JP2011040272A - 平板フィラメントおよびそれを用いたｘ線管装置 - Google Patents

Abstract

【課題】外囲器回転型のＸ線管装置に用いられる平板フィラメントにおいて、平板フィラメントの熱膨張による焦点の変形を防ぐ。
【解決手段】
対となる電極板２２を備えた円状の平板フィラメント３上に、同心円状のスリット２８および直線状のスリット２９が形成されている。これより、一方の電極板２２から分岐と合流とを繰り返す電流路３０を形成する。この電流路３０には電極板２２から供給されるフィラメント電流が流れる。また、電流路３０は、対となる電極板２２を結ぶ直線上で分岐と合流とを繰り返しつつ、対となる電極板２２と平板フィラメント３の中心とを結ぶ直線に対して線対称に形成されているので、それぞれの電流路の熱膨張を均一にさせることができる。
【選択図】 図３

Description

本発明は、Ｘ線を発生させるために熱電子を供給する平板フィラメントおよびそれを用いたＸ線管装置に係り、特に、円状の平板フィラメントに関する。

従来、Ｘ線管装置には、図５に示すように、ボールベアリング５６を用いて回転する回転陽極５３と、電子放出源としてコイル状のフィラメントを用いた陰極５２とを収納する外囲器５１を備え、外囲器５１をさらに管容器（図示省略）に収納した回転陽極型Ｘ線管装置がある。内部が真空である外囲器５１の中で、フィラメントに電流を流すとフィラメント抵抗により熱が発生し、さらにこの熱によりフィラメントから電子ビームが放出される。陰極５２と回転陽極５３とには高電圧を印加しており、陰極５２から発生した電子ビームが回転陽極５３に衝突してＸ線を発生する。回転陽極５３は、ステータ５４より回転駆動力を受けて回転するロータ５５と接続されている。

また近年、陽極が外囲器と一体となって回転し、回転軸の中心に設けられた陰極の電子源からの電子ビームを偏向コイルにより偏向させて、陽極のターゲットディスク上の所定位置に焦点を形成する外囲器回転型のＸ線管装置がある（例えば、特許文献１参照）。かかる回転陽極型や外囲器回転型のＸ線管装置では、陽極が回転するので、陽極に入射する電子ビームがターゲットディスク上の同一位置に集中して衝突することがない。したがって、ターゲットディスク上の同一位置に集中して熱が発生することなく、同一位置に集中して発生した熱によるターゲットディスクの消耗を防止することができる。

また、フィラメントの形状としてコイル状のフィラメントの他にも平板状のフィラメントが考案されている。平板状のフィラメントとして、例えば特許文献２のような平板フィラメントが考案されている。図６に示すように、特許文献２の平板フィラメント６０によれば、中心に対して点対称に曲がりくねった１本の電流路６１が形成されている。また、平板フィラメント６０は、２本の電極板６２を備えている。電流路６１の幅を一定に保つことで電気抵抗を一定とし、平板フィラメント６０全体の温度を均一に保つことで電子密度が均一な電子ビームが得られるものとしている。

特開平１０−６９８６９号公報 米国特許第６，１１５，４５３号

一般に、Ｘ線管のフィラメントは電子ビーム発生時に２０００℃以上の高温に加熱される。上述した特許文献２の平板フィラメント６０では、２つの電極板６２の端部が固定されていることから、熱膨張により発生する力が平板フィラメント６０を反りかえらせる等、いびつな形に変形させる。Ｘ線管の焦点寸法は平板フィラメント６０と集束電極との位置関係に大きく依存するので、平板フィラメント６０の変形量が大きい場合、所定の焦点寸法を満たさなくなる。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、熱膨張による変形を低減した平板フィラメントおよびそれを用いたＸ線管装置を提供することを目的とする。

