JP2011054625A - 回路装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】放熱性および耐圧性を高いレベルで両立させた回路装置を提供する。
【解決手段】本発明の混成集積回路装置10は、金属から成る回路基板18と、回路基板18の上面に配置されたパワー基板13と、パワー基板13に隣接するように回路基板18の上面に配置される制御基板11と、回路基板18の周辺部上面に接触して樹脂封止の為の空間を形成するケース材12とを主要に備えている。そして、制御基板11の側辺に切欠き部11Aを設け、この切欠き部11Aにパワー基板13の一部を収納させることにより、両基板の相対的な位置精度を向上させている。
【選択図】図1
【解決手段】本発明の混成集積回路装置10は、金属から成る回路基板18と、回路基板18の上面に配置されたパワー基板13と、パワー基板13に隣接するように回路基板18の上面に配置される制御基板11と、回路基板18の周辺部上面に接触して樹脂封止の為の空間を形成するケース材12とを主要に備えている。そして、制御基板11の側辺に切欠き部11Aを設け、この切欠き部11Aにパワー基板13の一部を収納させることにより、両基板の相対的な位置精度を向上させている。
【選択図】図1
Description
本発明は回路装置に関し、特に、大電流のスイッチングを行うパワー系の半導体素子が回路基板の上面に実装された回路装置に関する。
図9を参照して、従来型の構成集積回路装置100の構成を説明する。先ず、矩形の基板101の表面には、絶縁層102を介して導電パターン103が形成され、この導電パターン103の所望の箇所に回路素子が固着されて、所定の電気回路が形成される。ここでは、回路素子として半導体素子105Aが固着されている。そして、半導体素子105Aの上面に形成された電極は、金属細線114を経由して所望の導電パターン103と接続されている。また、リード104は、基板101の周辺部に形成された導電パターン103から成るパッドに接続され、外部端子として機能している。封止樹脂108は、基板101の表面に形成された電気回路を封止する機能を有する。
ケース材111は、略額縁形状を有して基板101の側面に当接しており、このことにより、基板101の上面に封止樹脂108を貯留するための空間が確保される。
上記構成の混成集積回路装置100の製造方法は次の通りである。先ず、上面が樹脂から成る絶縁層102により被覆された基板101の上面に、所定形状の導電パターン103を形成する。次に、半導体素子105A等の回路素子を基板101の上面に載置して、所定の導電パターン103と半導体素子105Aとを電気的に接続する。更に、パッド状に形成された導電パターン103にリード104を固着する。次に、ケース材111を取り付け、ケース材111により囲まれる空間に、液状又は半固形状の封止樹脂108を注入した後に加熱硬化することにより、半導体素子105Aや金属細線114を樹脂封止する。
しかしながら、上記した混成集積回路装置100では、電圧を数百〔V〕〜千〔V〕程度に昇圧する昇圧チョッパを基板101の上面に組み込んだ場合、絶縁層102の耐圧が不十分な問題があった。
具体的には、基板101の上面は厚みが5μm程度の絶縁層102により被覆されており、この絶縁層102はアルミナ等から成るフィラーが混入されたエポキシ樹脂から成る。即ち、半導体素子105A等の回路素子と接続される導電パターン103と、アルミニウム等の金属から成る基板101とは、この絶縁層102により互いに絶縁されている。
しかしながら、絶縁層102の主材料であるエポキシ樹脂は絶縁耐力が低いので、数百〔V〕〜千〔V〕程度の高電圧が導電パターン103に印加されると、絶縁層102が絶縁破壊を起こし、導電パターン103と基板101とがショートしてしまう問題が発生する。
また、この問題を解決するために絶縁層102を厚くすると、耐圧は確保されるものの、絶縁層102の熱抵抗が高くなってしまうので、半導体素子105Aが動作することにより発生する熱が良好に外部に放出されない他の問題が発生する。
本発明は、上述した問題を鑑みてなされ、本発明の主な目的は、放熱性および耐圧性を高いレベルで両立させた回路装置を提供することにある。
