JP2011026155A - クロロシラン重合物の分解方法および分解装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】クロロシラン重合物の分解方法であって、クロロシラン重合物およびHClを混合してなる原料ガスを予熱温度Ti[℃]に予熱する予熱工程と、予熱された前記原料ガスを分解炉内に滞留させる分解工程とを有し、前記分解工程での前記原料ガスの前記分解炉内における平均滞留時間t[秒]とすると、T1≦Ti≦T2,T1=600×t(−0.057)−150,T2=190×t(−0.9)+470ただしt≦10かつ400≦Ti≦550を満たす。
【選択図】図1
Description
予熱された前記原料ガスを分解炉内に滞留させる分解工程とを有し、
前記分解工程での前記原料ガスの前記分解炉内における平均滞留時間t[秒]とすると、前記予熱温度Tiを
400≦Ti≦550
かつ T1≦Ti≦T2
T1=600×t(−0.057)−150
T2=190×t(−0.9)+470
ただし t≦10
を満たすように設定するクロロシラン重合物の分解方法である。
Ti≦Tb2
Tb2=190×t(−0.59)+400
を満たすことが好ましい。この場合、予熱温度の上限をT2よりも低いTb2に抑えることにより、反応温度の上昇をより確実に抑え、SiHCl3の収率低下をより確実に防止できる。
400≦Ti≦550
かつ T1≦Ti≦T2
T1=600×t(−0.057)−150
T2=190×t(−0.9)+470
ただし t≦10
を満たすように制御する。
Ti≦Tb2
Tb2=190×t(−0.59)+400
を満たすことが好ましい。この場合、原料ガスの予熱温度をより適切な範囲に設定できる。
なお、ポリマーとは、Si2Cl6,Si3Cl8など、SinHaClb(n≧2,0≦a≦2n+2,b=2n+2−a)で表されるクロロシランの重合物であり、以下のように分解される。
SinHaClb+cHCl→dSiHCl3+eSiCl4+fH2 …(1)
さらに、SiHCl3は、HClとの反応によりSiCl4に変化する。
SiHCl3+HCl→SiCl4+H2 …(2)
クロロシラン重合物の分解の際には、TCS(SiHCl3)を効率よく生成することが求められる。
400≦Ti≦550
かつ T1≦Ti≦T2
T1=600×t(−0.057)−150
T2=190×t(−0.9)+470
ただし t≦10
を満たすように制御される。T1は予熱温度Tiの下限温度、T2は上限温度である。
平均滞留時間t=V÷F …(3)
ただし
V:反応室21の容積[m3]
F:流量[m3/秒]
流量F=N×R×Ti÷P …(4)
ただし
N:原料供給量[mol/秒]
R:ガス定数(8.314[J/mol/K])
Ti:原料ガスGの予熱温度[K](すなわち分解炉20の入口ガス温度)
P:圧力[Pa(A)](絶対圧基準)
以上説明した分解装置10を用いて、予熱温度Tiおよび平均滞留時間t(すなわちポリマー供給量)を調整し、ポリマー分解処理を行った。各実施例および比較例に共通の条件を以下に示す。
反応室21の容積:5.0[L]
断熱層30の厚さ:0.15m
圧力:0.05[MPa(G)](大気圧基準)
また、分解炉20に導入した原料ガスG1の組成(モル比)は表1の通りである。
ポリマー分解率[%]=100−反応後のポリマー量[mol]/原料中のポリマー量[mol]×100 …(5)
ここでは、ポリマー全体の9割以上を占めるSi2HCl5とSi2Cl6とについて、分解率を測定した。
TCS生産率[%]=100×(生成ガスG2中のTCS量[mol]−原料ガスG1中のTCS量[mol])/(原料ガスG1中のTCSおよびポリマーに含まれるシリコン量[mol]) …(6)