本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、本発明の第１の発明は、対となる電極板を備えた円状の平板フィラメントにおいて、前記平板フィラメントに形成されたスリットにより前記電極板から供給されるフィラメント電流が流れる電流路を備え、前記電流路は前記平板フィラメントの中心と１対の対向する前記電極板とを結ぶ直線に対して線対称に形成されつつ、前記電流路は対となる前記電極板を結ぶ直線上で分岐と合流とを繰り返すことを特徴とする。

上記構成によれば、対となる電極板を備えた円状の平板フィラメントにはスリットが形成され、電極板から供給されるフィラメント電流が流れる電流路が形成されている。この電流路は、対となる電極板を結ぶ直線上で分岐と合流とを繰り返しつつ、対となる電極板と平板フィラメントの中心とを結ぶ直線に対して線対称に形成されているので、それぞれの平板フィラメントの熱膨張による変形を抑えることができる。

また、電流路の合流部の幅は、分岐された電流路の幅よりも広く、前記電極板の幅よりも狭いことが好ましい。対となる電極板を結ぶ直線上で分岐された電流路の幅よりも広い電流路の合流部が形成されることで、剛性の強い箇所を対となる電極板を結ぶ直線状に形成することができる。これより、平板フィラメントの熱膨張による変形量を低減することができる。

また、平板フィラメントの中心部の前記電流路の幅よりも、前記平板フィラメントの周辺部の前記電流路の幅の方を狭くしてもよい。これより、平板フィラメントの中心から周辺部にかけて発生する熱勾配を低減することができる。熱勾配が低減されると、電子密度の均一な電子ビームを発生させることができる。

また、電極板にはそれぞれ孔が形成され、孔により電極板での電流路の幅が制限されることが望ましい。これより、熱伝導による電極板への熱の逃げを低減することができるので、平板フィラメントの中心から電極板にかけて発生する熱勾配を低減することができる。熱勾配が低減されると、電子密度の均一な電子ビームを発生させることができる。

また、平板フィラメントは、タングステンまたはタンタルまたはこれらの合金であることが望ましい。これより、長寿命の平板フィラメントを形成することができる。

また、一方の電極板からもう一方の電極板までの平板フィラメント上での経路長が、いずれの電流路を経ても同じであることが望ましい。これより、いずれの電流路を選択しても抵抗値は同じであるので、発生する熱の分布を均一にすることができる。

また、平板フィラメントが備える電極板の数が偶数個であることが望ましい。偶数個であれば、対となる電極板と平板フィラメントの中心とを結ぶ直線に対して線対称な電流路を好適に形成することができる。

また、本発明の第２の発明は、外囲器回転型のＸ線管装置であって、電子ビームを発生させる平板フィラメントと、前記平板フィラメントからの電子ビームの衝突によりＸ線を発生させる陽極と、前記平板フィラメントおよび前記陽極を内部に収容する外囲器と、前記外囲器とともに絶縁流体を内部に収容するハウジングと、前記外囲器と接続された回転軸と、前記回転軸を介して前記外囲器を回転させる回転駆動部とを備え、前記平板フィラメントは、対となる電極板を備えた円状の平板フィラメントであって、前記平板フィラメントに形成されたスリットにより前記電極板から供給されるフィラメント電流が流れる電流路を備え、前記電流路は前記平板フィラメントの中心と１対の対向する前記電極板とを結ぶ直線に対して線対称に形成されつつ、前記電流路は対となる前記電極板を結ぶ直線上で分岐と合流とを繰り返すことを特徴とするＸ線管装置。

上記構成によれば、平板フィラメントから発生された電子ビームが陽極に衝突することでＸ線が発生する。この平板フィラメントと陽極は共に外囲器の内部に収容され、さらに外囲器は絶縁流体とともにハウジングの内部に収容されている。外囲器は回転軸と接続され、回転軸を介して回転駆動部により外囲器が回転される。外囲器回転型のＸ線管装置では、陰極も外囲器と一体となって回転するのでコイル状のフィラメントよりも、円形の平板フィラメントの方が好ましい。円形の平板フィラメントであれば、電子密度の偏りの少ない電子ビームを発生させることができる。