本発明の回路装置は、金属から成る回路基板と、前記回路基板の上面に配置されると共にパワー素子が実装された第1基板と、前記回路基板の上面に配置されると共に前記第1基板に隣接され、前記パワー素子を制御する制御素子が実装された第2基板と、を備え、前記第1基板と隣り合う前記第2基板の側辺を内部に窪ませて切欠き部を設け、前記第1基板の一部を、平面視で前記切欠き部の内部に配置することを特徴とする。
本発明によれば、高電圧の電流をスイッチングするパワー素子を第1基板に実装し、このパワー素子を制御する制御素子を第2基板に実装し、これらの基板を、金属から成る回路基板の上面に直に配置している。この様にすることで、例えば熱伝導に優れるセラミック基板を第1基板として採用し、安価な樹脂製の基板を制御素子が実装される第2基板として採用することができる。セラミックから成る第1基板にパワー素子を実装することにより、パワー素子が動作することにより発生する熱を、第1基板および回路基板を経由して良好に外部に放出することができる。更に、制御素子を樹脂製の基板に実装することにより、一般的に樹脂製の基板はセラミック基板よりも安価であるので、製造コストを安くすることができる。
更に、上記構成により、第1基板および第2基板で絶縁が確保されるので、金属から成る回路基板の上面に、耐圧特性の低い樹脂から成る絶縁層を設ける必要が無くなり、結果的に装置全体としての耐圧特性が向上される。
更に本発明によれば、制御素子が実装される第2基板に切欠き部を設け、パワー素子が実装される第1基板の一部を、この切欠き部に収納している。この様にすることで、制御素子が実装される第2基板に対して、精度良く第1基板を回路基板上に配置することができる。
図1から図3を参照して、回路装置の一例として混成集積回路装置10の構造を説明する。
図1は混成集積回路装置10の概略的構成を示す斜視図であり、この図では混成集積回路装置10を構成する基板やケース材を縦方向に分解して示している。尚、この図では、パワー基板13および制御基板11の上面に配置される導電パターンや素子は省かれており、これらの詳細は図2を参照して後述する。
混成集積回路装置10は、複数の能動素子および受動素子から成る混成集積回路が回路基板の上面に組み込まれた回路装置である。具体的には、混成集積回路装置10は、金属から成る回路基板18と、回路基板18の上面に配置されたパワー基板13(第1基板)と、パワー基板13に隣接するように回路基板18の上面に配置される制御基板11(第2基板)と、回路基板18の周辺部上面に接触して樹脂封止の為の空間を形成するケース材12とを主要に備えている。
本形態では、金属から成る回路基板18の上面に直に混成集積回路装置を組み込むのではなく、回路基板18の上面にパワー基板13と制御基板11を配置し、構成集積回路を構成する素子をこれらの基板の上面に配置している。この様にすることで、回路基板18の上面に絶縁処理を施す必要が無くなるので、図9に示す絶縁層102が排除される。従って、パワー基板13や制御基板11の上面に載置された素子から発生した熱を、回路基板18を経由して外部に良好に放出することができる。
図2を参照して、混成集積回路装置10の構成を詳述する。図2(A)は混成集積回路装置10を具体的に示す平面図であり、図2(B)はその断面図である。
回路基板18は、アルミニウム(Al)や銅(Cu)等を主材料とする金属基板である。回路基板18としてアルミニウムより成る基板を採用した場合は、回路基板18の両主面は陽極酸化膜により被覆されても良い。回路基板18の厚みは、放熱性を高めるために2mm以上(例えば3mm)程度に厚く設定される。また、図2(A)に示すように、回路基板18の両端部付近には、回路基板18を円形に貫通して貫通孔20が設けられている。混成集積回路装置10をヒートシンク等に固定する際には、貫通孔20を貫通するビス等の固定手段により、回路基板18が押圧されることにより固定される。
パワー基板13は、回路基板18の上面に固着されており、厚みが0.6mm程度のセラミック(AlN)から成る基板である。パワー基板13には少なくとも1層(例えば4層)の導電パターン28が形成されており、上面には複数個のパワー素子30が実装されている。