図3に点aで示す実施例1および点bで示す実施例2は、原料ガスG1の予熱温度Tiが545℃に設定されている。これらの場合、予熱温度Tiが比較的高温であり、平均滞留時間tの短い実施例1のTCS生産率がより高かったが、いずれもポリマー分解率は90%以上であった。
一方、図3に点kで示す比較例1は、予熱温度Tiが同じ実施例1,2よりも平均滞留時間tが長い3.4秒に設定されており、この平均滞留時間tにおけるT2よりも予熱温度Tiが高くなっている。この場合、ポリマー分解率は100%と高いが、TCS生産率が低かった。これは、ガスの温度に対して反応時間が長すぎたため、換言すると反応時間に対してガスの温度が高すぎたため、生成されたTCSが上記式(2)に示す反応によりSiCl4に変化したためと考えられる。
図3に点cで示す実施例3、点dで示す実施例4、および点eで示す実施例5は、原料ガスG1の予熱温度Tiが480℃に設定されている。これらの場合、ポリマー分解率もTCS生産率も高かった。
一方、図3に点lで示す比較例2は、予熱温度Tiが同じ実施例3〜5よりも平均滞留時間tが短く設定されており、ポリマー分解率が低かった。これは、ガスの温度に対して反応時間が短く、ポリマーが十分に分解されなかったものと考えられる。
また、図3に点mで示す比較例3は、予熱温度Tiが同じ実施例3〜5よりも平均滞留時間tが長い11秒に設定されており、ポリマー分解率は高かったがTCS生産率が低かった。これは、ガスの温度に対して反応時間が長すぎ、生成されたTCSが上記式(2)に示す反応によりSiCl4に変化したためと考えられる。
図3に点fで示す実施例6、点gで示す実施例7、および点hで示す実施例8は、原料ガスG1の予熱温度Tiが450℃に設定されている。これらの場合、ポリマー分解率もTCS生産率も高かった。
図3に点iで示す実施例9、および点jで示す実施例10は、原料ガスG1の予熱温度Tiが405℃に設定されている。これらの場合、予熱温度Tiが比較的低温であり、平均滞留時間tの短い実施例9ではポリマー分解率が少し低くなったが、高いTCS生産率が得られた一方、平均滞留時間tの長い実施例10ではポリマー分解率が100%であったが、TCS生産率は実施例9よりも低かった。
一方、図3に点nで示す比較例4は、予熱温度Tiが同じ実施例9,10よりも平均滞留時間tが短い2.2秒設定されており、この平均滞留時間tにおけるT1よりも予熱温度Tiが低くなっている。この比較例4においてポリマー分解率が低かったのは、ガスの温度に対して反応時間が短いため、換言すると反応時間に対してガスの温度が低いため、ポリマーが十分に分解されなかったためと考えられる。
また、図3に点oで示す比較例5は、熱温度Tiが同じ実施例9,10よりも平均滞留時間tが長い11秒に設定されており、ポリマー分解率は高かったがTCS生産率が低かった。これは、ガスの温度に対して反応時間が長すぎ、生成されたTCSが上記式(2)に示す反応によりSiCl4に変化したためと考えられる。
また、図3に点pで示す比較例6は、原料ガスG1の予熱温度Tiが380℃、平均滞留時間tが11秒に設定されている。この場合、ポリマー分解率、TCS生産率ともに低かった。生成ガスG2の温度が予熱温度Tiと比較してあまり上昇していないことを鑑みると、この比較例6では、予熱温度Tiが低すぎるためにポリマーの分解反応が開始されず、平均滞留時間tが長くても十分な分解反応が行われなかったと考えられる。このことから、予熱温度Tiを400℃以上に設定することが好ましいと確認された。
比較例3,5および6は、平均滞留時間tが11秒に設定されている。これらの比較例のうち、予熱温度Tiが低い比較例6(図3の点p)では分解反応が不十分であり、予熱温度Tiが高い比較例3,5(図3の点m,o)ではTCS生成の逆反応(式(2))が進行してしまう。したがって、平均滞留時間tは、予熱温度Tiに関わらず、10秒以内に設定することが好ましいと確認された。
