JP2011027475A - Magnetic measurement sensor - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic measurement sensor that can obtain accurate magnetic characteristics, without separating an insulating cover of an electromagnetic steel plate, reduces the size of coil, and improves the measurement accuracy. <P>SOLUTION: The magnetic measurement sensor includes a sensor base, four probes and two coils. The sensor base includes four holes. Springs are housed in the holes. The base end sections of the probes are inserted into the holes housing the springs. Spiral grooves are formed on inner peripheral surfaces of the holes. Screws are formed on the outer peripheral surfaces of the base end sections of the probes so that the screws are threadedly engaged with the spiral grooves. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、板形状の磁性体の二次元平面における磁気特性を得るために用いられる磁気測定センサに関する。   The present invention relates to a magnetic measurement sensor used for obtaining magnetic characteristics in a two-dimensional plane of a plate-shaped magnetic body.

省エネルギー化のために電気機器のエネルギーの高効率化が検討されている。この電気機器のエネルギーの高効率化を達成する手段として、電動機や変圧器などの鉄心材料に用いられている電磁鋼板の磁気損失を減らす必要がある。このためには、この電磁鋼板の局所磁気特性を正確に把握する必要がある。
この局所磁気特性を測定するため、二次元ベクトル磁気特性を利用した磁気センサが使用される。
従来の磁気測定センサは、非特許文献1に示すように、X方向とY方向との磁束密度を測定するための2組の探針と、磁界強度を測定するための各方向のコイルとを有している。これらの探針の中にはバネを有しており、圧力を加えることによって確実に試料に接触する。
In order to save energy, increasing the energy efficiency of electrical equipment is being studied. As a means for achieving high energy efficiency of this electrical equipment, it is necessary to reduce the magnetic loss of the electrical steel sheet used for the iron core material such as an electric motor and a transformer. For this purpose, it is necessary to accurately grasp the local magnetic characteristics of the electrical steel sheet.
In order to measure this local magnetic characteristic, a magnetic sensor using a two-dimensional vector magnetic characteristic is used.
As shown in Non-Patent Document 1, the conventional magnetic measurement sensor includes two sets of probes for measuring the magnetic flux density in the X direction and the Y direction, and a coil in each direction for measuring the magnetic field strength. Have. Each of these probes has a spring and reliably contacts the sample by applying pressure.

榎園、藤山、芹川「三相誘導電動機モデル鉄心の局所二次元磁気特性分布」電気学会論文誌A、119巻11号、1336〜1341頁Gion, Fujiyama, Yodogawa "Local two-dimensional magnetic property distribution of a three-phase induction motor model core" IEICE Transactions, Vol.119, No.11, 1336-1341

しかしながら、非特許文献1に記載の発明によれば、電磁鋼板は絶縁被覆が施されており、通常の探針では絶縁被覆を貫通することができなかった。そのため、従来の磁気測定センサにて測定する際、絶縁被覆を剥離する必要があった。
さらにまた、従来の磁気測定センサで用いられてきたコイルは、サイズが大きい。しかし、十分な感度を得るためにはコイルの小型化、つまり、磁気測定センサの小型化が困難であった。
However, according to the invention described in Non-Patent Document 1, the magnetic steel sheet is provided with an insulating coating, and an ordinary probe cannot penetrate the insulating coating. Therefore, it was necessary to peel off the insulation coating when measuring with a conventional magnetic sensor.
Furthermore, the coils used in conventional magnetic measurement sensors are large in size. However, in order to obtain sufficient sensitivity, it has been difficult to downsize the coil, that is, downsize the magnetic measurement sensor.

そこで、本発明は、測定精度を向上させた磁気測定センサを提供することを目的とする。また、電磁鋼板の絶縁被覆を剥離せずに、正確な磁気特性を得ることができ、コイルの小型化を達成した磁気測定センサを提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide a magnetic measurement sensor with improved measurement accuracy. It is another object of the present invention to provide a magnetic measurement sensor that can obtain accurate magnetic characteristics without peeling off the insulation coating of the electromagnetic steel sheet and achieves downsizing of the coil.