パワー素子30としては、MOSFET、IGBT、バイポーラ・トランジスタが採用される。ここで、パワー素子30とは、例えば電流値が1アンペア以上の電流のスイッチングを行う素子である。パワー素子30の上面に設けられた電極は金属細線32を経由して、パワー基板13の導電パターン28と接続されている。そして、パワー素子30の下面に設けられた電極は、導電性接着材を経由して導電パターン28と電気的に接続される。ここで、パワー基板13の上面に実装されるパワー素子30は、例えば昇圧チョッパやインバータを構成する素子である。更にまた、パワー基板13の上面には、パワー素子30の他にもチップコンデンサ等の受動素子が配置されても良い。
更に、パッド状にされた導電パターン28にはリード14Bが固着されている。リード14Bは、上端が封止樹脂16から外部に導出し、パワー素子30によりスイッチングされる高電圧の電流が通過する外部接続用の端子として機能している。また、混成集積回路装置10が実装基板に実装される際には、実装基板に設けた孔部にリード14Bが貫通するように差込実装される。
制御基板11は、パワー基板13と同様に回路基板18の上面に固着されており、厚みが0.5mm程度の樹脂材料(例えばポリイミド)を主材料とする基板である。制御基板11には、少なくとも1層(例えば2層以上)の導電パターン26が形成されており、上面の導電パターン26には、制御素子22や受動素子(チップコンデンサやチップ抵抗)が配置されている。ここでは、制御素子22は、制御回路が組み込まれたLSIが樹脂封止されたパッケージの状態で、制御基板11の上面に実装されている。しかしながら、制御素子22は、ベアのLSIの状態で制御基板11の上面に実装されても良い。制御基板11の周辺部では、パッド状とされた導電パターン26にリード14Aが固着されており、このリード14Aには制御素子22に入力される制御信号が外部から供給される。
制御基板11に実装された制御素子22と、パワー基板13の上面に実装されたパワー素子30とは、金属細線32を経由して接続される。即ち、制御基板11の上面に配置された導電パターン26と、パワー基板13の上面に配置された導電パターン28とを、金属細線32で接続することにより、制御素子22とパワー基板13とが接続される。また、パワー基板13に隣接する制御基板11の側辺を部分的に切り欠くことで、矩形形状の切欠き部11Aが形成されている。この切欠き部11Aの紙面上に於ける横方向の幅は、パワー基板13の横方向の幅よりも若干長く設定されている。
本形態では、図2(A)を参照して、制御基板11の一側辺に切欠き部11Aを設け、この切欠き部11Aにパワー基板13の一部を収納している。上記したように、制御基板11に設けられる切欠き部11Aの横方向の幅は、パワー基板13の横方向の幅よりも若干長いので、制御基板11の切欠き部11Aにパワー基板13の一部を平面視で収納させることにより、両基板の相対的な位置精度を向上させることができる。
ケース材12は、エポキシ樹脂等の樹脂材料を、額縁状となるように一体的に成型したものである。回路基板18の上面終端部にケース材12を固着することにより、回路基板18の上面に樹脂封止のための空間が設けられる。図2(A)を参照して、紙面上にて横方向に対向するケース材12の側壁を内側に窪ませた内部側壁12Aが設けられている。この内部側壁12Aにより囲まれる領域では、回路基板18の上面は封止樹脂により被覆されずに露出した状態となる。また、内部側壁12Aにより囲まれる領域の回路基板18には貫通孔20が設けられており、この貫通孔20はビス等の固定手段を用いて混成集積回路装置10をヒートシンク等に固定するために用いられる。
封止樹脂16は、エポキシ樹脂またはシリコンゲル等の樹脂材料からなり、ケース材12および回路基板18の上面により囲まれる空間に充填されている。封止樹脂16により、制御基板11、制御素子22、パワー基板13、パワー素子30、金属細線32、リード14Aおよびリード14Bの一部が被覆されている。ここで、封止樹脂16としては、粒状のシリカ等のフィラーが充填された樹脂材料から構成されても良い。
図3を参照して、上記した制御基板11およびパワー基板13の詳細を説明する。図3(A)は制御基板11を拡大して示す断面図であり、図3(B)はパワー基板13を拡大して示す断面図である。
図3(A)を参照して、ポリイミドを主材料とする制御基板11の上面には、制御素子22、受動素子24およびリード14Aが固着されている。制御素子22は、制御回路を備えたLSIが樹脂封止されたものであり、外部に導出するリードが半田を介して、制御基板11の上面の導電パターン26に固着される。そして、チップコンデンサやチップ抵抗である受動素子24は、両端の電極が半田を介して導電パターン26の上面に固着されている。更に、リード14Aの下端は、半田を介してパッド状の導電パターン26に固着されている。
