表示步骤S005刚结束后的其它的状态。
如图8所示，在晶圆搬运容器10以倾斜的状态固定于载置台23，或晶圆搬运容器10变形的情况下，在凸缘部13与框架部24之间有时形成有间隙。在这种状态下，在凸缘夹部126的卡合部27中的第二动作部分27a的轨道上，未配置凸缘部13，卡合部27不能卡合于凸缘部13。这样的话，则凸缘夹部126的卡合部27通过驱动部128的驱动，进行比正常卡合动作的情况更大地旋转的异常卡合动作，并且位于图8所示的异常位置。
在图8所示的状态下，凸缘夹部126的驱动部128中的第一动作部分129相较于图7所示的状态配置于更下方，并且位于第三位置P3。当第一动作部分129位于第三位置P3时，在第一动作部分129的检测用动作部129b中，其第二部分129bb遮挡发光部141的光，从而发光部141的光不入射于受光部142。因此，检测部140可以识别是凸缘夹部126至少相对于凸缘部13未进行正常卡合动作的状态。
如上所述，在凸缘夹部126进行异常卡合动作的情况下，检测部140的受光部142不能对来自发光部141的光进行受光，并且在步骤S006中未检测出凸缘夹部126的正常卡合动作。在这种情况下，装载端口装置120进入步骤S008。在步骤S008中，装载端口设备120发送错误信号，并停止动作。
如图6～图8所示，驱动部128的第一动作部分129能够移动沿着作为第一方向的Z轴方向的第一位置P1(图6)、第二位置P2(图7)和第三位置P3(图8)。如图6所示，当第一动作部分129位于第一位置P1时，卡合部27相对于凸缘部13分离。另外，如图7所示，当第一动作部分129位于第二位置P2时，卡合部27相对于凸缘部13进行正常卡合动作。此外，如图8所示，当第一动作部分129位于第三位置P3时，卡合部27相对于凸缘部13进行异常卡合动作。
如图6和图8所示，当驱动部128的第一动作部分129位于第一位置P1(图6)和第三位置P3(图8)时，从检测部140的发光部141产生的光被第一动作部分129中的检测用动作部129b的第二部分129bb遮蔽，不入射于受光部142。相对于此，如图7所示，当驱动部128的第一动作部分129位于第二位置P2(图8)时，从检测部140的发光部141产生的光通过第一动作部分129中的检测用动作部129b的第一部分129ba，入射于受光部142。这样，检测部140将第一动作部分129位于第二位置P2与第一动作部分129位于第一位置P1和第三位置P3的情况区别地检测。
此外，如图9所示，装载端口装置120仅当检测部140检测到正常卡合动作时，能够执行打开盖部14和框架开口24a的步骤(步骤S007)。因此，尽管凸缘夹部126进行了异常卡合动作，但装载端口装置120也能够防止打开晶圆搬运容器10的盖部14，从而可以可靠地防止内部的气体向外部漏出的问题。
此外，作为检测部140与正常卡合动作区别的异常卡合动作，不仅限定于如图8所示第一动作部分129位于在正常卡合动作中定位的第二位置P2的下方的情况。例如，在晶圆搬运容器10倾斜并固定的情况等下，会产生通过卡合动作沿第二方向52(参照图5)旋转的卡合部27与凸缘部13的外径方向端部碰上而未进入凸缘槽部13a之中的状态。
在这种情况下，驱动部128的第一动作部分129位于图7所示的第一位置P1(图6)和第二位置P2(图7)之间。通过将第一动作部分129的检测用动作部129b设为适当的形状，并且在第一动作部分129停止于这样的位置的状态下遮蔽发光部141的光，检测部140可以将这样的卡合动作识别为异常卡合动作。
另外，如图7所示，由于装载端口装置120具有卡合于晶圆搬运容器10的凸缘槽部13a的卡合部27，因此，可以由小型的卡合部27，适当地支持晶圆搬运容器10的主开口12a与框架开口24a的连结状态。另外，在位于对接位置的状态下，由于凸缘部13配置于靠近框架周缘部25的位置，因此可以减小卡合部27的移动距离，并且可以缩短凸缘夹部126的动作所需的时间。另外，卡合部27可以与卡合于晶圆搬运容器10的底部的底部夹部一起支持晶圆搬运容器10的主开口12a与框架开口24a的连结状态。特别是通过卡合部27在从晶圆搬运容器10的中心位置起的上方卡合于凸缘部13，这样的装载端口装置20对于仅由底部夹部而容易发生位置偏移的晶圆搬运容器10的上方部分，也可以保持于适当的位置。