請求項1に記載の発明は、センサベースと、このセンサベースの先端から各探針が四角形の頂点に位置するよう同一長さで突出した4本の探針と、上記センサベースの先端平面にそれぞれの巻き方向が成す角度が90度になるように保持された2個のコイルとを有し、対角位置に存する2本の探針を1組の測定部とすることにより、2組の測定部を構成し、各測定部の2本の探針は2本の配線の一端に、センサベースの先端平面にてそれぞれ接続され、これら配線の他端はそれぞれ電圧検出部に接続された磁気測定センサであって、上記センサベースの先端平面に4箇所の孔が設けられ、これらの孔にバネがそれぞれ収納され、上記探針の基端部が上記孔にそれぞれ挿入され、これらの探針が孔から突出するように上記バネにより付勢されているとともに、この孔の内周面には螺旋状の溝が形成され、この螺旋状の溝に螺合されるように探針の基端部の外周面にねじが形成された磁気測定センサである。   According to the first aspect of the present invention, there are provided a sensor base, four probes protruding from the tip of the sensor base with the same length so that each probe is positioned at the apex of the quadrilateral, and a tip plane of the sensor base. And two coils held so that the angle formed by each winding direction is 90 degrees, and two sets of probes located at diagonal positions are used as one set of measurement units. A measuring unit is configured, and the two probes of each measuring unit are connected to one end of two wires at the tip plane of the sensor base, respectively, and the other end of these wires is connected to the voltage detecting unit. A measurement sensor, wherein four holes are provided in the tip plane of the sensor base, springs are respectively stored in these holes, and base ends of the probes are respectively inserted into the holes. Is biased by the spring so that it protrudes from the hole In addition, a magnetic measurement sensor in which a spiral groove is formed on the inner peripheral surface of the hole and a screw is formed on the outer peripheral surface of the proximal end portion of the probe so as to be screwed into the spiral groove. is there.

請求項1に記載の発明によれば、それぞれの巻き方向が成す角度が90度になるように保持された2個のコイルを有している。このため、電磁鋼板のX方向及びY方向における磁界を検知することができる。
また、この磁気測定センサは4本の探針を有している。これらの探針は四角形の頂点に位置するように同一長さで突出している。対角位置に存する2本の探針を1組の測定部とすることにより、2組の測定部を構成している。このように構成することにより、電磁鋼板のX方向及びY方向における磁束密度、および磁界強度を測定することができる。
この磁束密度を測定するに際し、本発明は、探針の先端部に近い位置、すなわち、センサベースの先端平面に接続している。このため、電磁鋼板の近い位置から測定することにより、従来より測定誤差を小さくすることができる。
また、センサベースに形成された4箇所の孔には螺旋状の溝が形成されている。そして、この螺旋状の溝に螺合されるように探針の基端部の外周面にはねじが形成されている。この孔に探針が挿入されている。このため、探針を押圧すると、螺旋状の溝とねじにより探針が回転する。探針が回転すると、てこの原理により探針は絶縁被覆を貫通し、電磁鋼板に接触させることができる。
また、孔の中にバネが収納されている。このため、押圧を解除すると、探針は逆回転し、探針は押圧前の状態に戻される。
According to the first aspect of the present invention, there are two coils held so that the angle formed by each winding direction is 90 degrees. For this reason, the magnetic field in the X direction and the Y direction of the electrical steel sheet can be detected.
This magnetic measurement sensor has four probes. These probes protrude with the same length so as to be located at the apex of the quadrangle. Two sets of measuring units are configured by using two probes at diagonal positions as one set of measuring units. By comprising in this way, the magnetic flux density in the X direction and the Y direction of a magnetic steel plate, and a magnetic field strength can be measured.
In measuring this magnetic flux density, the present invention is connected to a position close to the tip of the probe, that is, the tip plane of the sensor base. For this reason, a measurement error can be made smaller than before by measuring from a position near the electromagnetic steel sheet.
In addition, spiral grooves are formed in the four holes formed in the sensor base. A screw is formed on the outer peripheral surface of the proximal end portion of the probe so as to be screwed into the spiral groove. A probe is inserted into this hole. For this reason, when the probe is pressed, the probe is rotated by the spiral groove and screw. When the probe rotates, the probe can penetrate the insulating coating and contact with the magnetic steel sheet by the lever principle.
A spring is housed in the hole. For this reason, when the pressing is released, the probe rotates backward, and the probe is returned to the state before the pressing.