また、平板フィラメントは対となる電極板を備えている。さらに、平板フィラメントには、それ自身に形成されたスリットにより、電極板を介して供給されるフィラメント電流が流れる電流路を備えている。この電流路は平板フィラメントの中心と１対の対向する電極板とを結ぶ直線に対して線対称に形成されている。さらに、電流路は対となる前記電極板を結ぶ直線上で分岐と合流とを繰り返す。これより、平板フィラメントの熱膨張による変形を抑えられるので、平板フィラメントから陽極へ射出される電子ビームの焦点の大きさの変化を低減することができる。これより、外囲器回転型のＸ線管装置において、焦点の安定したＸ線を発生することができる。

本発明に係る平板フィラメントによれば、熱膨張による変形を低減した平板フィラメントおよびそれを用いたＸ線管装置を提供することができる。

実施例１に係るＸ線発生装置の全体図である。 実施例１に係る陰極の断面図である。 実施例１に係る平板フィラメントの平面図である。 実施例２に係る平板フィラメントの平面図である。 従来例に係る回転陽極型Ｘ線管装置の全体図である。 従来例に係る平板フィラメントの平面図である。

以下、図面を参照して本発明の実施例１を説明する。
図１は外囲器回転型Ｘ線発生装置の全体図であり、図２は陰極の断面図であり、図３は平板フィラメントの平面図である。

図１に示すように、実施例１に係る外囲器回転型のＸ線管装置１は、内部を真空排気された外囲器２を備えている。この外囲器２内に、高温に加熱され熱電子を放出する平板フィラメント３と、この平板フィラメント３を溝の中に取り付けた集束電極４とを収容し、この２つで陰極５を構成する。平板フィラメント３と集束電極４とは同電位に保持され、平板フィラメント３から放出された電子は、集束電極４によりビーム状に形成された電子ビームとなって陽極６へ衝突する。

陰極５と対向位置の外囲器２の端面には陽極６を配設している。陰極５および陽極６にはそれぞれ回転軸７が接続され、回転軸７は軸受け１９により回転自在に支持されている。電力ケーブル９、軸受け１９またはスリップリング機構（図示省略）、回転軸７を介して、陰極５および陽極６に高電圧発生源１０から高電圧を供給している。これより、加熱された平板フィラメント３から発生した電子ビームは、高電圧が作る電界により陽極６に向けて加速する。さらに電子ビームは外囲器２外に設けられた偏向コイル１１により偏向され、陽極６のターゲットディスク傾斜部に衝突し、Ｘ線を発生する。Ｘ線は外囲器２の放射口１２から放射される。なお、偏向コイル１１は、外囲器２の外部に配設された後述する絶縁容器１３の外部に設けられており、外囲器２と絶縁容器１３とは互いに近接している。

外囲器２は、ステンレス鋼などの金属で形成される。これより、回転体としての機械的強度を増すことができる。なお、Ｘ線が放射される放射口１２を、アルミニウム、チタンなどのＸ線透過性のよい金属で形成する。

陽極６側の回転軸７はモータ１４に連結されて回転し、これに伴い外囲器２と共に陰極５および陽極６も回転する。外囲器２の回転速度は１０，０００ｒｐｍ程度と非常に高回転である。モータ１４は本発明における回転駆動部に相当する。

回転する外囲器２の外部には絶縁容器１３が外囲器２を取り囲むように配設されており、外囲器２と絶縁容器１３との間のギャップには冷却用の絶縁油１７が充填されている。絶縁容器１３は外囲器２の形状に合わせて取り囲んでおり、上述したように外囲器２と絶縁容器１３とは互いに近接している。この絶縁容器１３の両側面部は、陰極５側の回転軸７の同軸上に軸受け１９を介して保持されるとともに、陽極６側の回転軸７の同軸上にも軸受け１９を介して保持されている。絶縁油１７は本発明における絶縁流体に相当する。