制御基板11の下面は、厚みが0.2mm程度のシート状の接着材34を介して回路基板18の上面に固着されている。制御基板11の上面に実装される制御素子22等は、パワー系の素子と比較すると動作時の発熱量が少ないので、制御基板11を回路基板18に貼着するための接着材34としては、熱抵抗が大きいエポキシ樹脂を主材料とする樹脂系の材料が採用される。
図3(B)を参照して、セラミック基板であるパワー基板13の上面には、パワー素子30およびリード14Bが配置されている。パワー素子30としてMOSFETが採用されると、その下面に設けられたドレイン電極は、半田等の導電性接着材を介して導電パターン28に固着されて電気的に接続される。更に、パワー素子30の上面に設けられたソース電極およびゲート電極は、金属細線32を経由して導電パターン28と接続される。
パワー基板13の下面には導電パターン38が設けられており、この導電パターン38は、固着されるパワー基板13と導通するものでも良いし、導通しないダミーのパターンでも良い。更に、導電パターン38は、パワー基板13の基材であるセラミック基板の下面全域を覆うようにベタの状態に形成されても良いし、例えば4つ程度に島状に分割されても良い。パワー基板13の下面全域を導電パターン38で被覆することにより、アルミニウムや銅から成る導電パターン38は、導電性の接着材36との濡れ性に優れているので、導電性の接着材36を介して良好にパワー基板13を回路基板18の上面に貼着することができる。
接着材36は、厚みが0.4mm程度の導電ペーストまたは半田等の導電性接着材である。ここで、導電ペーストは、銀(Ag)等の金属を粉末の状態でエポキシ樹脂等の樹脂材料に添加させたものである。導電性接着材は、絶縁性のものと比較すると熱伝導性に優れているので、接着材36として導電性接着材を採用することにより、動作するパワー素子30から発生した熱を効率的に外部に放出させることができる。ここで、パワー素子30から発生した熱は、パワー基板13、接着材36および回路基板18をこの順番で伝導して外部に放出される。従って、この熱の経路は、熱伝導性に優れる導電材料または無機物であるセラミックであり、熱の経路に熱抵抗の高い絶縁材料が含まれないので、放熱性が良好なものとなる。
また、回路基板18がアルミニウムから成り上面が陽極酸化膜により被覆されると、上記した経路に陽極酸化膜が含まれることとなる。しかしながら、この場合であっても、陽極酸化膜は無機物であり樹脂材料と比較すると熱伝導性に優れているので、上記した放熱性はそれほど阻害されない。
図4を参照して、上記した構成の混成集積回路装置10に組み込まれる回路の一例を説明する。図4には、太陽電池により発電された直流電力を交流電力に変換する太陽光発電装置の回路図を示している。
この図に示す発電装置は、太陽電池40と、接続箱42と、太陽電池開閉部44と、昇圧チョッパ46と、インバータ48とリレー50、54とを主要に備えている。この様な構成の発電装置により発電された電力は、電力系統56や自立運転用負荷58に供給される。また、本形態の混成集積回路装置10には、昇圧チョッパ46およびインバータ48が組み込まれる。そして、図2(A)に示すパワー素子30は、昇圧チョッパ46またはインバータ48に含まれるトランジスタやダイオード等に対応している。
太陽電池40は、照射された光を電力に変換して出力する変換器であり、直流の電力を出力している。ここでは、1つの太陽電池40が図示されているが、複数個の太陽電池40が採用されても良い。
接続箱42および太陽電池開閉部44は、太陽電池40で発電された電気を集めて逆流を防止すると共に、昇圧チョッパ46に直流電流を供給する機能を備えている。
昇圧チョッパ46は、太陽電池40から供給された直流電力の電圧を昇圧させる機能を備えている。昇圧チョッパ46では、MOSFETであるトランジスタQ1がオン動作およびオフ動作を周期的に繰り返すことにより、太陽電池40により発電された250V程度の電圧の直流電力を、370V程度の直流電力に昇圧している。具体的には、昇圧チョッパ46は、太陽電池の出力端子に対して直列に接続されたコイルL1と、コイルL1と接地端子との間に接続されたトランジスタQ1とを備えている。そして、コイルL1により昇圧された直流電力は、逆流素子の為のダイオードD1および平滑用コンデンサC1を介して、次段のインバータ48に供給される。