探針は、電磁鋼板における磁束密度を求めるために設けられている。導電性の板状の磁性鋼板に探針を接触させる。その後、電磁鋼板が交流励磁される。この際に鋼板に渦電流が発生する。この渦電流を測定することによって、磁束密度を算出することができる。
コイルは、電磁鋼板における磁界強度を求めるために設けられている。電磁鋼板が交流励磁された際に、電磁鋼板表面の磁界から誘起され、コイルに電気が流れる。その電圧を測定することによって、磁界強度を算出することができる。
リード線の断面積Sc、巻数Nのコイルに流れる電気の電圧Vc、探針の断面積Sp[m]、探針間の電位差Vp[V]の場合、探針間の磁束密度B及び磁界強度Hは、

Figure 2011027475
にて求めることができる。 The probe is provided to obtain the magnetic flux density in the electromagnetic steel sheet. A probe is brought into contact with a conductive plate-like magnetic steel plate. Thereafter, the magnetic steel sheet is AC-excited. At this time, an eddy current is generated in the steel plate. By measuring this eddy current, the magnetic flux density can be calculated.
The coil is provided to obtain the magnetic field strength in the electromagnetic steel sheet. When the magnetic steel sheet is AC-excited, it is induced from the magnetic field on the surface of the magnetic steel sheet, and electricity flows through the coil. By measuring the voltage, the magnetic field strength can be calculated.
In the case of the cross-sectional area Sc of the lead wire, the electric voltage Vc flowing through the coil having N turns, the cross-sectional area Sp [m 2 ] of the probe, and the potential difference Vp [V] between the probes, the magnetic flux density B and the magnetic field between the probes Strength H is
Figure 2011027475
It can ask for.

請求項2に記載の発明は、上記センサベースの先端平面にフレキシブル基板が設けられ、このフレキシブル基板には上記探針と、電圧検出部とを電気的に接続する導体パターンが形成された請求項1に記載の磁気測定センサである。   According to a second aspect of the present invention, there is provided a flexible substrate on the front end plane of the sensor base, and a conductive pattern for electrically connecting the probe and the voltage detecting portion is formed on the flexible substrate. 1. The magnetic measurement sensor according to 1.

上記フレキシブル基板の材質は、フェノール、エポキシ、ポリイミド、ポリスチレンなどを採用することができる。好ましいものは、ポリイミド、ポリスチレンである。これらの材質は誘電損失が小さく、基板によるノイズの影響を小さくすることができる。   As the material of the flexible substrate, phenol, epoxy, polyimide, polystyrene, or the like can be used. Preferred are polyimide and polystyrene. These materials have low dielectric loss and can reduce the influence of noise caused by the substrate.

請求項3に記載の発明は、上記2個のコイルは外径0.03mm以下のエナメル線で構成される請求項1または請求項2に記載の磁気測定センサである。   A third aspect of the present invention is the magnetic measurement sensor according to the first or second aspect, wherein the two coils are formed of enameled wires having an outer diameter of 0.03 mm or less.

請求項3に記載の発明によれば、上記コイルが使用するエナメル線の外径を0.03mm以下と極細線を使用する。このため、コイルの巻き数が増えてもコイルが大型化することがなく、結果として磁気測定センサを小型化することができる。   According to invention of Claim 3, the outer diameter of the enamel wire which the said coil uses is 0.03 mm or less, and uses a very fine wire. For this reason, even if the number of turns of the coil increases, the coil does not increase in size, and as a result, the magnetic measurement sensor can be reduced in size.

本発明に係る磁気測定センサによれば、測定精度を向上させることができる。また、電磁鋼板の絶縁被覆を剥離せずに、正確な磁気特性を得ることができ、コイルの小型化を達成することができる。   According to the magnetic measurement sensor of the present invention, the measurement accuracy can be improved. In addition, accurate magnetic characteristics can be obtained without peeling off the insulation coating of the electromagnetic steel sheet, and the coil can be miniaturized.