絶縁容器１３のさらなる外部には、絶縁容器１３や外囲器２とともに絶縁油１７を内部に収容するハウジング１６を配設している。絶縁容器１３には貫通孔１８を設け、その貫通孔１８を通して、ハウジング１６に収容された絶縁油１７は絶縁容器１３内外間で互いに移送することが可能である。また、ハウジング１６を貫通する回転軸７及び電力ケーブル９とハウジング１６との貫通部分には、絶縁油１７がハウジング１６の外部へ漏れ出すのを防止するオイルシール２０を介装している。また、モータ１４はハウジング１６に支持されている。

次に陰極５について説明する。図２に示すように、平板フィラメント３は２つの電極板２２を備えている。電極板２２はそれぞれ端子棒２３と接続されて固定されている。端子棒２３は、絶縁部２５を貫通して外囲器２の外部に突出している。突出した端子棒２３は配線２６と接続されている。配線２６はフィラメント給電機構８を介して、ハウジング１６の外部のフィラメント電流源（図示省略）と接続される。すなわち、フィラメント電流源から供給されるフィラメント電流は、配線２６、端子棒２３および電極板２２を介して平板フィラメント３に供給される。

平板フィラメント３および電極板２２について、図３を参照して詳細に説明する。円状の平板フィラメント３は１対の電極板２２を備えている。それぞれの電極板２２は平板フィラメント３の直径方向に対向するように配置されている。また、それぞれの電極板２２には、長孔２７が形成されている。平板フィラメント３の直径は４〜９ｍｍ程度である。また、電極板２２の幅は０．６ｍｍ程度であり、長孔２７の短径は０．２ｍｍ程度である。長孔２７は本発明における孔に相当する。

平板フィラメント３の材質は、W（タングステン）、Ｔａ（タンタル）またはそれらの化合物である。また、これらの金属にＲｅ（レニウム）等の再結晶防止剤をさらに添加してもよい。再結晶防止剤を添加することで、平板フィラメント３の強度劣化を防ぐことができる。平板フィラメント３はこれらの金属の薄板より形成され、その厚みは０．０５ｍｍ〜２ｍｍ程度が好ましい。

平板フィラメント３には平板フィラメント３の外周に沿うような同心円状のスリット２８および電極板２２と９０度の角度をなす直線状のスリット２９が形成されている。これらのスリットにより、平板フィラメント３上には、分岐と合流とを繰り返す電流路３０が形成されている。つまり、平板フィラメント３上において一方の電極板２２から電流路３０が弧状に二手に分岐され、両電極板２２の中間に位置する直線状スリット２９まで辿ると電流路３０はそれぞれ折り返す。折り返した後それぞれ弧状の電流路３０を辿ると、電流路３０は対向する２本の電極板２２を結ぶ直線上で合流する。電流路３０は合流した後さらに二手に分岐して、両電極板２２の中間に位置する直線状スリット２９まで辿るとそれぞれ折り返して再度、対向する２本の電極板２２を結ぶ直線上で合流する。このように、電流路３０は分岐と合流とを繰り返し、平板フィラメント３の中心部で合流した後も、分岐と合流とを繰り返してもう一方の電極板２２に辿る構造である。平板フィラメント３には、直線状に５箇所の合流部３１が設けられている。

このように、電流路３０は、平板フィラメント３の中心と１対の電極板２２とを結ぶ直線に対して線対称に形成されつつ、電流路３０は対となる電極板２２を結ぶ直線上で分岐と合流とを繰り返す。また、一方の電極板２２からもう一方の電極板２２までの経路長が、いずれの電流路３０を経ても同じである。すなわち、どの経路を経ても抵抗値は同じであるので、電流路３０を流れる電流に偏りが生じない。これより、平板フィラメント３で発生する熱の分布を均一にすることができる。

なお、スリット２８およびスリット２９のスリット幅は０．１ｍｍ程度であるが、これに限らない。また、このスリット間隔により電流路３０間のショートを防いでいる。電流路３０の幅は０．３ｍｍ程度である。