以上，示出实施方式而说明了本发明，但是本发明不仅限定于上述的实施方式，当然具有许多其它的实施方式或变形例等。例如，凸缘夹部26的形状和结构不限于图1～图8所示的形状和结构。另外，如图4和图6～图8所示，作为装载端口装置20、120所具有的检测部140，不仅限于光束传感器，也可以采用磁传感器、接触式传感器等、光学式传感器以外的传感器。
另外，在图6至图8所示的例子中，检测部140的受光部142设为在正常卡合动作的情况下能够对发光部141的光进行受光的结构，但是与此相反，检测部140也可以是受光部142在异常卡合动作的情况下能够对发光部141的光进行受光的结构。此外，在正常卡合动作的情况下，受光部142能够对光进行受光的检测部140由于能够防止在由于发光部141的故障等而没有接收到光的情况下误检测出正常卡合动作的问题而优选。

Claims (10)

1.一种装载端口装置，其特征在于，
是将晶圆搬运容器的主开口连结于框架开口的装载端口装置，
具有：
载置部，其具有设置所述晶圆搬运容器并相对于所述框架开口相对移动的载置台；
框架部，其从所述载置部向上方直立，并形成有所述框架开口；
凸缘夹部，其具有：卡合部，其能够卡合于包围所述主开口的外周的凸缘部；以及驱动部，其在所述卡合部进行将所述卡合部卡合于所述凸缘部的卡合动作和将所述卡合部从所述凸缘部脱离的脱离动作；以及
检测部，其能够将所述凸缘夹部所进行的所述卡合动作至少区别为正常卡合动作和异常卡合动作而进行检测。
2.根据权利要求1所述的装载端口装置，其特征在于，
所述卡合部相对于形成于所述凸缘部并向所述凸缘部的外径方向开口的被卡合部，从上方或侧方卡合。
3.根据权利要求1所述的装载端口装置，其特征在于，
所述驱动部具有连接于所述卡合部并沿着第一方向往返动作的第一动作部分，
所述卡合部具有沿着与所述第一方向不同的第二方向动作并与所述凸缘部卡合和脱离的第二动作部分。
4.根据权利要求3所述的装载端口装置，其特征在于，
所述第一动作部分往返动作的所述第一方向与所述卡合部将所述凸缘部压向所述框架部的第三方向大致正交。
5.根据权利要求1所述的装载端口装置，其特征在于，
所述驱动部具有能够移动沿着第一方向的第一位置、第二位置和第三位置的第一动作部分，当所述第一动作部分位于所述第一位置时，所述卡合部相对于所述凸缘部分开，当所述第一动作部分位于所述第二位置时，所述卡合部相对于所述凸缘部进行所述正常卡合动作，当所述第一动作部分位于所述第三位置时，所述卡合部相对于所述凸缘部进行所述异常卡合动作，
所述检测部将所述第一动作部分位于所述第二位置与所述第一动作部分位于所述第一位置以及所述第三位置的情况区别而检测。
6.根据权利要求3所述的装载端口装置，其特征在于，
所述检测部具有所述发光部和能够对所述发光部的光进行受光的所述受光部，
所述第一动作部分具有检测用动作部，所述检测用动作部具有将所述发光部的光朝向所述受光部的第一部分、以及将所述发光部的光进行遮蔽或吸收、或者朝向与所述受光部不同的方向的第二部分。
7.根据权利要求6所述的装载端口装置，其特征在于，
具有空开规定的间隔而配置的至少两个所述凸缘夹部，
所述检测部的所述发光部的光能够经由各个所述凸缘夹部的所述检测用动作部所具有的至少两个所述第一部分而入射于所述受光部。
8.根据权利要求1所述的装载端口装置，其特征在于，
具有安装于所述框架部的所述载置部侧的面并覆盖所述凸缘夹部的至少一部分的罩部。
9.根据权利要求1所述的装载端口装置，其特征在于，
具有：
门，其卡合于安装于所述晶圆搬运容器的所述主开口的盖部，并开闭所述主开口和所述框架开口；
门驱动部，其驱动所述门；以及
联锁机构，其仅在所述检测部检测出所述正常卡合动作时，能够使所述门驱动部打开所述门。
10.一种装载端口装置的驱动方法，其特征在于，
具有：
将载置于载置台的晶圆搬运容器移动至所述晶圆搬运容器接近框架开口的连结位置的步骤；
以进行凸缘夹部的卡合部相对于所述晶圆搬运容器的凸缘部卡合的卡合动作的方式，驱动所述凸缘夹部的驱动部的步骤；
检测所述卡合部的卡合动作是否为正常卡合动作的步骤；以及
将安装于所述晶圆搬运容器的主开口的盖部和所述框架开口打开的步骤，
仅在检测出所述正常卡合动作时，能够执行打开所述盖部和所述框架开口的步骤。
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