本発明の実施例に係る磁気測定センサの分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the magnetic measurement sensor which concerns on the Example of this invention. 本発明の実施例に係る磁気測定センサの縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the magnetic measurement sensor which concerns on the Example of this invention. 本発明の実施例に係る磁気測定センサの左側面図である。It is a left view of the magnetic measurement sensor which concerns on the Example of this invention. 本発明の実施例に係る磁気測定センサの縦断面の拡大図である。It is an enlarged view of the longitudinal cross-section of the magnetic measurement sensor which concerns on the Example of this invention. 本発明の実施例に係る磁気測定センサの先端部分における探針とフレキシブル基板との関係を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the relationship between the probe in the front-end | tip part of the magnetic measurement sensor which concerns on the Example of this invention, and a flexible substrate.

本発明の実施例に係る磁気測定センサ10は、図1に示すように、メインベース11に嵌め込まれたサブベース12にフレキシブル基板14が設けられている。そして、このサブベース12にコイルベース15が設けられ、このコイルベース15にコイル16が取り付けられている。
上記メインベース11と、上記サブベース12に形成された4箇所の探針挿入孔部に4本の探針13a,13b,13c,13dが、同じ長さだけ突出するように設けられている。
As shown in FIG. 1, the magnetic measurement sensor 10 according to the embodiment of the present invention is provided with a flexible substrate 14 on a sub base 12 fitted in a main base 11. A coil base 15 is provided on the sub-base 12, and a coil 16 is attached to the coil base 15.
Four probe insertion holes 13a, 13b, 13c, and 13d are provided in the four probe insertion holes formed in the main base 11 and the sub base 12 so as to protrude by the same length.

上記メインベース11は、プラスチック製で形成された直方体の部材である。このメインベース11の先端には、平面視して四角形の凹部11aが形成され、この凹部11aの周縁部分に4箇所の探針挿入孔11bが形成されている。この探針挿入孔11bの内壁には螺旋状の溝が形成されている。この探針挿入孔11bの内部にはバネ11dが収納されている。
また、この凹部の中央部分に第1のケーブル挿通貫通孔11cが形成されている。
The main base 11 is a rectangular parallelepiped member made of plastic. The front end of the main base 11 is formed with a quadrangular recess 11a in plan view, and four probe insertion holes 11b are formed in the peripheral portion of the recess 11a. A spiral groove is formed on the inner wall of the probe insertion hole 11b. A spring 11d is accommodated in the probe insertion hole 11b.
Moreover, the 1st cable penetration through-hole 11c is formed in the center part of this recessed part.

上記サブベース12はプラスチック製で形成された略直方体の部材である。このサブベース12の中央部分に第2のケーブル挿通貫通孔12cが形成されている 上記探針挿入孔11bと重なり合う位置に探針挿入貫通孔12bが形成されている。
このサブベース12は、上記凹部11aの大きさと略等しく形成されている。
このサブベース12は、この凹部11aに嵌め込まれている。このサブベース12がこの凹部に嵌め込まれた際に、上記第1のケーブル挿通貫通孔11cと、上記第2のケーブル挿通貫通孔12cとが、重なり合う位置に設けられているため、一つのケーブル挿通貫通孔となる。そして、上記探針挿入貫通孔12bと、上記探針挿入孔11bとが重なり合う位置に設けられているため、4箇所の探針挿入孔部が形成されている。
The sub-base 12 is a substantially rectangular parallelepiped member made of plastic. A second cable insertion through hole 12c is formed at the center of the sub-base 12. A probe insertion through hole 12b is formed at a position overlapping the probe insertion hole 11b.
The sub-base 12 is formed approximately equal to the size of the recess 11a.
The sub base 12 is fitted into the recess 11a. When the sub-base 12 is fitted into the recess, the first cable insertion through hole 11c and the second cable insertion through hole 12c are provided at overlapping positions. It becomes a through hole. And since the said probe insertion through-hole 12b and the said probe insertion hole 11b are provided in the position which overlaps, the four probe insertion hole parts are formed.