二手に分岐した電流路３０の合流部３１の幅は、二手に分岐した電流路３０の幅よりも広く形成されている。これより、対向する２本の電極板２２を結ぶ直線上に、二手に分岐した電流路の幅よりも幅の広い箇所が繰り返し形成されているので、電流路３０の幅を一定に形成した平板フィラメントよりも剛性を強くすることができる。つまり、一対の電極板２２を結ぶ直線上に梁が形成されたように剛性を強くすることができる。これより、電流路３０にフィラメント電流を流して平板フィラメント３が高温になった際に、従来例に比べて平板フィラメント３の変形量を少なくすることができる。実施例１における電流路２２の合流部３１の幅は、電極板２２の幅よりも小さく形成しており、具体的には０．５ｍｍ程度である。

また、電極板２２には、平板フィラメント近傍に長孔２７が形成されているので、長孔２７により電極板２２に流れる電流の電流路が制限される。これより、熱伝導による熱の逃げを抑制することができるので、平板フィラメント３の中心から電極板２２にかけて生じる熱勾配を低減することができる。熱勾配が低減されると、電子密度が均一な電子ビームを発生させることができる。実施例１では、長孔２７の形状は楕円形であるが、これに限らず例えば長方形でもよい。

次にＸ線発生の動作説明をする。陰極５および陽極６はモータ１４の回転に伴い回転軸７により外囲器２と共に高速で回転する。電極板２２の一方より、フィラメント電流が平板フィラメント３に流れると、フィラメント電流は、電流路３０の形状にしたがって一方の電極板２２から二手に分岐する。両電極板２２との中間に位置する直線状スリット２９まで辿るとそれぞれ折り返し、その後、対向する２本の電極板２２を結ぶ直線上で合流する。フィラメント電流は合流した後さらに二手に分岐して、両電極板２２の中間に位置する直線状スリット２９まで辿るとそれぞれ折り返して再度合流する。このようにフィラメント電流は分岐と合流とを繰り返し、平板フィラメント３の中心部で合流した後も、分岐と合流とを繰り返してもう一方の電極板２２に流れる。

電流路３０にフィラメント電流が流れると熱が発生し、平板フィラメント３が加熱される。また、平板フィラメント３が上述した構造により、平板フィラメント３上のどの電流路３０の経路をとっても、電極板２２からもう一方の電極板２２までの抵抗値は同じである。これより、平板フィラメント３上に発生する熱の分布を均一にすることができる。これより、加熱された平板フィラメント３から放出される電子ビームの電子密度も均一にすることができる。

また、平板フィラメント３には対向する２本の電極板２２を結ぶ直線上に二手に分岐した電流路３０の幅よりも幅の広い箇所が繰り返し形成されているので、平板フィラメント３の剛性を強くすることができる。これより、熱膨張時に電流路３０の反りかえりを抑えることができる。平板フィラメント３から放出された電子は、集束電極４により適切に集束され、焦点の変動の低減した電子ビームを形成することができる。

このようにして射出された電子ビームは偏向コイル１１により偏向され、陽極６のターゲットディスク傾斜部に衝突し、Ｘ線を発生する。電子ビームが陽極６のターゲットディスクに衝突する際、上述したように焦点の変動が低減されているので、焦点が安定したＸ線を発生させることができる。発生したＸ線は外囲器２の放射口１２から放射される。

このように、実施例１の平板フィラメント３およびＸ線管装置１によれば、電流路３０が対となる電極板２２を結ぶ直線状で分岐と合流とを繰り返しつつ対となる電極板２２とフィラメントの中心とを結ぶ直線に対して線対称に形成されているので、電流路３０の熱膨張による変形を抑えることができる。これより、平板フィラメント３から発生する電子ビームの電子密度を均一にすることができる。電子ビームの電子密度が均一であれば、陽極１２に衝突して発生するＸ線の強度分布も均一にすることができる。