昇圧チョッパ46の動作は次の通りである。先ず、トランジスタQ1がオンすると、太陽電池から供給された電力エネルギーがコイルL1に蓄積される。そして、ある時点でトランジスタQ1をオフすると、コイルL1に蓄積された電気エネルギーが、ダイオードD1および平滑用コンデンサC1を経由して、インバータ48に供給される。この様に、オン動作およびオフ動作を繰り返すQ1のスイッチング動作により、太陽電池40により発電された直流電力の電圧を上昇させる。
ここで、昇圧チョッパ46に含まれるトランジスタQ1、ダイオードD1やコンデンサC1が、図2(A)に示すパワー基板13の上面に実装される。また、トランジスタQ1のスイッチングは、図2(A)に示す制御素子22により制御されている。
昇圧チョッパ46により昇圧された直流電力は、インバータ48により所定の周波数の交流電力に変換される。インバータ48は、昇圧チョッパ46の出力端子間に直列に接続された2つのトランジスタQ2およびQ3と、同様に直列に接続された2つのトランジスタQ4およびQ5とを備えている。また、これらのトランジスタのスイッチングは図示しない制御手段により制御されており、Q2とQ3およびQ4とQ6は相補にスイッチングしており。そして、これらのスイッチングにより所定の周波数とされた交流電力は、Q2とQ3との接続点およびQ4とQ5との接続点から、外部に出力される。ここで、インバータ48を構成するトランジスタQ2−Q5が図1に示すパワー基板13の上面に配置され、これらのトランジスタQ2−Q5のスイッチングを制御する制御素子が制御基板11に実装される。
インバータ48により変換された交流電力は、商用の電力系統56または自立運転用負荷58に供給される。電力系統56とインバータ48との間にはリレー50が介装されており、通常時にはリレー50は導通状態と成っており、どちらか一方に異常が検出されたらリレー50は遮断状態とされる。また、インバータ48と自立運転用負荷との間にもリレー54が介装されており、異常状態の際にはリレー54により電力の供給が遮断される。
上記したように、本実施の形態では、昇圧チョッパ46およびインバータ48に含まれる素子を、図1に示すパワー基板13の上面に固着している。この様にすることで、昇圧チョッパ46やインバータ48が動作することにより多量の熱が発生しても、放熱を良好に行うことにより加熱が防止されている。更には、図2(B)に示すように、本形態では回路基板18の上面に、耐圧性に劣る絶縁層が存在しないので、金属から成る回路基板18とこの上面に実装された各素子とのショートが防止されている。
図5から図8を参照して、次に、上記した構成の混成集積回路装置10の製造方法を説明する。
図5を参照して、先ず、回路基板18を用意する。図5(A)は本工程を示す平面図であり、図5(B)は本工程を示す断面図である。
図5(A)および図5(B)を参照して、用意される回路基板18は厚みが3mm程度の厚いアルミニウムや銅等の金属から成る金属基板である。回路基板18の材料としてアルミニウムが採用された場合、回路基板18の上面および下面は陽極酸化膜により被覆されている。尚、回路基板18は、大型の金属基板に対してプレス加工または研削加工を行うことにより所定の形に分離されている。
回路基板18の上面の所定箇所には、接着シート60および導電ペースト62が塗布されており、これらは回路基板18の上面に基板を固着させる際の接着材として機能する。接着シート60は、エポキシ樹脂等の樹脂製の接着材を半硬化させたシートであり、後の工程にて制御基板が配置される領域に、シート状で加圧して貼着されている。導電ペースト62は、粉末状の銀等の導電材料が添加されたエポキシ樹脂からなり、後の工程にてパワー基板が配置される領域に、ペースト状で印刷される。接着シート60および導電ペースト62の厚みは、例えば0.2mm程度である。
図6を参照して、次に、回路基板18の上面に制御基板11およびパワー基板13を貼着する。具体的には、先ず、上面に制御素子22が実装された制御基板11を用意し、先工程にて回路基板18の上面に貼着された接着シート60の上面に制御基板11を配置する。そして、制御基板11の周辺部(制御素子22が配置されていない残余部)を加圧することにより、接着シート60を介して制御基板11を回路基板18の上面に貼着させる。