上記探針13a,13b,13c,13dは、それぞれ同じ長さの金属製の4本の棒材で形成されている。これらの探針13a,13b,13c,a3dは対角線が成す角度が90度である四角形の頂点に位置するように設けられている。これらの探針13a,13b,13c,13dは、それぞれ上記探針挿入孔部に挿入されている。
上記探針13a,13b,13c,13dの外周面にはねじが形成されている。このねじが上記探針挿入孔11bの内壁に形成された螺旋状の溝に螺合される。このため、メインベース11を押圧すると、この探針13a,13b,13c,13dに形成されたねじと、この探針挿入孔11bに形成された溝とが螺合することにより、探針13a,13b,13c,13dは回転する。
上記探針のうちの1本13aと、それに対し対角位置に存在する探針13bとをセットで、一方の測定部13Aとする。そして、残りの探針13c,13dを他方の測定部13Bとする。つまり、一方の測定部13Aは、測定対象である電磁鋼板の横方向(X方向)における磁気特性を測定する測定部として使用し、他方の測定部13Bはこの電磁鋼板の縦方向(Y方向)における磁気特性を測定する測定部として使用する。
The probes 13a, 13b, 13c, and 13d are formed of four metal rods having the same length. These probes 13a, 13b, 13c, and a3d are provided so as to be positioned at the apexes of a quadrangle whose diagonal is 90 degrees. These probes 13a, 13b, 13c, and 13d are inserted into the probe insertion holes, respectively.
Screws are formed on the outer peripheral surfaces of the probes 13a, 13b, 13c, and 13d. This screw is screwed into a spiral groove formed on the inner wall of the probe insertion hole 11b. For this reason, when the main base 11 is pressed, the screws formed in the probes 13a, 13b, 13c, and 13d and the grooves formed in the probe insertion hole 11b are screwed together, whereby the probes 13a, 13b, 13c, and 13d rotate.
One of the probes 13a and the probe 13b that exists diagonally with respect to the probe 13a are used as a set as one measuring unit 13A. The remaining probes 13c and 13d are used as the other measurement unit 13B. That is, one measurement unit 13A is used as a measurement unit that measures magnetic characteristics in the horizontal direction (X direction) of the electrical steel sheet that is the measurement target, and the other measurement unit 13B is used in the longitudinal direction (Y direction) of the electrical steel sheet. It is used as a measuring unit that measures the magnetic characteristics of

上記フレキシブル基板14は、ポリイミド製フィルムに銅箔を貼り合わせた銅張板の表面に上記銅箔をエッチングや金属メッキにより4本の配線が形成された基板である。これらの配線は、2本で1組の配線部14c,14dとすることにより、2組の配線部14c,14dを構成する。一方の配線部14cの配線の一端はそれぞれ一方の測定部13Aを構成する探針13a,13bに接続されている。具体的には、このフレキシブル基板14には対角線が成す角度が90度である四角形の頂点に位置するように設けられた4箇所の孔があり、これらの孔に、上記探針13a,13bがそれぞれ挿入されている。これらの探針13a,13bと、上記配線の一端とが接する位置に、はんだで探針と配線とを接続している。同様に、他方の配線部14dの配線の一端はそれぞれ一方の測定部13Bを構成する探針13c,13dに接続されている。
上記一方の配線部14cの配線の他端は、図示しない電圧計に接続されている。
The flexible substrate 14 is a substrate in which four wirings are formed by etching or metal plating the copper foil on the surface of a copper-clad plate obtained by bonding a copper foil to a polyimide film. These wirings constitute two sets of wiring sections 14c and 14d by forming two sets of wiring sections 14c and 14d. One end of the wiring of one wiring part 14c is connected to the probes 13a and 13b constituting one measuring part 13A. Specifically, the flexible substrate 14 has four holes provided so as to be located at the vertices of a quadrangle whose diagonal is 90 degrees, and the probes 13a and 13b are provided in these holes. Each is inserted. The probe and the wiring are connected with solder at a position where the probes 13a and 13b are in contact with one end of the wiring. Similarly, one end of the wiring of the other wiring portion 14d is connected to the probes 13c and 13d constituting the one measuring portion 13B.
The other end of the wiring of the one wiring portion 14c is connected to a voltmeter (not shown).