さらに、電流路３０の合流部３１の幅は、分岐された電流路３０の幅よりも広く、電極板２２の幅よりも狭い。これより、分岐された電流路３０の幅よりも広い電流路の合流部３１を、対となる電極板２２を結ぶ直線上に形成することで、剛性の強い箇所を直線状に連続的に形成することができる。これより、平板フィラメント３の熱膨張による変形を低減することができる。この結果、電流路３０および平板フィラメント３の反りかえりを抑えることができる。平板フィラメント３がいびつな変形をすることがないので、集束電極４に対する平板フィラメント３の変形を低減することができる。また、平板フィラメント３から放出された電子を集束電極４において適切に集束することができるので、陽極６上の焦点の変形を低減することができる。これより、焦点の安定したＸ線を発生させることができる。

上述した実施例１では、平板フィラメント３は１対すなわち２本の電極板２２を備えていたが、２対すなわち４本の電極板２２を備える構成でもよい。この場合、図４に示すように、電極板２２は平板フィラメント４０の周囲に９０度おきに配置されている。以下、実施例１と実施例２との違いを説明し、共通する事項に関しては説明を省略する。

実施例２では、４本の電極板２２が円形の平板フィラメント４０に備えられている。これら４本の電極板２２は、フィラメント電流の入力部と出力部とにそれぞれ２本づつに分けられ、１本の端子棒２３にそれぞれ２本の電極板２２が接続されている。また、４本の端子棒２３を用意して、電極板２２にそれぞれ接続する構成でもよい。

平板フィラメント４０上には、平板フィラメント４０の外周に沿うような同心円状のスリット４２と、それぞれの電極板２２と４５度の角度をなす直線状のスリット４３が形成されている。これらのスリットにより分岐と合流とを繰り返す電流路４１が平板フィラメント４０に形成されている。つまり、一方の電極板２２から電流路４１が弧状に二手に分岐され、隣り合う電極板２２との中間に位置する直線スリット４３まで辿ると電流路４１はそれぞれ折り返す。折り返した後それぞれ弧状の電流路４１を辿ると、電流路４１は対向する２本の電極板２２を結ぶ直線上で合流する。電流路４１は合流した後さらに二手に分岐して、隣り合う電極板２２の中間に位置する直線スリット４３まで辿るとそれぞれ折り返して再度対向する２本の電極板２２を結ぶ直線上で合流する。このように、電流路４１は分岐と合流とを繰り返し、平板フィラメント４０の中心部で合流した後も、分岐と合流とを繰り返してもう一方の電極板２２に辿る構造である。平板フィラメント４０には、十字状に９箇所の合流部が設けられている。

実施例２の平板フィラメント４０には、２対すなわち４本の電極板２２が備えられているが、これらのうち２本の電極板２２がフィラメント電流の入力部であり、残り２本の電極板２２がフィラメント電流の出力部となる。４本の電極板２２のうちいずれの２本を入力部とするかについては制限はないが、入力部と出力部とには必ず２本づつ用いる。例えば、３本の電極板２２を入力部とした場合、出力部は１本だけとなるので、電流路４１に流れる電流に偏りが生じる。この場合、フィラメント４０で発生する熱の分布に偏りが生じるので好ましくない。

実施例２の平板フィラメント４０およびそれを用いたＸ線管装置によれば、平板フィラメント４０が４本の電極板２２により固定されているので、実施例１に比べ平板フィラメント４０の変形をより低減することができる。さらに、平板フィラメント４０には、対向する２本の電極板２２を結ぶそれぞれの直線上に、二手に分岐した電流路４１の幅よりも幅の広い合流部が繰り返し形成されるので、平板フィラメント４０の剛性を強くすることができる。実施例２の場合、十字状に剛性の強い箇所が連続的に形成されているので、引用例１よりもさらに平板フィラメントの熱膨張による変形を低減することができる。