次に、先工程にて塗布された導電ペースト62の上面に、パワー素子30が実装されたパワー基板13を配置する。そして、パワー基板13の周辺部を加圧することにより、パワー基板13を導電ペースト62を介して回路基板18の上面に貼着させる。この工程では、パワー基板13の上面に配置されたパワー素子30のワイヤボンディングは未だ行われていない。
図6(A)に示すように、本形態では、制御基板11の下側の側辺に切欠き部11Aを設け、パワー基板13の一部を、切欠き部11Aに収納させている。この様にすることで、制御基板11を回路基板18の上面に配置した後に、制御基板11の切欠き部11Aにパワー基板13の一部が収納され、両基板の相対的な位置精度が正確になる。
更に、接着シート60および導電ペースト62に含まれる樹脂が熱硬化性樹脂である場合は、これらを硬化させるための加熱工程が必要とされる。
図7(A)の平面図および図7(B)の断面図を参照して、次に、ワイヤボンディングを行う。具体的には、パワー基板13に実装されたパワー素子30の電極と、パワー基板13の導電パターン28とを、金、銅またはアルミニウムから成る金属細線32で接続する。更には、制御基板11の導電パターン26と、パワー基板13の導電パターン28とを金属細線32で接続する。即ち、パワー基板13に実装されたパワー素子30と、制御基板11に実装された制御素子22とが、両基板が備える導電パターンおよび金属細線32を経由して接続される。
図8(A)および図8(B)を参照して、次に、リードの固着および封止を行う。封止の方法としては、ケース材を用いた封止方法やトランスファーモールド等があるが、ここではケース材12を用いた樹脂封止を行っている。
具体的には、先ず、制御基板11のパッド状の導電パターン26にリード14Aを固着し、パワー基板13のパッド状の導電パターン28にリード14Bを固着する。リード14Aおよびリード14Bの固着は、導電パターンに塗布された半田クリームにリードを配置した後に、半田クリームを加熱溶融させるリフロー工程で行われる。
次に、樹脂材料を額縁状に一体成形したケース材12を、回路基板18の上面周辺部に熱加圧接着する。更に、回路基板18およびケース材12により囲まれる空間に封止樹脂を注入することにより、回路基板18の上面に構築された混成集積回路が樹脂封止される。ここで、封止樹脂としては、エポキシ樹脂またはシリコン樹脂が採用される。図8(A)を参照して、ケース材12の一部は内部に湾曲する内部側壁12Aと成っているので、この内部側壁12Aにより囲まれる回路基板18の上面は封止樹脂により被覆されない。結果的に、この領域に設けた貫通孔20が樹脂封止されずに外部に露出する構成が得られる。
以上の工程により、図1等に構成を示す混成集積回路装置10が製造される。また、図8を参照して、回路基板18の下面を放熱器に当接させる場合は、貫通孔20を貫通するビスにより回路基板18の上面を押圧して放熱器に固定する。
10 混成集積回路装置
11 制御基板
11A 切欠き部
12 ケース材
12A 内部側壁
13 パワー基板
14A,14B リード
16 封止樹脂
18 回路基板
20 貫通孔
22 制御素子
24 受動素子
26 導電パターン
28 導電パターン
30 パワー素子
32 金属細線
34 接着材
36 接着材
38 導電パターン
40 太陽電池
42 接続箱
44 太陽電池開閉部
46 昇圧チョッパ
48 インバータ
50 リレー
54 リレー
56 電力系統
58 自立運転用負荷
60 接着シート
62 導電ペースト
11 制御基板
11A 切欠き部
12 ケース材
12A 内部側壁
13 パワー基板
14A,14B リード
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20 貫通孔
22 制御素子
24 受動素子
26 導電パターン
28 導電パターン
30 パワー素子
32 金属細線
34 接着材
36 接着材
38 導電パターン
40 太陽電池
42 接続箱
44 太陽電池開閉部
46 昇圧チョッパ
48 インバータ
50 リレー
54 リレー
56 電力系統
58 自立運転用負荷
60 接着シート
62 導電ペースト
Claims (5)
- 金属から成る回路基板と、
前記回路基板の上面に配置されると共にパワー素子が実装された第1基板と、