上記コイル16は、0.03mmのリード線を平面視して正方形のセラミックス製板の外周面に巻回したものである。このコイル16は、正方形の横方向に巻回したHxコイル16aと、正方形の縦方向に巻回したHyコイル16bとを有している。つまり、Hxコイル16aの巻き方向と、Hyコイル16bの巻き方向とが成す角度が90°である。このHxコイル16aと、このHyコイル16bとのリード線の巻き数が多くなるに従って、磁気特性の誤差を小さくすることができる。   The coil 16 is formed by winding a 0.03 mm lead wire on the outer peripheral surface of a square ceramic plate in plan view. The coil 16 includes a Hx coil 16a wound in a square horizontal direction and a Hy coil 16b wound in a square vertical direction. That is, the angle formed by the winding direction of the Hx coil 16a and the winding direction of the Hy coil 16b is 90 °. As the number of turns of the lead wire between the Hx coil 16a and the Hy coil 16b increases, the error in magnetic characteristics can be reduced.

上記の部材から構成された磁気測定センサ10は、次のようにして組み立てられる。
まず、メインベース11の凹部11aにサブベース12を嵌め込む。その後、メインベース11と、サブベース12とによる形成された4箇所の探針挿入孔部にそれぞれ探針13a,13b,13c,13dを挿入する。その後、フレキシブル基板14に形成された孔に探針13a,13b,13c,13dを挿入し、サブベース12に接触させる。フレキシブル基板14に形成された配線の一端と探針13a,13b,13c,13dとの接触する箇所にはんだで固定する。配線の他端は、メインベース11とサブベース12に形成されたケーブル挿通貫通孔を用いて外部に設けられた電圧計に接続される。
その後、コイルベース15をサブベース12に取付、コイル16を、コイルベース15に取り付ける。コイル16のリード線は、上記ケーブル挿通貫通孔を通り、図示しない電圧計に接続される。
The magnetic measurement sensor 10 composed of the above members is assembled as follows.
First, the sub base 12 is fitted into the recess 11 a of the main base 11. Thereafter, the probes 13a, 13b, 13c, and 13d are inserted into the four probe insertion holes formed by the main base 11 and the sub base 12, respectively. Thereafter, the probes 13 a, 13 b, 13 c and 13 d are inserted into the holes formed in the flexible substrate 14 and brought into contact with the sub-base 12. It fixes to the location where the end of the wiring formed in the flexible substrate 14, and the probe 13a, 13b, 13c, 13d contact. The other end of the wiring is connected to a voltmeter provided outside using a cable insertion through hole formed in the main base 11 and the sub base 12.
Thereafter, the coil base 15 is attached to the sub base 12, and the coil 16 is attached to the coil base 15. The lead wire of the coil 16 passes through the cable insertion through hole and is connected to a voltmeter (not shown).