本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。

（１）上述した実施例では、電流路３０の幅は、平板フィラメント３の中心部も周辺部も同じ幅で形成していたが、平板フィラメント３で発生する熱の分布が中心部ほど高温になるのであれば、平板フィラメント３の中心部の電流路３０の幅を広くして、周辺部の電流路３０の幅を狭くしてもよい。スリット２８の幅及び位置を調整することで電流路３０の幅を調整することができる。低温になりやすい周辺部の電流路３０の幅が中心部よりも狭いので、中心部よりも周辺部の電流路３０の抵抗値を増すことができる。これより、周辺部の電流路３０を中心部よりも高温にすることができ、平板フィラメント３の熱分布を均一にすることができる。

（２）上述した実施例では、電流路３０の数は２本または４本であったが、これに限らず６本でもよいし、偶数本であればよい。

１ … Ｘ線管装置
２ … 外囲器
３、４０ … 平板フィラメント
４ … 集束電極
５ … 陰極
６ … 陽極
７ … 回転軸
１４ … モータ
１６ … ハウジング
２２ … 電極板
２７ … 長孔
２８、２９、４２、４３ … スリット
３０、４１ … 電流路
３１ … 合流部

Claims (8)

1. 対となる電極板を備えた円状の平板フィラメントにおいて、
   前記平板フィラメントに形成されたスリットにより前記電極板から供給されるフィラメント電流が流れる電流路を備え、
   前記電流路は前記平板フィラメントの中心と１対の対向する前記電極板とを結ぶ直線に対して線対称に形成されつつ、
   前記電流路は対となる前記電極板を結ぶ直線上で分岐と合流とを繰り返す
   ことを特徴とする平板フィラメント。
2. 請求項１に記載の平板フィラメントにおいて、
   前記電流路の合流部の幅は、分岐された電流路の幅よりも広く、前記電極板の幅よりも狭いことを特徴とする平板フィラメント。
3. 請求項１または２に記載の平板フィラメントにおいて、
   前記平板フィラメントの中心部の前記電流路の幅よりも、前記平板フィラメントの周辺部の前記電流路の幅の方が狭い
   ことを特徴とする平板フィラメント。
4. 請求項１から３のいずれか１つに記載の平板フィラメントにおいて、
   前記電極板にはそれぞれ孔が形成され、
   前記孔により前記電極板に流れる電流が制限される
   ことを特徴とする平板フィラメント。
5. 請求項１から４のいずれか１つに記載の平板フィラメントにおいて、
   前記平板フィラメントは、タングステンまたはタンタルまたはこれらの合金である
   ことを特徴とする平板フィラメント。
6. 請求項１から５のいずれか１つに記載の平板フィラメントにおいて、
   一方の前記電極板からもう一方の前記電極板までの前記平板フィラメント上での経路長が、いずれの前記電流路を経ても同じである
   ことを特徴とする平板フィラメント。
7. 請求項１から６のいずれか１つに記載の平板フィラメントにおいて、
   前記平板フィラメントが備える前記電極板の数が偶数個である
   ことを特徴とする平板フィラメント。
8. 外囲器回転型のＸ線管装置であって、
   電子ビームを発生させる平板フィラメントと、
   前記平板フィラメントからの電子ビームの衝突によりＸ線を発生させる陽極と、
   前記平板フィラメントおよび前記陽極を内部に収容する外囲器と、
   前記外囲器とともに絶縁流体を内部に収容するハウジングと、
   前記外囲器と接続された回転軸と、
   前記回転軸を介して前記外囲器を回転させる回転駆動部とを備え、
   前記平板フィラメントは、対となる電極板を備えた円状の平板フィラメントであって、前記平板フィラメントに形成されたスリットにより前記電極板から供給されるフィラメント電流が流れる電流路を備え、前記電流路は前記平板フィラメントの中心と１対の対向する前記電極板とを結ぶ直線に対して線対称に形成されつつ、前記電流路は対となる前記電極板を結ぶ直線上で分岐と合流とを繰り返す
   ことを特徴とするＸ線管装置。

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