これら実施例1〜10および比較例1〜6では、断熱層30が備えられていることにより、分解炉20の温度が500℃以下に抑えられた。これにより、本発明の分解装置10では、高温の水素による分解炉20等の金属部品の腐食を抑えながらポリマーの分解反応を進行できることが確認された。
たとえば、原料ガスG1の予熱温度Tiは、さらに
Ti≦Tb2
Tb2=190×t(−0.59)+400
を満たすように設定することがより好ましい。この場合、予熱温度Tiの上限温度をT2よりも低いTb2に設定することにより、反応熱による反応室21内のガスの最高温度が抑えられるので、TCSがSiCl4に変換されるのをより効果的に抑制できるとともに、分解炉20の腐食をより確実に抑制できる。
20,20A,20B,20C 分解炉
21 反応室
22 供給管
23 排出管
24 バッフル板
25 内容器
26 外容器
27 パージガス供給管
28 パージガス排出管
30 断熱層
40 原料ガス供給部
41 ポリマー供給部
42 ポリマー蒸発器
43 原料ガス予熱器
44 HCl供給部
45 HCl予熱器
46 HCl供給ライン
47 熱交換器
50 制御部50
G1 原料ガス
G2 生成ガス
Ti 予熱温度
T1 下限温度
T2 上限温度
t 平均滞留時間
Claims (7)
- クロロシラン重合物およびHClを混合してなる原料ガスを予熱温度Ti[℃]に予熱する予熱工程と、
予熱された前記原料ガスを分解炉内に滞留させる分解工程とを有し、
前記分解工程での前記原料ガスの前記分解炉内における平均滞留時間t[秒]とすると、前記予熱温度Tiを
400≦Ti≦550
かつ T1≦Ti≦T2
T1=600×t(−0.057)−150
T2=190×t(−0.9)+470
ただし t≦10
を満たすように設定することを特徴とするクロロシラン重合物の分解方法。 - 前記予熱温度Tiは、さらに
Ti≦Tb2
Tb2=190×t(−0.59)+400
を満たすことを特徴とする請求項1に記載のクロロシラン重合物の分解方法。 - クロロシラン重合物およびHClを混合してなる原料ガスを供給される分解炉と、
前記分解炉の内壁を覆うように備えられた断熱層と、
前記原料ガスを所定の予熱温度Ti[℃]に加熱して前記分解炉に供給する原料ガス供給部と、
前記分解炉内における前記原料ガスの平均滞留時間t[秒]に応じて、前記予熱温度Tiを制御する制御部と
を備えるクロロシラン重合物の分解装置であって、
前記制御部は、前記予熱温度Tiを
400≦Ti≦550
かつ T1≦Ti≦T2
T1=600×t(−0.057)−150
T2=190×t(−0.9)+470
ただし t≦10
を満たすように制御することを特徴とするクロロシラン重合物の分解装置。 - 前記予熱温度Tiは、さらに
Ti≦Tb2
Tb2=190×t(−0.59)+400
を満たすことを特徴とする請求項3に記載のクロロシラン重合物の分解装置。 - 前記分解炉は、前記断熱層の内側に設けられた内容器と、前記断熱層の外側に設けられた外容器とを備え、これら内容器と外容器との間が不活性ガスによってパージされていることを特徴とする請求項3または4に記載のクロロシラン重合物の分解装置。
- 前記断熱層の内側にヒータが備えられていることを特徴とする請求項3から5のいずれかに記載のクロロシラン重合物の分解装置。
- 前記原料ガス供給部は、前記HClを加熱するHCl予熱器と、このHCl予熱器で加熱されたHClを供給されながら前記クロロシラン重合物を蒸発させるポリマー蒸発器とを備えることを特徴とする請求項3から6のいずれかに記載のクロロシラン重合物の分解装置。
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