上記の磁気センサ10を用いて、電磁鋼板の磁気測定を行う方法について説明する。
まず、絶縁被覆が施された電磁鋼板を交流励磁する。次に、この電磁鋼板の表面に、上記探針13a,13b,13c,13dを接触させる。その後、磁気測定センサ10を押圧する。この時、探針13a,13b,13c,13dが回転し、上記絶縁被覆を貫通する。そして、探針13a,13b,13c,13dが電磁鋼板の導電部分に接触する。
交流励磁された電磁鋼板には渦電流と、その表面に磁界が発生している。電磁鋼板が探針13a,13b,13c,13dに接触されると、探針間に、渦電流による電気が流れる。この電気の電圧を電圧計で測定する。同時に、表面の磁界により、コイルに電気が流れる。この電気の電圧を電圧計で測定する。これらの電圧計にて測定された電圧を図示しない演算装置にて演算させることにより、電磁鋼板の探針13a,13b,13c,13d間の磁束密度および磁界強度を求めることができる。
A method for performing magnetic measurement of an electromagnetic steel sheet using the magnetic sensor 10 will be described.
First, alternating current excitation is applied to an electromagnetic steel sheet with an insulating coating. Next, the probes 13a, 13b, 13c, and 13d are brought into contact with the surface of the electromagnetic steel sheet. Thereafter, the magnetic measurement sensor 10 is pressed. At this time, the probes 13a, 13b, 13c, and 13d rotate and penetrate the insulating coating. The probes 13a, 13b, 13c, and 13d are in contact with the conductive portions of the electromagnetic steel sheet.
An eddy current and a magnetic field are generated on the surface of an electromagnetic steel plate excited by alternating current. When the magnetic steel sheet is brought into contact with the probes 13a, 13b, 13c, 13d, electricity due to eddy current flows between the probes. The electricity voltage is measured with a voltmeter. At the same time, electricity flows through the coil due to the magnetic field on the surface. The electricity voltage is measured with a voltmeter. By calculating the voltage measured by these voltmeters using an arithmetic device (not shown), the magnetic flux density and magnetic field strength between the probes 13a, 13b, 13c, and 13d of the electromagnetic steel sheet can be obtained.

10 磁気測定センサ、
11 メインベース、
12 サブベース、
13a,13b,13c,13d 探針、
14 フレキシブル基板、
16 コイル。
10 Magnetic measurement sensor,
11 Main base,
12 Subbase,
13a, 13b, 13c, 13d
14 Flexible substrate,
16 Coil.

Claims (3)

センサベースと、
このセンサベースの先端から各探針が四角形の頂点に位置するよう同一長さで突出した4本の探針と、
上記センサベースの先端平面にそれぞれの巻き方向が成す角度が90度になるように保持された2個のコイルとを有し、
対角位置に存する2本の探針を1組の測定部とすることにより、2組の測定部を構成し、
各測定部の2本の探針は2本の配線の一端に、センサベースの先端平面にてそれぞれ接続され、これら配線の他端はそれぞれ電圧検出部に接続された磁気測定センサであって、
上記センサベースの先端平面に4箇所の孔が設けられ、これらの孔にバネがそれぞれ収納され、
上記探針の基端部が上記孔にそれぞれ挿入され、これらの探針が孔から突出するように上記バネにより付勢されているとともに、
この孔の内周面には螺旋状の溝が形成され、
この螺旋状の溝に螺合されるように探針の基端部の外周面にねじが形成された磁気測定センサ。
A sensor base,
Four probes protruding at the same length from the tip of the sensor base so that each probe is positioned at the apex of a rectangle;
Two coils held so that the angle formed by each winding direction is 90 degrees on the tip plane of the sensor base,
Two sets of measuring units are configured by using two probes located at diagonal positions as one set of measuring units.
The two probes of each measurement unit are connected to one end of two wires at the tip plane of the sensor base, respectively, and the other ends of these wires are respectively magnetic measurement sensors connected to the voltage detection unit,
Four holes are provided in the tip plane of the sensor base, and springs are respectively stored in these holes.
The proximal ends of the probes are respectively inserted into the holes, and the probes are biased by the springs so as to protrude from the holes,
A spiral groove is formed on the inner peripheral surface of the hole,
A magnetic measurement sensor in which a screw is formed on the outer peripheral surface of the proximal end portion of the probe so as to be screwed into the spiral groove.
上記センサベースの先端平面にフレキシブル基板が設けられ、
このフレキシブル基板には上記探針と、電圧検出部とを電気的に接続する導体パターンが形成された請求項1に記載の磁気測定センサ。
A flexible substrate is provided on the tip plane of the sensor base,
The magnetic measurement sensor according to claim 1, wherein a conductive pattern for electrically connecting the probe and the voltage detection unit is formed on the flexible substrate.
上記2個のコイルは外径0.03mm以下のエナメル線で構成された請求項1または請求項2に記載の磁気測定センサ。   The magnetic measurement sensor according to claim 1 or 2, wherein the two coils are made of enameled wires having an outer diameter of 0.03 mm or less.
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