前記回路基板の上面に配置されると共に前記第1基板に隣接され、前記パワー素子を制御する制御素子が実装された第2基板と、を備え、
前記第1基板と隣り合う前記第2基板の側辺を内部に窪ませて切欠き部を設け、前記第1基板の一部を、平面視で前記切欠き部の内部に配置することを特徴とする回路装置。 - 前記第1基板はセラミックから成る基板であり、前記第2基板は樹脂材料から成る基板であることを特徴とする請求項1記載の回路装置。
- 前記第1基板の下面は、導電性接着材を介して、前記回路基板の上面に貼着されることを特徴とする請求項2記載の回路装置。
- 前記回路基板の周囲を囲む額縁状のケース材と、前記ケース材および前記回路基板の上面により囲まれる空間に充填される封止樹脂と、前記封止樹脂から外部に導出するリードと、を更に備え、
前記リードの端部は、前記第1基板または前記第2基板の上面に形成されたパッドに固着されることを特徴とする請求項3記載の回路装置。 - 前記パワー素子は、外部から供給された電力を昇圧する昇圧チョッパ回路を構成する素子であることを特徴とする請求項4記載の回路装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009199927A JP2011054625A (ja) | 2009-08-31 | 2009-08-31 | 回路装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2009199927A JP2011054625A (ja) | 2009-08-31 | 2009-08-31 | 回路装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011054625A true JP2011054625A (ja) | 2011-03-17 |
Family
ID=43943374
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2009199927A Pending JP2011054625A (ja) | 2009-08-31 | 2009-08-31 | 回路装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2011054625A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103683684A (zh) * | 2012-09-19 | 2014-03-26 | 株式会社捷太格特 | 控制装置以及具备该装置的马达单元 |
JPWO2021140771A1 (ja) * | 2020-01-07 | 2021-07-15 | ||
WO2023243306A1 (ja) * | 2022-06-13 | 2023-12-21 | ローム株式会社 | 半導体装置 |
-
2009
- 2009-08-31 JP JP2009199927A patent/JP2011054625A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN103683684A (zh) * | 2012-09-19 | 2014-03-26 | 株式会社捷太格特 | 控制装置以及具备该装置的马达单元 |
JP2014060901A (ja) * | 2012-09-19 | 2014-04-03 | Jtekt Corp | 制御装置および同装置を備えるモータユニット |
JPWO2021140771A1 (ja) * | 2020-01-07 | 2021-07-15 | ||
WO2021140771A1 (ja) * | 2020-01-07 | 2021-07-15 | 富士電機株式会社 | 半導体装置 |
JP7201106B2 (ja) | 2020-01-07 | 2023-01-10 | 富士電機株式会社 | 半導体装置 |
US12009310B2 (en) | 2020-01-07 | 2024-06-11 | Fuji Electric Co., Ltd. | Semiconductor device |
WO2023243306A1 (ja) * | 2022-06-13 | 2023-12-21 | ローム株式会社 | 半導体装置 |
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